JP7060573B2 - 表面処理組成物、およびその製造方法、ならびに表面処理組成物を用いた表面処理方法および半導体基板の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の一形態に係る表面処理組成物は、研磨済研磨対象物(以下、「表面処理対象物」、「洗浄対象物」とも称する)の表面に付着した残渣に対して優れた除去効果を示す。
本明細書において、研磨済研磨対象物とは、研磨工程において研磨された後の研磨対象物を意味する。研磨工程としては、特に制限されないが、CMP工程であることが好ましい。
本発明の一形態による表面処理組成物は、スルホン酸(塩)基、リン酸(塩)基、ホスホン酸(塩)基、およびアミノ基からなる群より選択される少なくとも1種のイオン性官能基を有する高分子化合物と、水と、を含有し、pHが7未満であり、前記高分子化合物は、pKaが3以下であり、下記式(1):
本発明の一形態に係る表面処理組成物は、スルホン酸(塩)基、リン酸(塩)基、ホスホン酸(塩)基、およびアミノ基からなる群より選択される少なくとも1種のイオン性官能基を有する高分子化合物(イオン性官能基含有高分子)を必須に含む。該高分子化合物は、表面処理組成物による残渣の除去に寄与する。
スルホン酸(塩)基含有高分子は、スルホン酸(塩)基を有する高分子化合物であり、スルホン酸(塩)基を複数有するものであれば特に制限されず、公知の化合物を用いることができる。スルホン酸(塩)基含有高分子の例としては、ベースとなる高分子化合物をスルホン化して得られる高分子化合物や、スルホン酸(塩)基含有単量体を(共)重合して得られる高分子化合物等が挙げられる。
リン酸(塩)基含有高分子は、リン酸(塩)基を有する高分子化合物であり、リン酸(塩)基を複数有する重合体であれば特に限定されず、公知の化合物を用いることができる。リン酸(塩)基含有高分子を構成する主鎖は、ビニル系単量体の重合体または共重合体、ポリエーテル、ポリエステル、およびこれらの共重合体からなる群より選択されるものが好ましい。
ホスホン酸(塩)基含有高分子は、ホスホン酸(塩)基を有する高分子化合物であり、ホスホン酸(塩)基を複数有する重合体であれば特に限定されず、公知の化合物を用いることができる。ホスホン酸(塩)基含有高分子は、特に限定されるものではなく、ホスホン酸(塩)基含有単量体の単独重合体、ホスホン酸(塩)基含有単量体と他の共重合可能な単量体との共重合体、およびこれらの塩のいずれでもよいが、共重合体またはその塩が好ましい。
アミノ基含有高分子は、アミノ基を有する高分子化合物であり、アミノ基を複数有する重合体、または当該重合体に由来するアンモニウムカチオンや、当該アンモニウムカチオンと他のアニオンとの塩であるアンモニウム化合物やアンモニウム塩である。アミノ基含有高分子は、特に限定されず、公知の化合物を用いることができる。
本発明の一形態に係るイオン性官能基含有高分子は、スルホン酸(塩)基、およびアミノ基からなる群より選択される少なくとも1種のイオン性官能基を有する構成単位と、他の構成単位とを含む共重合体(以下、単に「共重合体W」とも表す)を含むことが好ましい。イオン性官能基含有高分子が少なくとも1種の共重合体Wを含むことによって、残渣の除去効果がより向上する。
本発明において、表面処理組成物に必須に含まれる(必須成分である)イオン性官能基含有高分子の下記式(1)で表されるイオン性官能基密度は10%超である。
本発明において、表面処理組成物に必須に含まれる(必須成分である)イオン性官能基含有高分子のpKaは3以下である。当該pKaが3を超える場合、表面処理対象物表面や正電荷帯電性成分表面への良好な被覆性、残渣を除去するための適切な静電的な反発力、および表面処理工程後のイオン性官能基含有高分子の良好な除去性等が得られない。当該pKaは、好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。また、正電荷帯電成分表面への良好な被覆性の観点から、当該pKaは、0.8以上が好ましい。なお、当該pKaは、以下の方法により算出することができる。
