JP7385581B2 - 二相性プラズマ・マイクロリアクタとその使用方法 - Google Patents
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Description
プラズマ・マイクロリアクタは:
- 少なくとも部分的に誘電材料から作られた支持体であって、気体リザーバへの接続に適合した気体入口と、液体リザーバへの接続に適合した液体入口と、気体及び/又は液体を含むレシーバへの接続に適合した、少なくとも1つの流体出口と、を有する支持体と;
- 液体入口から流体出口への液体流を許容するのに適合した支持体内の液体マイクロチャネルと;
- 気体入口から流体出口への気体流を許容するのに適合した支持体内の気体チャネルと;
- 少なくとも1つの接地電極と;
- 支持体の誘電材料によって気体チャネルから分離された、少なくとも1つの高電圧電極と;を備え、
接地電極と高電圧電極とは、気体チャネル内に電界を確立できるように気体チャネルの対向面上に配置され、
流体チャネルを形成し、液体流を気体流と接触させるように、液体マイクロチャネルと気体チャネルとは隣接し、液体マイクロチャネルと気体チャネルとの間に少なくとも1つの開口が配置されており、
液体流は、毛管現象によって液体マイクロチャネル内に保持される。
- 少なくとも1つの、特に1つの開口は、前記液体マイクロチャネと前記気体チャネルとの間に、前記流体チャネルの長さの少なくとも80%、特に90%、例えば約100%の上に配置されており、
- 開口は、液体マクロチャネルと気体チャネルとの間に配置された凸状屈曲部分によって部分的に画定されており、凸状屈曲部分は、液体マイクロチャネルに沿って、且つ、気体チャネルに沿って連続的に延在し、
- 凸状屈曲部分は、20μm未満の曲率半径を有する、
- 凸状屈曲部分は、液体マイクロチャネルの長さに沿って、且つ、気体チャネルの長さに沿ってエッジを画定し、
- プラズマ・マイクロリアクタは、(複数の)接地電極及び(複数の)高電圧電極に電気的に接続した高電圧源を有し、
- 接地電極及び高電圧電極の少なくとも1つは、支持体に埋め込まれており、
- 気体チャネルの長さおよび液体マイクロチャネルの長さは、2cm以上、特に20cm、好ましくは100cm以上以上であり、
- 支持体は、チオール‐エン系樹脂(thiol-ene based resin)を光重合して得られるポリマーなどのUV硬化ポリマー、ポリ(テトラメチレン・サクシネート)(poly(tetramethylene succinate))、エチレンとノルボルネン(norbornene)若しくはテトラシクロドデセン(tetracyclododecene)とのコポリマーなどの環状オレフィン・コポリマー(COC)、ガラス、セラミック材料、又は、これらの組み合わせ、から作られており、
- 2つの液体マイクロチャネルは、気体チャネルの対向面上に配置されており、したがって、液体マイクロチャネルは、液体マイクロチャネル及びT字状の断面を有する気体チャネルによって形成されており、
- 流体チャネルは、液体マイクロチャネルによって、及び、気体チャネルによって形成されており、流体チャネルは、主平面に従って配置されており、流体チャネルの設計は、少なくとも20mm2の正方形にわたって、0.3より高い、平面内の流体チャネルの表面密度を有することを可能にし、
- 流体チャネルの少なくとも一部は蛇行パターンに配置されており、
- 液体マイクロチャネルと気体チャネルとの間にステップを形成するように、液体マイクロチャネルは気体チャネルより小さい高さを有する、
- 支持体は、全体に、ガラス又はセラミック材料から作られるか、又は、少なくとも2枚のガラス層の間に含まれるポリマー層でできており、
- 液体マイクロチャネルの高さは、1μmを超え、特に10μmを超え、好ましくは40μmを超え、且つ、200μm未満であり、特に100μm未満であり、好ましくは50μm未満であり、
- 気体チャネルの高さは、液体マイクロチャネルの高さと1mmとの間、特に液体マイクロチャネルの高さと200μmとの間、好ましくは液体マイクロチャネルの高さと100μmとの間に含まれる。
(a) 上記したプラズマ・マイクロリアクタを用意するステップと、
(b) 液体を供給し、(複数の)液体マイクロチャネルを介して所与の方向において液体流を作成するステップと、
(c) 気体を供給し、気体チャネルを介して前記方向において気体流を作成するステップと、
(d) 気体チャネル内でプラズマを生成するように高電圧電極と接地電極との間に高電圧を印加するステップと、
