JP6981049B2 - ロードポート装置及びウエハ搬送容器 - Google Patents
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Description
雰囲気を検出する検出部と、前記検出部による検出結果を含む情報を無線送信する送信部と、外部から電力を受け取る受電部と、前記検出部及び前記送信部に前記電力を供給する電力制御部と、を有するウエハ搬送容器を載置する載置テーブルと、
前記載置テーブルに載置された前記ウエハ搬送容器の前記受電部に対して非接触給電する非接触給電部と、を有しており、
前記非接触給電部は、前記ウエハ搬送容器の動線に干渉せず、かつ、前記載置テーブルに載置された前記ウエハ搬送容器の前記受電部に対向するように配置されていることを特徴とする。
前記非接触給電部は、上方から見て2つの前記載置テーブルの間に配置されており、それぞれの前記載置テーブルに載置された前記ウエハ搬送容器の側部領域に配置される、それぞれの前記受電部に対向してもよい。
前記非接触給電部は、前記ドアに配置されており、前記載置テーブルに載置された前記ウエハ搬送容器の前記蓋部に配置される前記受電部に対向してもよい。
前記受電部は、前記ウエハ設置棚の最下棚と、容器底面の間に配置されることを特徴とする。
前記受電部は、前記ウエハ設置棚の外側端部と、容器側面の間に配置されることを特徴とする。
前記受電部は、前記蓋部に配置されることを特徴とする。
図1は、本発明の第1実施形態に係るロードポート装置40とウエハ搬送容器としてのフープ20とを示す概略図である。フープ20には、フープ20の筐体22内の雰囲気を検出する検出部31(図4参照)等を有する容器内雰囲気計測装置30(以下、単に「計測装置30」という。)が備えられている。
図8は、本発明の第2実施形態に係るロードポート装置140を正面から見た外観図である。第2実施形態に係るロードポート装置140は、第1装置部分240と第2装置部分340と非接触給電部145とを有する。ロードポート装置140における第1装置部分240及び第2装置部分340は、それぞれの装置部分240、340が有する載置テーブル246、346が非接触給電部を有していないことを除き、図1に示すロードポート装置40と同様であるため、各装置部分240、340とロードポート装置40との共通部分については、説明を省略する。
図11は、本発明の第3実施形態に係るロードポート装置440と、ロードポート装置440に用いるフープ420の部分断面図である。また、図12は、図11に示すロードポート装置440の斜視図であり、図13は、図11に示すフープ420の斜視図である。ロードポート装置440は、載置テーブル446が非接触給電部45を有さず、その代わりに、ドア447が非接触給電部445を有する点で図1に示すロードポート装置40とは異なるが、その他の点はロードポート装置40と同様である。そのため、ロードポート装置440の説明では、ロードポート装置40との共通点については、説明を省略する。
42…ボトムパージノズル
22、422、522…筐体
20、220、420、520…フープ
20a…器底面
220b…容器側面
22a…主開口
22b…底部
23a、23b…底部開口
24、224…ウエハ設置棚
24a…最下棚
26、426…蓋部
43…制御部
30、230、430…計測装置
31…検出部
31a…センシング部
32…送信部
33…電源部
34…蓄電部
35、535…受電部
35a…受電コイル
44…受信部
36…電力制御部
38…カバー部
38a…通気孔
39…基板
40、140、440、540…ロードポート装置
41…フロントパージノズル
42b…手前側ノズル
42a…奥側ノズル
45、145、445、545…非接触給電部
45a…給電コイル
46、446、546…載置テーブル
46a…上表面
47、447、547…ドア
47a…ドア駆動部
48、548…ロードポート枠体
48a…接続開口
49a…位置決めピン
49b…クランプ部
60…EFEM
62…搬送ロボット
64…壁部
66…ウエハ搬送室
240…第1装置部分
246…第1載置テーブル
340…第2装置部分
346…第2載置テーブル
224b…外側端部
522c…フランジ部
Claims (5)
- 雰囲気を検出する検出部と、前記検出部による検出結果を含む情報を無線送信する送信部と、外部から電力を受け取る受電部と、前記検出部及び前記送信部に前記電力を供給する電力制御部と、を有するウエハ搬送容器を載置する載置テーブルと、
前記載置テーブルに載置された前記ウエハ搬送容器の前記受電部に対して非接触給電する非接触給電部と、を有するロードポート装置であって、
前記載置テーブルを2つ有しており、
2つの前記載置テーブルは、前記ウエハ搬送容器を載置して移動する移動方向が互いに平行になるように側方に並んで配置されており、
前記非接触給電部は、前記ウエハ搬送容器の動線に干渉せず、上方から見て前記載置テーブルに重ならず、前記載置テーブルそれぞれの側方で2つの前記載置テーブルの間であって、かつ、それぞれの前記載置テーブルに載置された前記ウエハ搬送容器の側部領域に配置されるそれぞれの前記受電部に対向するように配置されていることを特徴とするロードポート装置。 - 筐体内に設けられウエハを設置するウエハ設置棚と、前記筐体内の雰囲気を検出する検出部と、前記検出部による検出結果を含む情報を無線送信する送信部と、外部から電力を受け取る受電部と、前記検出部及び前記送信部に前記電力を供給する電力制御部と、を有し、
少なくとも前記受電部を2つ有しており、
2つの前記受電部は、前記ウエハ設置棚の両側の外側端部と、当該外側端部のさらに外側の容器側面との間である両側の側部領域の対向する位置に配置されることを特徴とするウエハ搬送容器。 - 両側の前記側部領域の前記対向する位置に、前記検出部、前記送信部、前記受電部及び前記電力制御部を有する計測装置がそれぞれ配置されることを特徴とする請求項2に記載のウエハ搬送容器。
- 両側の前記側部領域の前記対向する位置の一方に、前記検出部、前記送信部、前記受電部及び前記電力制御部を有する計測装置が配置され、他方に、前記受電部のみが配置されることを特徴とする請求項2に記載のウエハ搬送容器。
- 両側の前記側部領域の前記対向する位置に、それぞれ前記受電部のみが配置され、2つの前記受電部に、他の位置に配置された前記検出部、前記送信部及び前記電力制御部が接続されることを特徴とする請求項2に記載のウエハ搬送容器。
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JP2017107183A JP6981049B2 (ja) | 2017-05-30 | 2017-05-30 | ロードポート装置及びウエハ搬送容器 |
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