JP6986166B2 - レベルセンサーのポジショニングに基づく結晶体の方向調整加工法 - Google Patents
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Description
加工しようとする結晶体上にレベルセンサーを固定し、
X線角度計上において、X線角度計作業台を参考として、所要の結晶体回折角度下で方向調整を行い、所要の結晶体原子面と水平面との相対位置関係を探し出し、レベルセンサーによって測定される結晶体の原子面X方向とY方向上の水平角度データ∠x、∠yを得る、
結晶体の方向調整時に得られる結晶体原子面X方向とY方向上の水平角度データを利用して、結晶体を切断設備上に設置し、相対角度の偏差によって結晶体の加工設備上における角度に補正して、新しい空間位置を獲得し、この位置状態で加工を行なうことによって、所要の方向調整角度の結晶体の外観表面を得る、
前記相対角度偏差は、X線角度計の作業台表面を参照し、中間紐帯又は過渡として水平面を用い、切断設備の加工面と角度計の作業台平面との相対角度偏差を測定して、Δx、Δyとする、
ステップを含むことを特徴とする。
レベルセンサーを結晶体上に固定し、
レベルセンサーが固定された結晶体をX線角度計の中に入れて、当該X線角度計を所要の結晶軸方向角度θ位置の方向調整状態に調節し、回折現象が発生する時、結晶体原子面がレベルセンサーのX軸方向上の角度値とY軸方向上の角度値を測定して、∠x1、∠y1と記録し、結晶体原子面が空間水平方向における角度値を得る、
上記レベルセンサーが固定された結晶体を、記録された∠x1、∠y1によって、結晶体原子面の空間水平方向における位置を当該角度に調節し、方向調整時の空間水平位置に戻すように、切断設備に設置し、試験切断を行い、
切断が終わると、切断された結晶体を再び基準検査平面付きX線角度計上に設置し、結晶体の加工面をX線角度計の測定基準面にしっかりと近づけて、方向調整を行い、結晶体のX軸方向とY軸方向における実際の結晶軸方向角度を測定して、結晶体のX軸方向における方向調整角度をθx、Y軸方向における方向調整角度をθyと記録し、θとθx、θとθyを比較することによって、前記相対角度偏差ΔxとΔyを得る、計算方法は、方向調整時の理論回折角θから加工後の実際測定された結晶軸方向角度θxを引いた値であり、即ち、計算式Δx=θ-θx、Δy=θ-θyである。
2.本発明の加工法は接着剤を使わないので、待機時間が大きく短縮するだけでなく、接着剤除去の時間と難しさを減らし、結晶体に対する損傷を低減することができる。結晶体の接着プロセスと煩雑な調節機構を省略したため、操作が簡単になり、効率が大きくアップできる。
3.レベルセンサーを使用することによって、結晶体の水平位置角度情報のデジタル化を実現し、生産中の結晶体角度のリアルタイム監視、リアルタイム観察が実現でき、直観的で明瞭である。
4.この新しい加工法が使用されることによって、生産の難易度が大きく軽減し、操作者に対する要求が低くなり、人件費及び労働力の消耗が少なくなる。
5.普及性に優れ、各種角度調整が必要である用途に使用することができる。
X線角度計の作業台と標準水平面の誤差がゼロであり、さらに、切断設備の切断面と標準水平面の誤差がゼロであるとすれば、方向調整切断後の結晶体内の原子面と標準水平面の誤差もゼロである。勿論、実際中この3つの平面の誤差がゼロである状況はほとんど実現できない。本発明では、空間数平面や方向調整測定設備の測定面及び切断設備の切断面など三者間の相互関係と参考座標との対応する規則に注目した。操作の簡略化や加工精度の向上作用にとって、本発明は、レベルセンサーのデータ表示を利用して、計算によって、補正量を増やして、三つの平面をほとんど平行するようにして、誤差をゼロ又はゼロに近くすることができ、操作が簡単になる。
Claims (3)
- 加工しようとする結晶体にレベルセンサーを固定するステップと、
X線角度計において、標準水平面との誤差がゼロであるX線角度計の作業台平面を参考として、所要の結晶体回折角度下で方向調整を行い、所要の結晶体原子面と水平面との相対位置関係を探し出し、レベルセンサーによって測定される結晶体の原子面X方向とY方向上の水平角度データ∠x、∠yを得るステップと、
結晶体の方向調整時に得られる結晶体原子面X方向とY方向上の水平角度データを利用して、結晶体を切断設備に設置し、相対角度の偏差によって結晶体の加工設備上における角度に補正して、新しい空間位置を獲得し、この位置状態で加工を行なうことによって、所要の方向調整角度の結晶体の外観表面を得るステップと、
前記相対角度偏差は、前記X線角度計の前記作業台平面を参照し、前記標準水平面との相対的な角度を基準として、前記切断設備の加工面と角度計の前記作業台平面との相対角度偏差を測定して、Δx、Δyとするステップと
を含む、ことを特徴とするレベルセンサーのポジショニングに基づく結晶体の方向調整加工法。 - 前記相対角度の偏差の測定は、
レベルセンサーを結晶体上に固定するステップと、
レベルセンサーが固定された結晶体をX線角度計の中に入れて、当該X線角度計を所要の結晶軸方向角度θ位置の方向調整状態に調節し、回折現象が発生する時、レベルセンサーのX軸方向上の角度値とY軸方向上の角度値とを測定して、∠x1、∠y1と記録し、結晶体の原子面の空間水平面に対する角度値を得るステップと、
上記レベルセンサーが固定された結晶体を、記録された∠x1、∠y1によって、結晶体原子面の空間水平方向における位置を当該角度値に調節し、方向調整時の空間水平位置に戻すように、切断設備に設置し、試験切断するステップと、
切断が終わると、切断された結晶体を再び基準検査平面付きX線角度計上に設置し、結晶体の加工面を、X線角度計の測定基準面にしっかりと近づけて、方向調整を行い、結晶体のX軸方向とY軸方向における実際の結晶軸方向角度を測定して、結晶体のX軸方向における方向調整角度をθx、Y軸方向における方向調整角度をθyと記録し、θとθx、θとθyを比較することによって、前記相対角度偏差ΔxとΔyを得る、ここで、計算方法は、方向調整時の理論回折角θから加工後の実際測定された結晶軸方向角度θxを引いた値であり、即ち、計算式Δx=θ-θx、Δy=θ-θyである、ステップと
を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のレベルセンサーのポジショニングに基づく結晶体の方向調整加工法。 - レベルセンサーとディスプレイを接続し、結晶体の空間における水平方向角度をレベルセンサーのX軸、Y軸の二つの垂直方向のデータでディスプレイ上にデジタル化表示する、ことを特徴とする請求項1に記載のレベルセンサーのポジショニングに基づく結晶体の方向調整加工法。
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