JP7046053B2 - Release film for forming a green sheet - Google Patents

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Description

本発明は、グリーンシート形成用剥離フィルムに関する。 The present invention relates to a release film for forming a green sheet.

剥離フィルムは、一般に基材と剥離剤層とから構成される。グリーンシートは、このような剥離フィルム上に、セラミックス粒子とバインダー樹脂とを有機溶剤に分散させ、溶解させたセラミックスラリーを塗工して乾燥することで製造される。また、製造されたグリーンシートは、剥離フィルムから剥離して、セラミックコンデンサの製造に用いられる。
また、剥離フィルムを用いてグリーンシートを製造する場合、剥離フィルムの表面の凹凸がグリーンシートに転写されることで、グリーンシートの表面にピンホールが生じるなどの問題があった。そこで、剥離フィルムには、表面の凹凸が少ないという平滑性が求められている。一方で、近年のセラミックコンデンサの小型化、高密度化に伴って、グリーンシートの更なる薄膜化が求められている。そして、グリーンシートの更なる薄膜化により、剥離フィルムには、平滑性の更なる向上が求められている。
The release film is generally composed of a base material and a release agent layer. The green sheet is produced by dispersing ceramic particles and a binder resin in an organic solvent on such a release film, applying a dissolved ceramic slurry, and drying. Further, the produced green sheet is peeled off from the release film and used for manufacturing a ceramic capacitor.
Further, when a green sheet is manufactured using a release film, there is a problem that pinholes are generated on the surface of the green sheet due to the transfer of unevenness on the surface of the release film to the green sheet. Therefore, the release film is required to have smoothness with less surface irregularities. On the other hand, with the recent miniaturization and high density of ceramic capacitors, further thinning of the green sheet is required. Further, by further thinning the green sheet, the release film is required to have further improvement in smoothness.

しかしながら、剥離フィルムの平滑性を向上させるほど、ブロッキングが発生しやすくなるという問題があった。すなわち、剥離フィルムは、一般に、ロール状に巻かれた状態で保管し、輸送され、グリーンシートを形成する際には、ロール状の状態から繰り出して使用される。そのため、この巻き取った剥離フィルムを繰り出す際には、離形フィルムの表面の剥離剤層と、剥離フィルムの裏面の基材とのブロッキング(貼り付き)が発生しやすくなるという問題があった。このように、平滑性が優れた剥離フィルムにおいては、ブロッキングを防止する性能(アンチブロッキング性)が求められている。
剥離フィルムのアンチブロッキング性を向上させる技術として、例えば、特許文献1には、ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、不活性微粒子を含有する離形層を設けた離形フィルムが記載されている。この離形フィルムにおいて、離形層表面の十点平均粗さ(Rz)は20~500nmである。
However, there is a problem that blocking is more likely to occur as the smoothness of the release film is improved. That is, the release film is generally stored and transported in a rolled state, and when forming a green sheet, the release film is unwound from the roll state and used. Therefore, when the wound release film is unwound, there is a problem that blocking (sticking) between the release agent layer on the front surface of the release film and the base material on the back surface of the release film is likely to occur. As described above, in the release film having excellent smoothness, the ability to prevent blocking (anti-blocking property) is required.
As a technique for improving the anti-blocking property of a release film, for example, Patent Document 1 describes a release film provided with a release layer containing inert fine particles on at least one side of the polyester film. In this release film, the ten-point average roughness (Rz) of the surface of the release layer is 20 to 500 nm.

特開2004-255704号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-255704

しかしながら、特許文献1に記載の剥離フィルムでは、平滑性と、アンチブロッキング性とを両立できる剥離フィルムは得られなかった。 However, with the release film described in Patent Document 1, a release film having both smoothness and anti-blocking property could not be obtained.

そこで、本発明の目的は、平滑性に優れ、かつ十分なアンチブロッキング性を有するグリーンシート形成用剥離フィルムを提供することである。 Therefore, an object of the present invention is to provide a release film for forming a green sheet, which has excellent smoothness and sufficient anti-blocking property.

本発明の一態様に係るグリーンシート形成用剥離フィルムは、グリーンシートの形成に用いられるグリーンシート形成用剥離フィルムであって、基材と、前記基材の片面に設けられた剥離剤層とを備え、前記剥離剤層は、(A)エネルギー線硬化性化合物と、(B)疎水化シリカゾルと、(C)剥離付与成分と、を含有する剥離剤形成用材料の硬化物からなることを特徴とするものである。 The release film for forming a green sheet according to one aspect of the present invention is a release film for forming a green sheet used for forming a green sheet, and comprises a base material and a release agent layer provided on one side of the base material. The release agent layer is characterized by comprising a cured product of a release agent forming material containing (A) an energy ray-curable compound, (B) a hydrophobic silica sol, and (C) a release-imparting component. Is to be.

本発明の一態様に係るグリーンシート形成用剥離フィルムにおいては、前記(B)疎水化シリカゾルの平均粒子径が、10nm以上100nm以下であることが好ましい。
本発明の一態様に係るグリーンシート形成用剥離フィルムにおいては、前記(B)疎水化シリカゾルの塗膜を形成した場合、前記塗膜に対する水の接触角が100°以上であることが好ましい。
本発明の一態様に係るグリーンシート形成用剥離フィルムにおいては、前記剥離剤層の平均厚さが、0.2μm以上2μm以下であることが好ましい。
本発明の一態様に係るグリーンシート形成用剥離フィルムにおいては、前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さRaが8nm以下であり、かつ、前記剥離剤層の外表面の最大突起高さRpが50nm以下であることが好ましい。
In the release film for forming a green sheet according to one aspect of the present invention, the average particle size of the (B) hydrophobic silica sol is preferably 10 nm or more and 100 nm or less.
In the release film for forming a green sheet according to one aspect of the present invention, when the coating film of the (B) hydrophobic silica sol is formed, it is preferable that the contact angle of water with respect to the coating film is 100 ° or more.
In the release film for forming a green sheet according to one aspect of the present invention, the average thickness of the release agent layer is preferably 0.2 μm or more and 2 μm or less.
In the release film for forming a green sheet according to one aspect of the present invention, the arithmetic average roughness Ra of the outer surface of the release agent layer is 8 nm or less, and the maximum protrusion height Rp of the outer surface of the release agent layer is Is preferably 50 nm or less.

本発明によれば、平滑性に優れ、かつ十分なアンチブロッキング性を有するグリーンシート形成用剥離フィルムを提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide a release film for forming a green sheet having excellent smoothness and sufficient anti-blocking property.

本発明の実施形態に係るグリーンシート形成用剥離フィルムを示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the release film for forming a green sheet which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るグリーンシート形成用剥離フィルムにおいて、疎水化シリカゾルの偏析状態を概念的に説明するための模式図である。It is a schematic diagram for conceptually explaining the segregation state of the hydrophobic silica sol in the release film for forming a green sheet which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明について実施形態を例に挙げて説明する。本発明は実施形態の内容に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described by taking an embodiment as an example. The present invention is not limited to the content of the embodiment.

本実施形態に係るグリーンシート形成用剥離フィルム1(以下「剥離フィルム1」)は、図1に示すように、基材11と、基材11の第1の面11Aに設けられた剥離剤層12とを備える。 As shown in FIG. 1, the release film 1 for forming a green sheet (hereinafter referred to as “release film 1”) according to the present embodiment has a base material 11 and a release agent layer provided on the first surface 11A of the base material 11. 12 and.

(基材)
本実施形態に係る基材11は、第1の面11Aと第2の面11Bとを有する。
基材11を構成する材料としては、特に限定されず、例えば、ポリエステル樹脂(ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂およびポリエチレンナフタレート樹脂など)、ポリオレフィン樹脂(ポリプロピレン樹脂およびポリメチルペンテン樹脂など)、およびポリカーボネートなどのプラスチックからなるフィルムなどが挙げられる。基材11は、単層フィルムであってもよく、同種または異種の2層以上の多層フィルムであってもよい。これらの中でも、加工時または使用時などにおいて、埃などが発生しにくいという観点から、ポリエステルフィルムが好ましく、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムがより好ましい。ポリエステルフィルムを用いて製造した剥離フィルム1を使用して、グリーンシートを製造する場合には、埃などによるセラミックスラリーの塗工不良などを効果的に防止できる。
(Base material)
The base material 11 according to the present embodiment has a first surface 11A and a second surface 11B.
The material constituting the base material 11 is not particularly limited, and is, for example, polyester resin (polybutylene terephthalate resin, polyethylene terephthalate resin, polyethylene naphthalate resin, etc.), polyolefin resin (polypropylene resin, polymethylpentene resin, etc.), and Examples thereof include a film made of plastic such as polycarbonate. The base material 11 may be a single-layer film, or may be a multilayer film having two or more layers of the same type or different types. Among these, a polyester film is preferable, and a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is more preferable, from the viewpoint that dust and the like are less likely to be generated during processing or use. When the green sheet is manufactured by using the release film 1 manufactured by using the polyester film, it is possible to effectively prevent the ceramic slurry from being poorly coated due to dust or the like.

基材11には、前記のような材料に加え、フィラーなどを含有させてもよい。フィラーとしては、シリカ、酸化チタン、炭酸カルシウム、カオリン、および酸化アルミニウムなどが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、または2種以上を組み合わせて用いてもよい。このようなフィラーを含むことにより、基材11の機械的強度を付与すると共に、表裏面の滑り性が向上し、ブロッキングを抑制できる。 In addition to the above-mentioned materials, the base material 11 may contain a filler or the like. Fillers include silica, titanium oxide, calcium carbonate, kaolin, aluminum oxide and the like. These may be used alone or in combination of two or more. By including such a filler, the mechanical strength of the base material 11 can be imparted, the slipperiness of the front and back surfaces can be improved, and blocking can be suppressed.

基材11の第1の面11Aおよび第2の面11Bの表面粗さ(算術平均粗さRa1およびRa2、並びに、最大突起高さRp1およびRp2)は、両方の面が汎用グレードの粗さ範囲であってもよいし、両方の面が高平滑グレードの粗さ範囲であってもよい。さらに、第1の面11Aおよび第2の面11Bのうち一方の面が高平滑グレードの粗さ範囲で、もう一方の面が汎用グレードの粗さ範囲であってもよい。剥離剤層12を塗布していない基材11の第2の面11Bが高平滑グレードの粗さ範囲であると、通常は剥離フィルム1の巻取りがブロッキングを生じてしまうが、本実施形態の剥離フィルム1ではブロッキングを生じにくい。 The surface roughness (arithmetic mean roughness R a1 and R a2 , and the maximum protrusion height R p1 and R p2 ) of the first surface 11A and the second surface 11B of the base material 11 are general-purpose grades on both surfaces. Roughness range may be used, or both surfaces may be in the roughness range of high smoothness grade. Further, one of the first surface 11A and the second surface 11B may have a roughness range of a high smoothness grade, and the other surface may have a roughness range of a general-purpose grade. If the second surface 11B of the base material 11 to which the release agent layer 12 is not applied is in the roughness range of a high smoothness grade, the winding of the release film 1 usually causes blocking, but in the present embodiment The release film 1 is less likely to cause blocking.