を含む。
- 気体チャネルを介した気体流量は、液体マイクロチャネルを介した液体流量より高く、好ましくは液体マイクロチャネル内の液体流量の5倍と10000倍との間、特に液体マイクロチャネル内の液体流量の50倍と2000倍との間であり、好ましくは液体マイクロチャネル内の液体流量の80倍と1000倍との間に含まれ、
- 気体は、空気、アルゴン、ヘリウム、酸素、水素、窒素、水蒸気、アンモニアゴム、二酸化炭素、一酸化炭素、メタンなどの揮発性炭化水素、揮発性有機化合物、及びそれらの混合物のうちから選択され、
- 液体は、溶媒、より好ましくは、水、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテル、エステル、ケトン、ハロゲン化溶媒、ジメチルスルホキシド(DMSO)、アセトニトリル、ジメチルホルムアミド(DMF)、イオン性液体若しくはそれらの混合物などの有機又は水性溶媒、及び、メタクリル酸メチル(MMA)若しくはフェノールなどの試薬、又は、それらの混合物から選択され、
- 高電圧は、250Vと30kVとの間、特に1kVと20kVとの間、好ましくは1kVと10kVとの間に含まれ、
- 高電圧は、有利には100Hzと1MHzとの間に含まれ、特に100Hzと100kHzとの間に含まれ、好ましくは100Hzと10kHzとの間に含まれる周波数を有する、高電圧の、正弦波などの変数であるか、又は、高電圧は、有利には100Hzと1MHzとの間に含まれ、特に100Hzと10kHzとの間に含まれ、好ましくは100Hzと1kHzとの間に含まれる周波数を有するパルス電圧であり、
- 溶媒又は試薬などの液体の中に存在する化合物を分解(cleaving)、酸化、水素添加、脱水素、アミノ化又はカルボニル化などの少なくとも1つの化学反応に供する。
チャネルの「長さ」という用語は、本明細書において、チャネルを通る流体の主流れ方向に従うチャネルのサイズを示すために用いられる。
図1を参照すると、プラズマ・マイクロリアクタ1は、支持体3を含む。支持体3は、気体チャネル10と、気体チャネル10の対向面上に配置された2つの液体マイクロチャネル9とを含み、したがってT字型断面を有する流体チャネル2を形成する。接地電極4と高電圧電極5とは、気体チャネル10の対向面上に配置されている。高圧電極5と接地電極4とは、高圧電源6に電気的に接続され、支持体3の誘電材料によって流体チャネル2から分離される。
本発明に係る支持体3は、気体チャネル10を絶縁するために少なくとも部分的に誘電材料で作られている。電極4,5間において支持体3の内側で高圧電界を制御することができるからである。本発明において使用される誘電材料は、その誘電特性に関して公知である任意の材料であり得る。しかしながら、誘電材料は、有利には、支持体3に含まれる流体チャネルを通って流れなければならない気体及び液体に対して不浸透性になる。さらに、誘電材料は、有利には、少なくとも液体マイクロチャネル9及び気体チャネル10を有する支持体3と、例えば埋め込み電極と、を形成することも可能であるべきである。したがって、誘電材料は、例えば、チオール‐エン系樹脂(例えば、NOA-81又はNOA-61、好ましくはNOA-81などのノーランド光学接着剤(Norland Optical Adhesive)(R)(NOR)の光重合によって得られるポリマーなどのUV硬化ポリマー(すなわち、モノマー又はプレポリマーの光重合によって得られるポリマー)、ポリ(テトラメチレンスクシネート)(poly(tetramethylene succinate))(PTMS)、エチレンとノルボルネン又はテトラシクロドデセンとのコポリマーなどの環状オレフィン・コポリマー(COC)、ガラス、セラミック材料、又は、それらの組み合わせであり得る。本発明の好ましい実施形態では、支持体3は、2つのガラス層、例えば2つのカバーガラス(glass coverslips)の間に含まれるポリマー層で作られる。本発明の別の好ましい実施形態では、支持体3は、全体的にガラス又はセラミック材料で作られている。(複数の)液体マイクロチャネル9及び(複数の)気体チャネル10を形成するために、ガラスは、化学ウェットエッチング(例えば、HF選択エッチングを使用)及び/又はレーザー彫刻によって微細加工され得る。
本発明の全ての実施形態において、支持体3は、少なくとも1つの流体チャネル2を形成するように、少なくとも1つの気体チャネル10、好ましくは少なくとも気体マイクロチャネルと、少なくとも1つの液体マイクロチャネル9と、を含み、各液体マイクロチャネル9は気体チャネル10に隣接し、開口は各液体マイクロチャネル9間に配置され、少なくとも1つの気体チャネル10は液体マイクロチャネル9内の液体8を気体チャネル10内の気体に接触させ、液体8は毛管現象によって液体マイクロチャネル9内に保持される。