本発明において、必須成分であるイオン性官能基含有高分子(すなわち、イオン性官能基密度が10%超であって、pKaが3以下のもの、またはその好ましい態様のもの。後述する濡れ剤に分類されるものを除く)の重量平均分子量は、1,000以上であることが好ましい。重量平均分子量が1,000以上であると、残渣の除去効果がさらに高まる。かかる理由は、表面処理対象物や正電荷帯電性成分を覆う際の被覆性がより良好となり、表面処理対象物表面からの残渣の除去作用または表面処理対象物表面への残渣の再付着抑止作用がより向上するからであると推測される。同様の観点から、重量平均分子量は、2,000以上であることがより好ましく、8,000以上であることがさらに好ましく、9,000以上であることがよりさらに好ましく、10,000以上であることが特に好ましい。また、必須成分であるイオン性官能基含有高分子(すなわち、イオン性官能基密度が10%超であって、pKaが3以下のもの、またはその好ましい態様のもの。後述する濡れ剤に分類されるものを除く)の重量平均分子量は、100,000以下であることが好ましい。重量平均分子量が100,000以下であると、残渣の除去効果がさらに高まる。かかる理由は、表面処理工程後の必須成分であるイオン性官能基含有高分子の除去性がより良好となるからであると推測される。同様の観点から、重量平均分子量は、50,000以下であることがより好ましく、25,000以下であることがさらに好ましい。なお、イオン性官能基含有高分子の重量平均分子量は、ゲルパーミーエーションクロマトグラフィー(GPC)によって測定することができる。
本発明の一形態に係る表面処理組成物は、濡れ剤をさらに含んでいてもよい。本明細書において、濡れ剤とは、表面処理対象物の表面の濡れ性を向上させ、残渣除去効果を向上させる機能を有する水溶性高分子を表す。
本発明の一形態に係る表面処理組成物は、分散媒(溶媒)として水を必須に含む。分散媒は、各成分を分散または溶解させる機能を有する。分散媒は、水のみであることがより好ましい。また、分散媒は、各成分の分散または溶解のために、水と有機溶媒との混合溶媒であってもよい。この場合、用いられる有機溶媒としては、水と混和する有機溶媒であるアセトン、アセトニトリル、エタノール、メタノール、イソプロパノール、グリセリン、エチレングリコール、プロピレングリコール等が挙げられる。また、これらの有機溶媒を水と混合せずに用いて、各成分を分散または溶解した後に、水と混合してもよい。これら有機溶媒は、単独でもまたは2種以上組み合わせても用いることができる。
本発明の一形態に係る表面処理組成物は、酸を含むことが好ましい。なお、本明細書において、イオン性官能基含有高分子は、ここで述べる添加剤としての酸とは異なるものとして取り扱う。酸は、表面処理対象物の表面および正電荷帯電性成分の表面を正電荷で帯電させる役割を担うと推測され、表面処理組成物による残渣の除去に寄与しうる。
本発明の一形態に係る表面処理組成物のpH値は、7未満であることを必須とする。pH値が7以上であると、表面処理対象物の表面または正電荷帯電性成分の表面を正電荷で帯電させる効果が得られず、残渣の除去効果を十分に得られない。残渣除去効果の観点から、pH値が4未満であることがより好ましく、3未満であることがさらに好ましく、2.5以下であることが特に好ましい。また、pH値は、1以上であることが好ましい。pH値が1以上であると、低pHに調整するための酸の添加量を削減でき、コストを削減するという観点から好ましい。以上から、表面処理組成物のpH値は、1以上3未満であることが好ましい。
本発明の一形態に係る表面処理組成物は、本発明の効果を阻害しない範囲内において、必要に応じて、他の添加剤を任意の割合で含有していてもよい。ただし、本発明の一形態に係る表面処理組成物の必須成分以外の成分は、異物(残渣)の原因となりうるためできる限り添加しないことが望ましいため、その添加量はできる限り少ないことが好ましく、含まないことがより好ましい。他の添加剤としては、例えば、アルカリ、防腐剤、溶存ガス、還元剤、酸化剤、イオン性官能基含有高分子以外の高分子化合物、およびアルカノールアミン類等が挙げられる。