高平滑グレードの場合、基材11の第1の面11Aの算術平均粗さRa(Ra)は、1nm以上40nm以下であることが好ましく、2nm以上20nm以下であることがより好ましい。これにより、後述するように、基材11の第1の面11A上には、第1の面11Aの凹凸を埋めて平滑化された剥離剤層12が形成される。そのため、算術平均粗さRaが前記範囲内であれば、剥離剤層の外表面12Aの平滑化作用が特に顕著となる。
高平滑グレードの場合、基材11の第1の面11Aの最大突起高さRp(Rp)は、10nm以上500nm以下であることが好ましく、15nm以上350nm以下であることがより好ましい。これにより、後述するように、基材11の第1の面11A上には、第1の面11Aの凹凸を埋めて平滑化された剥離剤層12が形成される。そのため、最大突起高さRpが前記範囲内であれば、剥離剤層の外表面12Aの平滑化作用が特に顕著となる。
In the case of a high smoothness grade, the arithmetic average roughness Ra (Ra 1 ) of the first surface 11A of the base material 11 is preferably 1 nm or more and 40 nm or less, and more preferably 2 nm or more and 20 nm or less. As a result, as will be described later, on the first surface 11A of the base material 11, the release agent layer 12 which fills the unevenness of the first surface 11A and is smoothed is formed. Therefore, when the arithmetic average roughness Ra 1 is within the above range, the smoothing action of the outer surface 12A of the release agent layer becomes particularly remarkable.
In the case of a high smoothness grade, the maximum protrusion height Rp (Rp 1 ) of the first surface 11A of the base material 11 is preferably 10 nm or more and 500 nm or less, and more preferably 15 nm or more and 350 nm or less. As a result, as will be described later, on the first surface 11A of the base material 11, the release agent layer 12 which fills the unevenness of the first surface 11A and is smoothed is formed. Therefore, when the maximum protrusion height Rp 1 is within the above range, the smoothing action of the outer surface 12A of the release agent layer becomes particularly remarkable.

高平滑グレードの場合、基材11の第2の面11Bの算術平均粗さRa(Ra)は、1nm以上40nm以下であることが好ましく、2nm以上20nm以下であることがより好ましい。また、高平滑グレードの場合、基材11の第2の面11Bの最大突起高さRp(Rp)は、10nm以上500nm以下であることが好ましく、15nm以上350nm以下であることがより好ましく、20nm以上300nm以下であることが特に好ましい。
このように高平滑グレードの基材を使用することにより、剥離フィルム1とこれに製膜されたセラミックグリーンシートが巻き取られても、塗布表面に接触する剥離フィルム1の裏面側(第2の面11B側)が平滑であるため、セラミックグリーンシートが押圧されて受けるダメージが無くなり、セラミックコンデンサの品質が向上する。
なお、汎用グレードの場合、基材11の第1の面11Aの算術平均粗さRa(Ra)は、通常、5nm以上80nm以下であり、基材11の第1の面11Aの最大突起高さRp(Rp)は、通常、100nm以上700nm以下である。また、汎用グレードの場合、基材11の第2の面11Bの算術平均粗さRa(Ra)は、通常、5nm以上80nm以下であり、基材11の第2の面11Bの最大突起高さRp(Rp)は、通常、100以上700nm以下である。
In the case of a high smoothness grade, the arithmetic average roughness Ra (Ra 2 ) of the second surface 11B of the base material 11 is preferably 1 nm or more and 40 nm or less, and more preferably 2 nm or more and 20 nm or less. Further, in the case of a highly smooth grade, the maximum protrusion height Rp (Rp 2 ) of the second surface 11B of the base material 11 is preferably 10 nm or more and 500 nm or less, and more preferably 15 nm or more and 350 nm or less. It is particularly preferably 20 nm or more and 300 nm or less.
By using the highly smooth grade base material in this way, even if the release film 1 and the ceramic green sheet formed on the release film 1 are wound, the back surface side (second) of the release film 1 that comes into contact with the coated surface. Since the surface 11B side) is smooth, the ceramic green sheet is not damaged by being pressed, and the quality of the ceramic capacitor is improved.
In the case of the general-purpose grade, the arithmetic average roughness Ra (Ra 1 ) of the first surface 11A of the base material 11 is usually 5 nm or more and 80 nm or less, and the maximum protrusion height of the first surface 11A of the base material 11 is high. Rp (Rp 1 ) is usually 100 nm or more and 700 nm or less. Further, in the case of a general-purpose grade, the arithmetic average roughness Ra (Ra 2 ) of the second surface 11B of the base material 11 is usually 5 nm or more and 80 nm or less, and the maximum protrusion height of the second surface 11B of the base material 11 is high. Rp (Rp 2 ) is usually 100 or more and 700 nm or less.

なお、本明細書では、基材11の第1の面11Aおよび第2の面11Bの算術平均粗さRaおよび最大突起高さRpは、JIS B0601-1994に準拠して、ミツトヨ社製の表面粗さ測定機SV3000S4(触針式)により測定して求められる値である。そして、本明細書では、特に断りのない限り、「算術平均粗さおよび最大突起高さ」とは、前記のようにして測定して得られる値のことを指す。 In the present specification, the arithmetic average roughness Ra and the maximum protrusion height Rp of the first surface 11A and the second surface 11B of the base material 11 are the surfaces manufactured by Mitutoyo Co., Ltd. in accordance with JIS B0601-1994. It is a value obtained by measuring with a roughness measuring machine SV3000S4 (touch needle type). In the present specification, unless otherwise specified, the "arithmetic mean roughness and the maximum protrusion height" refer to the values obtained by measuring as described above.

基材11の平均膜厚は、特に限定されないが、10μm以上300μm以下であることが好ましく、15μm以上200μm以下であることがより好ましい。これにより、剥離フィルム1の柔軟性を適度なものとしつつ、引裂きまたは破断などに対する耐性を特に優れたものとすることができる。 The average film thickness of the base material 11 is not particularly limited, but is preferably 10 μm or more and 300 μm or less, and more preferably 15 μm or more and 200 μm or less. As a result, the flexibility of the release film 1 can be made appropriate, and the resistance to tearing or breaking can be made particularly excellent.

(剥離剤層)
本実施形態に係る剥離剤層12は、基材11の第1の面11A上に設けられている。剥離剤層12は、剥離剤形成用材料の硬化物からなる。そして、本実施形態では、(A)エネルギー線硬化性化合物を用いるので、剥離剤層12は、剥離剤層形成用材料に活性エネルギー線を照射して硬化することにより形成される。この剥離剤層12は、剥離フィルム1に平滑性、剥離性およびアンチブロッキング性を付与できる。
(Release layer)
The release agent layer 12 according to the present embodiment is provided on the first surface 11A of the base material 11. The release agent layer 12 is made of a cured product of a release agent forming material. Since the energy ray-curable compound (A) is used in the present embodiment, the release agent layer 12 is formed by irradiating the material for forming the release agent layer with active energy rays and curing the material. The release agent layer 12 can impart smoothness, release property and anti-blocking property to the release film 1.

剥離剤層12の外表面12Aの算術平均粗さRa(Ra)は、15nm以下であることが好ましく、8nm以下であることがより好ましい。また、剥離剤層12の外表面の最大突起高さRp(Rp)は、50nm以下であることが好ましく、45nm以下であることがより好ましい。これにより、グリーンシートを剥離剤層12の外表面12A側に成形したときに、グリーンシートにピンホールまたは部分的な厚さのばらつきを発生させることをより確実に防止でき、グリーンシートの表面をより高平滑なものにすることができる。
本実施形態による剥離剤層12であれば、外表面12Aが上記のような高平滑であって、かつ、基材11の第2の面11Bも高平滑である場合であっても、ブロッキングを起こすことはない。
なお、後述する剥離剤層形成用材料は、基材11の第1の面11A上に塗布するに際し、適度な流動性を有している。したがって、かかる剥離剤層形成用材料を用いれば、基材11の第1の面11Aの凹凸を容易に埋め込むことができ、その埋め込んだ状態を保持することができる。その結果、剥離剤層12の基材11と反対の外表面12A側に、基材11の凹凸が影響するのを防ぐことができ、剥離剤層12の外表面12Aを平滑にすることができる。
The arithmetic average roughness Ra (Ra 0 ) of the outer surface 12A of the release agent layer 12 is preferably 15 nm or less, and more preferably 8 nm or less. The maximum protrusion height Rp (Rp 0 ) on the outer surface of the release agent layer 12 is preferably 50 nm or less, and more preferably 45 nm or less. As a result, when the green sheet is formed on the outer surface 12A side of the release agent layer 12, it is possible to more reliably prevent pinholes or partial thickness variations from occurring in the green sheet, and the surface of the green sheet can be prevented. It can be made smoother.
With the release agent layer 12 according to the present embodiment, blocking can be performed even when the outer surface 12A is highly smooth as described above and the second surface 11B of the base material 11 is also highly smooth. It won't wake you up.
The material for forming the release agent layer, which will be described later, has an appropriate fluidity when applied on the first surface 11A of the base material 11. Therefore, by using the material for forming the release agent layer, the unevenness of the first surface 11A of the base material 11 can be easily embedded, and the embedded state can be maintained. As a result, it is possible to prevent the unevenness of the base material 11 from affecting the outer surface 12A side opposite to the base material 11 of the release agent layer 12, and the outer surface 12A of the release agent layer 12 can be smoothed. ..

