JP6978731B2 - アセタール保護されたシラノール基を含むポリシロキサン組成物 - Google Patents
アセタール保護されたシラノール基を含むポリシロキサン組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6978731B2 JP6978731B2 JP2018537257A JP2018537257A JP6978731B2 JP 6978731 B2 JP6978731 B2 JP 6978731B2 JP 2018537257 A JP2018537257 A JP 2018537257A JP 2018537257 A JP2018537257 A JP 2018537257A JP 6978731 B2 JP6978731 B2 JP 6978731B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- polysiloxane
- resist
- mol
- formula
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 0 **1ccccc1 Chemical compound **1ccccc1 0.000 description 2
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N C1CCCCC1 Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/04—Polysiloxanes
- C08G77/14—Polysiloxanes containing silicon bound to oxygen-containing groups
- C08G77/18—Polysiloxanes containing silicon bound to oxygen-containing groups to alkoxy or aryloxy groups
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/04—Polysiloxanes
- C08G77/38—Polysiloxanes modified by chemical after-treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/48—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which at least two but not all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
- C08G77/50—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which at least two but not all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms by carbon linkages
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D183/00—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Coating compositions based on derivatives of such polymers
- C09D183/04—Polysiloxanes
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/0045—Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/075—Silicon-containing compounds
- G03F7/0752—Silicon-containing compounds in non photosensitive layers or as additives, e.g. for dry lithography
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/075—Silicon-containing compounds
- G03F7/0757—Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/11—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having cover layers or intermediate layers, e.g. subbing layers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/40—Treatment after imagewise removal, e.g. baking
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/80—Siloxanes having aromatic substituents, e.g. phenyl side groups
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Architecture (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Silicon Polymers (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
リソグラフィー技術の進展に伴い微細パターン化が進み、krFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザーが用いられ、更に電子線やEUV(極端紫外線)を用いた露光技術が検討されている。
その様な反転パターンを利用したパターンの形成方法として、水素原子、フッ素原子、炭素数1乃至5の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキル基、シアノ基、シアノアルキル基、アルキルカルボニルオキシ基、アルケニル基、又はアリール基を有するシランと、テトラエトキシシランとの共加水分解によるポリシロキサンとエーテル系溶剤を用いた材料を利用する発明がある(特許文献1参照)。
また、ポリアルキルシロキサンを用いた材料を利用する発明がある(特許文献2参照)。
ケイ素原子と直接結合している水酸基の一部の水素原子がアセタール基で置換されていて、(アセタール基)/(Si)≧0.3のモル比割合で存在するポリシロキサンと、そのポリシロキサンを用いた感光性樹脂組成物が開示されている(特許文献3参照)。
ポリシロキサンを含む被覆組成物は硬化してポリシロキサンを形成し、後にエッチング(ガスエッチング)によるエッチバックにより平坦な面を形成することができる。更に有機下層膜はアッシング(灰化処理)により除去することができるので、レジストや有機下層膜によるパターンを、ポリシロキサンを含む被覆組成物が充填されてできたポリシロキサンのパターンに反転することできる。これらの反転パターンにより被加工基板の加工を行うことができる。
また、加水分解性シランが式(1)中、aが0である加水分解性シランを85.5モル%乃至100モル%、式(1)中aが2である加水分解性シランを0モル%乃至14.5モル%の割合で含むことができる。
加水分解触媒としての金属キレート化合物は、例えばトリエトキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、トリ−n−プロポキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、トリ−i−プロポキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、トリ−n−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、トリ−sec−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、トリ−t−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)チタン、ジエトキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、ジ−n−プロポキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、ジ−i−プロポキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、ジ−n−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、ジ−sec−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、ジ−t−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)チタン、モノエトキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、モノ−n−プロポキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、モノ−i−プロポキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、モノ−n−ブトキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、モノ−sec−ブトキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、モノ−t−ブトキシ・トリス(アセチルアセトナート)チタン、テトラキス(アセチルアセトナート)チタン、トリエトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