JP7045382B2 - 顕微鏡の検出光のための光学グループ、顕微鏡法のための方法、及び顕微鏡 - Google Patents
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Description
2 第2ビーム路
5 座標系
10 ピンホールストップの平面(ピンホール平面)、入力ピンホールストップ
12 第1収束レンズ
14 第1収束レンズの下流の検出ビーム
16 調節可能マルチレンズアレイ
17 両矢印:調節可能マルチレンズアレイの運動
18 マルチレンズアレイの下流の検出ビーム
20 第2収束レンズ
22 調節可能ミラー
23 両矢印:調節可能ミラーの運動
24 第2収束レンズの下流の検出ビーム
26 プリズム
28 プリズムの下流の検出ビーム
30 第3収束レンズ
32 第3収束レンズの下流の検出ビーム
34 第1発散レンズ
36 第4収束レンズ
42、44、46 第4収束レンズの下流のスペクトル分割部分ビーム
43、45、47 マイクロミラーアレイ49から反射された部分ビーム42、44、46
48 スペクトル選択平面
49 スペクトル選択平面内のマイクロミラーアレイ
50、51、52 マイクロミラーアレイ49のマイクロミラー
53 矢印:スペクトル選択平面を通って進む検出光
54 スペクトル選択平面からの後方に反射された検出光
56 プリズムを通る更新通過後の検出光
57 ミラー(固定して設定されるべき)
58 第5収束レンズ
59 第5収束レンズの下流の検出光
60 第2発散レンズ
62、64 第2発散レンズの下流の検出光
66 第6収束レンズ
67 検出平面
68 空間分解検出器
69 空間分解検出器の画素
70 空間分解検出器の受動的に設定された領域
71~78 検出部分ビームのスペクトル分割光点
79 高並列共焦点作動における光点
80 広視野画像
100 本発明に従う検出装置
Claims (24)
- 顕微鏡の検出光のための光学グループであって、前記光学グループは、
入力平面(10)から測定されるべき検出光(11)を、前記入力平面(10)に光学的に共役である検出平面(67)中に誘導するように機能する検出ビーム路を有しており、
前記検出ビーム路は、前記入力平面(10)を前記検出平面(67)中に撮像するための第1光学ビーム誘導手段としての第1レンズ及び/又はミラー(20、30、34、36、58、60、66)を有する少なくとも1つの第1ビーム路(1)を備える、光学グループにおいて、
測定されるべき検出光(24)を空間スペクトル分割するための少なくとも1つの分散デバイス(26)が、前記第1ビーム路(1)内に存在することと、
空間スペクトル分割された検出光(42、44、46)の少なくとも1つのスペクトル成分を選択するための、調節可能ビーム偏向手段(50、51、52)を有する操作デバイス(49)が、前記第1ビーム路(1)内に存在することと、
前記操作デバイス(49)が、前記入力平面(10)と前記検出平面(67)に光学的に共役であるスペクトル選択平面(48)に配列されていることと、
検出光(11)を測定するための2次元の空間分解区画化検出器(68)が、前記検出平面(67)に配列されていることと、
前記操作デバイス(49)により選択された検出光(54)が前記分散デバイス(26)を通って逆に戻るように、前記操作デバイス(49)により選択された検出光(54)が、異なる調整可能な角度で放射されて戻されることが可能であることと、
前記分散デバイス(26)及び前記操作デバイス(49)と共に前記第1光学ビーム誘導手段(20、30、34、36、58、60、66)は、前記入力平面(10)のスペクトル空間分離され、スペクトル選択され、回折制限された撮像を前記検出平面(67)中に生成するように配列され構成されていることと、を特徴とする、光学グループ。 - 前記検出ビーム路は、前記検出光(11)を前記検出平面(67)中に誘導するための第2光学ビーム誘導手段としてのレンズ及び/又はミラー(60、66)を有する第2ビーム路(2)を備えることと、
前記第2光学ビーム誘導手段(20、22、58、60、66)は、前記入力平面(10)の回折制限された撮像を前記検出平面(67)中に生成するように配列され構成されていることと、
選択デバイス(22)が、前記測定されるべき検出光のための前記第1ビーム路(1)又は前記第2ビーム路(2)を選択するために存在していることと、を特徴とする、請求項1に記載の光学グループ。 - 測定されるべき検出光(11)を受け入れるための入力ピンホールストップとしての共焦点ピンホールが、前記入力平面(10)内に配列されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の光学グループ。
- 前記選択デバイス(22)は、調節可能ミラーであり、前記調節可能ミラーは、前記検出ビーム路中に移動可能である及びそれから外に移動可能である(23)ことを特徴とする、請求項2に記載の光学グループ。
- 前記調節可能ミラー(22)は、前記検出ビーム路の平行光の部分中に移動可能であることを特徴とする、請求項4に記載の光学グループ。
- 前記スペクトル選択平面(48)内の前記操作デバイス(49)の前記ビーム偏向手段(50、51、52)は、マイクロミラーアレイ、SLM(光空間変調器)、DMD(DMD=デジタルミラーデバイス)及び/又はMEMS(MEMS=微小電気機械システム)によって形成されていることを特徴とする、請求項1~5のいずれか1項に記載の光学グループ。
- 少なくとも1つの第2検出器が、前記スペクトル選択平面(48)を通って進む検出光を検出するために、前記スペクトル選択平面(48)の下流に配列されていることを特徴とする、請求項1~6のいずれか1項に記載の光学グループ。