剥離剤層12の平均厚さは、0.2μm以上2μm以下であることが好ましく、0.3μm以上1.5μm以下であることがより好ましい。剥離剤層12の平均厚さが前記下限以上であれば、剥離剤層12の外表面12Aの平滑性を向上でき、グリーンシートにピンホールまたは部分的な厚さのばらつきを発生させることをより確実に防止できる。一方、剥離剤層12の厚さが前記上限以下であれば、剥離剤層12の硬化収縮による剥離フィルム1のカールの発生を防止でき、また、剥離フィルム1を巻き取ることで接した基材11の第2の面11Bと剥離剤層12の外表面12Aとでブロッキングが発生することを抑制できる。 The average thickness of the release agent layer 12 is preferably 0.2 μm or more and 2 μm or less, and more preferably 0.3 μm or more and 1.5 μm or less. When the average thickness of the release agent layer 12 is at least the above lower limit, the smoothness of the outer surface 12A of the release agent layer 12 can be improved, and pinholes or partial thickness variations can be caused in the green sheet. It can be surely prevented. On the other hand, if the thickness of the release agent layer 12 is not more than the upper limit, it is possible to prevent the release film 1 from being curled due to the curing shrinkage of the release agent layer 12, and the base material in contact with the release film 1 is wound up. It is possible to suppress the occurrence of blocking on the second surface 11B of 11 and the outer surface 12A of the release agent layer 12.

剥離剤層12の弾性率は、3.5GPa以上8.0GPa以下であることが好ましく、4.0GPa以上8.0GPa以下であることがより好ましい。剥離剤層12の平均弾性率が前記範囲内であれば、剥離剤層12の外表面12Aが十分に硬く、剥離フィルム同士が密着した場合に、表面に偏析する疎水化シリカが沈み込むのを抑制できる。そのため、疎水化シリカによるアンチブロッキング性の付与効果をより高めることができる。 The elastic modulus of the release agent layer 12 is preferably 3.5 GPa or more and 8.0 GPa or less, and more preferably 4.0 GPa or more and 8.0 GPa or less. When the average elastic modulus of the release agent layer 12 is within the above range, the outer surface 12A of the release agent layer 12 is sufficiently hard, and when the release films are in close contact with each other, the hydrophobic silica segregated on the surface sinks. It can be suppressed. Therefore, the effect of imparting anti-blocking property by the hydrophobic silica can be further enhanced.

なお、本明細書では、剥離剤層12の弾性率は、ナノインデンター(MTS社製、商品名「Nano Indenter SA4」)を用い、圧子の最大押込み深さ100nm、歪速度0.05sec-1、変位振幅2nm、振動周波数45Hzの条件にてナノインデンテーション試験を行い、上記剥離フィルムの被膜弾性率を測定した。そして、本明細書では、特に断りのない限り、「弾性率」とは、前記のようにして測定して得られる値のことを指す。In the present specification, the elastic modulus of the release agent layer 12 uses a nanoindenter (manufactured by MTS, trade name “NanoIndenter SA4”), the maximum indentation depth of the indenter is 100 nm, and the strain rate is 0.05 sec -1 . A nanoindentation test was performed under the conditions of a displacement amplitude of 2 nm and a vibration frequency of 45 Hz, and the film elastic modulus of the release film was measured. In the present specification, unless otherwise specified, the "elastic modulus" refers to a value obtained by measuring as described above.

(剥離剤形成用材料)
ここで、本実施形態に係る剥離剤層12を形成するために用いる剥離剤層形成用材料について説明する。
本実施形態に係る剥離剤層形成用材料は、(A)エネルギー線硬化性化合物と、(B)疎水化シリカゾルと、(C)剥離付与成分とを含有するものである。
(Material for forming a release agent)
Here, the material for forming the release agent layer used for forming the release agent layer 12 according to the present embodiment will be described.
The material for forming the release agent layer according to the present embodiment contains (A) an energy ray-curable compound, (B) a hydrophobic silica sol, and (C) a release-imparting component.

(エネルギー線硬化性化合物)
本実施形態に係る(A)エネルギー線硬化性化合物としては、特に制限はなく、従来公知のものの中から選択できる。(A)エネルギー線硬化性化合物としては、エネルギー線硬化性のモノマー、オリゴマーおよび樹脂、並びにこれらを含む組成物などが挙げられる。
具体例としては、多官能(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、シリコーン(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらは一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
多官能(メタ)アクリレートとしては、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、並びに、トリアリル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらは一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。これらの中でも、剥離剤層12に適度な堅硬性を付与できることから、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレートまたはジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートを用いることがより好ましい。
また、多官能(メタ)アクリレートとしては、官能基を含有する多官能(メタ)アクリレートであってもよい。使用される官能基としては水酸基が好ましく、(B)成分の疎水化シリカゾルの剥離剤層形成用材料中での分散性および形成された剥離剤層12における遍在性を最適化させることができる。水酸基含有アクリル系化合物の具体例としては、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、およびペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらは一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。これらの中でも、剥離剤層12に適度な堅硬性を付与できることから、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートを用いることがより好ましい。また、多官能(メタ)アクリレートが官能基を有していれば架橋剤による架橋によって、剥離剤層12をエネルギー線と加熱の2系統の手段で硬化することができ、硬化の程度を所望のレベルとすることができる。
(Energy ray curable compound)
The (A) energy ray-curable compound according to the present embodiment is not particularly limited and can be selected from conventionally known compounds. Examples of the energy ray-curable compound (A) include energy ray-curable monomers, oligomers and resins, and compositions containing these.
Specific examples include polyfunctional (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, silicone (meth) acrylate and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
Examples of the polyfunctional (meth) acrylate include 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, and ethylene glycol di (meth) acrylate. Propylene glycol di (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, trimethylol ethanetri (meth) acrylate, trimethylol propanetri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate , Gglycerol tri (meth) acrylate, triallyl (meth) acrylate and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, pentaerythritol tetra (meth) acrylate or dipentaerythritol hexa (meth) acrylate is more preferable because it can impart appropriate hardness to the release agent layer 12.
Further, the polyfunctional (meth) acrylate may be a polyfunctional (meth) acrylate containing a functional group. The functional group used is preferably a hydroxyl group, and the dispersibility of the hydrophobic silica sol of the component (B) in the material for forming the release agent layer and the ubiquity in the formed release agent layer 12 can be optimized. .. Specific examples of the hydroxyl group-containing acrylic compound include pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and trimethylolpropane di. Examples thereof include (meth) acrylate and pentaerythritol di (meth) acrylate. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, it is more preferable to use pentaerythritol tri (meth) acrylate because it can impart appropriate hardness to the release agent layer 12. Further, if the polyfunctional (meth) acrylate has a functional group, the release agent layer 12 can be cured by two systems of energy rays and heating by crosslinking with a crosslinking agent, and the degree of curing is desired. Can be a level.

また、多官能(メタ)アクリレートが、EO(エチレンオキサイド)またはPO(プロピレンオキサイド)付加型の多官能(メタ)アクリレートを含むことも好ましい。
EO(エチレンオキサイド)またはPO(プロピレンオキサイド)付加型の多官能(メタ)アクリレートとは、EOまたはPO付加型の多価アルコールをアクリル酸でエステル化することによって得られる化合物である。具体的には、EOまたはPO変性グリセロールトリアクリレート、EOまたはPO変性トリメチロールプロパンアクリレート、EOまたはPO変性ペンタエリスリトールテトラアクリレート、並びに、EOまたはPO変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートなどが挙げられる。これらは一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。これらの中でも、剥離剤層12に適度な柔軟性を付与することで剥離剤層12のクラックまたは割れを防止できることから、EOまたはPO変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、EOまたはPO変性トリメチロールプロパンテトラアクリレートを用いても良い。
It is also preferable that the polyfunctional (meth) acrylate contains an EO (ethylene oxide) or PO (propylene oxide) -added polyfunctional (meth) acrylate.
The EO (ethylene oxide) or PO (propylene oxide) -added polyfunctional (meth) acrylate is a compound obtained by esterifying an EO or PO-added polyhydric alcohol with acrylic acid. Specific examples thereof include EO or PO-modified glycerol triacrylate, EO or PO-modified trimethylolpropane acrylate, EO or PO-modified pentaerythritol tetraacrylate, and EO or PO-modified dipentaerythritol hexaacrylate. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, EO or PO-modified dipentaerythritol hexaacrylate, EO or PO-modified trimethylolpropane tetraacrylate can be prevented from cracking or cracking in the release agent layer 12 by imparting appropriate flexibility to the release agent layer 12. May be used.

剥離剤層形成用材料における(A)エネルギー線硬化性化合物の固形分換算の含有量(溶剤を除いた全固形分中における含有割合)は、50質量%以上であることが好ましい。 The content of the (A) energy ray-curable compound in terms of solid content (content ratio in the total solid content excluding the solvent) in the material for forming the release agent layer is preferably 50% by mass or more.

(疎水化シリカゾル)
本実施形態に係る(B)疎水化シリカゾルの種類としては、アルコキシシラン化合物およびクロロシラン化合物などのシリカ微粒子のゾルが挙げられる。(B)疎水化シリカゾルにより、剥離剤層12にアンチブロッキング性を付与できる。
アルコキシシラン化合物としては、加水分解性のアルコキシル基を有するケイ素化合物であれば、特に限定されず、例えば一般式(1)で表される化合物が挙げられる。
Si(OR4-n ・・・(1)
前記一般式において、Rは、水素原子または非加水分解性基を示す。非加水分解性基としては、アルキル基、置換アルキル基(置換基:ハロゲン原子、エポキシ原子、(メタ)アクリロイルオキシ基など)、アルケニル基、アリール基、およびアラルキル基などが挙げられる。Rは、低級アルキル基(炭素数が1から10(好ましくは、炭素数が1から4)のアルキル基)を示す。nは、0から2の整数であり、RおよびORがそれぞれ複数である場合、複数のRは同一でも異なっていてもよく、また複数のORは、同一でも異なっていてもよい。
(Hydrophobic silica sol)
Examples of the type of (B) hydrophobic silica sol according to the present embodiment include sol of silica fine particles such as an alkoxysilane compound and a chlorosilane compound. (B) The hydrophobicized silica sol can impart antiblocking property to the release agent layer 12.
The alkoxysilane compound is not particularly limited as long as it is a silicon compound having a hydrolyzable alkoxyl group, and examples thereof include a compound represented by the general formula (1).
R 1 n Si (OR 2 ) 4-n ... (1)
In the above general formula, R 1 represents a hydrogen atom or a non-hydrolyzable group. Examples of the non-hydrolytable group include an alkyl group, a substituted alkyl group (substituent: halogen atom, epoxy atom, (meth) acryloyloxy group, etc.), an alkenyl group, an aryl group, an aralkyl group and the like. R 2 represents a lower alkyl group (an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms (preferably 1 to 4 carbon atoms)). n is an integer from 0 to 2, and when R 1 and OR 2 are each plural, the plurality of R 1s may be the same or different, and the plurality of OR 2s may be the same or different. ..