、トリ−n−プロポキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、トリ−i−プロポキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、トリ−n−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、トリ−sec−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、トリ−t−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)チタン、ジエトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−n−プロポキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−i−プロポキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−n−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−sec−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、ジ−t−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)チタン、モノエトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、モノ−n−プロポキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、モノ−i−プロポキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、モノ−n−ブトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、モノ−sec−ブトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、モノ−t−ブトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)チタン、テトラキス(エチルアセトアセテート)チタン、モノ(アセチルアセトナート)トリス(エチルアセトアセテート)チタン、ビス(アセチルアセトナート)ビス(エチルアセトアセテート)チタン、トリス(アセチルアセトナート)モノ(エチルアセトアセテート)チタン、等のチタンキレート化合物;トリエトキシ・モノ(アセチルアセトナート)ジルコニウム、トリ−n−プロポキシ・モノ(アセチルアセトナート)ジルコニウム、トリ−i−プロポキシ・モノ(アセチルアセトナート)ジルコニウム、トリ−n−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)ジルコニウム、トリ−sec−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)ジルコニウム、トリ−t−ブトキシ・モノ(アセチルアセトナート)ジルコニウム、ジエトキシ・ビス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、ジ−n−プロポキシ・ビス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、ジ−i−プロポキシ・ビス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、ジ−n−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、ジ−sec−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、ジ−t−ブトキシ・ビス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、モノエトキシ・トリス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、モノ−n−プロポキシ・トリス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、モノ−i−プロポキシ・トリス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、モノ−n−ブトキシ・トリス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、モノ−sec−ブトキシ・トリス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、モノ−t−ブトキシ・トリス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、テトラキス(アセチルアセトナート)ジルコニウム、トリエトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、トリ−n−プロポキシ・モノ(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、トリ−i−プロポキシ・モノ(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、トリ−n−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、トリ−sec−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、トリ−t−ブトキシ・モノ(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、ジエトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、ジ−n−プロポキシ・ビス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、ジ−i−プロポキシ・ビス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、ジ−n−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、ジ−sec−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、ジ−t−ブトキシ・ビス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、モノエトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、モノ−n−プロポキシ・トリス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、モノ−i−プロポキシ・トリス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、モノ−n−ブトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、モノ−sec−ブトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、モノ−t−ブトキシ・トリス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、テトラキス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、モノ(アセチルアセトナート)トリス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、ビス(アセチルアセトナート)ビス(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、トリス(アセチルアセトナート)モノ(エチルアセトアセテート)ジルコニウム、等のジルコニウムキレート化合物;トリス(アセチルアセトナート)アルミニウム、トリス(エチルアセトアセテート)アルミニウム等のアルミニウムキレート化合物;などを挙げることができる。
加水分解触媒としての無機酸は、例えば塩酸、硝酸、硫酸、フッ酸、リン酸等を挙げることができる。
硬化触媒としては、アンモニウム塩、ホスフィン類、ホスホニウム塩、スルホニウム塩を用いることができる。
式(D−3):
式(D−4):
式(D−5):
式(D−6):
−メチルプロピルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(2−メチルプロピルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(1,1−ジメチルエチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(パーフルオロイソプロピルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(4−メチルフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(2,4−ジメチルフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(2−ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(4−アセチルオキシフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(4−メタンスルホニルオキシフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(4−(4−トルエンスルホニルオキシ)フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(4−n−ヘキシルオキシ)フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(2−メチル−4−(n−ヘキシルオキシ)フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(2,5−ジメチル−4−(n−ヘキシルオキシ)フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(3,5−ジメチル−4−(n−ヘキsシルオキシ)フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(2−メチル−5−イソプロピル−4−(n−ヘキシルオキシ)フェニルスルホニル)ジアゾメタン、4−メチルフェニルスルホニルベンゾイルジアゾメタン、tertブチルカルボニル−4−メチルフェニルスルホニルジアゾメタン、2−ナフチルスルホニルベンゾイルジアゾメタン、4−メチルフェニルスルホニル2−ナフトイルジアゾメタン、メチルスルホニルベンゾイルジアゾメタン、tertブトキシカルボニル−4−メチルフェニルスルホニルジアゾメタン等のビススルホニルジアゾメタンとスルホニル−カルボニルジアゾメタンが挙げられる。
