JP7043523B2 - マルチカソード基板処理のための方法および装置 - Google Patents
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Description
Claims (13)
- プロセスチャンバであって、
内部容積を画定するチャンバ本体と、
前記内部容積内で基板を支持するための基板支持体と、
前記チャンバ本体に結合され、複数のターゲットを有する複数のカソードと、
前記チャンバ本体の上方部分に回転可能に結合されたシールドであって、プロセスにおいてスパッタされる前記複数のターゲットのうちの少なくとも1つを露出させるための少なくとも1つの孔、および前記プロセスにおいてスパッタされない前記複数のターゲットのうちの少なくとも別の1つを収容しシールドするための前記シールドの上面に配置された少なくとも1つの磁場シャント、を有するシールドと、
を備え、
前記シールドが前記少なくとも1つの磁場シャントを支持する取り付けアームを有し、前記取り付けアームが前記シールドから取り外し可能であり、前記シールドが前記プロセスチャンバの中心軸を中心に回転し、この中心軸に沿って直線的に移動するように構成されている、
プロセスチャンバ。 - 前記複数のカソードが3つのRFカソードおよび3つのDCカソードを含む、請求項1に記載のプロセスチャンバ。
- 前記複数のターゲットが前記基板支持体に平行に配置されている、請求項1に記載のプロセスチャンバ。
- 前記複数のターゲットが6つのターゲットを含む、請求項3に記載のプロセスチャンバ。
- 前記6つのターゲットが3つの誘電体ターゲットおよび3つの金属ターゲットを含む、請求項4に記載のプロセスチャンバ。
- 前記シールドが3つの隣接しない孔を含む、請求項5に記載のプロセスチャンバ。
- 前記6つのターゲットが2つの隣接する誘電体ターゲットと、第1の金属で形成された2つの隣接する第1の金属ターゲットと、第2の金属で形成された2つの隣接する第2の金属ターゲットと、を含む、請求項4に記載のプロセスチャンバ。
- 前記チャンバ本体の上方部分に結合されたチャンバ本体アダプタであって、接地されている、チャンバ本体アダプタと、
前記シールドを接地するために前記シールドと前記チャンバ本体アダプタとの間に配置された従順な接触面を有する複数の接地ループと、
をさらに備える、請求項1に記載のプロセスチャンバ。 - プロセスチャンバであって、
内部容積を画定するチャンバ本体と、
前記チャンバ本体の上方部分に結合されたチャンバ本体アダプタであって、接地されている、チャンバ本体アダプタと、
前記内部容積内で基板を支持するための基板支持体と、
前記チャンバ本体アダプタに結合され、複数のターゲットを有する複数のカソードと、
前記チャンバ本体アダプタに回転可能に結合されたシールドであって、プロセスにおいてスパッタされている前記複数のターゲットのうちの少なくとも1つを露出させるための少なくとも1つの孔、および前記プロセスにおいてスパッタされていない前記複数のターゲットのうちの少なくとも別の1つを収容するための少なくとも1つの磁場シャント、を有するシールドであり、前記少なくとも1つの磁場シャントを支持する取り付けアームを有し、前記取り付けアームが前記シールドから取り外し可能であり、前記プロセスチャンバの中心軸を中心に回転し、この中心軸に沿って直線的に移動するように構成されている、シールドと、
前記シールドを接地するために前記シールドと前記チャンバ本体アダプタとの間に配置された従順な接触面を有する複数の接地ループと、
を備え、
前記複数のターゲットが少なくとも1つの誘電体ターゲットおよび少なくとも1つの金属ターゲットを含む、
プロセスチャンバ。 - 前記複数のターゲットが6つのターゲットを含む、請求項9に記載のプロセスチャンバ。
- 前記6つのターゲットが3つの誘電体ターゲットおよび3つの金属ターゲットを含む、請求項10に記載のプロセスチャンバ。
- 前記シャントがミュー合金またはステンレス鋼をベースにした材料で作られている、請求項9に記載のプロセスチャンバ。
- プロセスチャンバにおいて基板を処理するための装置であって、
前記プロセスチャンバのチャンバ本体に回転可能に結合されるように構成可能なシールドであって、スパッタされる複数のターゲットのうちの少なくとも1つを露出させるための少なくとも1つの孔、およびスパッタされない複数のターゲットのうちの少なくとも1つをシールドするための少なくとも1つの磁場シャント、を有するシールドであり、前記少なくとも1つの磁場シャントを支持する取り付けアームを有し、前記取り付けアームが前記シールドから取り外し可能であり、前記プロセスチャンバの中心軸を中心に回転し、この中心軸に沿って直線的に移動するように構成可能である、シールド
を備える、プロセスチャンバにおいて基板を処理するための装置。
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---|---|---|---|---|
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US11249390B2 (en) | 2019-01-31 | 2022-02-15 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
US11639544B2 (en) | 2019-03-01 | 2023-05-02 | Applied Materials, Inc. | Physical vapor deposition system and processes |
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TWI818151B (zh) * | 2019-03-01 | 2023-10-11 | 美商應用材料股份有限公司 | 物理氣相沉積腔室及其操作方法 |
US11275303B2 (en) | 2019-05-22 | 2022-03-15 | Applied Materials Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber matertals |
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TW202104666A (zh) | 2019-05-22 | 2021-02-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 極紫外光遮罩吸收劑材料 |
US11366379B2 (en) | 2019-05-22 | 2022-06-21 | Applied Materials Inc. | Extreme ultraviolet mask with embedded absorber layer |
KR20210006725A (ko) * | 2019-07-09 | 2021-01-19 | 삼성전자주식회사 | 스퍼터링 장치 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법 |
US11385536B2 (en) | 2019-08-08 | 2022-07-12 | Applied Materials, Inc. | EUV mask blanks and methods of manufacture |
TW202122909A (zh) | 2019-10-25 | 2021-06-16 | 美商應用材料股份有限公司 | 減少極紫外遮罩毛坯缺陷之方法 |
US11630385B2 (en) | 2020-01-24 | 2023-04-18 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
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US20210230739A1 (en) * | 2020-01-27 | 2021-07-29 | Applied Materials, Inc. | Physical Vapor Deposition Apparatus And Methods With Gradient Thickness Target |
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US11489110B2 (en) * | 2020-04-10 | 2022-11-01 | Applied Materials, Inc. | Methods for treating magnesium oxide film |
US11644741B2 (en) | 2020-04-17 | 2023-05-09 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
US11300871B2 (en) | 2020-04-29 | 2022-04-12 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