ここで、前記一般式(1)で表されるアルコキシシラン化合物としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ-n-プロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラ-n-ブトキシシラン、テトライソブトキシシラン、テトラ-sec-ブトキシシラン、テトラ-tert-ブトキシシラン、トリメトキシシランヒドリド、トリエトキシシランヒドリド、トリプロポキシシランヒドリド、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、プロピルトリエトキシシラン、ブチルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、γ-アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ-メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ジビニルジメトキシシラン、およびジビニルジエトキシシランなどが挙げられる。これらは一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。 Here, examples of the alkoxysilane compound represented by the general formula (1) include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetraisopropoxysilane, tetra-n-butoxysilane, and tetraisobutoxysilane. , Tetra-sec-butoxysilane, tetra-tert-butoxysilane, trimethoxysilane hydride, triethoxysilane hydride, tripropoxysilane hydride, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltripropoxysilane, methyltriisopropoxysilane , Ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, propyltriethoxysilane, butyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, γ-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, dimethyl Examples thereof include dimethoxysilane, methylphenyldimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, divinyldimethoxysilane, and divinyldiethoxysilane. These may be used alone or in combination of two or more.

この場合、アルコキシシラン化合物として、nが0である化合物、或いは、nが1または2でRが水素原子である化合物を完全加水分解すれば無機シリカ系硬化物が得られるし、部分加水分解すれば、ポリオルガノシロキサン系硬化物または無機シリカ系とポリオルガノシロキサン系との混合系硬化物が得られる。
一方、nが1または2で、Rが非加水分解性基である化合物では、非加水分解性基を有するので、部分または完全加水分解により、ポリオルガノシロキサン系硬化物が得られる。
クロロシラン化合物としては、エチルジクロロシラン、エチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、トリクロロシラン、トリメチルクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、およびメチルトリクロロシランなどが挙げられる。これらは一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
In this case, if the compound in which n is 0 or the compound in which n is 1 or 2 and R 1 is a hydrogen atom is completely hydrolyzed as the alkoxysilane compound, an inorganic silica-based cured product can be obtained and partially hydrolyzed. Then, a polyorganosiloxane-based cured product or a mixed-based cured product of an inorganic silica-based and a polyorganosiloxane-based product can be obtained.
On the other hand, a compound in which n is 1 or 2 and R 1 is a non-hydrolyzable group has a non-hydrolyzable group, so that a polyorganosiloxane-based cured product can be obtained by partial or complete hydrolysis.
Examples of the chlorosilane compound include ethyldichlorosilane, ethyltrichlorosilane, dimethyldichlorosilane, trichlorosilane, trimethylchlorosilane, dimethyldichlorosilane, and methyltrichlorosilane. These may be used alone or in combination of two or more.

シリカゾルは、シリカ微粒子が水または有機溶媒中で、ゾル状態で分散したものである。
かかる有機溶媒に特に制限はなく、メタノール、エタノール、イソプロパノール、エチレングリコール、n-プロピルセロソルブ、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジメチルアセトアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサン、ベンゼン、およびトルエンなどが挙げられる。これらは一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。これらの中でも、比較的沸点が高いという観点から、メチルイソブチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルがより好ましい。
The silica sol is a sol in which silica fine particles are dispersed in water or an organic solvent.
The organic solvent is not particularly limited, and examples thereof include methanol, ethanol, isopropanol, ethylene glycol, n-propyl cellosolve, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, dimethylacetamide, propylene glycol monomethyl ether, cyclohexane, benzene, and toluene. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, methyl isobutyl ketone and propylene glycol monomethyl ether are more preferable from the viewpoint of having a relatively high boiling point.

(B)疎水化シリカゾルは、シリカ粒子表面のシラノール基の一部又は全部が疎水性基を有する表面改質剤で処理されている疎水化シリカゾルであることを特徴とする。
ここで、表面改質剤としては、シリカ粒子表面上のシラノール基に対して、反応可能な官能基と、疎水基とを併せ持つシランカップリング剤が挙げられる。
(B)疎水化シリカゾルの市販品としては、例えば、CIKナノテック社製SIRPGM15WT%-E26などが挙げられる。
(B) The hydrophobic silica sol is characterized in that it is a hydrophobic silica sol treated with a surface modifier having a part or all of silanol groups on the surface of silica particles having a hydrophobic group.
Here, examples of the surface modifier include a silane coupling agent having both a functional group capable of reacting with a silanol group on the surface of silica particles and a hydrophobic group.
Examples of commercially available products of the (B) hydrophobicized silica sol include SIRPGM15WT% -E26 manufactured by CIK Nanotech.

(B)疎水化シリカゾルの疎水化度は、シリカゾルを、PETフィルム上に塗工し、溶剤を除去してシリカゾル塗膜を作成し、かかる塗膜に対する水の接触角を測定して判断した。
より具体的には、(B)疎水化シリカゾルの塗膜を形成した場合に、この塗膜に対する水の接触角は、100°以上であることが好ましい。
すなわち、シリカゾルの塗膜に対する水の接触角が100°以上の値であれば、シリカゾルの表面が疎水性であると判断できる。
ここで、図2に(B)疎水化シリカゾルの偏析状態を概念的に説明するための模式図を示す。
本実施形態に係る剥離剤層形成用材料を用いて塗膜を形成した場合、図2に示すように、疎水化シリカゾルPは、剥離剤層12内で、剥離剤層12の外表面12Aに多く存在し、基材11の第1の面11A付近および剥離剤層12内に存在する割合は低いことが理解される。
したがって、少量の疎水化シリカゾルの添加で、剥離剤層12の表面に、適度な表面粗さを付与できる。そのため、剥離フィルム1同士が重なって時間が経過した場合であっても、基材11の第2の面11Bと、剥離剤層12とのブロッキングが生じることを防止することができる。
すなわち、比較的少量の添加で所定のアンチブロッキング性の効果を発揮可能であるため、平滑性に優れる剥離剤層を形成できることが理解される。
なお、(B)疎水化シリカゾルの塗膜を形成した場合に、この塗膜に対する水の接触角は、100°以上130°以下であることがより好ましい。
一方、シリカゾルの塗膜を形成した場合に、この塗膜に対する水の接触角が100°未満の値となり、シリカゾルの親水性が高くなると、シリカゾルは、剥離剤層12の外表面12Aに偏析することなく、剥離剤層12内全体に分散した状態で存在することが確認されている。
したがって、剥離剤層12にアンチブロッキング性を付与できないことが理解される。
なお、シリカゾルの塗膜を形成した場合に、この塗膜に対する水の接触角を測定する方法は、実施例1において、具体的に説明する。
(B) Hydrophobicization The degree of hydrophobization of the silica sol was determined by applying the silica sol on a PET film, removing the solvent to prepare a silica sol coating film, and measuring the contact angle of water with respect to the coating film.
More specifically, when a coating film of (B) hydrophobic silica sol is formed, the contact angle of water with respect to this coating film is preferably 100 ° or more.
That is, if the contact angle of water with respect to the coating film of the silica sol is 100 ° or more, it can be determined that the surface of the silica sol is hydrophobic.
Here, FIG. 2 shows a schematic diagram for conceptually explaining the segregation state of (B) the hydrophobic silica sol.
When a coating film is formed using the material for forming the release agent layer according to the present embodiment, as shown in FIG. 2, the hydrophobic silica sol P is applied to the outer surface 12A of the release agent layer 12 in the release agent layer 12. It is understood that a large amount is present, and the proportion present in the vicinity of the first surface 11A of the base material 11 and in the release agent layer 12 is low.
Therefore, by adding a small amount of the hydrophobic silica sol, an appropriate surface roughness can be imparted to the surface of the release agent layer 12. Therefore, it is possible to prevent blocking between the second surface 11B of the base material 11 and the release agent layer 12 even when the release films 1 are overlapped with each other for a long time.
That is, it is understood that a release agent layer having excellent smoothness can be formed because a predetermined anti-blocking effect can be exhibited by adding a relatively small amount.
When a coating film of (B) hydrophobic silica sol is formed, the contact angle of water with respect to this coating film is more preferably 100 ° or more and 130 ° or less.
On the other hand, when a coating film of silica sol is formed, the contact angle of water with respect to this coating film becomes a value of less than 100 °, and when the hydrophilicity of the silica sol becomes high, the silica sol segregates on the outer surface 12A of the release agent layer 12. It has been confirmed that it exists in a dispersed state in the entire release agent layer 12 without any problem.
Therefore, it is understood that the release agent layer 12 cannot be imparted with anti-blocking property.
A method of measuring the contact angle of water with respect to the coating film when a coating film of silica sol is formed will be specifically described in Example 1.

(B)疎水化シリカゾルの平均粒子径は、10nm以上100nm以下であることが好ましい。平均粒子径が10nm以上であれば、剥離剤層12のアンチブロッキング性を更に向上できる。一方、平均粒子径が100nm以下であれば、剥離剤層12の外表面12Aの平滑性を確保できる。
したがって、(B)疎水化シリカゾルの平均粒子径は、10nm以上50nm以下であることがより好ましく、15nm以上40nm以下であることがさらに好ましい。
なお、(B)疎水化シリカゾルの平均粒子径は、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置を用いて求めた粒度分布における積算値50%での粒径(メジアン径D50)である。
(B) The average particle size of the hydrophobic silica sol is preferably 10 nm or more and 100 nm or less. When the average particle size is 10 nm or more, the antiblocking property of the release agent layer 12 can be further improved. On the other hand, when the average particle size is 100 nm or less, the smoothness of the outer surface 12A of the release agent layer 12 can be ensured.
Therefore, the average particle size of the (B) hydrophobic silica sol is more preferably 10 nm or more and 50 nm or less, and further preferably 15 nm or more and 40 nm or less.
The average particle size of (B) hydrophobic silica sol is the particle size (median diameter D50) at an integrated value of 50% in the particle size distribution obtained by using a laser diffraction / scattering type particle size distribution measuring device.

(B)疎水化シリカゾルの含有量は、固形分換算で、前記(A)エネルギー線硬化性化合物100質量部に対して、0.4質量部以上100質量部以下であることが好ましく、0.4質量部以上30質量部以下であることがより好ましく、0.4質量部以上10質量部以下であることが更により好ましく、0.4質量部以上3質量部以下であることが特に好ましい。含有量が前記下限以上であれば、剥離剤層12に十分なアンチブロッキング性を付与できる。他方、含有量が前記上限以下であれば、剥離剤層12と基材11との密着性を確保できる。 The content of the (B) hydrophobic silica sol is preferably 0.4 parts by mass or more and 100 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the (A) energy ray-curable compound in terms of solid content. It is more preferably 4 parts by mass or more and 30 parts by mass or less, further preferably 0.4 parts by mass or more and 10 parts by mass or less, and particularly preferably 0.4 parts by mass or more and 3 parts by mass or less. When the content is at least the above lower limit, sufficient antiblocking property can be imparted to the release agent layer 12. On the other hand, when the content is not more than the upper limit, the adhesion between the release agent layer 12 and the base material 11 can be ensured.