スルホン型光酸発生剤の例としては、ビス(フェニルスルホニル)メタン、ビス(4−メチルフェニルスルホニル)メタン、ビス(2−ナフチルスルホニル)メタン、2,2−ビス(フェニルスルホニル)プロパン、2,2−ビス(4−メチルフェニルスルホニル)プロパン、2,2−ビス(2−ナフチルスルホニル)プロパン、2−メチル−2−(p−トルエンスルホニル)プロピオフェノン、2−シクロヘキシルカルボニル)−2−(p−トルエンスルホニル)プロパン、2,4−ジメチル−2−(p−トルエンスルホニル)ペンタン−3−オン等が挙げられる。
ニルアセトニトリル、α−(p−クロロベンゼンスルホニルオキシイミノ)−フェニルアセトニトリル、α−(4−ニトロベンゼンスルホニルオキシイミノ)−フェニルアセトニトリル、α−(4−ニトロ−2−トリフルオロメチルベンゼンスルホニルオキシイミノ)−フェニルアセトニトリル、α−(ベンゼンスルホニルオキシイミノ)−4−クロロフェニルアセトニトリル、α−(ベンゼンスルホニルオキシイミノ)−2,4−ジクロロフェニルアセトニトリル、α−(ベンゼンスルホニルオキシイミノ)−2,6−ジクロロフェニルアセトニトリル、α−(ベンゼンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシフェニルアセトニトリル、α−(2−クロロベンゼンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシフェニルアセトニトリル、α−(ベンゼンスルホニルオキシイミノ)−2−チエニルアセトニトリル、α−(4−ドデシルベンゼンスルホニルオキシイミノ)−フェニルアセトニトリル、α−[(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシフェニル]アセトニトリル、α−[(ドデシルベンゼンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシフェニル]アセトニトリル、α−(トシルオキシイミノ)−3−チエニルアセトニトリル、α−(メチルスルホニルオキシイミノ)−1−シクロペンテニルアセトニトリル、α−(エチルスルホニルオキシイミノ)−1−シクロペンテニルアセトニトリル、α−(イソプロピルスルホニルオキシイミノ)−1−シクロペンテニルアセトニトリル、α−(n−ブチルスルホニルオキシイミノ)−1−シクロペンテニルアセトニトリル、α−(エチルスルホニルオキシイミノ)−1−シクロヘキセニルアセトニトリル、α−(イソプロピルスルホニルオキシイミノ)−1−シクロヘキセニルアセトニトリル、α−(n−ブチルスルホニルオキシイミノ)−1−シクロヘキセニルアセトニトリル等が挙げられる。
特に、トリフルオロメタンスルホン酸のアンモニウム塩が好ましい。
第一級の脂肪族アミン類として、メチルアミン、エチルアミン、n−プロピルアミン、イソプロピルアミン、n−ブチルアミン、イソブチルアミン、sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、ペンチルアミン、tert−アミルアミン、シクロペンチルアミン、ヘキシルアミン、シクロヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ドデシルアミン、セチルアミン、メチレンジアミン、エチレンジアミン、テトラエチレンペンタミン等が例示される。
ミン、ベンジルアミン、フェネチルアミン、ベンジルジメチルアミン等が例示される。
体(例えばピリジン、メチルピリジン、エチルピリジン、プロピルピリジン、ブチルピリ
ジン、4−(1−ブチルペンチル)ピリジン、ジメチルピリジン、トリメチルピリジン、
トリエチルピリジン、フェニルピリジン、3−メチル−2−フェニルピリジン、4−te
rt−ブチルピリジン、ジフェニルピリジン、ベンジルピリジン、メトキシピリジン、ブ
トキシピリジン、ジメトキシピリジン、4−ピロリジノピリジン、2−(1−エチルプロ
ピル)ピリジン、アミノピリジン、ジメチルアミノピリジン等)、ピリダジン誘導体、ピ
リミジン誘導体、ピラジン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾリジン誘導体、ピペリジン
誘導体、ピペラジン誘導体、モルホリン誘導体、インドール誘導体、イソインドール誘導
体、1H−インダゾール誘導体、インドリン誘導体、キノリン誘導体(例えばキノリン、
3−キノリンカルボニトリル等)、イソキノリン誘導体、シンノリン誘導体、キナゾリン
誘導体、キノキサリン誘導体、フタラジン誘導体、プリン誘導体、プテリジン誘導体、カ
ルバゾール誘導体、フェナントリジン誘導体、アクリジン誘導体、フェナジン誘導体、1
,10−フェナントロリン誘導体、アデニン誘導体、アデノシン誘導体、グアニン誘導体
、グアノシン誘導体、ウラシル誘導体、ウリジン誘導体等が例示される。
ルカルボン酸、アミノ酸誘導体(例えばニコチン酸、アラニン、アルギニン、アスパラギ
ン酸、グルタミン酸、グリシン、ヒスチジン、イソロイシン、グリシルロイシン、ロイシ
ン、メチオニン、フェニルアラニン、スレオニン、リジン、3−アミノピラジン−2−カ
ルボン酸、メトキシアラニン)等が例示される。
更には、4−(メタクリロイルオキシ)フェニルジフェニルスルホニウム、4−(アク
リロイルオキシ)フェニルジフェニルスルホニウム、4−(メタクリロイルオキシ)フェ
ニルジメチルスルホニウム、4−(アクリロイルオキシ)フェニルジメチルスルホニウム
等が挙げられる。
本発明では、半導体装置の製造に使用される基板(例えば、シリコンウエハー基板、シリコン/二酸化シリコン被覆基板、シリコンナイトライド基板、ガラス基板、ITO基板、ポリイミド基板、及び低誘電率材料(low−k材料)被覆基板等)の上に、スピナー、コーター等の適当な塗布方法により本発明に用いられる組成物が塗布される。
テトラエトキシシラン100.09g(全シラン中に85モル%含有する)、メチルトリエトキシシラン15.08g(全シラン中に15モル%含有する)及びアセトン172.52gをフラスコに入れた。このフラスコに、冷却管を取り付け調製しておいた塩酸水溶液(0.01モル/リットル)30.37gを入れた滴下ロートをセットし、室温下で塩酸水溶液をゆっくり滴下し数分攪拌した。その後オイルバスにて85℃で4時間反応させた。反応終了後、反応溶液の入ったフラスコを放冷してからエバポレーターにセットし、反応中に生成したエタノールを除去し、さらに、エバポレーターを用いてアセトンをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換してポリシロキサン溶液196.3gを得た(式(1−1)に相当)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.7質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.441(br、0.70H)、3.847(br、0.20H)、1.185(br、0.30H)、0.142(br、0.45H)
Si−Meの積分値を0.45Hと仮定
GPC(ポリスチレン換算):重量平均分子量Mw=2004
テトラエトキシシラン100.02g(全シラン中に75モル%含有する)、メチルトリエトキシシラン28.52g(全シラン中に25モル%含有する)及びアセトン192.43gをフラスコに入れた。このフラスコに、冷却管を取り付け調製しておいた塩酸水溶液(0.01モル/リットル)43.25gを入れた滴下ロートをセットし、室温下で塩酸水溶液をゆっくり滴下し数分攪拌した。その後オイルバスにて85℃で4時間反応させた。反応終了後、反応溶液の入ったフラスコを放冷してからエバポレーターにセットし、反応中に生成したエタノールを除去し、さらに、エバポレーターを用いてアセトンをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換してポリシロキサン溶液225.6gを得た(式(1−1)に相当)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.3質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.718(br、0.61H)、3.845(br、0.20H)、1.189(br、0.40H)、0.140(br、0.75H)
Si−Meの積分値を0.75Hと仮定
GPC(ポリスチレン換算):Mw=1810
テトラエトキシシラン100.00g(全シラン中に80モル%含有する)、メチルトリエトキシシラン21.41g(全シラン中に20モル%含有する)及びアセトン182.08gをフラスコに入れた。このフラスコに、冷却管を取り付け調製しておいた塩酸水溶液(0.01モル/リットル)41.11gを入れた滴下ロートをセットし、室温下で塩酸水溶液をゆっくり滴下し数分攪拌した。その後オイルバスにて85℃で4時間反応させた。反応終了後、反応溶液の入ったフラスコを放冷してからエバポレーターにセットし、反応中に生成したエタノールを除去し、さらに、エバポレーターを用いてアセトンをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換してポリシロキサン溶液210.6gを得た(式(1−1)に相当)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.4質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.457(br、0.55H)、3.843(br、0.21H)、1.193(br、0.42H)、0.141(br、0.60H)