US11443921B2 (en) * | 2020-06-11 | 2022-09-13 | Applied Materials, Inc. | Radio frequency ground system and method |
US11609490B2 (en) | 2020-10-06 | 2023-03-21 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
US11513437B2 (en) | 2021-01-11 | 2022-11-29 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
US11592738B2 (en) | 2021-01-28 | 2023-02-28 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet mask absorber materials |
US11815803B2 (en) | 2021-08-30 | 2023-11-14 | Applied Materials, Inc. | Multilayer extreme ultraviolet reflector materials |
US11782337B2 (en) | 2021-09-09 | 2023-10-10 | Applied Materials, Inc. | Multilayer extreme ultraviolet reflectors |
US20230260770A1 (en) * | 2022-02-16 | 2023-08-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Semiconductor tool for copper deposition |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012149339A (ja) | 2010-12-28 | 2012-08-09 | Canon Anelva Corp | スパッタリング装置、及び電子デバイスの製造方法 |
JP2012201971A (ja) | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Shibaura Mechatronics Corp | 成膜装置 |
JP2013503496A (ja) | 2009-08-31 | 2013-01-31 | ラム リサーチ コーポレーション | 高周波(rf)接地帰還構成 |
WO2013035225A1 (ja) | 2011-09-09 | 2013-03-14 | キヤノンアネルバ株式会社 | 成膜装置 |
WO2013136387A1 (ja) | 2012-03-14 | 2013-09-19 | キヤノンアネルバ株式会社 | スパッタ装置 |
WO2015153509A1 (en) | 2014-03-31 | 2015-10-08 | Applied Materials, Inc. | Deposition system with multi-cathode and method of manufacture thereof |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4385979A (en) * | 1982-07-09 | 1983-05-31 | Varian Associates, Inc. | Target assemblies of special materials for use in sputter coating apparatus |
US6432203B1 (en) * | 1997-03-17 | 2002-08-13 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Heated and cooled vacuum chamber shield |
US20030173217A1 (en) * | 2002-03-14 | 2003-09-18 | Sputtering Components, Inc. | High-power ion sputtering magnetron |
JP2003282381A (ja) | 2002-03-22 | 2003-10-03 | Canon Inc | シミュレーション方法、記録媒体、薄膜形成方法およびスパッタ成膜装置 |
US6846396B2 (en) * | 2002-08-08 | 2005-01-25 | Applied Materials, Inc. | Active magnetic shielding |
JP2005195348A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Nikon Corp | 照明光学装置 |
US7785455B2 (en) | 2005-04-14 | 2010-08-31 | Tango Systems, Inc. | Cross-contaminant shield in sputtering system |
JP2010128789A (ja) | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Nec Corp | 携帯端末、アラーム通知方法、及びプログラム |
JP2010126789A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Shibaura Mechatronics Corp | スパッタ成膜装置 |
JPWO2011122411A1 (ja) | 2010-03-29 | 2013-07-08 | 株式会社アルバック | スパッタ装置 |
US20140272684A1 (en) | 2013-03-12 | 2014-09-18 | Applied Materials, Inc. | Extreme ultraviolet lithography mask blank manufacturing system and method of operation therefor |
US10431440B2 (en) * | 2015-12-20 | 2019-10-01 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for processing a substrate |
-
2018
- 2018-02-07 US US15/890,694 patent/US11011357B2/en active Active
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013503496A (ja) | 2009-08-31 | 2013-01-31 | ラム リサーチ コーポレーション | 高周波(rf)接地帰還構成 |
JP2012149339A (ja) | 2010-12-28 | 2012-08-09 | Canon Anelva Corp | スパッタリング装置、及び電子デバイスの製造方法 |
JP2012201971A (ja) | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Shibaura Mechatronics Corp | 成膜装置 |
WO2013035225A1 (ja) | 2011-09-09 | 2013-03-14 | キヤノンアネルバ株式会社 | 成膜装置 |
WO2013136387A1 (ja) | 2012-03-14 | 2013-09-19 | キヤノンアネルバ株式会社 | スパッタ装置 |
WO2015153509A1 (en) | 2014-03-31 | 2015-10-08 | Applied Materials, Inc. | Deposition system with multi-cathode and method of manufacture thereof |
JP2017517625A (ja) | 2014-03-31 | 2017-06-29 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | マルチカソードを有する堆積システム及びその製造方法 |
Also Published As
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---|---|
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JP7043523B2 (ja) | マルチカソード基板処理のための方法および装置 | |
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