本発明の一形態に係る表面処理組成物の製造方法は、好ましくは、イオン性官能基含有高分子と、水とを混合することを含む。例えば、イオン性官能基含有高分子と、水と、必要に応じて他の成分とを、攪拌混合することにより得ることができる。各成分を混合する際の温度は特に制限されないが、10~40℃が好ましく、溶解速度を上げるために加熱してもよい。また、混合時間も特に制限されない。
本発明の他の好ましい一形態は、上記表面処理組成物を用いて研磨済研磨対象物を表面処理することを含む、表面処理方法である。本明細書において、表面処理方法とは、研磨済研磨対象物の表面における残渣を低減する方法をいい、広義の洗浄を行う方法である。
本発明の一形態に係る表面処理組成物は、リンス研磨処理において好適に用いられる。すなわち、本発明の一形態に係る表面処理組成物は、リンス研磨用組成物として好ましく用いることができる。リンス研磨処理は、研磨対象物について最終研磨(仕上げ研磨)を行った後、研磨対象物の表面上の異物の除去を目的として、研磨パッドが取り付けられた研磨定盤(プラテン)上で行われる。このとき、本発明の一形態に係る表面処理組成物を研磨済研磨対象物に直接接触させることにより、リンス研磨処理が行われる。その結果、研磨済研磨対象物表面の異物は、研磨パッドによる摩擦力(物理的作用)および表面処理組成物による化学的作用によって除去される。異物のなかでも、特にパーティクルや有機物残渣は、物理的な作用により除去されやすい。したがって、リンス研磨処理では、研磨定盤(プラテン)上で研磨パッドとの摩擦を利用することで、パーティクルや有機物残渣を効果的に除去することができる。
本発明の一形態に係る表面処理組成物は、洗浄処理において好適に用いられる。すなわち、本発明の一形態に係る表面処理組成物は、洗浄用組成物として好ましく用いることができる。洗浄処理は、研磨対象物について最終研磨(仕上げ研磨)を行った後、上記リンス研磨処理を行った後、または本発明の表面処理組成物以外のリンス研磨用組成物を用いた他のリンス研磨処理を行った後、研磨済研磨対象物(洗浄対象物)の表面上の異物の除去を目的として行われることが好ましい。なお、洗浄処理と、上記リンス研磨処理とは、これらの処理を行う場所によって分類され、洗浄処理は、研磨定盤(プラテン)上ではない場所で行われる表面処理であり、研磨済研磨対象物を研磨定盤(プラテン)上から取り外した後に行われる表面処理であることが好ましい。洗浄処理においても、本発明の一形態に係る表面処理組成物を研磨済研磨対象物に直接接触させて、当該対象物の表面上の異物を除去することができる。
また、表面処理方法としては、本発明の一形態に係る表面処理組成物を用いた前記(I)または(II)の表面処理の後、研磨済研磨対象物をさらに洗浄処理することが好ましい。本明細書では、この洗浄処理を後洗浄処理と称する。後洗浄処理としては、特に制限されないが、例えば、単に表面処理対象物に水を掛け流す方法、単に表面処理対象物を水に浸漬する方法等が挙げられる。また、上記説明した(II)の方法による表面処理と同様に、表面処理対象物を保持した状態で、洗浄ブラシと表面処理対象物の片面または両面とを接触させて、その接触部分に水を供給しながら表面処理対象物の表面を洗浄ブラシで擦る方法、表面処理対象物を水中に浸漬させ、超音波処理や攪拌を行う方法(ディップ式)等が挙げられる。これらの中でも、表面処理対象物を保持した状態で、洗浄ブラシと表面処理対象物の片面または両面とを接触させて、その接触部分に水を供給しながら表面処理対象物の表面を洗浄ブラシで擦る方法であることが好ましい。なお、後洗浄処理の装置および条件としては、前述の(II)の表面処理の説明を参照することができる。ここで、後洗浄処理に用いる水としては、特に脱イオン水を用いることが好ましい。
本発明の一形態に係る表面処理方法は、研磨済研磨対象物が研磨済半導体基板であるとき、好適に適用される。すなわち、本発明の他の一形態によれば、研磨済研磨対象物が研磨済半導体基板であり、当該研磨済半導体基板を、上記表面処理方法によって研磨済半導体基板の表面における残渣を低減することを含む、半導体基板の製造方法もまた提供される。