Si−Meの積分値を0.60Hと仮定
GPC(ポリスチレン換算):Mw=1634
テトラエトキシシラン100.00g(全シラン中に90モル%含有する)、メチルトリエトキシシラン9.52g(全シラン中に10モル%含有する)及びアセトン164.26gをフラスコに入れた。このフラスコに、冷却管を取り付け調製しておいた塩酸水溶液(0.01モル/リットル)37.52gを入れた滴下ロートをセットし、室温下で塩酸水溶液をゆっくり滴下し数分攪拌した。その後オイルバスにて85℃で4時間反応させた。反応終了後、反応溶液の入ったフラスコを放冷してからエバポレーターにセットし、反応中に生成したエタノールを除去し、さらに、エバポレーターを用いてアセトンをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換してポリシロキサン溶液184.3gを得た(式(1−1)に相当)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、20.1質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.776(br、0.70H)、3.848(br、0.19H)、1.150(br、0.38H)、0.146(br、0.30H)
Si−Meの積分値を0.30Hと仮定
GPC(ポリスチレン換算):Mw=1996
テトラエトキシシラン100.00g(全シラン中に95モル%含有する)、メチルトリエトキシシラン4.52g(全シラン中に5モル%含有する)及びアセトン156.62gをフラスコに入れた。このフラスコに、冷却管を取り付け調製しておいた塩酸水溶液(0.01モル/リットル)35.91gを入れた滴下ロートをセットし、室温下で塩酸水溶液をゆっくり滴下し数分攪拌した。その後オイルバスにて85℃で4時間反応させた。反応終了後、反応溶液の入ったフラスコを放冷してからエバポレーターにセットし、反応中に生成したエタノールを除去し、さらに、エバポレーターを用いてアセトンをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換してポリシロキサン溶液185.8gを得た(式(1−1)に相当)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、18.9質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.891(br、0.71H)、3.846(br、0.20H)、1.188(br、0.40H)、0.157(br、0.15H)
Si−Meの積分値を0.15Hと仮定
GPC(ポリスチレン換算):Mw=2184
テトラエトキシシラン100.02g(全シラン中に100モル%含有する)及びアセトン150.22gをフラスコに入れた。このフラスコに、冷却管を取り付け調製しておいた塩酸水溶液(0.01モル/リットル)34.54gを入れた滴下ロートをセットし、室温下で塩酸水溶液をゆっくり滴下し数分攪拌した。その後オイルバスにて85℃で4時間反応させた。反応終了後、反応溶液の入ったフラスコを放冷してからエバポレーターにセットし、反応中に生成したエタノールを除去し、さらに、エバポレーターを用いてアセトンをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換してポリシロキサン溶液171.0gを得た(式(1−2)に相当)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.7質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.675(br、0.50H)、3.856(br、0.12H)、1.193(br、0.18H)
SiOHの積分値を0.50Hと仮定
GPC(ポリスチレン換算):Mw=2440
テトラエトキシシラン120.00g(全シラン中に85モル%含有する)、ビニルトリメトキシシラン15.07g(全シラン中に15モル%含有する)及びアセトン202.60gをフラスコに入れた。このフラスコに、冷却管を取り付け調製しておいた塩酸水溶液(0.01モル/リットル)47.01gを入れた滴下ロートをセットし、室温下で塩酸水溶液をゆっくり滴下し数分攪拌した。その後オイルバスにて85℃で4時間反応させた。反応終了後、反応溶液の入ったフラスコを放冷してからエバポレーターにセットし、反応中に生成したエタノールを除去し、さらに、エバポレーターを用いてアセトンをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換してポリシロキサン溶液248.51gを得た(式(1−3)に相当)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.9質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.370(br、0.73H)、5.989(br、0.45H)、3.858(br、0.20H)、1.185(br、0.30H)
Si−Vinの積分値を0.45Hと仮定
GPC(ポリスチレン換算):Mw=1808
テトラエトキシシラン120.00g(全シラン中に85モル%含有する)、フェニルトリメトキシシラン20.16g(全シラン中に15モル%含有する)及びアセトン210.23gをフラスコに入れた。このフラスコに、冷却管を取り付け調製しておいた塩酸水溶液(0.01モル/リットル)47.01gを入れた滴下ロートをセットし、室温下で塩酸水溶液をゆっくり滴下し数分攪拌した。その後オイルバスにて85℃で4時間反応させた。反応終了後、反応溶液の入ったフラスコを放冷してからエバポレーターにセットし、反応中に生成したエタノールを除去し、さらに、エバポレーターを用いてアセトンをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換してポリシロキサン溶液278.89gを得た(式(1−4)に相当)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.5質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=7.734、7.377(br、0.75H)、6.456(br、0.59H)、3.867(br、0.15H)、1.196(br、0.23H)
Si−Phの積分値を0.75Hと仮定
GPC(ポリスチレン換算):Mw=1608
テトラエトキシシラン150.00g(全シラン中に90モル%含有する)、ジメチルジエトキシシラン11.86g(全シラン中に10モル%含有する)及びアセトン242.79gをフラスコに入れた。このフラスコに、冷却管を取り付け調製しておいた塩酸水溶液(0.01モル/リットル)56.22gを入れた滴下ロートをセットし、室温下で塩酸水溶液をゆっくり滴下し数分攪拌した。その後オイルバスにて85℃で4時間反応させた。反応終了後、反応溶液の入ったフラスコを放冷してからエバポレーターにセットし、反応中に生成したエタノールを除去し、さらに、エバポレーターを用いてアセトンをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換してポリシロキサン溶液286.15gを得た(式(1−5)に相当)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.6質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.318(br、0.66H)、3.853(br、0.20H)、1.196(br、0.30H)、0.163(br、0.60H)
Si−Me2の積分値を0.60Hと仮定
GPC(ポリスチレン換算):Mw=2194
合成例1で得られたポリシロキサン溶液50.77g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50.10g、ピリジウムパラトルエンスルホネート500.5mg、エチルビニルエーテル9.15gをフラスコに加え、室温で2日間反応させた。反応終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150mL、メチルイソブチルケトン50mL、酢酸水溶液(0.01モル/リットル)150mLを加え、抽出した。エバポレーターを用いて有機層の溶媒を除去し、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換して反応生成物(ポリシロキサン)69.6gを得た(式(1−1)に存在するシラノール基が式(2)に変換した化合物)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、20.0質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.678(br,0.21H),5.182(br,0.59H),3.912−3.819(m,1.07H),3.479(br,0.59H),1.359(br,1.77H),1.164(br,2.13H)、0.278(br、0.45H)
Si−Meの積分値を0.45Hと仮定
保護率:アセタール基/(アセタール基+SiOH基)×100=73.8モル%
GPC(ポリスチレン換算):Mw=3164
その後、上記のようにして得られたポリシロキサンを下表の割合で混合し、孔径0.1μmのフィルターでろ過してパターン反転のための被覆用ポリシロキサン組成物を得た。