(剥離付与成分)
本実施形態に係る(C)剥離付与成分としては、例えば、シリコーン化合物、フッ素化合物、及び長鎖アルキル変性化合物等が挙げられる。これらは一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。特に、(C)剥離付与成分としては、シリコーン化合物が好ましく、直鎖状または分岐状の分子鎖を有するポリオルガノシロキサンが挙げられる。(C)剥離付与成分により、剥離剤層12の剥離性を付与できる。また、ポリオルガノシロキサンは、分子鎖の末端および側鎖の少なくともいずれかに、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、水酸基、チオール基、およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種を有する反応性官能基を有することが好ましい。また、ポリオルガノシロキサンは、前記反応性官能基が、直接または2価の連結基を介して、前記分子鎖中のケイ素原子と結合したものであることがより好ましい。前記反応性官能基は、1分子中に少なくとも1個有していればよい。
また、2価の連結基としては、例えば、アルキレン基、アルキレンオキシ基、オキシ基、イミノ基、カルボニル基およびそれらを組み合わせた2価の連結基などが挙げられる。
2価の連結基の炭素数は、1から30であることが好ましく、1から10であることがより好ましい。
また、ポリオルガノシロキサンは、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用することができる。
(Exfoliation imparting component)
Examples of the (C) peeling-imparting component according to the present embodiment include silicone compounds, fluorine compounds, and long-chain alkyl-modified compounds. These may be used alone or in combination of two or more. In particular, as the (C) exfoliating component, a silicone compound is preferable, and polyorganosiloxane having a linear or branched molecular chain can be mentioned. (C) The release-imparting component can impart the release property of the release agent layer 12. Further, the polyorganosiloxane has at least one selected from the group consisting of a (meth) acryloyl group, a vinyl group, a hydroxyl group, a thiol group, and a maleimide group at at least one of the terminal and side chains of the molecular chain. It is preferable to have a sex functional group. Further, the polyorganosiloxane is more preferably one in which the reactive functional group is bonded to a silicon atom in the molecular chain directly or via a divalent linking group. It suffices to have at least one reactive functional group in one molecule.
Examples of the divalent linking group include an alkylene group, an alkyleneoxy group, an oxy group, an imino group, a carbonyl group and a divalent linking group combining them.
The number of carbon atoms of the divalent linking group is preferably 1 to 30, and more preferably 1 to 10.
Further, the polyorganosiloxane can be used in combination of two or more kinds, if necessary.

このような反応性官能基で置換された変性ポリオルガノシロキサンは、(A)エネルギー線硬化性化合物が活性エネルギー線の照射により硬化する際に架橋構造に組み込まれて固定される。これにより、剥離剤層12の外表面12A側に形成されるグリーンシートへ、剥離剤層12の成分であるポリオルガノシロキサンの移行転着を抑制することができる。 The modified polyorganosiloxane substituted with such a reactive functional group is incorporated into the crosslinked structure and fixed when the (A) energy ray-curable compound is cured by irradiation with active energy rays. As a result, it is possible to suppress the transfer and transfer of the polyorganosiloxane, which is a component of the release agent layer 12, to the green sheet formed on the outer surface 12A side of the release agent layer 12.

(C)剥離付与成分を構成する反応性官能基以外の有機基としては、脂肪族不飽和結合を有しない同一または異種の1価の炭化水素基などが挙げられる。
1価の炭化水素基としては、炭素数が1から12のものが好ましく、炭素数が1から10のものがより好ましい。
1価の炭化水素基としては、アルキル基(メチル基、エチル基およびプロピル基など)、およびアリール基(フェニル基、トリル基など)などが挙げられる。
また、1価の炭化水素基としては、1価の炭化水素基のうちの80モル%以上がメチル基であることが好ましい。これにより、剥離剤層12の剥離性を特に優れたものとすることができる。
(C) Examples of the organic group other than the reactive functional group constituting the stripping-imparting component include the same or different monovalent hydrocarbon group having no aliphatic unsaturated bond.
The monovalent hydrocarbon group preferably has 1 to 12 carbon atoms, and more preferably 1 to 10 carbon atoms.
Examples of the monovalent hydrocarbon group include an alkyl group (methyl group, ethyl group, propyl group, etc.), an aryl group (phenyl group, tolyl group, etc.) and the like.
Further, as the monovalent hydrocarbon group, it is preferable that 80 mol% or more of the monovalent hydrocarbon groups are methyl groups. As a result, the peelability of the release agent layer 12 can be made particularly excellent.

(C)剥離付与成分の含有量は、固形分換算で、前記(A)エネルギー線硬化性化合物100質量部に対して、0.01質量部以上20質量部以下であることが好ましく、0.02質量部以上15質量部以下であることがより好ましく、0.05質量部以上10質量部以下であることが特に好ましい。含有量が前記下限以上であれば、剥離剤層12の剥離性を向上できる。他方、含有量が前記上限以下であれば、剥離剤層12の表面にセラミックスラリーを塗布したときに、セラミックスラリーをはじくことを抑制できる。 The content of the (C) peeling-imparting component is preferably 0.01 parts by mass or more and 20 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the (A) energy ray-curable compound in terms of solid content. It is more preferably 02 parts by mass or more and 15 parts by mass or less, and particularly preferably 0.05 parts by mass or more and 10 parts by mass or less. When the content is at least the above lower limit, the peelability of the release agent layer 12 can be improved. On the other hand, when the content is not more than the upper limit, it is possible to suppress the repelling of the ceramic slurry when the ceramic slurry is applied to the surface of the release agent layer 12.

(光重合開始剤)
剥離剤層形成用材料を硬化させるために、剥離剤層形成用材料は、(D)光重合開始剤を含んでいてもよい。(D)光重合開始剤を含有させることにより、剥離剤層形成用材料に対して活性エネルギー線を照射した際に、効率的に剥離剤層12を形成することができる。ここで、光重合開始剤とは、紫外線などの活性エネルギー線の照射により、ラジカル種を発生させる化合物をいう。
(Photopolymerization initiator)
In order to cure the material for forming the release agent layer, the material for forming the release agent layer may contain (D) a photopolymerization initiator. (D) By containing the photopolymerization initiator, the release agent layer 12 can be efficiently formed when the material for forming the release agent layer is irradiated with active energy rays. Here, the photopolymerization initiator refers to a compound that generates radical species by irradiation with active energy rays such as ultraviolet rays.

(D)光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン-n-ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2,2-ジエトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパノン-1-オン、4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル-2-(ヒドロキシ-2-プロピル)ケトン、ベンゾフェノン、p-フェニルベンゾフェノン、4,4-ジエチルアミノベンゾフェノン、ジクロロベンゾフェノン、2-メチルアントラキノン、2-エチルアントラキノン、2-ターシャリーブチルアントラキノン、2-アミノアントラキノン、2-メチルチオキサントン、2-エチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、p-ジメチルアミン安息香酸エステル、およびオリゴ[2-ヒドロキシ-2-メチル-1-[4-(1-メチルビニル)フェニル]プロパン]などが挙げられる。これらは一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the photopolymerization initiator (D) include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, acetophenone, dimethylaminoacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-. Phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) Phenyl] -2-morpholinopropanone-1-one, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl-2- (hydroxy-2-propyl) ketone, benzophenone, p-phenylbenzophenone, 4,4-diethylaminobenzophenone, dichlorobenzophenone , 2-Methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tertiary butylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone, 2-methylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethyl Examples thereof include thioxanthone, benzyldimethylketal, acetphenonedimethylketal, p-dimethylamine benzoic acid ester, and oligo [2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propane]. These may be used alone or in combination of two or more.

(D)光重合開始剤を用いる場合、その含有量は、固形分換算で、前記(A)エネルギー線硬化性化合物100質量部に対して、0.5質量部以上20質量部以下であることが好ましく、0.2質量部以上20質量部以下であることがより好ましく、0.5質量部以上15質量部以下であることが特に好ましい。含有量が前記範囲内であれば、剥離剤層12の厚さが、酸素阻害により硬化性が得られ難い範囲の厚さであっても、特に優れた硬化性を得ることができる。 When (D) a photopolymerization initiator is used, its content shall be 0.5 parts by mass or more and 20 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the (A) energy ray-curable compound in terms of solid content. Is more preferable, and it is more preferably 0.2 parts by mass or more and 20 parts by mass or less, and particularly preferably 0.5 parts by mass or more and 15 parts by mass or less. When the content is within the above range, particularly excellent curability can be obtained even if the thickness of the release agent layer 12 is within a range in which curability is difficult to obtain due to oxygen inhibition.

本実施形態に係る剥離剤層形成用材料は、前記(A)成分、前記(B)成分、前記(C)成分および前記(D)成分以外に、その他の成分を含んでいてもよい。その他の成分としては、例えば、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、帯電防止剤、重合促進剤、重合禁止剤、赤外線吸収剤、および可塑剤などが挙げられる。架橋剤としては、前記(A)成分の官能基に水酸基が用いられる場合には、多価イソシアネート化合物、多価エポキシ化合物、多価アジリジン化合物、および多価金属キレート化合物などを用いることができる。
その他の成分を用いる場合、その含有量は、固形分換算で、前記(A)エネルギー線硬化性化合物100質量部に対して、0.01質量部以上5質量部以下であることが好ましく、0.02質量部以上3質量部以下であることがより好ましく、0.05質量部以上2質量部以下であることが特に好ましい。
The material for forming the release agent layer according to the present embodiment may contain other components in addition to the component (A), the component (B), the component (C) and the component (D). Other components include, for example, cross-linking agents, antioxidants, UV absorbers, antistatic agents, polymerization accelerators, polymerization inhibitors, infrared absorbers, plasticizers and the like. As the cross-linking agent, when a hydroxyl group is used as the functional group of the component (A), a polyvalent isocyanate compound, a polyvalent epoxy compound, a polyvalent aziridine compound, a polyvalent metal chelate compound and the like can be used.
When other components are used, the content thereof is preferably 0.01 parts by mass or more and 5 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the (A) energy ray-curable compound in terms of solid content, and is 0. It is more preferably 0.02 parts by mass or more and 3 parts by mass or less, and particularly preferably 0.05 parts by mass or more and 2 parts by mass or less.

