JP7033368B1 - 再帰反射光学素子用金型の製造方法及び再帰反射光学素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

製造される金型の形状精度が十分に高く、効率的な再帰反射光学素子用金型の製造方法を提供する。多角形の形状の複数の面からなる再帰反射光学素子用金型の製造方法であって、面の目標の形状を基準として、所定の切削分を残すように実施される該面の粗加工ステップと、二辺に刃を備えた刃部であって、該二辺のなす角度は面の多角形の内角とほぼ同じであり、該二辺の刃の長さは該多角形の一辺の長さ以上である刃部の逃げ角を１度以下に維持し、該刃部の先端を該多角形の頂点の方向へ相対的に移動させることによる該所定の切削分の切削を実施する該面の仕上げ加工ステップであって、一回の切削ごとの切り込みは2マイクロメータ以下であり、該移動は、該多角形の該頂点の方向への直進及び振動を組み合わせたものであり、該直進の方向の変位及び該直進の方向と垂直な方向の変位の少なくとも一方を伴う該面の仕上げ加工ステップと、を含む。

Description

本発明は、再帰反射光学素子用金型の製造方法、及びその金型を使用する再帰反射光学素子の製造方法に関する。

再帰反射光学素子の代表例であるコーナーキューブリフレクタ用金型の従来の製造方法は以下のとおりである。第１の製造方法は、ピンと呼称される複数の棒状部材を、それぞれの面がコーナーキューブリフレクタの面を形成するように組み合せて金型を製造する。各ピンは超精密研磨によって製造する。第２の製造方法は、ボールエンドミルを取り付けた多軸加工機によるミリング加工によって金型を製造する。

近年、コーナーキューブリフレクタのセグメントの小型化が要求されている。セグメントとは、コーナーキューブリフレクタの構成単位であり、一つの立方体の三面から形成される。

第１の製造方法に関し、セグメントサイズ、すなわちセグメントの一つの面の正方形の対角線の長さが1ミリメータより小さくなるとピンを使用する製造は困難となる。

また、ピンによる製造が可能な場合でも、一定面積のコーナーキューブリフレクタを製造するのに使用されるピンの本数は、セグメントサイズの逆数の二乗に比例して増加する。したがって、たとえばセグメントサイズが2ミリメータより小さくなるとピンの本数が大幅に増加し加工コストが大幅に増大する。

第２の製造方法に関し、ミリング加工によって金型を製造する場合に、ボールエンドミルの刃先の円弧形状が加工対象の形状にそのまま転写される。したがって、ボールエンドミルの最小曲率半径である0.03マイクロメータより小さい曲率半径のコーナーを備える加工対象を製造することができない。このため、セグメントサイズが小さくなるほど、金型によって製造される再帰反射光学素子の光学性能が低下する。

他方、小型セグメントからなる再帰反射光学素子用金型の新しい製造方法としてマイクロチゼリングと呼称される切削による製造方法が開発されている（たとえば、特許文献１）。しかし、この製造方法によって得られる再帰反射光学素子用金型の形状精度は十分ではない。

したがって、製造される金型の形状精度が十分に高く、効率的な再帰反射光学素子用金型の製造方法、及びその金型を使用する再帰反射光学素子の製造方法に対するニーズがある。

特表2020-533637(WO2019/051413)

本発明の技術的課題は、製造される金型の形状精度が十分に高く、効率的な再帰反射光学素子用金型の製造方法、及びその金型を使用する再帰反射光学素子の製造方法を提供することである。

本発明の第１の態様による再帰反射光学素子用金型の製造方法は、多角形の形状の複数の面からなる再帰反射光学素子用金型の製造方法であって、面の目標の形状を基準として、所定の切削分を残すように実施される該面の粗加工ステップと、二辺に刃を備えた刃部であって、該二辺のなす角度は面の多角形の内角とほぼ同じであり、該二辺の刃の長さは該多角形の一辺の長さ以上である刃部の逃げ角を１度以下に維持し、該刃部の先端を該多角形の頂点の方向へ相対的に移動させることによる該所定の切削分の切削を実施する該面の仕上げ加工ステップであって、一回の切削ごとの切り込みは2マイクロメータ以下であり、該移動は、該多角形の該頂点の方向への直進及び振動を組み合わせたものであり、該直進の方向の変位及び該直進の方向と垂直な方向の変位の少なくとも一方を伴う該面の仕上げ加工ステップと、を含む。