半導体基板の製造方法に含まれうる研磨工程は、半導体基板を研磨して、研磨済半導体基板を形成する工程である。
表面処理工程とは、本発明の一形態に係る表面処理組成物を用いて研磨済研磨対象物の表面における残渣を低減する工程をいう。半導体基板の製造方法において、リンス研磨工程の後、表面処理工程としての洗浄工程が行われてもよいし、リンス研磨工程のみ、または洗浄工程のみが行われてもよい。
リンス研磨工程は、半導体基板の製造方法において、研磨工程および洗浄工程の間に設けられてもよい。リンス研磨工程は、本発明の一形態に係る表面処理方法(リンス研磨処理方法)によって、研磨済研磨対象物(研磨済半導体基板)の表面における異物を低減する工程である。
洗浄工程は、半導体基板の製造方法において、研磨工程の後に設けられてもよいし、リンス研磨工程の後に設けられてもよい。洗浄工程は、本発明の一形態に係る表面処理方法(洗浄方法)によって、研磨済研磨対象物(研磨済半導体基板)の表面における異物を低減する工程である。
本発明の一形態に係る半導体基板の製造方法は、後洗浄工程を設けてもよい。後洗浄工程で用いられる後洗浄方法の詳細は、上記後洗浄処理に係る説明に記載の通りである。
[表面処理組成物a-1の調製]
有機酸としての固形分濃度30質量%のマレイン酸水溶液を0.5質量部添加し(マレイン酸の添加量は0.15質量部)、イオン性官能基含有高分子(酸性官能基含有高分子P)としてアクリル酸-アクリルアミドt-ブチルスルホン酸共重合体(アクリル酸とアクリルアミドt-ブチルスルホン酸との共重合体、重量平均分子量7,000、イオン性官能基(酸性官能基:スルホン酸(塩)基)密度10%、pKa2~3、下記表1では共重合体WAと称する)を0.25質量部添加し、さらに組成物の合計が100質量部となるように残部の水(脱イオン水)を添加し、攪拌混合することにより、表面処理組成物a-1を調製した。得られた表面処理組成物a-1(液温:25℃)のpH値は、pHメーター(株式会社堀場製作所製 型番:LAQUA(登録商標))により確認したところ、2.1であった。
[表面処理組成物A-1~A-4の調製]
イオン性官能基含有高分子を、下記に示す種類に変更したこと以外は、上記表面処理組成物a-1の調製と同様にして、各表面処理組成物を調製した:
・表面処理組成物A-1に使用:アクリル酸-アクリルアミドt-ブチルスルホン酸共重合体のナトリウム塩、重量平均分子量10,000、イオン性官能基(酸性官能基:スルホン酸(塩)基)密度40%、pKa0~1、下記表1では共重合体WBと称する
・表面処理組成物A-2に使用:アクリル酸-アクリルアミドt-ブチルスルホン酸共重合体、重量平均分子量9,000、イオン性官能基(酸性官能基:スルホン酸(塩)基)密度60%、pKa0~1、下記表1では共重合体WCと称する
・表面処理組成物A-3に使用:アクリル酸-アクリルアミドt-ブチルスルホン酸共重合体、重量平均分子量10,000、イオン性官能基(酸性官能基:スルホン酸(塩)基)密度40%、pKa0~1、下記表1では共重合体WDと称する
・表面処理組成物A-4に使用:アクリルアミドt-ブチルスルホン酸単独重合体、重量平均分子量9,000、イオン性官能基(酸性官能基:スルホン酸(塩)基)密度100%、pKa<0、下記表1では重合体DEと称する。
[表面処理組成物b-1の調製]
有機酸としての固形分濃度30質量%のマレイン酸水溶液を組成物中0.55質量%の添加量となるよう(マレイン酸の添加量は組成物中0.165質量%)、濡れ剤としてポリビニルアルコール(重量平均分子量15,000、鹸化度99%)を組成物中0.1質量%の添加量となるよう、それぞれ水(脱イオン水)中へ添加し、攪拌混合することにより、表面処理組成物b-1を調製した。得られた表面処理組成物b-1(液温:25℃)のpH値は、pHメーター(株式会社堀場製作所製 型番:LAQUA(登録商標))により確認したところ、2.1であった。