本実施形態に係る剥離剤層形成用材料は、前記(A1)成分および前記(B)成分などを混合し、分散させることにより製造できる。なお、剥離剤層形成用材料を製造する際には、必要に応じて、溶剤を配合してもよい。
本実施形態に係る溶剤としては、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、n-プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n-ブチルアルコール、イソブチルアルコール、ペンチルアルコール、エチルセロソルブ、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、シクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、テトラヒドロフラン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、および水などが挙げられる。これらは一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
The material for forming a release agent layer according to the present embodiment can be produced by mixing and dispersing the component (A1) and the component (B). When producing the material for forming the release agent layer, a solvent may be added if necessary.
Examples of the solvent according to the present embodiment include methyl alcohol, ethyl alcohol, n-propyl alcohol, isopropyl alcohol, n-butyl alcohol, isobutyl alcohol, pentyl alcohol, ethyl cellosolve, benzene, toluene, xylene, ethylbenzene, cyclohexane and ethyl. Included are cyclohexane, ethyl acetate, butyl acetate, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, tetrahydrofuran, propylene glycol monomethyl ether, water and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

(剥離フィルムの製造方法)
次に、前述した本実施形態の剥離フィルム1を製造する方法について説明する。
本実施形態の剥離フィルム1は、基材11を準備する基材準備工程と、剥離剤層形成用材料を塗布して乾燥させることで塗布層を形成する塗布層形成工程と、塗布層に、活性エネルギー線を照射して硬化させることにより剥離剤層12を形成する剥離剤層形成工程とを備える方法で製造できる。
(Manufacturing method of release film)
Next, a method for producing the release film 1 of the present embodiment described above will be described.
The release film 1 of the present embodiment has a base material preparation step of preparing the base material 11, a coating layer forming step of forming a coating layer by applying and drying a material for forming a release agent layer, and a coating layer. It can be produced by a method including a release agent layer forming step of forming a release agent layer 12 by irradiating with active energy rays and curing.

基材準備工程においては、基材11を準備する。
基材11の第1の面11Aに、表面処理を施すことができる。これにより、基材11と、基材11の第1の面11A側に設けられる剥離剤層12との密着性を特に優れたものとすることができる。
In the base material preparation step, the base material 11 is prepared.
The first surface 11A of the base material 11 can be surface-treated. As a result, the adhesion between the base material 11 and the release agent layer 12 provided on the first surface 11A side of the base material 11 can be made particularly excellent.

表面処理としては、例えば、コロナ放電処理、プラズマ放電処理、クロム酸化処理(湿式)、火炎処理、熱風処理、オゾン、および紫外線照射処理などが挙げられる。これらの表面処理は、基材11の種類に応じて適宜選ばれるが、一般にコロナ放電処理が効果および操作性の観点から好ましく用いられる。 Examples of the surface treatment include corona discharge treatment, plasma discharge treatment, chromium oxidation treatment (wet), flame treatment, hot air treatment, ozone, and ultraviolet irradiation treatment. These surface treatments are appropriately selected depending on the type of the base material 11, but in general, the corona discharge treatment is preferably used from the viewpoint of effectiveness and operability.

塗布層形成工程においては、前述の剥離剤層形成用材料を、基材11の第1の面11A上に塗布し、乾燥させる。これにより、塗布層を得る。
前述の剥離剤層形成用材料を用いれば、基材11の第1の面11Aの凹凸を埋めることができる。その結果、剥離剤層12の外表面12Aを平滑にすることができる。
In the coating layer forming step, the above-mentioned material for forming the release agent layer is applied onto the first surface 11A of the base material 11 and dried. As a result, a coating layer is obtained.
By using the above-mentioned material for forming the release agent layer, the unevenness of the first surface 11A of the base material 11 can be filled. As a result, the outer surface 12A of the release agent layer 12 can be smoothed.

剥離剤層形成用材料を塗布する方法としては、例えば、グラビアコート法、バーコート法、スプレーコート法、スピンコート法、エアーナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ゲートロールコート法、およびダイコート法などが挙げられる。
剥離剤層形成用材料を乾燥する方法としては、特に限定されないが、例えば、熱風乾燥炉などで乾燥する方法などが挙げられる。
Examples of the method of applying the material for forming the release agent layer include a gravure coating method, a bar coating method, a spray coating method, a spin coating method, an air knife coating method, a roll coating method, a blade coating method, a gate roll coating method, and a method. The die coat method and the like can be mentioned.
The method for drying the material for forming the release agent layer is not particularly limited, and examples thereof include a method of drying in a hot air drying furnace or the like.

乾燥条件としては、特に限定されないが、乾燥温度は、50℃以上130℃以下であることが好ましく、乾燥時間は5秒間以上1分間以下であることが好ましい。これにより、塗布層の不本意な変質を防ぐことができるとともに、塗布層を特に効率よく形成することができる。その結果、最終的に得られる剥離フィルム1の生産性を向上させることができる。また、乾燥温度が前記範囲内であると、剥離剤層形成用材料が溶剤などを含むものである場合に、乾燥時の溶剤などの蒸発を伴う、塗布層の反りまたはひびなどの発生を防止できる。 The drying conditions are not particularly limited, but the drying temperature is preferably 50 ° C. or higher and 130 ° C. or lower, and the drying time is preferably 5 seconds or longer and 1 minute or lower. This makes it possible to prevent unintentional deterioration of the coated layer and to form the coated layer particularly efficiently. As a result, the productivity of the finally obtained release film 1 can be improved. Further, when the drying temperature is within the above range, when the material for forming the release agent layer contains a solvent or the like, it is possible to prevent the coating layer from being warped or cracked due to evaporation of the solvent or the like during drying.

剥離剤層形成工程においては、前記塗布層形成工程に得られた塗布層に、活性エネルギー線を照射して硬化させることにより剥離剤層12を形成する。
この工程において、前記塗布層形成工程にて、基材11の第1の面11Aの凹凸を的確に埋め込んだ塗布層を、その外表面12Aの平滑性を保持したまま硬化する。その結果、外表面12Aが十分に平滑な剥離剤層12を得ることができる。また、剥離剤層形成用材料が、前述したような構成成分を含むことにより、適度の導電性を有する剥離剤層12を得ることができる。
In the release agent layer forming step, the release agent layer 12 is formed by irradiating the coating layer obtained in the coating layer forming step with active energy rays and curing the coating layer.
In this step, in the coating layer forming step, the coating layer in which the unevenness of the first surface 11A of the base material 11 is accurately embedded is cured while maintaining the smoothness of the outer surface 12A thereof. As a result, the release agent layer 12 having a sufficiently smooth outer surface 12A can be obtained. Further, when the material for forming the release agent layer contains the above-mentioned constituent components, the release agent layer 12 having appropriate conductivity can be obtained.

活性エネルギー線としては、例えば、電磁波(赤外線、可視光線、紫外線およびX線など)および粒子線(電子線、イオンビーム、中性子線およびα線など)などが挙げられる。これらの中でも、紫外線または可視光線を用いることが好ましく、紫外線を用いることがより好ましい。これにより、剥離剤層12を、より容易かつ確実に形成することができる。 Examples of the active energy beam include electromagnetic waves (infrared rays, visible rays, ultraviolet rays and X-rays, etc.) and particle beams (electron beams, ion beams, neutron beams, α-rays, etc.) and the like. Among these, it is preferable to use ultraviolet rays or visible light, and it is more preferable to use ultraviolet rays. This makes it easier and more reliable to form the release agent layer 12.

活性エネルギー線として紫外線が用いられる場合には、塗布層を硬化する硬化時間を十分に短くしつつ、塗布層を均一に硬化させることができる。また、活性エネルギー線を照射する手段としては、特に限定されず、種々の一般的手段を利用することができる。例えば光源としては、圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、およびエキシマランプなどの光源ランプを用いることができる。 When ultraviolet rays are used as the active energy rays, the coating layer can be uniformly cured while sufficiently shortening the curing time for curing the coating layer. Further, the means for irradiating the active energy rays is not particularly limited, and various general means can be used. For example, as the light source, a light source lamp such as a pressure mercury lamp, a metal halide lamp, and an excimer lamp can be used.

活性エネルギー線(紫外線)を照射する場合には、活性エネルギー線の照射量は、積算光量が30mJ/cm以上400mJ/cm以下であるのが好ましく、50mJ/cm以上300mJ/cm以下であることがより好ましい。また、活性エネルギー線の照度が0.1W/cm以上4.0W/cm以下であることが好ましい。紫外線の照射量および照度が前記範囲内であれば、塗布層をより均一にかつ確実に硬化させることができる。 When irradiating with active energy rays (ultraviolet rays), the irradiation amount of the active energy rays is preferably 30 mJ / cm 2 or more and 400 mJ / cm 2 or less, and 50 mJ / cm 2 or more and 300 m J / cm. It is more preferably 2 or less. Further, it is preferable that the illuminance of the active energy ray is 0.1 W / cm 2 or more and 4.0 W / cm 2 or less. When the irradiation amount and illuminance of ultraviolet rays are within the above ranges, the coating layer can be cured more uniformly and reliably.

(剥離フィルムの使用方法)
次に、前述した本実施形態の剥離フィルム1を使用する方法について説明する。
本実施形態の剥離フィルム1を用いてセラミックコンデンサを製造できる。セラミックコンデンサの製造方法としては、例えば、剥離フィルム1の剥離剤層12の表面に、セラミック粉末分散スラリーを塗布し、乾燥してグリーンシートを形成した後、剥離フィルム1から剥離したグリーンシートを積層し、焼成して得られたセラミックシートに電極を形成する方法が挙げられる。本実施形態の剥離フィルム1は、ブロッキングを起こしにくいため、剥離剤層12の外表面12Aおよび基材11の第2の面11Bの両方を高平滑にできる。これにより、本実施形態の剥離フィルム1を用いて形成されたグリーンシートによりセラミックコンデンサを形成すれば、短絡による不具合の発生が防止された信頼性の高いセラミックコンデンサを得ることができる。
(How to use the release film)
Next, a method of using the release film 1 of the present embodiment described above will be described.
A ceramic capacitor can be manufactured by using the release film 1 of the present embodiment. As a method for manufacturing a ceramic capacitor, for example, a ceramic powder dispersion slurry is applied to the surface of the release agent layer 12 of the release film 1 and dried to form a green sheet, and then the green sheet peeled from the release film 1 is laminated. Then, a method of forming an electrode on a ceramic sheet obtained by firing can be mentioned. Since the release film 1 of the present embodiment is less likely to cause blocking, both the outer surface 12A of the release agent layer 12 and the second surface 11B of the base material 11 can be made highly smooth. As a result, if the ceramic capacitor is formed from the green sheet formed by using the release film 1 of the present embodiment, it is possible to obtain a highly reliable ceramic capacitor in which the occurrence of defects due to a short circuit is prevented.

