JP7013027B2 - 電着工具の製造方法 - Google Patents
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Description
図4はメッシュシート作成工程の説明図であって、(A)は縦断面図、(B)は平面図である。図4に示すように、ポリエチレン製のメッシュシート10の裏面に粘着テープ11を貼付け、表側から砥粒3を散布する。砥粒3としては、例えばブロッキーなダイヤモンド粒子を破砕して作られたメッシュサイズが#500以下の粗粒のダイヤモンド砥粒を使用する。これにより、各オープンスペース10Aに砥粒3が1個ずつ配設されたメッシュシート10を作成する。図5はメッシュサイズ#100のメッシュシート10に、メッシュサイズ#100の砥粒3を散布して作成したメッシュシート10の顕微鏡画像である。
図6はメッシュシート剥離工程の説明図であって、(A)は縦断面図、(B)は平面図である。図4に示す粘着テープ11からメッシュシート10を剥離すると、図6に示すように、砥粒3が規則正しく付着された粘着テープ11が作成される。図7はメッシュサイズ#100の砥粒3が規則正しく付着された粘着テープ11の顕微鏡画像である。
図8は台金への砥粒埋込み工程を示す説明図である。図8に示すように、砥粒3が付着された粘着テープ11をカップ形の台金12の表面に貼付け、砥粒3の先端が揃うようにプレス機を使ってプレスすることにより、台金12に砥粒3を埋込む。台金12は、黄銅やジュラルミンといった軟質な工具台金である。例えば、黄銅製の台金12を超硬製の金型13上に配置し、3tプレスにより砥粒3を台金12に埋込む。このとき、砥石作用面にある砥粒3先端の高さが揃うようにプレスする。なお、後に粘着テープ11により付着した粘着剤11Aを除去するので、完全フラットには押し切らないようにする。
図9は粘着剤除去工程を示す説明図であって、(A)は粘着剤除去前の状態を示す縦断面図、(B)は粘着剤除去後の状態を示す縦断面図である。上記プレス後、粘着テープ11を剥がし、砥石作用面に付着している粘着剤11Aを除去する。粘着剤11Aがアクリル系の場合、トルエンに漬けて除去する。図10は粘着剤11Aを除去した後の台金表面の顕微鏡画像である。
台金12への砥粒3の保持力を上げるため、台金12の表面にニッケルを電気めっきする。このとき、砥粒3の1個分の厚さだけめっき皮膜14(図12参照。)を形成する。
めっき後、図11に示すように、作成された電着工具1Aを立形マシニングセンタに取り付け、芯ぶれ防止用止めボルトを使って芯出しを行い、面触れを除去するために、図12に示すように耐水ペーパ等(図示せず。)でめっき皮膜14を磨き、めっき皮膜14の凹凸を平坦化し、砥粒3の先端を一部露出させる。
2 台金
3 砥粒
4 メッシュ
4A 交差部
10 メッシュシート
10A オープンスペース
11 粘着テープ
11A 粘着剤
12 台金
13 金型
14 めっき皮膜
14A めっき層
Claims (2)
- 台金の砥石作用面となる表面に砥粒が1層だけ電着固定された電着工具の製造方法であって、
粘着テープ上に貼り付けられたメッシュシート上へ前記メッシュシートの各オープンスペースに相当する大きさの砥粒を散布することにより、前記メッシュシートの各オープンスペースに砥粒が1個ずつ配設された前記メッシュシートを作成すること、
前記粘着テープから前記メッシュシートを剥離すること、
前記砥粒が付着した面を前記台金の砥石作用面となる表面に向けて前記粘着テープを配置し、プレスすることにより前記台金の砥石作用面となる表面に前記砥粒を埋め込むこと、
前記プレス後、前記粘着テープを剥がし、前記台金の砥石作用面となる表面に付着している粘着剤を除去した後、前記台金の砥石作用面となる表面に電気めっきを施すこと、
前記電気めっき後、めっき皮膜を磨いて前記砥粒のそれぞれの一部を前記台金の砥石作用面となる表面に露出させること
を含む電着工具の製造方法。 - 前記電気めっきは、前記砥粒の1個分の厚さだけ施すことを特徴とする請求項1記載の電着工具の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019020971A JP7013027B2 (ja) | 2019-02-07 | 2019-02-07 | 電着工具の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019020971A JP7013027B2 (ja) | 2019-02-07 | 2019-02-07 | 電着工具の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020127978A JP2020127978A (ja) | 2020-08-27 |
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ID=72175239
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7013027B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3016588B2 (ja) | 1990-01-22 | 2000-03-06 | アルティメート アブレイシィブ システムズ エル.エル.シー. | 複合材料 |
JP2007098548A (ja) | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Nitolex Honsha:Kk | 砥石及びその製造方法 |
JP4248167B2 (ja) | 2001-08-08 | 2009-04-02 | 株式会社ノリタケスーパーアブレーシブ | 研削砥石 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0639729A (ja) * | 1992-05-29 | 1994-02-15 | Canon Inc | 精研削砥石およびその製造方法 |
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2019
- 2019-02-07 JP JP2019020971A patent/JP7013027B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007098548A (ja) | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Nitolex Honsha:Kk | 砥石及びその製造方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020127978A (ja) | 2020-08-27 |
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