[表面処理組成物B-1~B-4の調製]
攪拌混合前に、イオン性官能基含有高分子として、ポリスチレンスルホン酸(重量平均分子量10,000、イオン性官能基(酸性官能基:スルホン酸(塩)基)密度100%、pKa=1.0)を下記表2に示す組成物中の添加量となるよう、水(脱イオン水)中へさらに添加した以外は、上記表面処理組成物b-1の調製と同様にして、各表面処理組成物を調製した。
[表面処理組成物B-5~B-8の調製]
濡れ剤であるポリビニルアルコールを、イオン性官能基含有高分子であるスルホン酸(塩)基含有ポリビニルアルコール(重量平均分子量10,000、イオン性官能基密度6%、pKa=1.0)に変更し、下記表2に示す組成物中の添加量としたこと以外は、上記表面処理組成物B-1の調製と同様にして、各表面処理組成物を調製した。
各アクリル酸-アクリルアミドt-ブチルスルホン酸共重合体、アクリルアミドt-ブチルスルホン酸単独重合体、ポリスチレンスルホン酸、スルホン酸(塩)基含有ポリビニルアルコールの重量平均分子量は、ゲルパーミーエーションクロマトグラフィー(GPC)によって測定した重量平均分子量(ポリエチレングリコール換算)の値を用いた。重量平均分子量は、下記の装置および条件によって測定した:
GPC装置:株式会社島津製作所製
型式:Prominence + ELSD検出器(ELSD-LTII)
カラム:VP-ODS(株式会社島津製作所製)
移動相 A:MeOH
B:酢酸1%水溶液
流量:1mL/分
検出器:ELSD temp.40℃、Gain 8、N2GAS 350kPa
オーブン温度:40℃
注入量:40μL。
カラム:Shodex(登録商標) OHpak SB-806 HQ + SB-803 HQ (8.0mmI.D. x 300mm each)(昭和電工株式会社製)
移動相:0.1M NaCl 水溶液
流量:1.0mL/min
検出器:Shodex(登録商標) RI(昭和電工株式会社製)
カラム温度:40℃。
下記の化学的機械的研磨(CMP)工程によって研磨された後の研磨済窒化珪素基板および研磨済ポリシリコン基板を、研磨済研磨対象物(表面処理対象物とも称する)として準備した。
半導体基板である窒化珪素基板およびポリシリコン基板について、研磨用組成物M(組成;スルホン酸修飾コロイダルシリカ(“Sulfonic acid-functionalized silica through quantitative oxidation of thiol groups”,Chem.Commun.246-247(2003)に記載の方法で作製、平均一次粒子径30nm、平均二次粒子径60nm)4質量%、濃度30質量%のマレイン酸水溶液0.018質量%、溶媒:水)を使用し、それぞれ下記の条件にて研磨を行った。ここで、窒化珪素基板およびポリシリコン基板は、それぞれ300mmウェーハを使用した。
研磨装置:株式会社荏原製作所製 FREX300E
研磨パッド:ニッタ・ハース株式会社製 硬質ポリウレタンパッド IC1400
研磨圧力:2.0psi(1psi=6894.76Pa、以下同様)
研磨定盤回転数:60rpm
ヘッド回転数:60rpm
研磨用組成物の供給:掛け流し
研磨用組成物供給量:300mL/分
研磨時間:60秒間。
上記CMP工程によって窒化珪素基板を研磨した後、当該窒化珪素基板を研磨定盤(プラテン)上から取り外した。続いて、同じ研磨装置内で、上記で調製した表面処理組成物a-1およびA-1~A-4を用いて、洗浄ブラシであるポリビニルアルコール(PVA)製スポンジで圧力をかけながら、下記条件で研磨済研磨対象物(研磨済窒化珪素基板)をこする洗浄方法によって、研磨済研磨対象物を洗浄した:
(洗浄装置および洗浄条件)
装置:株式会社荏原製作所製 FREX300E
洗浄ブラシ回転数:100rpm
洗浄対象物(研磨済研磨対象物)回転数:100rpm
洗浄液の流量:1000mL/分
洗浄時間:30秒間。