(実施形態の作用効果)
本実施形態によれば、次のような作用効果を奏することができる。
(1)(A)エネルギー線硬化性化合物を含有する剥離剤層形成用材料は、基材11の第1の面11Aの凹凸を容易に埋め込むことができ、その埋め込んだ状態を保持することができる。その結果、剥離剤層12の基材11と反対の外表面12A側に、基材11の凹凸が影響するのを防ぐことができ、剥離剤層12の外表面12Aを平滑にすることができる。
(2)(B)疎水化シリカゾルによれば、少ない含有量でも、剥離剤層12に十分なアンチブロッキング性を付与できる。そして、(B)疎水化シリカゾルを用いても、剥離剤層12の外表面12Aの平滑性を維持できる。さらに、(C)剥離付与成分により、剥離剤層12に剥離性も付与できる。
(Action and effect of the embodiment)
According to this embodiment, the following effects can be obtained.
(1) The material for forming the release agent layer containing the (A) energy ray-curable compound can easily embed the unevenness of the first surface 11A of the base material 11 and can maintain the embedded state. can. As a result, it is possible to prevent the unevenness of the base material 11 from affecting the outer surface 12A side opposite to the base material 11 of the release agent layer 12, and the outer surface 12A of the release agent layer 12 can be smoothed. ..
(2) According to (B) the hydrophobic silica sol, sufficient anti-blocking property can be imparted to the release agent layer 12 even with a small content. And even if (B) a hydrophobic silica sol is used, the smoothness of the outer surface 12A of the release agent layer 12 can be maintained. Further, the release-imparting component (C) can also impart releaseability to the release agent layer 12.

本実施形態に係るグリーンシート形成用剥離フィルムのより具体的な例としては、例えば、以下のようなグリーンシート形成用剥離フィルムの例が挙げられるが、本発明は、このような例に限定されない。
本実施形態に係るグリーンシート形成用剥離フィルムの一例として、基材と、前記基材の片面に設けられた剥離剤層とを備え、前記剥離剤層は、(A)エネルギー線硬化性化合物としての水酸基含有アクリル系化合物と、(B)疎水化シリカゾルと、(C)剥離付与成分としてのシリコーン化合物と、を含有する剥離剤形成用材料の硬化物からなる、グリーンシート形成用剥離フィルムが挙げられる。
本実施形態に係るグリーンシート形成用剥離フィルムの一例として、基材と、前記基材の片面に設けられた剥離剤層とを備え、前記剥離剤層は、(A)エネルギー線硬化性化合物としての水酸基含有アクリル系化合物と、(B)疎水化シリカゾルと、(C)剥離付与成分としてのシリコーン化合物と、(D)光重合開始剤と、を含有する剥離剤形成用材料の硬化物からなる、グリーンシート形成用剥離フィルムが挙げられる。
More specific examples of the release film for forming a green sheet according to the present embodiment include, for example, the following release film for forming a green sheet, but the present invention is not limited to such an example. ..
As an example of the release film for forming a green sheet according to the present embodiment, a substrate and a release agent layer provided on one side of the substrate are provided, and the release agent layer is used as (A) an energy ray-curable compound. A release film for forming a green sheet, which comprises a cured product of a release agent-forming material containing (B) a hydrophobic silica sol and (C) a silicone compound as a release-imparting component. Be done.
As an example of the release film for forming a green sheet according to the present embodiment, a substrate and a release agent layer provided on one side of the substrate are provided, and the release agent layer is used as (A) an energy ray-curable compound. Consists of a cured product of a release agent forming material containing (B) a hydrophobic silica sol, (C) a silicone compound as a release-imparting component, and (D) a photopolymerization initiator. , A release film for forming a green sheet.

[実施形態の変形]
本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれるものである。
例えば、前述の実施形態では、基材11は単層構造のものとして説明したが、これに限定されない。基材11は、同種または異種の2層以上の多層構造をなすものであってもよい。また、剥離剤層12についても同様に、単層構造のものとして説明したが、これに限定されない。剥離剤層12についても、同種または異種の2層以上の多層構造をなすものであってもよい。
また、例えば、前述した実施形態では、基材11の第1の面11Aに剥離剤層12を設けたグリーンシート形成用剥離フィルムについて説明したが、これに限定されない。基材11の第2の面11B側に剥離剤層12を設けてもよい。
[Modification of Embodiment]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and modifications, improvements, and the like to the extent that the object of the present invention can be achieved are included in the present invention.
For example, in the above-described embodiment, the base material 11 has been described as having a single-layer structure, but the substrate 11 is not limited thereto. The base material 11 may have a multilayer structure of two or more layers of the same type or different types. Further, the release agent layer 12 has also been described as having a single layer structure, but the present invention is not limited thereto. The release agent layer 12 may also have a multi-layered structure of two or more layers of the same type or different types.
Further, for example, in the above-described embodiment, the release film for forming a green sheet in which the release agent layer 12 is provided on the first surface 11A of the base material 11 has been described, but the present invention is not limited thereto. The release agent layer 12 may be provided on the second surface 11B side of the base material 11.

次に、本発明を実施例および比較例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。なお、実施例および比較例にて用いた材料を以下に示す。
((A)成分)
エネルギー線硬化性化合物:ペンタエリスリトールトリアクリレート、商品名「NKエステル A-TMM-3L」、新中村化学工業社製、固形分100質量%
((B)成分)
シリカゾルA:疎水化シリカゾル、平均粒子径30nm、商品名「SIRPGM15WT%-E26」、CIKナノテック社製
シリカゾルB:疎水化シリカゾル、平均粒子径30nm、商品名「SIRMIBK15WT%-E83」、CIKナノテック社製
(他の成分)
シリカゾルC:シリカゾル、平均粒子径100nm、商品名「SIRMIBK15WT%-K18」、CIKナノテック社製
シリカゾルD:シリカゾル、平均粒子径30nm、商品名「OSCAL-1632」、日揮触媒化成社製
シリカゾルE:シリカゾル、平均粒子径15nm、商品名「MIBK-ST」、日産化学工業社製
シリカゾルF:シリカゾル平均粒子径100nm、商品名「SIRMIBK-E65」、CIKナノテック社製
((C)成分)
剥離付与成分:商品名「SH-28」、東レ・ダウコーニング社製
((D)成分)
光重合開始剤:商品名「イルガキュア184」、BASF社製
Next, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these examples. The materials used in Examples and Comparative Examples are shown below.
((A) component)
Energy ray curable compound: Pentaerythritol triacrylate, trade name "NK ester A-TMM-3L", manufactured by Shin Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., solid content 100% by mass
((B) component)
Silica sol A: Hydrophobicized silica sol, average particle diameter 30 nm, trade name "SIRPGM15WT% -E26", CIK Nanotech silica sol B: Hydrophobicized silica sol, average particle diameter 30 nm, trade name "SIRMIBK15WT% -E83", CIK Nanotech (Other ingredients)
Silica sol C: Silica sol, average particle diameter 100 nm, trade name "SIRMIBK15WT% -K18", CIK Nanotech silica sol D: silica sol, average particle diameter 30 nm, trade name "OSCAL-1632", JGC Catalysts and Chemicals, Inc. silica sol E: silica sol , Average particle diameter 15 nm, trade name "MIBK-ST", Nissan Chemical Industry Co., Ltd. silica sol F: Silica sol average particle diameter 100 nm, trade name "SIRMIBK-E65", manufactured by CIK Nanotech Co., Ltd. ((C) component)
Detachable ingredient: Product name "SH-28", manufactured by Toray Dow Corning ((D) ingredient)
Photopolymerization Initiator: Trade Name "Irgacure 184", manufactured by BASF

[実施例1]
先ず、基材としてのポリエチレンテレフタレートフィルム(商品名「ルミラーU48」、東レ社製、厚さ:38μm、第1の面の算術平均粗さRa(Ra):2nm、第1の面の最大突起高さRp(Rp):15nm、第2の面の算術平均粗さRa(Ra):2nm、第2の面の最大突起高さRp(Rp):15nm)を準備した。
次に、エネルギー線硬化性化合物100質量部と、シリカゾルA0.4質量部と、剥離付与成分5質量部と、光重合開始剤5質量部と、を混合し、プロピレングリコールモノメチルエーテルで希釈して、固形分15質量%の剥離剤層形成用材料を得た。
次いで、得られた剥離剤層形成用材料をマイヤーバーで基材の第1の面上に塗布して、70℃で1分間乾燥させた後、高圧水銀ランプを用いて、紫外線を照射(積算光量:300mJ/cm)して剥離剤層(厚さ:1μm)を形成し、グリーンシート形成用剥離フィルムを得た。
[Example 1]
First, a polyethylene terephthalate film as a base material (trade name "Lumilar U48", manufactured by Toray Industries, Inc., thickness: 38 μm, arithmetic average roughness Ra (Ra 1 ) of the first surface: 2 nm, maximum protrusion of the first surface. Height Rp (Rp 1 ): 15 nm, arithmetic mean roughness Ra (Ra 2 ) of the second surface: 2 nm, maximum protrusion height Rp (Rp 2 ) of the second surface: 15 nm) were prepared.
Next, 100 parts by mass of the energy ray-curable compound, 0.4 parts by mass of silica sol A, 5 parts by mass of the peeling-imparting component, and 5 parts by mass of the photopolymerization initiator were mixed and diluted with propylene glycol monomethyl ether. , A material for forming a release agent layer having a solid content of 15% by mass was obtained.
Next, the obtained material for forming the release agent layer was applied on the first surface of the base material with a Meyer bar, dried at 70 ° C. for 1 minute, and then irradiated with ultraviolet rays using a high-pressure mercury lamp (integration). The amount of light was 300 mJ / cm 2 ) to form a release agent layer (thickness: 1 μm), and a release film for forming a green sheet was obtained.

[実施例2~7および比較例1~5]
表1に示す組成に従い各材料を配合した以外は実施例1と同様にして、剥離剤層形成用材料を得た。
また、得られた剥離剤層形成用材料を用いた以外は実施例1と同様にして、グリーンシート形成用剥離フィルムを作製した。
[Examples 2 to 7 and Comparative Examples 1 to 5]
A material for forming a release agent layer was obtained in the same manner as in Example 1 except that each material was blended according to the composition shown in Table 1.
Further, a release film for forming a green sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that the obtained material for forming a release agent layer was used.