合成例2で得られたポリシロキサン溶液51.79g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50.03g、ピリジウムパラトルエンスルホネート494.6mg、エチルビニルエーテル9.17gをフラスコに加え、室温で2日間反応させた。反応終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150mL、メチルイソブチルケトン50mL、酢酸水溶液(0.01モル/リットル)150mLを加え、抽出した。エバポレーターを用いて有機層の溶媒を除去し、さらにプロピレングリコールモノメチルアセテートに置換して反応生成物(ポリシロキサン)69.8gを得た(式(1−1)に存在するシラノール基が式(2)に変換した化合物)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.9質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.827(br、0.17H)、5.171(br、0.51H)、3.899−3.808(m、0.75H)、3.470(br、0.51H)、1.349(br、1.53H)1.158(1.89H)、0.255(br、0.75H)
Si−Meの積分値を0.75Hと仮定
保護率:アセタール基/(アセタール基+SiOH基)×100=75.0モル%
GPC(ポリスチレン換算):Mw=3210
その後、上記のようにして得られたポリシロキサンを下表の割合で混合し、孔径0.1μmのフィルターでろ過してパターン反転のための被覆用ポリシロキサン組成物を得た。
合成例3で得られたポリシロキサン溶液51.54g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50.23g、ピリジウムパラトルエンスルホネート501.6mg、エチルビニルエーテル9.17gをフラスコに加え、室温で2日間反応させた。反応終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150mL、メチルイソブチルケトン50mL、酢酸水溶液(0.01モル/リットル)150mLを加え、抽出した。エバポレーターを用いて有機層の溶媒を除去し、さらにプロピレングリコールモノメチルアセテートに置換して反応生成物(ポリシロキサン)52.6gを得た(式(1−1)に存在するシラノール基が式(2)に変換した化合物)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、20.0質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.693(br、0.39H)、5.158(br、0.23H)、3.870−3.808(m、0.47H)、3.459(br、0.23H)、1.331(br、0.69H)1.145(br、1.05H)、0.219(br、0.60H)
Si−Meの積分値を0.60Hと仮定
保護率:アセタール基/(アセタール基+SiOH基)×100=37.1モル%
GPC(ポリスチレン換算):Mw=5619
その後、上記のようにして得られたポリシロキサンを下表の割合で混合し、孔径0.1μmのフィルターでろ過してパターン反転のための被覆用ポリシロキサン組成物を得た。
合成例4で得られたポリシロキサン溶液49.76g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50.03g、ピリジウムパラトルエンスルホネート496.4mg、エチルビニルエーテル9.17gをフラスコに加え、室温で2日間反応させた。反応終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150mL、メチルイソブチルケトン50mL、酢酸水溶液(0.01モル/リットル)150mLを加え、抽出した。エバポレーターを用いて有機層の溶媒を除去し、さらにプロピレングリコールモノメチルアセテートに置換して反応生成物(ポリシロキサン)48.8gを得た(式(1−1)に存在するシラノール基が式(2)に変換した化合物)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、20.0質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.624(br、0.32H)、5.143(br、0.25H)、3.856−3.788(m、0.47H)、3.437(br、0.25H)、1.312(br、0.75H)1.124(br、1.08H)、0.207(br、0.30H)
Si−Meの積分値を0.30Hと仮定
保護率:アセタール基/(アセタール基+SiOH基)×100=43.9モル%
GPC(ポリスチレン換算):Mw=7953
その後、上記のようにして得られたポリシロキサンを下表の割合で混合し、孔径0.1μmのフィルターでろ過してパターン反転のための被覆用ポリシロキサン組成物を得た。
合成例5で得られたポリシロキサン溶液52.97g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50.03g、ピリジウムパラトルエンスルホネート502.8mg、エチルビニルエーテル9.17gをフラスコに加え、室温で2日間反応させた。反応終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150mL、メチルイソブチルケトン50mL、酢酸水溶液(0.01モル/リットル)150mLを加え、抽出した。エバポレーターを用いて有機層の溶媒を除去し、さらにプロピレングリコールモノメチルアセテートに置換して反応生成物(ポリシロキサン)48.7gを得た(式(1−1)に存在するシラノール基が式(2)に変換した化合物)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、20.1質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.674(br、0.43H)、5.171(br、0.25H)、3.885−3.816(m、0.50H)、3.467(br、0.25H)、1.340(br、0.75H)1.149(br、1.11H)、0.243(br、0.15H)
Si−Meの積分値を0.15Hと仮定
保護率:アセタール基/(アセタール基+SiOH基)×100=36.8モル%
GPC(ポリスチレン換算):Mw=9374
その後、上記のようにして得られたポリシロキサンを下表の割合で混合し、孔径0.1μmのフィルターでろ過してパターン反転のための被覆用ポリシロキサン組成物を得た。
合成例6で得られたポリシロキサン溶液50.79g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50.17g、ピリジウムパラトルエンスルホネート502.2mg、エチルビニルエーテル9.18gをフラスコに加え、室温で2日間反応させた。反応終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150mL、メチルイソブチルケトン50mL、酢酸水溶液(0.01モル/リットル)150mLを加え、抽出した。エバポレーターを用いて有機層の溶媒を除去し、さらにプロピレングリコールモノメチルアセテートに置換して反応生成物(ポリシロキサン)38.1gを得た(式(1−2)に存在するシラノール基が式(2)に変換した化合物)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.5質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.654(br、0.29H)、5.175(br、0.02H)、3.866(m、0.12H)、3.472(br、0.02H)、1.326(br、0.06H)1.148(br、0.21H)
SiOHの積分値を0.29と仮定
保護率:アセタール基/(アセタール基+SiOH基)×100=6.8モル%
GPC(ポリスチレン換算):Mw=11401
その後、上記のようにして得られたポリシロキサンを下表の割合で混合し、孔径0.1μmのフィルターでろ過してパターン反転のための被覆用ポリシロキサン組成物を得た。
合成例1で得られたポリシロキサン溶液51.07g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50.00g、ピリジウムパラトルエンスルホネート500.0mg、イソブチルビニルエーテル10.02gをフラスコに加え、室温で2日間反応させた。反応終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150mL、メチルイソブチルケトン50mL、酢酸水溶液(0.01モル/リットル)150mLを加え、抽出した。エバポレーターを用いて有機層の溶媒を除去し、さらにメチルイソブチルカルビノールに置換して反応生成物(ポリシロキサン)43.33gを得た(式(1−1)に存在するシラノール基が式(2)に変換した化合物)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.6質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.591(br,0.34H),5.164(br,0.35H),3.905(br、0.20H)、3.569(br,0.35H),3.180(br,0.35H),1.822(br、0.35H)、1.363(br,1.05H),0.903(br,2.40H)、0.246(br、0.45H)
Si−Meの積分値を0.45Hと仮定
保護率:アセタール基/(アセタール基+SiOH基)×100=50.7モル%
GPC(ポリスチレン換算):Mw=5457
その後、上記のようにして得られたポリシロキサンを下表の割合で混合し、孔径0.1μmのフィルターでろ過してパターン反転のための被覆用ポリシロキサン組成物を得た。