上記CMP工程によって窒化珪素基板、ポリシリコン基板をそれぞれ研磨した後、研磨済窒化珪素基板、研磨済ポリシリコン基板を研磨定盤(プラテン)上から取り外した。続いて、上記で調整した表面処理組成物b-1およびB-1~B-8を用いて、研磨済窒化珪素基板、研磨済ポリシリコン基板を研磨定盤(プラテン)上にそれぞれ再度取り付けて、下記条件でリンス研磨処理を行った。
研磨パッド:ニッタ・ハース株式会社製 硬質ポリウレタンパッド IC1400
研磨圧力:1.0psi
研磨定盤回転数:60rpm
ヘッド回転数:60rpm
研磨用組成物の種類:表面処理組成物b-1およびB-1~B-8
研磨用組成物の供給:掛け流し
研磨用組成物供給量:200mL/分
研磨時間:60秒間。
リンス研磨処理の後に、前記リンス研磨工程によって研磨された後の研磨済窒化珪素
基板、研磨済ポリシリコン基板に表面処理組成物をかけながら、研磨済窒化珪素基板、研磨済ポリシリコン基板をそれぞれ引き上げて取り出した。続いて、リンス研磨工程によって研磨された後の研磨済窒化珪素基板および研磨済ポリシリコン基板について、水(脱イオン水)を用いて、洗浄ブラシであるポリビニルアルコール(PVA)製スポンジで圧力をかけながら下記条件で各研磨済研磨対象物をこする洗浄方法によって、各研磨済研磨対象物を洗浄した。
洗浄ブラシ回転数:100rpm
研磨済研磨対象物回転数:50rpm
洗浄用組成物の種類:水(脱イオン水)
洗浄用組成物供給量:1000mL/分
洗浄時間:60秒間。
上記洗浄工程、または上記リンス研磨工程および後洗浄工程によって表面処理された後の各研磨済研磨対象物について、下記項目について測定し評価を行った。
各表面処理組成物を用いて、上記に示す洗浄条件、または上記リンス研磨工程および後洗浄工程で研磨済研磨対象物を洗浄した後、0.09μm以上の異物数(総残渣数)を測定した。異物数の測定には、KLA TENCOR社製ウェーハ欠陥検査装置SP-2を使用した。測定は、洗浄済基板の片面の外周端部から幅5mmの部分(外周端部を0mmとしたときに、幅0mmから幅5mmまでの部分)を除外した残りの部分について測定を行った。
また、表面処理組成物a-1およびA-1~A-4を用いて、上記に示す洗浄条件で研磨済研磨対象物(研磨済窒化珪素基板)を洗浄した後の有機物残渣の数を、株式会社日立製作所製Review SEM RS6000を使用し、SEM観察によって測定した。まず、SEM観察にて、研磨済研磨対象物の片面の外周端部から幅5mmの部分(外周端部を0mmとしたときに、幅0mmから幅5mmまでの部分)を除外した残りの部分に存在する異物を100個サンプリングした。次いで、サンプリングした100個の異物の中からSEM観察にて目視にて有機物残渣を判別し、その個数を確認することで、異物中の有機物残渣の割合(%)を算出した。そして、上述の異物数の評価にてKLA TENCOR社製SP-2を用いて測定した0.09μm以上の異物数(個)と、SEM観察結果より算出した異物中の有機物残渣の割合(%)との積を、有機物残渣数(個)として算出した。
比較例1、参考例1および参考例2に含まれるイオン性官能基含有高分子のパッド屑への吸着量を測定した。
Claims (21)
- 前記高分子化合物は、スルホン酸(塩)基、およびアミノ基からなる群より選択される少なくとも1種のイオン性官能基を有する構成単位と、他の構成単位とを含む共重合体を含む、請求項1に記載の表面処理組成物。
- 前記他の構成単位は、エチレン性不飽和単量体由来の構成単位を含む、請求項2に記載の表面処理組成物。
- 前記高分子化合物は、スルホン酸(塩)基、リン酸(塩)基およびホスホン酸(塩)基からなる群より選択される少なくとも1種の酸性官能基を有する構成単位のみからなる単独重合体を含む、請求項1から3のいずれか1項記載の表面処理組成物。
- 前記高分子化合物は、スルホン酸(塩)基を有する高分子化合物を含む、請求項1から4のいずれか1項に記載の表面処理組成物。
- 前記スルホン酸(塩)基を有する高分子化合物は、スルホン酸(塩)基含有ポリビニルアルコール、スルホン酸(塩)基含有ポリスチレン、スルホン酸(塩)基含有ポリ酢酸ビニル、スルホン酸(塩)基含有ポリエステル、(メタ)アクリル基含有単量体-スルホン酸(塩)基含有単量体の共重合体、スルホン酸(塩)基含有ポリイソプレン、スルホン酸(塩)基含有アリルポリマー、およびこれらの塩からなる群より選択される少なくとも1種である、請求項5に記載の表面処理組成物。