- 前記分散デバイス(26)は、プリズムであることを特徴とする、請求項1~7のいずれか1項に記載の光学グループ。
- 前記空間分解区画化検出器(68)が、1つの冷却可能なSPAD検出器(SPAD=単一光子アバランシェフォトダイオードアレイ)であることを特徴とする、請求項1~8のいずれか1項に記載の光学グループ。
- 前記空間分解区画化検出器(68)が、複数の光電子増倍管によって形成され、前記複数の光電子増倍管まで、前記検出光が、光ファイバの束を経由して送られることを特徴とする、請求項1~8のいずれか1項に記載の光学グループ。
- 前記空間分解区画化検出器(68)が、半導体検出器としてのCCD又はCMOS検出器であることを特徴とする、請求項1~8のいずれか1項に記載の光学グループ。
- 前記空間分解区画化検出器(68)は、上流の画像増幅器としての上流のマルチチャネルプレートを有するカメラであることを特徴とする、請求項1~8のいずれか1項に記載の光学グループ。
- 少なくとも1つの2次元のマルチレンズアレイ(16)が存在することと、
調節デバイス(17)が、前記マルチレンズアレイ(16)を前記検出ビーム路中に及びそれから外に動かすために存在することと、を特徴とする請求項1~12のいずれか1項に記載の光学グループ。 - 請求項1~13のいずれか1項に記載の光学グループを用いる顕微鏡法のための方法であって、
顕微鏡内の試料を照明ビーム路内の照明光によって照射するステップと、
測定されるべき検出光(11)を収集するステップであって、前記測定されるべき検出光を、前記試料が前記照明光によって照射されるために放出する、ステップと、
前記測定されるべき検出光(11)を、前記光学グループ(100)の前記入力平面(10)としての前記入力ピンホールストップを通して誘導するステップと、
前記検出光(11)を、前記光学グループ(100)の前記検出平面(67)内に配列された少なくとも1つの検出器(68)によって測定するステップと、が実行される方法。 - スペクトル分解多点走査顕微鏡法のために、前記試料は、前記照明光の複数のスポットであって1つの直線内にあるスポットによって同時に走査されることであって、マルチレンズアレイ(16)が、前記入力平面(10)の下流の前記検出ビーム路内に設置され、前記マルチレンズアレイ(16)のレンズの数が、前記試料がそれによって走査される前記照明光のスポットの数に少なくとも等しい、ことと、
選択デバイス(22)が、前記測定されるべき検出光(11)のための前記第1ビーム路(1)を選択することと、
前記照明光の個々のスポットに帰属させられる前記検出光のビームが、スペクトル空間分割され、このように取得された操作ビーム(42、44、46)が、前記操作デバイス(49)によって、前記スペクトル選択平面内で操作されることと、
前記操作されたビームが、検出されることと、を特徴とする、請求項14に記載の方法。 - 前記照明光の個々のスポットに帰属させられるビームを前記スポットのうちの少なくとも1つについて操作することが、少なくとも1つの単一のスペクトル成分を選択することであることを特徴とする、請求項15に記載の方法。
- 前記操作ビーム(43、45、47)が、反対方向に再び前記第1ビーム路(1)内の前記分散デバイス(26)を通って進むことを特徴とする、請求項15又は16に記載の方法。
- 直接撮像(広視野顕微鏡法)のために、前記試料が、少なくとも視野領域内で照明光によって同時に照射されることと、
選択デバイス(22)が、前記測定されるべき検出光(11)のための第2ビーム路(2)を選択することであって、前記視野領域は、前記空間分解区画化検出器(68)上に撮像されることと、を特徴とする、請求項14に記載の方法。 - 前記視野領域は、前記試料にわたって走査されることを特徴とする、請求項18に記載の方法。
- 高並列多点走査顕微鏡法のために、前記試料は、前記照明光の多くのスポットによって同時に走査され、前記照明光の多くのスポットは、2次元パターンに配列されていることであって、1つの2次元マルチレンズアレイ(16)が、前記入力平面(10)の下流の前記検出ビーム路内に設置され、前記マルチレンズアレイ(16)のレンズの数が、前記試料がそれによって走査される前記照明光のスポットの数に少なくとも等しい、ことと、
選択デバイス(22)が、前記測定されるべき検出光(11)のための第2ビーム路(2)を選択することと、
前記照明光の個々のスポットに帰属させられる前記検出光(79)のビームが、検出されることと、を特徴とする、請求項14に記載の方法。 - 回析要素としてのSLM(光空間変調器)又はダンマン格子が、前記照明ビーム路の瞳平面内の照明のために設置されていることを特徴とする、請求項20に記載の方法。
- 1つの冷却されるSPAD検出器(SPAD=単一光子アバランシェフォトダイオードアレイ)が、前記空間分解区画化検出器(68)として用いられることを特徴とする、請求項14~21のいずれか1項に記載の方法。
- 前記空間分解区画化検出器(68)が前記SPAD検出器(68)(SPAD=単一光子アバランシェフォトダイオードアレイ)である場合、それぞれ必要とされる信号生成のために用いられるそれらの画素だけが作動させられることを特徴とする、請求項22に記載の方法。
- 少なくとも1つのマイクロ対物レンズを有する照明ビーム路と、請求項1~13のいずれか1項に記載の光学グループと、前記光学グループ(100)の前記検出平面(67)内に配列された少なくとも1つの検出器(68)と、を有する顕微鏡。
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