合成例7で得られたポリシロキサン溶液100.50g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100.00g、ピリジウムパラトルエンスルホネート1.00g、エチルビニルエーテル23.80gをフラスコに加え、室温で2日間反応させた。反応終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200mL、メチルイソブチルケトン100mL、酢酸水溶液(0.01モル/リットル)200mLを加え、抽出した。エバポレーターを用いて有機層の溶媒を除去し、さらにメチルイソブチルカルビノールに置換して反応生成物(ポリシロキサン)165.0gを得た(式(1−3)に存在するシラノール基が式(2)に変換した化合物)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.3質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.805(br、0.13H)、6.165(br、0.45H)、5.186(br、0.56H)、3.907(br、0.18H)、3.818(br、0.56H)、3.566(br、0.56H)、1.361(br、1.68H)、1.161(br、1.95H)
Si−Vinの積分値を0.45と仮定
保護率:アセタール基/(アセタール基+SiOH基)×100=81.2モル%
GPC(ポリスチレン換算):Mw=3592
その後、上記のようにして得られたポリシロキサンを下表の割合で混合し、孔径0.1μmのフィルターでろ過してパターン反転のための被覆用ポリシロキサン組成物を得た。
合成例8で得られたポリシロキサン溶液102.56g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100.00g、ピリジウムパラトルエンスルホネート1.00g、エチルビニルエーテル23.80gをフラスコに加え、室温で2日間反応させた。反応終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200mL、メチルイソブチルケトン100mL、酢酸水溶液(0.01モル/リットル)200mLを加え、抽出した。エバポレーターを用いて有機層の溶媒を除去し、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換して反応生成物(ポリシロキサン)162.23gを得た(式(1−4)に存在するシラノール基が式(2)に変換した化合物)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、20.3質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=7.784、7.474(br、0.75H)、6.699(br、0.25H)、5.206(br、0.69H)、3.907(br、0.14H)、3.832(br、0.69H)、3.490(br、0.69H)、1.375(br、2.07H)、1.152(br、2.28H)
Si−Phの積分値を0.75と仮定
保護率:アセタール基/(アセタール基+SiOH基)×100=73.4モル%
GPC(ポリスチレン換算):Mw=2769
その後、上記のようにして得られたポリシロキサンを下表の割合で混合し、孔径0.1μmのフィルターでろ過してパターン反転のための被覆用ポリシロキサン組成物を得た。
合成例9で得られたポリシロキサン溶液102.04g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100.00g、ピリジウムパラトルエンスルホネート1.00g、エチルビニルエーテル23.80gをフラスコに加え、室温で2日間反応させた。反応終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200mL、メチルイソブチルケトン100mL、酢酸水溶液(0.01モル/リットル)200mLを加え、抽出した。エバポレーターを用いて有機層の溶媒を除去し、さらにメチルイソブリツカルビノールに置換して反応生成物(ポリシロキサン)156.62gを得た(式(1−5)に存在するシラノール基が式(2)に変換した化合物)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.6質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.659(br、0.13H)、5.155(br、0.58H)、3.907(br、0.19H)、3.790(br、0.58H)、3.443(br、0.58H)、1.330(br、1.74H)、1.129(br、2.04H)
Si−Me2の積分値を0.60と仮定
保護率:アセタール基/(アセタール基+SiOH基)×100=81.7モル%
GPC(ポリスチレン換算):Mw=6021
その後、上記のようにして得られたポリシロキサンを下表の割合で混合し、孔径0.1μmのフィルターでろ過してパターン反転のための被覆用ポリシロキサン組成物を得た。
テトラエトキシシラン200.00g(全シラン中に70モル%含有する)、メチルトリエトキシシラン73.36g(全シラン中に30モル%含有する)及びアセトン410.04gをフラスコに入れた。このフラスコに、冷却管を取り付け調製しておいた塩酸水溶液(0.01モル/リットル)91.45gを入れた滴下ロートをセットし、室温下で塩酸水溶液をゆっくり滴下し数分攪拌した。その後オイルバスにて85℃で4時間反応させた。反応終了後、反応溶液の入ったフラスコを放冷してからエバポレーターにセットし、反応中生成したエタノールを除去し、さらに、エバポレーターを用いてアセトンをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換してポリシロキサン溶液484.0gを得た(式(1−1)に相当)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.6質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.431(br、0.60H)、3.839(br、0.18H)、1.193(br、0.36H)、0.139(br、0.90H)
Si−Meの積分値を0.90Hと仮定
GPC(ポリスチレン換算):Mw=2124
比較合成例1で得られたポリシロキサン溶液51.19g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50.02g、ピリジウムパラトルエンスルホネート502.0mg、エチルビニルエーテル9.09gをフラスコに加え、室温で2日間反応させた。反応終了後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150mL、メチルイソブチルケトン50mL、酢酸水溶液(0.01モル/リットル)150mLを加え、抽出した。エバポレーターを用いて有機層の溶媒を除去し、さらにプロピレングリコールモノメチルアセテートに置換して反応生成物(ポリシロキサン)53.4gを得た(式(1−1)に存在するシラノール基が式(2)に変換した化合物)。尚、得られた反応生成物中の固形分は、焼成法により測定した結果、19.5質量%であった。
1H−NMR(500MHz、CD3COCD3):δ=6.743(br、0.37H)、5.150(br、0.17H)、3.851−3.815(m、0.38H)、3.456(br、0.17H)、1.324(br、0.51H)、1.143(br、0.83H)、0.201(br、0.90H)
*Si−Meの積分値を0.90Hと仮定
保護率:アセタール基/(アセタール基+SiOH基)×100=31.5モル%
GPC(ポリスチレン換算):Mw=7416
その後、上記のようにして得られたポリシロキサンを下表の割合で混合し、孔径0.1μmのフィルターでろ過してパターン反転のための被覆用ポリシロキサン組成物を得た。
上記合成例10のシラノール基をアセタール基で保護したポリシロキサン溶液を実施例1と実施例2として、合成例1のシラノール基をアセタール基で保護していないポリシロキサン溶液を比較例1と比較例2として、40℃、又は23℃で3週間保存し、GPCにてMw(重量平均分子量)を比較した。
上記合成例10乃至19、比較合成例2、合成例1で得られたポリシロキサン、PAG(光酸発生剤)、TAG(熱酸発生剤),硬化触媒、クエンチャー、溶媒を下記表に示す割合で混合し、0.1μmのフッ素樹脂製のフィルターで濾過することによって、ポリシロキサン組成物の溶液をそれぞれ調製した。下記表中のポリマーの添加割合はポリマー溶液の添加量ではなく、ポリマー自体の添加量を示した。
下記表中で硬化触媒としてベンジルトリエチルアンモニウムクロリドはBTEAC、クエンチャーとしてトリエタノールアミンはTEA、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートはPGMEA、溶剤としてプロピレングリコールモノエチルエーテルはPGEE、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルはPGME、溶剤としてメチルイソブチルカルビノールはMIBCと略した。また、商品名ILP−113はヘレウス社製の光酸発生剤であり、以下の構造である。
実施例3、実施例9、実施例10乃至13における各被覆用ポリシロキサン組成物について、下記のように感光性、現像性評価を行った。その評価結果を下表に示す。
ウェハ上に、スピンコーターを用いて、回転数1500rpm、60秒間の条件にて、各被覆用ポリシロキサン組成物をそれぞれ塗布し、その後80℃で1分間ベークし、感光性樹脂膜を形成した。膜厚は約170nm乃至190nmであった。次いで、ウシオ電機社製マルチライトUSH−250BYを備えた三明社製自動露光装置AE810eマスクアライナーを用い、1cm×2cm角のオープンマスクを通してブロードバンド光を10mJ/cm2乃至100mJ/cm2、または100mJ/cm2乃至200mJ/cm2まで露光を行った。その後、80℃のホットプレートで1分間露光後加熱を行った。冷却後、現像液として2.38%濃度のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いて現像した。現像後の組成物の膜厚(nm)は下表の通りであった。