本態様の製造方法は、二辺に刃を備えた刃部であって、該二辺のなす角度は面の多角形の内角とほぼ同じであり、該二辺の刃の長さは該多角形の一辺の長さ以上である刃部の該多角形の頂点の方向への直進によって切削するので面を効率的に切削することができる。また、刃部の移動は、該多角形の該頂点の方向への直進及び振動を組み合わせたものであるので、加工される面の高さのランダムな変化を抑え、高い形状精度の金型を製造することができる。

本発明の第１の実施形態による再帰反射光学素子用金型の製造方法において、該振動の面の、該二辺によって形成される面からの傾きの絶対値が３度以内である。

本発明の第２の実施形態による再帰反射光学素子用金型の製造方法において、該振動の該直進の方向と垂直な方向の変位が0.1マイクロメータから25マイクロメータの範囲である。

本実施形態によれば、加工される面の高さのランダムな変化を抑える効果が顕著である。

本発明の第３の実施形態による再帰反射光学素子用金型の製造方法において、該振動の該直進の方向の変位が0.1マイクロメータから25マイクロメータの範囲である。

本実施形態によれば、加工される面の高さのランダムな変化を抑える効果が顕著である。

本発明の第４の実施形態による再帰反射光学素子用金型の製造方法において、該振動の周期間の該直進方向の移動距離が0.01マイクロメータから20マイクロメータの範囲である。

本実施形態によれば、加工される面の高さのランダムな変化を抑える効果が顕著である。

本発明の第５の実施形態による再帰反射光学素子用金型の製造方法において、該刃部を多軸加工機に取り付けて、該直進及び該振動を該多軸加工機によって実施する。

本実施形態によれば、直進と振動の種々の組み合わせにより加工される面の形状精度を向上させることができる。

本発明の第６の実施形態による再帰反射光学素子用金型の製造方法において、該振動は、円運動、楕円運動または単振動によって実現される。

本発明の第７の実施形態による再帰反射光学素子用金型の製造方法において、該刃部を振動子に取り付け、該振動子を該多軸加工機に取り付けて、該直進を該多軸加工機によって実施し、該振動を該振動子によって実施する。

本実施形態によれば、多軸加工機の動作は直進のみであるので効率が向上する。

本発明の第８の実施形態による再帰反射光学素子用金型の製造方法において、該再帰反射光学素子がコーナーキューブリフレクタであり、該刃部の該二辺のなす角度が90度である。

本発明の第２の態様による再帰反射光学素子の製造方法は、上記のいずれかに記載の再帰反射光学素子用金型の製造方法によって製造した再帰反射光学素子用金型を使用する。

本態様によれば、高い形状精度の再帰反射光学素子が得られる。

本発明の再帰反射光学素子用金型の製造方法を実施するための多軸加工機の一例を示す図である。 Ｙ軸上の視点から多軸加工機を眺めた図である。 工具の一例を示す図である。 図３に示す工具をＢ軸ステージに取り付けるための治具を示す図である。 工具の他の例を示す図である。 図５に示す工具を取り付けた振動子を示す図である。 振動子を取り付けた切削ユニットを示す図である。 再帰反射光学素子の一例であるコーナーキューブリフレクタの形状を示す図である。 コーナーキューブリフレクタ用金型の三面Ｓ１、Ｓ２及びＳ３及び刃部を示す図である。一 コーナーキューブリフレクタ用金型の上面図である。 コーナーキューブリフレクタ用金型の側面図である。 本発明の一実施形態の再帰反射光学素子用金型の製造方法を説明するための流れ図である。 刃部の移動が、多角形の頂点の方向への相対的な直進及び円運動を組み合わせたものである場合の仕上げ加工を説明するための図である。 刃部の先端の移動が、多角形の頂点の方向への相対的な直進及び上記の方向と垂直な方向の単振動を組み合わせたものである場合の仕上げ加工を説明するための図である。 本発明の他の実施形態の再帰反射光学素子用金型の製造方法を説明するための流れ図である。 振動子による刃部の楕円運動を説明するための図である。

図１は、本発明の再帰反射光学素子用金型の製造方法を実施するための多軸加工機の一例を示す図である。多軸加工機１０００は互いに直交する方向に直進移動可能なＸ軸ステージ１０１０、Ｙ軸ステージ１０２０及びＺ軸ステージ１０３０を備える。多軸加工機１０００は、Ｚ軸ステージ１０３０に取り付けた回転可能なＢ軸ステージ１０４０及びＹ軸ステージ１０２０に取り付けた回転可能なＣ軸ステージ１０５０をさらに備える。加工対象物２００をＣ軸ステージ１０５０に取り付け、工具１００をＢ軸ステージ１０４０に取り付けた後、各ステージを動作させながら工具１００によって加工対象物２００を加工する。

図２は、Ｙ軸上の視点から多軸加工機１０００を眺めた図である。多軸加工機１０００の動作については後で説明する。

図３は、工具の一例を示す図である。図３に示す工具は単結晶ダイヤモンドからなる刃を備えた刃部１０１とシャンク部１２０を備える。

図４は、図３に示す工具をＢ軸ステージ１０４０に取り付けるための治具を示す図である。治具の部材１２０と部材１２５との間にねじなどによって図３に示す工具のシャンク部１２０を固定して工具をＢ軸ステージ１０４０に取り付ける。

図５は、工具の他の例を示す図である。図５に示す工具は単結晶ダイヤモンドからなる刃を備えた刃部１０１と部材１５０を備える。

図６は、図５に示す工具を取り付けた振動子１６０を示す図である。ねじ１５５によって部材１５０を振動子１６０に固定することによって図５に示す工具を振動子１６０に取り付ける。振動子１６０の動作については後で説明する。

図７は、振動子１６０を取り付けた切削ユニット１７０を示す図である。図６は図７のＡの部分に相当する。切削ユニット１７０はねじなどによってＢ軸ステージ１０４０に取り付ける。

図８は、再帰反射光学素子の一例であるコーナーキューブリフレクタの形状を示す図である。コーナーキューブリフレクタは、それぞれが立方体の頂点を形成するように組み合された互いに直交する正方形の三面Ｒ１、Ｒ２及びＲ３からなる複数のセグメントが所定のピッチＳＰ１及びＳＰ２で密に配列されたものである。コーナーキューブリフレクタに入射した光線は面で１回から３回反射された後、入射光線と平行で入射光線と反対の方向に進行する。

表１は、コーナーキューブリフレクタの仕様の一例を示す図である。

セグメントサイズについては図９を使用して後で説明する。表面粗さとは、単位面積の面における、加工面の高さの平均値の平面からの加工面上の各点の高さの絶対値の算術平均である。平面度とは、完全に平らな二平面でコーナーキューブリフレクタの各面を上下から挟んだとき、二平面間の距離の示す値である。

コーナーキューブリフレクタ用金型の形状は、図８に示したコーナーキューブリフレクタの形状と同様である。金型の材料は、例としてニッケル・リンメッキ、無酸素銅、アルミ合金である。

図９は、コーナーキューブリフレクタ用金型の三面Ｓ１、Ｓ２及びＳ３及び刃部１０１を示す図である。一例として正方形の一辺の長さｌ１ は354マイクロメータであり、正方形の対角線の長さｌ２、すなわちセグメントサイズは500マイクロメータである。刃部１０１の２個のストレートエッジ部Ｅ１及びＥ２によって形成される角度は90度である。また、刃部１０１の２個のストレートエッジ部Ｅ１及びＥ２の長さＬは正方形の一辺の長さｌ１以上である必要がある。

図１０は、コーナーキューブリフレクタ用金型の上面図である。図１０の面は面Ｓ１に平行である。刃部１０１の先端が面Ｓ２及びＳ３の交線である辺（図１０においては直線で表されるＳ２及びＳ３の交点）に向かう方向Ｄに進行することによって面Ｓ１が切削される。

図１１は、コーナーキューブリフレクタ用金型の側面図である。図１１の面は面Ｓ１に垂直である。刃部１０１の逃げ角θは１度以下であるのが好ましい。図１１において、刃部１０１の進行による面Ｓ１に対応する面への切り込み量をＣで示す。

図１２は、本発明の一実施形態の再帰反射光学素子用金型の製造方法を説明するための流れ図である。

図１２のステップＳ１０１０において粗加工を実施する。粗加工において、目標の形状を基準として、仕上げ加工による所定の切削代を残して切削する。

粗加工は、多軸加工機に仕上げ加工において使用する図３及び４によって説明したタイプの工具を取り付けて実施してもよい。その場合には、粗加工から仕上げ加工に移行する際に被加工物を取り外さなければ、工具の交換による位置ずれを考慮する必要がないので上記の仕上げ加工による所定の切削代は一例として1マイクロメータから1.5マイクロメータである。

粗加工は、多軸加工機にたとえばボールエンドミルを取り付けて実施してもよい。その場合には、ボールエンドミルのボール形状の曲率半径により多角形の頂点の周囲及び頂点を通過する三辺のうちの二辺によって形成されるコーナーの周囲に未加工部分が残る。また、粗加工から仕上げ加工に移行する際の工具の交換による位置ずれを考慮する必要がある。上記の未加工部分及び位置ずれを考慮して上記の仕上げ加工による所定の切削代は一例として約50マイクロメータである。

図１２のステップＳ１０２０において、多軸加工機に図３及び４によって説明したタイプの工具を取り付けて仕上げ加工を実施する。仕上げ加工において上記の所定の切削代を切削する。具体的に、仕上げ加工において、多軸加工機によって刃部を振動させながら多角形の頂点の方向へ相対的に移動させて面を切削する。

図１３は、刃部の移動が、多角形の頂点の方向への相対的な直進及び円運動を組み合わせたものである場合の仕上げ加工を説明するための図である。この場合に刃部の振動は円運動によって実現される。刃部の移動は、正方形の面Ｓ１の頂点Ｖを通過する正方形の角の二等分線線Ｂ上の点の頂点Ｖに向かう一定速度の直進と、上記の点を中心とした一定の方向の所定の半径の円運動と、を組み合わせたものである。上記の所定の半径は多角形の頂点に近づくにしたがって次第に小さくなるように定めてもよい。

二等分線線Ｂ上の任意の点を基準点として刃部の先端の位置のベクトルを以下のように表す。

また、上記の直進方向の単位ベクトルを以下のように表す。

そうすると、経過時間をｔ、上記の直進速度をｃ、上記の所定の半径をａ、円運動の角速度をωとして刃部の先端の位置は以下のように表せる。

仕上げ加工における切削は主に刃部の直進によって実施される。しかし、刃部の直進のみによって切削を実施すると、面の高さがランダムに大きく変化し、その結果、加工された面の平面度が許容値を超える場合がある。そこで、刃部の直進に上記の円運動による振動を加えることにより、刃部の直進に周期的かつ一時的な中断を追加しながら切削を実施する。

上記の円運動による振動は刃部の先端が多角形の頂点に到達する前に中止しその後は刃部の直進のみによって切削を実施する。

上記の振動は、図９に示す刃部１０１の刃の二辺の形成する面とほぼ同一の面内で生成される。具体的に振動面の、刃の二辺の形成する面からの傾きの角度の絶対値は3度以内である。振動面の状態は他の実施形態においても同様である。

図１２のステップＳ１０３０において、仕上げ加工を終了するか否か判断する。一例として、所望の粗さを得るための切削の回数（パス数）をあらかじめ定めておき、その回数の切削を実施した場合に仕上げ加工を終了してもよい。仕上げ加工を終了すると判断した場合には処理を終了する。仕上げ加工を終了しないと判断した場合にはステップＳ１０２０に戻る。

表２は、図１３で説明した仕上げ加工の加工条件の一例を示す表である。

表２において加工機送り速度は多軸加工機の軌跡上の点間の移動速度を意味する。切り込みは一回の切削ごとの、図１１に示した切り込み量Ｃを意味する。円運動の振幅ａは上記の所定の半径を意味する。円運動の移動ピッチＰは、上記の二等分線線Ｂと刃部の先端の軌跡との交点のうち隣接する二点間の距離である。すなわち、上記の距離は刃部の先端の円運動による振動の周期間の刃部の先端の直進方向の移動距離である。パスとは一回の切削を意味する。1パスの加工時間とは、仕上げ加工において、三面に対して一回の切削を実施するのに要する時間を意味する。

加工面の高さのランダムな変化を生じさせないために、一回の切削ごとの切り込みは2マイクロメータ以下であり、円運動の振幅は0.1マイクロメータから25マイクロメータの範囲であり、振動の周期間の直進方向の移動距離、すなわち円運動の移動ピッチPが0.01マイクロメータから20マイクロメータの範囲であるのが好ましい。

図１４は、刃部の先端の移動が、多角形の頂点の方向への相対的な直進及び上記の方向と垂直な方向の単振動を組み合わせたものである場合の仕上げ加工を説明するための図である。この場合に刃部の振動は単振動によって実現される。より具体的に、刃部の運動は、正方形の面Ｓ１の頂点Ｖに向かって頂点Ｖを通過する正方形の角の二等分線Ｂ上を一定の速度で相対的に移動する点の運動と、上記の点を中心とし、二等分線Ｂに垂直な方向の単振動を組み合わせたものである。単振動の振幅は多角形の頂点に近づくにしたがって次第に小さくなるように定めてもよい。

二等分線線Ｂ上の任意の点を基準点として刃部の先端の位置のベクトルを以下のように表す。

また、上記の直進方向の単位ベクトル及び上記の直進方向と垂直な方向の単位ベクトルを以下のように表す。

そうすると、経過時間をｔ、上記の直進速度をｃ、単振動の振幅をｂ、単振動に対応する円運動の角速度をωとして刃部の先端の位置は以下のように表せる。

単位ベクトル

の方向は直進方向と垂直ではなく鋭角を形成するようにしてもよい。

刃部の直進に上記の単振動による振動を加えることにより、刃部の直進に周期的かつ一時的な中断を追加しながら切削を実施する。

上記の単振動による振動は刃部の先端が多角形の頂点に到達する前に中止しその後は刃部の直進のみによって切削を実施する。

表３は、図１４で説明した仕上げ加工の加工条件の一例を示す表である。

サインカーブの波長の半値Ｐは、二等分線線Ｂと刃部の先端の軌跡との交点のうち隣接する二点間の距離である。すなわち、上記の距離は刃部の単振動の周期間の刃部の先端の直進方向の移動距離である。

図１５は、本発明の他の実施形態の再帰反射光学素子用金型の製造方法を説明するための流れ図である。

図１５のステップＳ２０１０において粗加工を実施する。粗加工において、目標の形状を基準として、仕上げ加工による所定の切削代を残して切削する。

粗加工は、多軸加工機にたとえばボールエンドミルを取り付けて実施してもよい。その場合には、ボールエンドミルのボール形状の曲率半径により多角形の頂点の部分に未加工部分が残る。また、仕上げ加工に移行する際の工具の交換による位置ずれを考慮する必要がある。上記の未加工部分及び位置ずれを考慮して上記の仕上げ加工による所定の切削代は一例として約50マイクロメータである。

図１５のステップＳ２０２０において、多軸加工機に図５乃至７によって説明したタイプの工具を取り付けて仕上げ加工を実施する。具体的に、刃部を取り付けた振動子を取り付けた多軸加工機を使用して、振動子によって刃部を振動させながら多軸加工機によって振動子を多角形の頂点の方向へ相対的に移動させて面を切削する。

図１６は、振動子による刃部１０１の楕円運動を説明するための図である。この場合に刃部の振動は上記の楕円運動によって実現される。刃部の開き角の二等分線の方向の楕円運動の振幅の二倍値はＡＭ１であり、刃部の上記の方向に垂直な方向の楕円運動の振幅の二倍値はＡＭ２である。

振動子は、根元に備わる悦電素子に振動子の共振周波数に合わせた周波数の電圧を加えることで振動したわむことによって、先端に取り付けた刃部の楕円振動を生じさせる。

刃部１０１の多軸加工機による運動は、図１３に示す正方形の面Ｓ１の頂点Ｖに向かって頂点Ｖを通過する正方形の角の二等分線線Ｂ上を一定の速度で相対的に移動する運動である。刃部１０１の運動は、振動子による楕円運動と多軸加工機による直進運動とを組み合わせたものである。

図１５のステップＳ２０３０において、仕上げ加工を終了するか否か判断する。一例として、所望の粗さを得るための切削の回数（パス数）をあらかじめ定めておき、その回数の切削を実施した場合に仕上げ加工を終了してもよい。仕上げ加工を終了する場合には処理を終了する。仕上げ加工を終了しない場合にはステップＳ２０２０に戻る。

表４は、図１５のステップＳ２０２０で説明した振動子を使用した仕上げ加工の加工条件の一例を示す表である。

加工面の高さのランダムな変化を生じさせないために、移動ごとの切り込みは２マイクロメータ以下であり、楕円運動の振幅は0.1マイクロメータから25マイクロメータの範囲であり、振動の周期間の直進方向の移動距離が0.01マイクロメータから20マイクロメータの範囲であるのが好ましい。

図１２の流れ図に示すように加工機によって刃部を振動させる場合は、上述の円運動及び単振動を含む任意の運動による振動を与えることができる。円運動の半径及び単振動の振幅など振動の変位の大きさも所望の値とすることができる。また、振動の周期間の刃部の直進方向の移動距離も所望の値とすることができる。振動の条件を変化させながら面の算術平均高さを最小とするような条件を定めることができる。したがって、面の算術平均高さで表される加工精度は、振動子によって刃部を振動させる場合よりも高い。

表２に示した加工条件で図１３によって説明した切削を実施した面の算術平均高さは0.002マイクロメータであり、面の平面度は0.017マイクロメータであった。面の算術平均高さとは、測定対象の断面における、加工面の高さの平均値の平面からの加工面上の各点の高さの絶対値の算術平均であり、表１の表面粗さに対応する。面の平面度は、加工面の高さの比較的長い周期の変動であるうねりによって定まる。

このように図１３によって説明した、加工機によって刃部を振動させる仕上げ加工によって製造した金型を使用して射出成形を実施することによって表１に示す仕様を満足するコーナーキューブリフレクタを製造することができた。

図１５の流れ図に示すように振動子によって刃部を振動させる場合は、振動子の振動条件が決まっているので、刃部の振動の条件の自由度は加工機によって刃部を振動させる場合よりも小さい。振動の周期間の刃部の直進方向の移動距離は刃部の直進速度によってしか変化させることができない。しかし、振動子によって刃部を振動させる場合に加工機による移動は直進のみなので加工時間は、加工機によって刃部を振動させる場合と比較して顕著に小さい。

表４に示した加工条件で図１５によって説明した切削を実施した面の算術平均高さは0.004マイクロメータであり、面の平面度は0.048マイクロメータであった。

このように図１５によって説明した、加工機によって刃部を振動させる仕上げ加工によって製造した金型を使用して射出成形を実施することによって表１に示す仕様を満足するコーナーキューブリフレクタを製造することができた。

他方、振動を伴わない刃部の直進のみによる切削を実施した場合には、面の高さがランダムに大きく変化する場合があり、特に平面度を許容値以内に保証するのが困難である。

また、マイクロチゼリングによってセグメントサイズ0.5ミリメータのコーナーキューブリフレクタ用金型を加工した場合に切削を実施した面の算術平均高さは0.166マイクロメータであり、面の平面度は0.7マイクロメータであり、表１に示す仕様を満足するコーナーキューブリフレクタを製造することのできる金型は得られなかった。

また、三面の間の角度を立方体の形状からわずかにずらしたリフレクタが開発されている（たとえば、JP3340640）。このようなリフレクタにおいて、ある面の正方形の頂点の角度と90度との差はせいぜい0.1度であり、セグメントサイズ0.5ミリメータ程度であれば、本発明の製造方法によって、刃の二辺のなす角度が90度の刃部を使用して全く問題なく所定の精度のリフレクタを製造することができる。

上記において、再帰反射光学素子の一例としてコーナーキューブリフレクタについて説明した。本発明は、正方形以外の他の多角形の面からなる再帰反射光学素子にも適用できる。

上述のように本発明による再帰反射光学素子用金型の製造方法によって製造した再帰反射光学素子用金型を使用して射出成形を実施することによって表１に示した仕様を満たす高い形状精度のコーナーキューブリフレクタを製造することができる。

Claims (10)

1. 多角形の形状の複数の面からなる再帰反射光学素子用金型の製造方法であって、
   面の目標の形状を基準として、所定の切削分を残すように実施される該面の粗加工ステップと、
   二辺に刃を備えた刃部であって、該二辺のなす角度は面の多角形の内角とほぼ同じであり、該二辺の刃の長さは該多角形の一辺の長さ以上である刃部の逃げ角を１度以下に維持し、該刃部の先端を該多角形の頂点の方向へ相対的に移動させることによる該所定の切削分の切削を実施する該面の仕上げ加工ステップであって、一回の切削ごとの切り込みは2マイクロメータ以下であり、該移動は、該多角形の該頂点の方向への直進及び振動を組み合わせたものであり、該直進の方向の変位及び該直進の方向と垂直な方向の変位の少なくとも一方を伴う該面の仕上げ加工ステップと、を含む再帰反射光学素子用金型の製造方法。
2. 該振動の面の、該二辺によって形成される面からの傾きの絶対値が３度以内である請求項１に記載の再帰反射光学素子用金型の製造方法。
3. 該振動の該直進の方向と垂直な方向の変位が0.1マイクロメータから25マイクロメータの範囲である請求項１または２に記載の再帰反射光学素子用金型の製造方法。
4. 該振動の該直進の方向の変位が0.1マイクロメータから25マイクロメータの範囲である請求項１から３のいずれかに記載の再帰反射光学素子用金型の製造方法。
5. 該振動の周期間の該直進方向の移動距離が0.01マイクロメータから20マイクロメータの範囲である請求項１から４のいずれかに記載の再帰反射光学素子用金型の製造方法。
6. 該刃部を多軸加工機に取り付けて、該直進及び該振動を該多軸加工機によって実施する請求項１から５のいずれかに記載の再帰反射光学素子用金型の製造方法。
7. 該振動は、円運動、楕円運動または単振動によって実現される請求項６に記載の再帰反射光学素子用金型の製造方法。
8. 該刃部を振動子に取り付け、該振動子を多軸加工機に取り付けて、該直進を該多軸加工機によって実施し、該振動を該振動子によって実施する請求項１から５のいずれかに記載の再帰反射光学素子用金型の製造方法。
9. 該再帰反射光学素子がコーナーキューブリフレクタであり、該刃部の該二辺のなす角度が90度である請求項１から８のいずれかに記載の再帰反射光学素子用金型の製造方法。
10. 請求項１から９のいずれかに記載の再帰反射光学素子用金型の製造方法によって製造した再帰反射光学素子用金型を使用する再帰反射光学素子の製造方法。

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