- 前記高分子化合物の含有量は、表面処理組成物に含まれるポリマーの総質量に対して50質量%以上である、請求項1から6のいずれか1項に記載の表面処理組成物。
- 前記濡れ剤が、スルホン酸(塩)基、およびアミノ基からなる群より選択される少なくとも1種のイオン性官能基を有する構成単位と、他の構成単位とを含み、pKaが3超である共重合体、カルボン酸(塩)基を有する構成単位と、他の構成単位とを含む共重合体、ポリビニルアルコール、およびポリビニルピロリドンからなる群より選択される少なくとも1種をさらに含む、請求項7に記載の表面処理組成物。
- 前記濡れ剤は、スルホン酸(塩)基、およびアミノ基からなる群より選択される少なくとも1種のイオン性官能基を有する構成単位と、他の構成単位とを含み、上記式(1)で表されるイオン性官能基密度が10%以下である共重合体であり、
前記濡れ剤の含有量は、0.01質量%以上0.1質量%以下である、請求項1から7のいずれか1項に記載の表面処理組成物。 - スルホン酸(塩)基、リン酸(塩)基、ホスホン酸(塩)基、およびアミノ基からなる群より選択される少なくとも1種のイオン性官能基を有する高分子化合物と、
水と、
を含有し、
pHが7未満であり、
前記高分子化合物は、
スルホン酸(塩)基、リン酸(塩)基およびホスホン酸(塩)基からなる群より選択される少なくとも1種の酸性官能基を有する構成単位のみからなる、単独重合体Dと、
スルホン酸(塩)基、およびアミノ基からなる群より選択される少なくとも1種のイオン性官能基を有する構成単位と、他の構成単位とを含む、共重合体Wと、
を含有し、
前記単独重合体Dの含有割合は、前記単独重合体Dと、前記共重合体Wとの総質量に対して、70質量%以上であり、
前記単独重合体Dは、pKaが3以下であり、
前記共重合体Wは、下記式(1):
で表されるイオン性官能基密度が10%以下である、
表面処理組成物。 - 前記高分子化合物は、前記単独重合体Dおよび前記共重合体Wからなり、
前記単独重合体Dの含有量は、0.01質量%以上10質量%以下であり、
濡れ剤をさらに含み、前記濡れ剤は、前記共重合体Wを含み、前記濡れ剤の含有量は、0.01質量%以上10質量%以下である、請求項10に記載の表面処理組成物。 - 前記濡れ剤が、カルボン酸(塩)基を有する構成単位と、他の構成単位とを含む共重合体、ポリビニルアルコール、およびポリビニルピロリドンからなる群より選択される少なくとも1種をさらに含む、請求項11に記載の表面処理組成物。
- pH値が1以上3未満である、請求項1から12のいずれか1項に記載の表面処理組成物。
- 砥粒を実質的に含有しない、請求項1から13のいずれか1項に記載の表面処理組成物。
- 研磨済研磨対象物の表面における残渣を低減するのに用いられる、請求項1から14のいずれか1項に記載の表面処理組成物。
- 前記研磨済研磨対象物は、窒化珪素、酸化珪素およびポリシリコンからなる群から選択される少なくとも1種を含む、請求項15に記載の表面処理組成物。
- 前記残渣が有機物残渣である、請求項15または16に記載の表面処理組成物。
- 請求項1から17のいずれか1項に記載の表面処理組成物を用いて研磨済研磨対象物を表面処理して、研磨済研磨対象物の表面における有機物残渣を低減する、表面処理方法。
- 前記表面処理は、リンス研磨処理または洗浄処理によって行われる、請求項18に記載の表面処理方法。
- 前記高分子化合物と、前記水と、を混合することを含む、請求項1から19のいずれか1項に記載の表面処理組成物の製造方法。
- 研磨済研磨対象物が研磨済半導体基板であり、
請求項18または19に記載の表面処理方法によって、研磨済半導体基板の表面における有機物残渣を低減することを含む、半導体基板の製造方法。
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