露光量が十分でない場合は、光酸発生剤からの酸の発生が十分でないためアセタール基が分解せず、アルカリ現像液によりポリシロキサン膜が溶解したものと考えられる。
上記表に示すように、本発明の組成物を用いて形成したシロキサン塗布膜は感光性を示し、また現像性も良好であった。
実施例3乃至実施例13、比較例3のポリシロキサンを含む組成物の溶液をウェハ上にスピンコーターを用いて、回転数1500rpm、60秒間の条件にて塗布し、その後80℃で1分間ベークし、樹脂膜を形成した。次いで、ウシオ電機社製マルチライトUSH−250BYを備えた三明社製自動露光装置AE810eマスクアライナーを用い、ブロードバンド光を200mJ/cm2全面露光を行った。ホットプレート上で1分間、215℃で加熱し、ポリシロキサン組成物膜(膜厚180nmに調製)を作成した。
また、実施例14、実施例15、比較例5のシロキサンを含む組成物の溶液をウェハ上にスピンコーターを用いて、回転数1500rpm、60秒間の条件にて塗布し、その後ホットプレート上に1分間、215℃で加熱し、ポリシロキサン組成物膜(膜厚180nmに調製)を作成した。
これらの塗膜のドライエッチングを行い、塩素ガスのエッチングレート(エッチング速度:nm/分)を測定し、結果を下表に示した。
なお、ドライエッチング速度の測定に用いたエッチャーはLAM−2300(ラムリサーチ社製)を用いた。
実施例3、14、比較例4におけるポリシロキサン組成物について、下記のように平坦化性評価を行った。その評価結果を表7に示す。
溝の深さ200nm、幅800nmの段差基板上に、スピンコーターを用いて、回転数1500rpm、60秒間の条件にて、実施例3のポリシロキサン組成物を塗布し、その後80℃で1分間ベークし、感光性樹脂膜を形成した。次いで、ウシオ電機社製マルチライトUSH−250BYを備えた三明社製自動露光装置AE810eマスクアライナーを用い、ブロードバンド光を100mJ/cm2全面露光を行った。ホットプレート上で1分間、215℃で加熱し、ポリシロキサン組成物膜(膜厚120nmに調製)を作成した。 同様に、実施例14、比較例4のポリシロキサン組成物を塗布し、ホットプレート上で1分間、215℃で加熱し、ポリシロキサン組成物膜(膜厚120nmに調製)を作成した。次いで、得られたポリシロキサン組成物膜について、断面SEMにより断面の形状を観察し、平坦化性を評価した。深さ200nm、幅800nmの溝パターンを観察し、溝底部を基準として最も膜厚の低い箇所と最も膜厚が高い箇所の膜厚を測定し、膜厚差を算出し、膜厚差が少ないものほど平坦化性が良好と評価した。
Claims (17)
- 式(1)で表される加水分解性シランを含む加水分解縮合物より、該縮合物が有するシラノール基をアセタール保護して得られたポリシロキサンを含み、該加水分解縮合物はSi−C結合でケイ素原子に結合する有機基が平均として、0≦(該有機基)/(Si)≦0.29のモル比割合で存在するポリシロキサン含有組成物。
- 式(1)で表される前記加水分解性シランが式(1)中、aが0であるテトラアルコキシシラン、式(1)中aが1であるメチルトリアルコキシシラン、ビニルトリアルコキシシラン又はフェニルトリアルコキシシラン、式(1)中aが2であるジメチルジアルコキシシランのうちいずれかを含む請求項1に記載のポリシロキサン含有組成物。
- 前記加水分解性シランが式(1)中、aが0である加水分解性シランを71モル%乃至100モル%、式(1)中aが1である加水分解性シランを0モル%乃至29モル%の割合で含むものである請求項1に記載のポリシロキサン含有組成物。
- 前記加水分解性シランが式(1)中、aが0である加水分解性シランを85.5モル%乃至100モル%、式(1)中aが2である加水分解性シランを0モル%乃至14.5モル
%の割合で含むものである請求項1に記載のポリシロキサン含有組成物。 - 式(3)で表されるビニルエーテルがエチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、3、4−ジヒドロ−2H−ピラン又は2、3−ジヒドロフランである請求項6に記載のポリシロキサン含有組成物。
- 被覆組成物である、請求項1乃至請求項7に記載のポリシロキサン含有組成物。
- 感光性組成物である、請求項1乃至請求項7に記載のポリシロキサン含有組成物。
- 更に熱酸発生剤又は光酸発生剤、及び請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のポリシロキサン含有組成物を含み、レジストパターン上、又はレジストパターンを下層に転写した有機下層膜上に被覆される、被覆組成物。
- 更に水、酸、クエンチャー、及び硬化触媒からなる群から選ばれた一つ以上を含む請求項
10に記載の被覆組成物。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のポリシロキサン含有組成物に更に光酸発生剤を含むレジスト組成物。
- 半導体基板上にナノインプリント法によるパターンを形成する工程(I)、パターン上に請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のポリシロキサン含有組成物、又は請求項10に記載の被覆組成物を塗布しポリシロキサンを埋め込む工程(II)、埋め込んだ該ポリシロキサンを硬化させた後、ナノインプリント法によるパターンをエッチング又はアッシングしてパターンを反転する工程(III)、ポリシロキサン膜を用いて基板を加工する工程(IV)を含む半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上にレジスト膜を形成する工程(A)、前記レジスト膜を露光し、露光後にレジストを現像しレジストパターンを得る工程(B)、パターン化されたレジスト膜上に請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のポリシロキサン含有組成物、又は請求項10に記載の被覆組成物を塗布しポリシロキサンを埋め込む工程(C)、埋め込んだ該ポリシロキサンを硬化させた後、レジスト膜をエッチング又はアッシングしてパターンを反転する工程(D)、ポリシロキサン膜を用いて基板を加工する工程(E)を含む半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上に有機下層膜を形成する工程(a)、その上にシリコンハードマスク形成組成物を塗布し焼成しシリコンハードマスクを形成する工程(b)、前記シリコンハードマスクの上にレジスト用組成物を塗布しレジスト層を形成する工程(c)、前記レジスト膜を露光し、露光後にレジストを現像しレジストパターンを得る工程(d)、レジストパターンに請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のポリシロキサン含有組成物、又は請求項10に記載の被覆組成物を塗布しポリシロキサンを埋め込む工程(e)、埋め込んだ該ポリシロキサンを硬化させた後、レジスト膜をエッチング又はアッシングしてパターンを反転させる工程(f)、反転パターンによりシリコンハードマスクをエッチングする工程(g)、パターン化されたシリコンハードマスクにより有機下層膜をエッチングしパターン化された有機下層膜を形成する工程(h)、パターン化された有機下層膜により基板を加工する工程(i)を含む半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上に有機下層膜を形成する工程(1)、その上にシリコンハードマスク形成組成物を塗布し焼成しシリコンハードマスクを形成する工程(2)、前記シリコンハードマスクの上にレジスト用組成物を塗布しレジスト層を形成する工程(3)、前記レジスト膜を露光し、露光後にレジストを現像しレジストパターンを得る工程(4)、レジストパターンによりシリコンハードマスクをエッチングする工程(5)、パターン化されたシリコンハードマスクにより有機下層膜をエッチングしパターン化された有機下層膜を形成する工程(6)、パターン化された有機下層膜に請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のポリシロキサン含有組成物、又は請求項10に記載の被覆組成物を塗布しポリシロキサンを埋め込む工程(7)、埋め込んだ該ポリシロキサンを硬化させた後、有機下層膜をエッチング又はアッシングしてパターンを反転する工程(8)、ポリシロキサン膜を用いて基板を加工する工程(9)を含む半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上に請求項12に記載のレジスト組成物によりレジスト膜を形成する工程(i)、前記レジスト膜を露光し、露光後にレジストを現像しレジストパターンを得る工程(ii)、パターン化されたレジスト膜で基板を加工する工程(iii)を含む半導体装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016167251 | 2016-08-29 | ||
JP2016167251 | 2016-08-29 | ||
PCT/JP2017/030753 WO2018043407A1 (ja) | 2016-08-29 | 2017-08-28 | アセタール保護されたシラノール基を含むポリシロキサン組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018043407A1 JPWO2018043407A1 (ja) | 2019-06-24 |
JP6978731B2 true JP6978731B2 (ja) | 2021-12-08 |
Family
ID=61305331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018537257A Active JP6978731B2 (ja) | 2016-08-29 | 2017-08-28 | アセタール保護されたシラノール基を含むポリシロキサン組成物 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11884839B2 (ja) |