[シリカゾルおよび剥離フィルムの評価]
シリカゾルの評価(シリカゾルの接触角)、および、剥離フィルムの評価(アンチブロッキング性、剥離剤層の表面粗さ、および剥離剤層の弾性率)を以下のような方法で行った。得られた結果を表1に示す。
(1)シリカゾルの接触角
実施例および比較例で用いたシリカゾルを用いて、平坦なガラス基板上にシリカゾル塗膜を形成した。そして、ガラス基板を静置し、ガラス基板の傾きを0度としたときに、水滴2μLを滴下し、液滴が静止したところで、Youngの式にて水接触角を求めた。
(2)アンチブロッキング性
剥離フィルムを100mm×100mmの大きさに切り出し、2枚以上の同じ剥離フィルムを重ねる。そこに、10kg/mとなるように荷重をかけ、5日後に重ね合わせた
剥離フィルムを蛍光灯下、目視にてブロッキングの有無を確認した。そして、以下の基準に従って、アンチブロッキング性を評価した。
A:フィルム面同士の貼り付きが生じていない。
B:フィルム面同士の貼り付きが生じている。
[Evaluation of silica sol and release film]
The evaluation of the silica sol (contact angle of the silica sol) and the evaluation of the release film (anti-blocking property, surface roughness of the release agent layer, and elastic modulus of the release agent layer) were performed by the following methods. The results obtained are shown in Table 1.
(1) Contact angle of silica sol Using the silica sol used in Examples and Comparative Examples, a silica sol coating film was formed on a flat glass substrate. Then, when the glass substrate was allowed to stand still and the inclination of the glass substrate was set to 0 degrees, 2 μL of water droplets were dropped, and when the droplets were stationary, the water contact angle was determined by Young's formula.
(2) Anti-blocking property A release film is cut into a size of 100 mm × 100 mm, and two or more sheets of the same release film are laminated. A load was applied to the film so as to be 10 kg / m 2 , and after 5 days, the laminated release films were visually confirmed to have blocking under a fluorescent lamp. Then, the anti-blocking property was evaluated according to the following criteria.
A: There is no sticking between the film surfaces.
B: The film surfaces are stuck to each other.

(3)剥離剤層の表面粗さ
剥離フィルムの剥離剤層の表面粗さ(算術平均粗さRaおよび最大突起高さRp、単位:nm)を、Veeco社製の光干渉式表面粗さ計「WYKO-1100」を用いて、PSIモードで、レンズ倍率50倍の条件で、測定した。
(4)剥離剤層の弾性率
ナノインデンター(MTS社製、商品名「Nano Indenter SA4」)を用い、圧子の最大押込み深さ100nm、歪速度0.05sec-1、変位振幅2nm、振動周波数45Hzの条件にてナノインデンテーション試験を行い、上記剥離フィルムの被膜弾性率を測定した。
(3) Surface Roughness of Release Agent Layer The surface roughness of the release agent layer of the release film (arithmetic mean roughness Ra 0 and maximum protrusion height Rp 0 , unit: nm) is determined by the optical interferometry surface roughness manufactured by Veeco. Measurement was performed using a meter "WYKO-1100" in PSI mode under the condition of a lens magnification of 50 times.
(4) Elastic modulus of the release agent layer Using a nano indenter (manufactured by MTS, trade name "Nano Indenter SA4"), the maximum indentation depth of the indenter is 100 nm, the strain rate is 0.05 sec -1 , the displacement amplitude is 2 nm, and the vibration frequency. A nanoindentation test was performed under the condition of 45 Hz, and the film elastic modulus of the release film was measured.

Figure 0007046053000001
Figure 0007046053000001

表1に示す結果からも明らかなように、疎水化シリカゾルを含有する剥離剤形成用材料を用いた場合(実施例1~7)には、剥離剤層および基材の第2の面がともに高平滑であっても、十分なアンチブロッキング性を有するグリーンシート形成用剥離フィルムが得られることが確認された。 As is clear from the results shown in Table 1, when the release agent forming material containing the hydrophobic silica sol is used (Examples 1 to 7), both the release agent layer and the second surface of the base material are both. It was confirmed that a release film for forming a green sheet having sufficient anti-blocking property can be obtained even with high smoothness.

本発明のグリーンシート形成用剥離フィルムは、セラミックグリーンシートを成形する技術として好適に用いることができる。 The release film for forming a green sheet of the present invention can be suitably used as a technique for molding a ceramic green sheet.

1…剥離フィルム、11…基材、12…剥離剤層、12A…剥離剤層の外表面。 1 ... Release film, 11 ... Base material, 12 ... Release agent layer, 12A ... Outer surface of the release agent layer.

Claims (4)

グリーンシートの形成に用いられるグリーンシート形成用剥離フィルムであって、
基材と、前記基材の片面に設けられた剥離剤層とを備え、
前記剥離剤層は、(A)エネルギー線硬化性化合物と、(B)疎水化シリカゾルと、(C)剥離付与成分と、を含有する剥離剤形成用材料の硬化物からなり、
前記(B)疎水化シリカゾルの塗膜を形成した場合、前記塗膜に対する水の接触角が100°以上であり、
前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さRaが8nm以下であり、かつ、前記剥離剤層の外表面の最大突起高さRpが50nm以下である
ことを特徴とするグリーンシート形成用剥離フィルム。
A release film for forming a green sheet used for forming a green sheet.
A base material and a release agent layer provided on one side of the base material are provided.
The release agent layer is composed of a cured product of a release agent forming material containing (A) an energy ray-curable compound, (B) a hydrophobic silica sol, and (C) a release-imparting component .
When the coating film of the (B) hydrophobic silica sol is formed, the contact angle of water with respect to the coating film is 100 ° or more.
The arithmetic average roughness Ra of the outer surface of the release agent layer is 8 nm or less, and the maximum protrusion height Rp of the outer surface of the release agent layer is 50 nm or less.
A release film for forming a green sheet.
請求項1に記載のグリーンシート形成用剥離フィルムにおいて、
前記(B)疎水化シリカゾルの平均粒子径が、10nm以上100nm以下である
ことを特徴とするグリーンシート形成用剥離フィルム。
In the release film for forming a green sheet according to claim 1,
A release film for forming a green sheet, wherein the average particle size of the (B) hydrophobic silica sol is 10 nm or more and 100 nm or less.
請求項1または請求項2に記載のグリーンシート形成用剥離フィルムにおいて、
前記剥離剤層の平均厚さが、0.2μm以上2μm以下である
ことを特徴とするグリーンシート形成用剥離フィルム。
In the release film for forming a green sheet according to claim 1 or 2 .
A release film for forming a green sheet, wherein the average thickness of the release agent layer is 0.2 μm or more and 2 μm or less.
請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のグリーンシート形成用剥離フィルムにおいて、The release film for forming a green sheet according to any one of claims 1 to 3.
前記(C)剥離付与成分は、直鎖状または分岐状の分子鎖を有するポリオルガノシロキサンであり、前記ポリオルガノシロキサンは、分子鎖の末端および側鎖の少なくともいずれかに、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、水酸基、チオール基、およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種を有する反応性官能基を有するThe (C) peeling-imparting component is a polyorganosiloxane having a linear or branched molecular chain, and the polyorganosiloxane has a (meth) acryloyl group at at least one of the terminal and side chains of the molecular chain. Has a reactive functional group having at least one selected from the group consisting of a vinyl group, a hydroxyl group, a thiol group, and a maleimide group.
ことを特徴とするグリーンシート形成用剥離フィルム。A release film for forming a green sheet.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6852720B2 (en) * 2017-10-12 2021-03-31 東洋紡株式会社 Release film for manufacturing ceramic green sheets
CN116120617A (en) * 2023-02-20 2023-05-16 江苏裕兴薄膜科技股份有限公司 MLCC release film and preparation method thereof

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013060481A (en) 2011-09-12 2013-04-04 Konica Minolta Advanced Layers Inc Method for manufacturing hard coat film
JP2013134282A (en) 2011-12-26 2013-07-08 Konica Minolta Inc Hard coat film, method for manufacturing hard coat film and polarizing plate
JP2015096297A (en) 2013-11-15 2015-05-21 リンテック株式会社 Hard coat film, transparent electroconductive film and capacitance touch panel
JP2015195291A (en) 2014-03-31 2015-11-05 リンテック株式会社 Release film for ceramic green sheet production process
JP2016127091A (en) 2014-12-26 2016-07-11 積水化学工業株式会社 Mold releasing film for semiconductor mold
JP2017505250A (en) 2013-11-11 2017-02-16 東レ・ダウコーニング株式会社 High energy ray-curable acryloxy functional silicone composition for release film for dielectric ceramic forming material, and release film for dielectric ceramic forming material using the same

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57147525A (en) * 1981-03-06 1982-09-11 Mitsubishi Petrochem Co Ltd Preparation of synthetic resin formed article having excellent anti-fogging property
JP3795981B2 (en) * 1996-12-11 2006-07-12 積水化学工業株式会社 Water-dispersed release agent composition
JP2004255704A (en) 2003-02-26 2004-09-16 Teijin Dupont Films Japan Ltd Release film
CN101967350B (en) * 2010-11-03 2013-01-30 厦门威亮光学涂层技术有限公司 Wear-resistant coating material without primer on polycarbonate surface and preparation method thereof
US20150064402A1 (en) * 2012-03-30 2015-03-05 Lintec Corporation Release film for producing green sheet

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013060481A (en) 2011-09-12 2013-04-04 Konica Minolta Advanced Layers Inc Method for manufacturing hard coat film
JP2013134282A (en) 2011-12-26 2013-07-08 Konica Minolta Inc Hard coat film, method for manufacturing hard coat film and polarizing plate
JP2017505250A (en) 2013-11-11 2017-02-16 東レ・ダウコーニング株式会社 High energy ray-curable acryloxy functional silicone composition for release film for dielectric ceramic forming material, and release film for dielectric ceramic forming material using the same
JP2015096297A (en) 2013-11-15 2015-05-21 リンテック株式会社 Hard coat film, transparent electroconductive film and capacitance touch panel
JP2015195291A (en) 2014-03-31 2015-11-05 リンテック株式会社 Release film for ceramic green sheet production process
JP2016127091A (en) 2014-12-26 2016-07-11 積水化学工業株式会社 Mold releasing film for semiconductor mold

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