JP7015910B2 - リソグラフィ装置において使用される基板ホルダ - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2017年10月12日に出願されたEP出願第17196086.7号及び2018年3月26日に出願されたEP出願第18163985.7号の優先権を主張する。これらは援用により全体が本願に含まれる。
Claims (13)
- リソグラフィ装置において使用するための、基板を支持するよう構成された基板ホルダであって、
本体表面を有する本体と、
前記本体表面から突出している複数の第1のバールであって、各バールは前記基板を支持するよう構成された遠位端面を有する、第1のバールと、
前記本体のエッジ領域において前記本体表面から突出し、上面を有する第1のシール部材であって、前記複数の第1のバールを取り囲む、第1のシール部材と、
前記第1のシール部材の半径方向外側に配置された複数の第2のバールであって、各第2のバールは前記基板を支持するよう構成された遠位端面を有する、第2のバールと、
前記本体の前記エッジ領域において前記本体表面から突出し、上面を有する第2のシール部材であって、前記第1のシール部材及び前記複数の第2のバールを取り囲む、第2のシール部材と、
前記本体内への流体を前記本体と前記基板との間から抽出するための、前記本体に形成された複数の抽出開口と、
を備え、
前記複数の抽出開口と、前記複数の第2のバールのうち少なくとも1つとは、前記第1のシール部材及び前記複数の第1のバールを取り囲むラインにおいて交互に配置されている、
基板ホルダ。 - リソグラフィ装置において使用するための、基板を支持するよう構成された基板ホルダであって、
本体表面を有する本体と、
前記本体表面から突出している複数の第1のバールであって、各バールは前記基板を支持するよう構成された遠位端面を有する、第1のバールと、
前記本体のエッジ領域において前記本体表面から突出し、上面を有する第1のシール部材であって、前記複数の第1のバールを取り囲む、第1のシール部材と、
前記第1のシール部材の半径方向外側に配置された複数の第2のバールであって、各第2のバールは前記基板を支持するよう構成された遠位端面を有する、第2のバールと、
前記本体の前記エッジ領域において前記本体表面から突出し、上面を有する第2のシール部材であって、前記第1のシール部材及び前記複数の第2のバールを取り囲む、第2のシール部材と、
前記本体内への流体を前記本体と前記基板との間から抽出するための、前記本体に形成された複数の抽出開口と、
を備え、
前記複数の抽出開口は、前記第2のシール部材の前記上面に配置されている、
基板ホルダ。 - 各抽出開口は前記第2のシール部材に形成された抽出溝の底面に形成されている、請求項2に記載の基板ホルダ。
- 各抽出開口は前記第2のシール部材の前記上面に形成された対応するくぼみの底面に形成されている、請求項2又は3に記載の基板ホルダ。
- 前記複数の抽出開口の半径方向内側で前記本体に形成された複数の入口開口を更に備え、前記複数の入口開口は大気に開放しているか又はガス源に接続されている、請求項2から4のいずれかに記載の基板ホルダ。
- 前記第2のシール部材の半径方向外側に配置された少なくとも1つの第3のバールを更に備え、前記少なくとも1つの第3のバールは前記基板を支持するよう構成された遠位端面を有する、請求項1から5のいずれかに記載の基板ホルダ。
- 複数のマイナーバールを更に備え、前記マイナーバールのうち少なくとも1つは前記第1のシール部材の前記上面から突出し、各マイナーバールは前記基板を支持するよう構成された遠位端面を有する、請求項1から6のいずれかに記載の基板ホルダ。
- 前記マイナーバールのうち少なくとも1つは前記第2のシール部材の前記上面から突出している、請求項7に記載の基板ホルダ。
- 前記第1のシール部材の前記マイナーバールのうち少なくとも1つと、前記第2のシール部材の前記マイナーバールのうち少なくとも1つとは、半径方向で一列に並んでいるか、又は前記半径方向で相互に交互に配列されている、請求項8に記載の基板ホルダ。
- 前記第1のシール部材の前記上面に形成された溝を更に備え、前記溝は、前記第1のシール部材の半径方向外側から前記第1のシール部材の半径方向内側までガスのための曲がりくねった経路を提供する、請求項1から9のいずれかに記載の基板ホルダ。
- 前記第1のシール部材は平面視において、前記第1のシール部材の半径方向で最も外側の部分の前記基板ホルダの中心からの距離が円周方向において様々に異なっているような全体形状を有し、前記複数のマイナーバールは、前記第1のシール部材の他の部分よりも前記基板ホルダの中心から遠くに延出している前記第1のシール部材の部分から突出している、請求項7から9のいずれかに記載の基板ホルダ。
- 前記第1のシール部材の前記上面に、液体のメニスカスを固定するための特徴部を有するメニスカス固定特徴部を更に備える、請求項1から11のいずれかに記載の基板ホルダ。
- 請求項1から12のいずれかに記載の基板ホルダを備えるリソグラフィ装置。
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