JP (1) | JP6978731B2 (ja) |
KR (1) | KR102446537B1 (ja) |
CN (1) | CN109563371B (ja) |
TW (1) | TWI732032B (ja) |
WO (1) | WO2018043407A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022072415A (ja) * | 2020-10-29 | 2022-05-17 | サカタインクス株式会社 | 活性エネルギー線硬化型組成物 |
CN113985701A (zh) * | 2021-12-06 | 2022-01-28 | 潍坊星泰克微电子材料有限公司 | 负性光刻胶组合物、制备方法及形成光刻胶图案的方法 |
WO2024004323A1 (ja) * | 2022-06-27 | 2024-01-04 | 日産化学株式会社 | 硬化性組成物 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2556940B2 (ja) * | 1991-05-24 | 1996-11-27 | 亨 山本 | バリアー性積層フィルムおよびその製造方法 |
JP3193227B2 (ja) * | 1994-03-24 | 2001-07-30 | 沖電気工業株式会社 | シリコーン樹脂それを含む組成物、ケイ酸ガラス系無機膜の形成方法 |
JPH08190200A (ja) * | 1995-01-09 | 1996-07-23 | Oki Electric Ind Co Ltd | Si含有薄膜の形成方法および該薄膜のパターン形成方法 |
JPH0940779A (ja) * | 1995-08-01 | 1997-02-10 | Toshiba Corp | ポリシロキサン、ポリシロキサン組成物、絶縁膜の製造方法、着色部材の製造方法及び導電膜の製造方法 |
JPH0964037A (ja) * | 1995-08-23 | 1997-03-07 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP3324360B2 (ja) * | 1995-09-25 | 2002-09-17 | 信越化学工業株式会社 | ポリシロキサン化合物及びポジ型レジスト材料 |
JPH1160733A (ja) * | 1997-08-14 | 1999-03-05 | Showa Denko Kk | 重合体、レジスト樹脂組成物、及びそれらを用いたパターン形成方法 |
JP4759107B2 (ja) * | 1997-08-29 | 2011-08-31 | 富士通株式会社 | ケイ素含有ポリマ並びにこれを用いたレジスト組成物及びレジストパターン形成方法 |
JP2002082437A (ja) | 2000-09-06 | 2002-03-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | ポジ型フォトレジスト組成物 |
JP2004212946A (ja) * | 2002-10-21 | 2004-07-29 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | Siポリマー含有フォトレジスト |
US7704670B2 (en) | 2006-06-22 | 2010-04-27 | Az Electronic Materials Usa Corp. | High silicon-content thin film thermosets |
JP5003279B2 (ja) | 2007-05-21 | 2012-08-15 | Jsr株式会社 | 反転パターン形成方法 |
KR20090113183A (ko) * | 2008-04-25 | 2009-10-29 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 폴리유기실록산 화합물, 이것을 포함하는 수지 조성물 및 이들의 패턴 형성 방법 |
JP5136777B2 (ja) * | 2008-04-25 | 2013-02-06 | 信越化学工業株式会社 | ポリオルガノシロキサン化合物、これを含む樹脂組成物及びこれらのパターン形成方法 |
JP5696428B2 (ja) | 2009-10-30 | 2015-04-08 | Jsr株式会社 | 反転パターン形成方法及びポリシロキサン樹脂組成物 |
US9196484B2 (en) * | 2010-09-21 | 2015-11-24 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Silicon-containing composition for formation of resist underlayer film, which contains organic group containing protected aliphatic alcohol |
JP6323225B2 (ja) * | 2013-11-01 | 2018-05-16 | セントラル硝子株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、それを用いた膜の製造方法および電子部品 |
TW201612250A (en) * | 2014-09-29 | 2016-04-01 | Fujifilm Corp | Photosensitive resin composition, manufacturing method for cured film, cured film, liquid crystal display device, organic electroluminescence display device and touch panel |
-
2017
- 2017-08-28 KR KR1020197000363A patent/KR102446537B1/ko active IP Right Grant
- 2017-08-28 US US16/329,175 patent/US11884839B2/en active Active
- 2017-08-28 JP JP2018537257A patent/JP6978731B2/ja active Active
- 2017-08-28 CN CN201780049797.6A patent/CN109563371B/zh active Active
- 2017-08-28 WO PCT/JP2017/030753 patent/WO2018043407A1/ja active Application Filing
- 2017-08-29 TW TW106129273A patent/TWI732032B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102446537B1 (ko) | 2022-09-23 |
TWI732032B (zh) | 2021-07-01 |
JPWO2018043407A1 (ja) | 2019-06-24 |
WO2018043407A1 (ja) | 2018-03-08 |
CN109563371B (zh) | 2021-09-21 |
US20190185707A1 (en) | 2019-06-20 |
CN109563371A (zh) | 2019-04-02 |
TW201821487A (zh) | 2018-06-16 |
KR20190046757A (ko) | 2019-05-07 |
US11884839B2 (en) | 2024-01-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI590002B (zh) | 含有磺酸鎓鹽的含矽euv阻劑下層膜形成組成物 | |
JP6540971B2 (ja) | Socパターン上でのパターン反転のための被覆用組成物 | |
JP6902350B2 (ja) | 脂肪族多環構造含有有機基を有するシリコン含有レジスト下層膜形成組成物 | |
TWI507825B (zh) | 包含有含醯胺酸之矽的抗蝕下層膜形成組成物 | |
JP7212322B2 (ja) | 感放射線性組成物 | |
CN106662820B (zh) | 具有卤代磺酰基烷基的含硅抗蚀剂下层膜形成用组合物 | |
TWI681019B (zh) | 包含具有含鹵素的羧酸醯胺基之水解性矽烷之微影蝕刻用光阻底層膜形成組成物 | |
JP6754098B2 (ja) | カーボネート骨格を有する加水分解性シランを含むリソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物 | |
TWI818900B (zh) | 圖型反轉用之被覆組成物 | |
JP2022037944A (ja) | 水素ガスを用いた前処理によるレジスト下層膜のエッチング耐性を向上する方法 | |
JP6978731B2 (ja) | アセタール保護されたシラノール基を含むポリシロキサン組成物 | |
KR20200026872A (ko) | 알칼리성 현상액 가용성 실리콘함유 레지스트 하층막 형성 조성물 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200401 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210512 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210604 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211013 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211026 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6978731 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |