JP7003350B6 - 二相性気体/液体プラズマ反応器 - Google Patents
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Description
-誘電材料で少なくとも部分的に作製された支持部であって、前記支持部が、気体を含む第1リザーバに接続されるように適合した第1入口と、液体を含む第2リザーバに接続されるように適合した第2入口と、気体及び/又は液体を含むレシーバーコンテナに接続されるように適合した出口と、(特に加圧条件下で)前記液体及び前記気体が前記入口から前記出口に向かって流れることを可能にする前記誘電材料において存在するメインマイクロチャネル又はミリチャネルと、を含む、支持部と、
-前記誘電材料に埋め込まれ且つ前記メインマイクロチャネル又はミリチャネルに沿って伸びる1以上の接地電極と、
-前記誘電材料に埋め込まれ且つ前記メインマイクロチャネル又はミリチャネルに沿って伸びる1以上の高電圧電極と、を含み、
前記高電圧電極及び前記接地電極が、前記メインマイクロチャネル又はミリチャネル内部で電場、より具体的には誘電体バリア放電(DBD)、を発生することができるように前記メインマイクロチャネル又はミリチャネルの反対側に位置する、マイクロ流体又はミリ流体デバイスに関する。
本発明によるデバイスの支持部は、デバイスを絶縁するために誘電材料(そのため固体である)で少なくとも部分的に作製される。なぜなら、高電圧電場が、上記誘電材料に埋め込まれる電極間の支持部内部で生成され、且つ、誘電体バリア放電(DBD)によって気泡におけるプラズマの形成を可能にするからである。だから、メインチャネルは、誘電材料において存在する。
この支持部は、マイクロチャネル又はミリチャネル、好ましくは、直線のマイクロチャネル又はミリチャネルを含む。
本発明によるデバイスは、少なくとも1つの接地電極及び少なくとも1つの高電圧電極を含む。
デバイスの支持部は、気体を含むように適合した第1リザーバに、及び液体を含むように適合した第2リザーバに接続されるようにそれぞれ適合した第1入口及び第2入口を含む。支持部はまた、気体及び/又は液体を含むように適合した受け取りコンテナに接続されるように適合した出口を含む。
-第1入口をメインチャネルへ接続する、第1注入チャネル、有利にはマイクロチャネル又はミリチャネルと、
-第2入口をメインチャネルへ接続する、第2注入チャネル、有利にはマイクロチャネル又はミリチャネルと、を含み、
第1及び第2チャネルは、ジャンクションでメインチャネルに出会い、
第2チャネル及びメインチャネルは有利には、互いに連続である。
-気体を含む第1リザーバに接続されるように適合した第1入口21aと、
-液体を含む第2リザーバに接続されるように適合した第2入口21bと、
-気体及び/又は液体を含むレシーバーコンテナに接続されるように適合した出口22と、
-入口21a及び21bから出口22に向かって液体及び気体が流れることを可能にするメインマイクロチャネル又はミリチャネル3と、
-上記誘電材料に埋め込まれ且つメインマイクロチャネル又はミリチャネル3に沿って伸びる1以上の接地電極4(図1A上に示されている1つの平面接地電極)と、
-上記誘電材料に埋め込まれ且つメインマイクロチャネル又はミリチャネル3に沿って伸びる1以上の高電圧電極5(図1A上に示されている1つのジグザグ高電圧電極)と、
-第1入口21aをメインチャネル3に接続する、第1注入チャネル6a、有利にはマイクロチャネル又はミリチャネルと、
-第2入口21bをメインチャネル3に接続する、第2注入チャネル6b、有利にはマイクロチャネル又はミリチャネルと、
-出口22をメインチャネル3に接続する、出口チャネル7、有利にはマイクロチャネル又はミリチャネルと、を含む。
-第1入口をメインチャネルに接続する、第1注入チャネル、有利にはマイクロチャネル又はミリチャネルと、
-第2入口をメインチャネルに接続する、第2注入チャネル、有利にはマイクロチャネル又はミリチャネルと、
-第3入口をメインチャネルに接続する、第3注入チャネル、有利にはマイクロチャネル又はミリチャネルと、
を含むことになり、
第1、第2及び第3注入チャネルは、ジャンクションでメインチャネルと出会い、
上記ジャンクションで、第2及び第3注入チャネルの各々は、第1注入チャネルに対して垂直に伸び、第2注入チャネル及び第3注入チャネルは、互いに連続である。有利には、第1注入チャネル及びメインチャネルは、互いに連続である。
-気体を含む第1リザーバに接続されるように適合した第1入口21aと、
-液体を含む第2リザーバに接続されるように適合した第2入口21bと、
-第2リザーバ又は液体を含む第3リザーバに接続されるように適合した第3入口21cと、
-気体及び/又は液体を含むレシーバーコンテナに接続されるように適合した出口22と、
-入口21a、21b及び21cから出口22に向かって液体及び気体が流れることを可能にするメインマイクロチャネル又はミリチャネル3と、
-上記誘電材料に埋め込まれ且つメインマイクロチャネル又はミリチャネル3に沿って伸びる1以上の接地電極4(図1B上で示されている1つの平面接地電極)と、
-上記誘電材料に埋め込まれ且つメインマイクロチャネル又はミリチャネル3に沿って伸びる1以上の高電圧電極5(図1B上で示されている1つの平面高電圧電極)と、