図5は、本発明の一実施形態によるプラズマ・マイクロリアクタ1を模式的に示したものであり、図2に示す実施形態による支持体3を備える。支持体3の気体入口13は気体リザーバ19に接続されており、支持体3の液体入口14は液体リザーバ20に接続されている。液体リザーバ20は、例えば、シリンジであることができる。他の液体リザーバ20は、液体リザーバ20に結合される液体流アクチュエータのタイプに応じて用いられることができる。圧力コントローラ(例えば、流体MFCS圧力コントローラ)を使用するときに、加圧気相を含む液体リザーバ20を使用することができる。液体リザーバ20は、ぜん動ポンプに流体的に接続されることもできる。液体出口15bは、プラズマ・マイクロリアクタ1の出力における化学種を分析するために、分析器に直接接続されることができる。
- プラズマ・マイクロリアクタ1上流の気体12の圧力を制御する圧力コントローラ23、
- プラズマ・マイクロリアクタ1上流の液体8の圧力及び/又は流量(flow rate)を制御する圧力コントローラ及び/又は自動シリンジドライバ20、
- 関数発生器、信号増幅器、高速高電圧スイッチ、及びオシロスコープなどの種々の装置から構成されることができる高電圧源6、
- 必要に応じて、気体チャネル10内の流れ形状又は放電を可視化するために、iCCDカメラ又はCCDカメラなどの任意の撮像システム(図示せず)。
プラズマ・マイクロリアクタ1は、液相及び気相を扱うように適合されている。両者に対して、化学物質についての流速を制御し、それらの滞留時間へのアクセスを有することが重要である。したがって、好ましい実施形態では、液体8の流れは、シリンジドライバ(kdScientific Legato 180)によってモニターされる。圧力コントローラ又はぜん動ポンプとして、他の液体流アクチュエータを使用することができる。気体流量を制御し、気体混合物を実現するために質量流量コントローラ(Bronkhorst EL‐FLOW)を用いることができる。好ましい態様において、気体チャネル10を通る気体流量は、液体マイクロチャネル9を通る液体流量より高く、好ましくは、液体マイクロチャネル9における液体流量の5倍から10000倍の間に含まれ、特に、液体マイクロチャネルにおける液体流量の50倍から2000倍の間に含まれ、好ましくは、液体マイクロチャネルにおける液体流量の80倍から1000倍の間に含まれる。したがって、液体マイクロチャネル9内の液体流量から独立して反応種の滞留時間を調整することが可能である:各相の滞留時間は、相関しない。液体8は、少なくとも1つの溶媒、及び任意に少なくとも1つの試薬を含む。シリンジドライバによってモニターされる液体8の流量は、0.5μL/min~100μL/minの範囲、特に1μL/min~50μL/min、好ましくは4μL/min~30μL/minの範囲に含まれることができる。使用される気体は、不活性気体(例えば、Ar、He、N2)又は活性気体(O2、H2、CO2、CO、NH3、CH4等の揮発性炭化水素)又はそれらの混合物であり得る。気体12の流量は、0.1mL/min~50mL/minの範囲、特に0.5mL/min~10mL/minの範囲に含まれることができる。
本発明によるプラズマ・マイクロリアクタ1は、少なくとも1つの接地電極4及び少なくとも1つの高電圧電極5を含む。
高圧電極5及び接地電極4は、それぞれ高圧電源6及びアースに接続されている。好ましい実施形態では、高電圧源6は、電位の正弦波又はパルス電位を供給することができる。
図8及び図9を参照すると、流体チャネル2は、例えば図2に示すような上述の実施形態で示された断面を有する蛇行パターン化チャネルとして設計されている。図8及び図9は、プラズマ・マイクロリアクタ1の第1層L1及び第2層L2をそれぞれ製造するためのマスクの設計を示す。設計は、2Dコンピュータ支援設計ソフトウェア(Clewin5)を用いて描かれる。
図16を参照すると、電極4,5は、正弦波ポテンシャルによって分極されることができる。電気的特性評価は、Lissajous法によって行われる。接地電極4と接地との間に3.2nFのコンデンサを直列に接続し、コンピュータに接続されたオシロスコープ(Teledyne Lecroy WaveSurfer10, 1GHz)を使用し、適合電圧プローブ(LeCroy PPE 20kV, 1000:1, 100MHz; Teledyne LeCroy PP024 10:1, 500MHz)を用いて、高圧電極5とコンデンサとの両方の間の電圧降下を測定する。
電荷結合素子(CCD)カメラ(Pixelink PL-B781U)はマクロスコープ(Leica Z16 APO)に取り付けられることができ、プラズマ・マイクロリアクタ1内の流体の流れを画像化することができる。プラズマ・マイクロリアクタ1は、拡散LEDランプによって後方照射されることができる。したがって、コリニア気体/液体流の安定性は評価されることができ、液体8及び気体12の流量を調整することができる。
上述のプラズマ・マイクロリアクタ1は、流体相と接触するプラズマを生成するように構成されている。
プラズマ・マイクロリアクタ1内でプラズマを生成する方法であって、
(a) プラズマ・マイクロリアクタ1を用意するステップと、
(b) 液体8を供給し、複数の液体マイクロチャネルを介して所与の方向において液体流を作るステップと、
(c) 気体12を供給し、気体チャネル10を介して前記方向において気体流を作るステップと、
(d) 気体チャネル10内でプラズマを生成するように、(複数の)高電圧電極5と(複数の)接地電極4との間に高電圧を印加するステップと、を含む。
液体の流れと気体の流れの制御は独立しているので、液相と気体相の滞留時間を調整することができ、例えば、異なる液体流量(flow rate)と異なる気体流量とを有する。
実施例1:
流れの安定化
図19は、2つの異なるタイプの流体チャネル内で制御される水の流れ及びアルゴンの流れを示す:0.5mL/minから2mL/minまで変化する気体流量について、図2に示される実施形態による2つの凸状屈曲部分7を含む流体チャネル2(「ステップ有り」)、及び、本発明とは異なる平坦な流体チャネル(「ステップ無し」)。したがって、凸状屈曲部分7無しでは、安定した二相流を達成することができず、流れは、ランダムに前方に移動するプラグ流又は散乱水滴である。凸状屈曲部分7を含む流体チャネル2は、気体12が液体8を通って流れることを可能にする。
シクロヘキサンの酸化
液体シクロヘキサン(VWR、HiPerSolv CHROMANORM for HPLC)は、それぞれ0.5mL/min、1.5mL/min、2mL/min(sccm)の純O2気体と共に、プラズマ・マイクロリアクタ1に3つの異なる流速(6μL/min、12μL/min、24μL/min)で導入された。高電圧、2kHz正弦波電位は、気体チャネル10内での大気圧誘電体バリア放電をトリガする。電位の振幅は、前述の電気的セットアップにより測定したように、500mWの定電力を得るように適合され、6kV~7kVピーク間で測定されるように制御された。
反応物の変化
実施例2に記載されているように、他の気体12を用いて化学反応を実施することができる。プラズマ・マイクロリアクタ1内でのシクロヘキサン上での純粋な水素気体12の使用は、主生成物としてシクロヘキセンを生成するが、これは、脱水素反応を証明するので、予想外である。シクロヘキセンの選択性は17%から35%と幅があり、全体的な変換率の上昇に伴って低下する。有意な量の副生成物は、シクロヘキセンの二重結合のためにシクロヘキサンよりも反応性が高いシクロヘキセンの過剰反応に起因すると考えられる。表2は、供給される気体の種類によるプラズマ・マイクロリアクタ1内で実施される可能性のある反応を示す。
液体及び気体マイクロチャネルの設計の変更
マイクロリアクタは、図3Dに示される幾何学的形状に従って、Borofloat(R)33ガラス内に製造された。製作工程には、2枚のガラス板のプラズマエッチングとその後の接合が含まれた。全体的に蛇行形状のチャネルでは、液体流はチャネルの1mm幅の側面のうちの1つに、数十個の40μm×40μmの平行溝が案内され、気体流は高さ300μm以上のチャネル空間で流れることを可能にされたた。
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Claims (33)
- 少なくとも部分的に誘電材料から作られた支持体であって、気体リザーバへの接続に適合した気体入口と、液体リザーバへの接続に適合した液体入口と、気体及び/又は液体を含むレシーバへの接続に適合した少なくとも1つの流体出口と、を有する、支持体と、
前記液体入口から前記流体出口への液体流を許容するのに適合した支持体内の液体マイクロチャネルと、
気体入口から流体出口まで気体流を許容するのに適合した支持体内の気体チャネルと、
少なくとも1つの接地電極と、
前記支持体の前記誘電材料によって前記気体チャネルから分離された、少なくとも1つの高電圧電極と、
を備えるプラズマ・マイクロリアクタであって、
前記接地電極と前記高電圧電極とは、前記気体チャネル内に電界を確立できるように前記気体チャネルの対向面上に配置され、
前記液体マイクロチャネルと前記気体チャネルとは隣接し、前記液体マイクロチャネルと前記気体チャネルとの間に少なくとも1つの開口が配置され、したがって、流体チャネルを形成し、前記液体流を前記気体流と接触させ、
前記液体流は、毛管現象によって前記液体マイクロチャネル内に保持され、
前記開口は、流体チャネルの壁の凸状屈曲部分によって、部分的に画定され、
前記凸状屈曲部分は、前記液体マイクロチャネルと前記気体チャネルとの間に配置されており、前記液体マイクロチャネルに沿って、且つ、前記気体チャネルに沿って連続的に延在し、
前記液体マイクロチャネルと前記気体チャネルとの間にステップを形成するように、前記液体マイクロチャネルは、前記気体チャネルより小さい高さを有し、
前記凸状屈曲部分によって前記ステップのエッジが形成されている、
プラズマ・マイクロリアクタ。 - 少なくとも1つの開口は、前記液体マイクロチャネルと前記気体チャネルとの間に、前記流体チャネルの長さの少なくとも80%の上に配置されている、
請求項1記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記凸状屈曲部分は、20μm未満の曲率半径を有する、
請求項2記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記接地電極及び前記高電圧電極に電気的に接続した高電圧源を有する、
請求項1乃至3いずれか1項記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記液体マイクロチャネルの長さ及び前記気体チャネルの長さは、2cm以上である、
請求項1乃至4いずれか1項記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記支持体は、UV硬化ポリマー、ポリ(テトラメチレン・サクシネート)、環状オレフィン・コポリマー(COC)、ガラス、セラミック材料、又は、これらの組み合わせ、から作られている、
請求項1乃至5いずれか1項記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記流体チャネルは、主平面に従って配置されており、
前記流体チャネルの設計は、20mm2以上の正方形にわたって、0.3より高い、前記主平面内の前記流体チャネルの表面密度を有することを可能にし、
請求項1乃至6いずれか1項記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 2つの前記液体マイクロチャネルは前記気体チャネルの対向面上に配置され、したがって、流体チャネルはT字状の断面を有する、
請求項1乃至7いずれか1項記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記支持体は、全体に、ガラス又はセラミック材料から作られるか、又は、少なくとも2枚のガラス層の間に含まれるポリマー層でできている。
請求項1乃至8いずれか1項記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記液体マイクロチャネルの高さは、1μmより大きく、且つ、200μm未満である、及び/又は、
前記気体チャネルの高さは、前記液体マイクロチャネルの高さと1mmとの間にある、
請求項1乃至9いずれか1項記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - プラズマ・マイクロリアクタ内でプラズマを生成する方法であって、
(a) 請求項1乃至10いずれか1項記載のプラズマ・マイクロリアクタを用意するステップと、
(b) 液体を供給し、複数の前記液体マイクロチャネルを介して所与の方向において液体流を作成するステップと、
(c) 気体を供給し、前記気体チャネルを介して前記方向において気体流を作成するステップと、
(d) 前記気体チャネル内でプラズマを生成するように前記高電圧電極と前記接地電極との間に高電圧を印加するステップと、
を含む方法。 - 前記気体チャネルを介する気体流量は、前記液体マイクロチャネルを介する液体流量よりも高い、
請求項11記載の方法。 - 前記気体は、空気、アルゴン、ヘリウム、酸素、水素、窒素、水蒸気、アンモニアゴム、二酸化炭素、一酸化炭素、揮発性炭化水素、揮発性有機化合物、及びそれらの混合物のうちから選択され、及び/又は、
前記液体は、水、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、アルコール、エーテル、エステル、ケトン、ハロゲン化溶媒、ジメチルスルホキシド(DMSO)、アセトニトリル、ジメチルホルムアミド(DMF)、イオン性液体若しくはそれらの混合物を含む溶媒、及び、メタクリル酸メチル(MMA)若しくはフェノールを含む試薬、又は、それらの混合物から選択される、
請求項11又は12記載の方法。 - 前記高電圧は、250Vと30kVとの間に含まれており、
前記高電圧は、100Hzと1MHzとの間に含まれる周波数を有する、高電圧の、変数であるか、又は、
高電圧は、100Hzと1MHzとの間に含まれる周波数を有するパルス電圧である、
請求項11乃至13いずれか1項記載の方法。 - 前記液体の中に存在する化合物は、分解、酸化、水素添加、脱水素、アミノ化又はカルボニル化を含む少なくとも1つの化学反応に供される、
請求項11乃至14いずれか1項記載の方法。 - 少なくとも1つの開口は、前記液体マイクロチャネルと前記気体チャネルとの間に、前記流体チャネルの長さの少なくとも90%の上に配置されている、
請求項2記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 少なくとも1つの開口は、前記液体マイクロチャネルと前記気体チャネルとの間に、前記流体チャネルの長さの100%の上に配置されている、
請求項16記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記液体マイクロチャネルの長さ及び前記気体チャネルの長さは、20cm以上である、
請求項5記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記液体マイクロチャネルの長さ及び前記気体チャネルの長さは、100cm以上である、
請求項18記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記流体チャネルは蛇行パターンに配置されている、
請求項7記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記液体マイクロチャネルの高さは、10μmより大きい、
請求項10記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記液体マイクロチャネルの高さは、40μmより大きい、
請求項21記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記液体マイクロチャネルの高さは、100μm未満である、
請求項10、21及び22いずれか1項記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記液体マイクロチャネルの高さは、50μm未満である、
請求項23記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記気体チャネルの高さは、前記液体マイクロチャネルの高さと200μmとの間にある、
請求項10及び21乃至24いずれか1項記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記気体チャネルの高さは、前記液体マイクロチャネルの高さと100μmとの間にある、
請求項25記載のプラズマ・マイクロリアクタ。 - 前記気体チャネルを介する気体流量は、前記液体マイクロチャネルにおける液体流量の5倍から10000倍の間でより高い、
請求項12記載の方法。 - 前記高電圧は、1kVと20kVとの間に含まれる、
請求項14記載の方法。 - 前記高電圧は、1kVと10kVとの間に含まれる、
請求項28記載の方法。 - 前記高電圧は、100Hzと100kHzとの間に含まれる周波数を有する正弦波である、
請求項14、28及び29いずれか1項記載の方法。 - 前記周波数100Hzと10kHzとの間に含まれる、
請求項30記載の方法。 - 高電圧は、100Hzと10kHzとの間に含まれる周波数を有するパルス電圧である、
請求項14、28及び29いずれか1項記載の方法。 - 前記周波数は、100Hzと1kHzとの間に含まれる、
請求項32記載の方法。
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