-第1入口21aをメインチャネル3に接続する、第1注入チャネル6a、有利にはマイクロチャネル又はミリチャネルと、
-第2入口21bをメインチャネル3に接続する、第2注入チャネル6b、有利にはマイクロチャネル又はミリチャネルと、
-第3入口21cをメインチャネル3に接続する、第3注入チャネル6c、有利にはマイクロチャネル又はミリチャネルと、
-出口22をメインチャネル3に接続する、出口チャネル7、有利にはマイクロチャネル又はミリチャネルと、
を含む。
-デバイスにおける圧力を制御する圧力コントローラと、
-関数発生器、信号増幅器及びオシロスコープ等の様々な装置から構成され得る高電圧源と、
-任意で、必要であれば、泡における放電及びチャネル3における泡の流れを可視化するための(iCCOカメラ又はCCDカメラ等の)カメラと、
をモニタリングするために、コンピュータによってモニタリングされ得る。
本発明による支持部は、下部及び上部を含み得る。典型的には、下部は、下部が上部によって覆われるときにチャネルの形成を可能にする溝が刻まれる。これらのチャネルは、それを通して(任意で泡の形における)気体及び液体が流れるチャネル(メインチャネル、注入チャネル、出口チャネル)であり得る、又は、例えばマイクロソリッド(microsolidics technique)技術によって、電極を形成するために、支持部の上部の上に存在する穴を通る電気導体材料によって満たされることもある。
本発明によるマイクロ流体又はミリ流体デバイスは、メインチャネルを通って液体の中に流れる気泡における連続的なプラズマの発生のために用いられ得る。
(a)液体を提供して、マイクロ流体又はミリ流体デバイスのメインマイクロチャネル又はミリチャネルを通して上記液体を循環させるステップと、
(b)気体を提供して、気泡がマイクロ流体又はミリ流体デバイスのメインマイクロチャネル又はミリチャネルを通して液体によって循環するように上記液体において上記気体の泡を作製するステップと、
(c)マイクロ流体又はミリ流体デバイスのメインマイクロチャネル又はミリチャネルを通して循環する泡においてプラズマを発生するように高電圧電極と接地電極との間に高電圧を印加するステップ。
均質且つ再生可能なシステムを有するために、特にサイズの、流体力学的制御、循環速度、及び、泡の発生の頻度と、
プラズマにおいて形成される反応種の性質及び濃度を制御することを可能にする泡において注入されるエネルギーの量及び周波数の制御による放電の制御と、を可能にする。
実施例1
材料及び方法
チオール-エン系樹脂NOA-81(Norland Optical Adhesive)が、本発明によるマイクロ流体又はミリ流体デバイスを用意するために主に用いられた。この樹脂は、その優れた物理的、化学的、電気的及び光学的特性のために従来用いられたPDMS(ポリジメチルシロキサン)よりも選択されてきた:i)PDMSデバイスとは異なり、NOA-81マイクロ反応器は、空気及び水蒸気等の気体に対して不浸透性であり、プラズマに関する閉環境を確保する[1];ii)硬化したNOA-81は、高い弾性率(典型的には1GPa)を有し、たるみ効果を回避する[1];iii)NOA-81は、PDMSよりも溶媒膨潤効果に敏感でないように思われる[1];iv)NOA-81の誘電率は1MHzで4,05であり、それはまた高性能の絶縁材料である;v)可視及び近紫外領域において高い透過率を有し、NOA-81は、インサイチュの放電診断を可能にさせる(発光分光法(OES)又は超高速カメラ測定)。これらの特性のおかげで、NOA-81は、プラズママイクロ反応器又はミリ反応器の製造に関する優れた候補である。
図10は、2つの電極を通してメインチャネルにおいて通る泡内でのプラズマ放電の初期結果を示す。プラズマ泡は、実験の間に、明るくするセグメントとして観測され、マイクロチャネルを移動する
材料及び方法
プラズマ泡から液体相へのラジカル種の移動を定量化するために、EPR(電子常磁性共鳴法)実験が実施された。これらの実験に関して、アルゴン泡が、液体が流れるメインチャネルに沿って位置づけられたキャビティにおいて固定化された。この形状によって、液体滞留時間は、制御が容易であった。実験は、10μL/分の液体流れで実行された。これらの条件では、プラズマへの露出時間は、0.9秒であり、プラズマ相に露出した表面及び液体容積に対応する比率S/Vは2000m2/m3であった。
図11は、集めた液体のEPRスペクトルを示す。それは、・DMPO-OH及び・DMPO-Hの存在を示唆するのに対して、重要な信号は参照サンプルによって検出されなかった。
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[3] A. C. Siegel, S. S. Shevkoplyas, D. B. Weibel, D. A. Bruzewicz, A. W. Martinez, et G. M. Whitesides, ”Cofabrication of Electromagnets and Microfluidic Systems in Poly(dimethylsiloxane)”, Angew. Chem., vol. 118, no 41, p. 7031-7036, oct. 2006.
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[10] US 2008/0108122.
[11] GB 2 466 664 A.
Claims (13)
- マイクロ流体デバイス(1)を用いて連続的に、フリーラジカルを含むプラズマを発生させることを含む分子の化学合成のための方法であって、
-誘電材料で少なくとも部分的に作製された支持部(2)であって、前記支持部(2)が、気体を含む第1リザーバに接続されるように適合した第1入口(21a)と、液体を含む第2リザーバに接続されるように適合した第2入口(21b)と、気体及び/又は液体を含むレシーバーコンテナに接続されるように適合した出口(22)と、前記液体及び前記気体が前記入口から前記出口に向かって流れることを可能にする前記誘電材料において存在するメインマイクロチャネル(3)と、を含む、支持部(2)と、
-前記誘電材料に埋め込まれ且つ前記メインマイクロチャネル(3)に沿って伸びる1以上の接地電極(4)と、
-前記誘電材料に埋め込まれ且つ前記メインマイクロチャネル(3)に沿って伸びる1以上の高電圧電極(5)と、を含み、
前記高電圧電極(5)及び前記接地電極(4)が、前記メインマイクロチャネル(3)内部で電場を発生することができるように前記メインマイクロチャネル(3)の反対側に位置し、
前記方法が、
(a)液体を提供して、前記マイクロ流体デバイス(1)の前記メインマイクロチャネル(3)を通して前記液体を循環させるステップと、
(b)気体を提供して、気泡がマイクロ流体デバイス(1)のメインマイクロチャネル(3)を通して液体によって循環するように前記液体において前記気体の泡を作製するステップであって、前記泡の各々の長さが、10μmと300μmとの間に含まれるステップと、
(c)前記マイクロ流体デバイス(1)の前記メインマイクロチャネル(3)を通して循環する前記泡においてフリーラジカルを含むプラズマを発生するように前記高電圧電極(5)と前記接地電極(4)との間に高電圧を印加するステップであって、前記フリーラジカルは一緒に反応して分子を形成するか、または試薬が前記液体に存在するとき、前記液体に存在する前記試薬と反応して分子を形成するステップと、を含む、方法。 - 前記気体が、空気、アルゴン、ヘリウム、酸素、窒素、水蒸気及びそれらの混合物から選択される、請求項1に記載の方法。
- 前記液体が、溶媒から選択される、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記高電圧が、1kVと30kVとの間に含まれる、請求項1から3の何れか1項に記載の方法。
- 前記高電圧が、可変の高電圧又は、パルス電圧である、請求項1から4の何れか1項に記載の方法。
- 前記メインマイクロチャネル(3)の幅及び深さが、1μmと10mmとの間に含まれる、請求項1から5の何れか1項に記載の方法。
- 前記誘電材料が、紫外線硬化ポリマー、ポリ(テトラメチレンサクシネート)、環状オレフィンコポリマー(COC)、ガラス、又はそれらの組み合わせである、請求項1から6の何れか1項に記載の方法。
- 前記支持部(2)が、液体を含む前記第2リザーバに又は液体を含む第3リザーバに接続されるように適合した第3入口(21c)を含む、請求項1から7の何れか1項に記載の方法。
- 前記支持部がまた:
-前記第1入口(21a)を前記メインマイクロチャネル(3)に接続する第1注入チャネル(6a)と、
-前記第2入口(21b)を前記メインマイクロチャネル(3)に接続する第2注入チャネル(6b)と、
-前記第3入口(21c)を前記メインマイクロチャネル(3)に接続する第3注入チャネル(6c)と、を含み、
第1、第2及び第3注入チャネル(6b、6c)が、ジャンクションでメインマイクロチャネル(3)と出会い、
前記ジャンクションで、前記第2及び第3注入チャネル(6b、6c)の各々が、前記第1注入チャネル(6a)に対して垂直に伸び、前記第2注入チャネル(6b)及び前記第3注入チャネル(6c)は互いに連続である、請求項8に記載の方法。 - 前記マイクロ流体デバイス(1)が、液体を含むように適合した少なくとも1つのリザーバ(10)、気体を含むように適合した少なくとも1つのリザーバ(9)、及び、気体及び/又は液体を含むように適合した少なくとも1つのレシーバーコンテナ(11)をさらに含む、請求項1から9の何れか1項に記載の方法。
- 前記接地電極(4)及び前記高電圧電極(5)が、電気導体材料によって作製される、請求項1から10の何れか1項に記載の方法。
- 前記マイクロ流体デバイス(1)が、1つの接地電極(4)及び1つの高電圧電極(5)を含む、請求項1から11の何れか1項に記載の方法。
- 前記接地電極(4)及び/又は前記高電圧電極(5)の形が、平面、ジグザグ、又は、前記メインマイクロチャネルに向かって伸びるフィン及び/又はチップを備える平面である、請求項1から12の何れか1項に記載の方法。
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