JP6978371B2 - Curable resin composition and laminate - Google Patents

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本発明は、耐熱性、機械的強度、及び、誘電特性に優れる硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物に関する。また、本発明は、該硬化性樹脂組成物を用いてなる積層体に関する。 The present invention relates to a curable resin composition capable of obtaining a cured product having excellent heat resistance, mechanical strength, and dielectric properties. The present invention also relates to a laminate made of the curable resin composition.

低収縮であり、接着性、絶縁性、及び、耐薬品性に優れるエポキシ樹脂等の硬化性樹脂は、多くの工業製品に使用されている。特に電子機器用途では、短時間の耐熱性に関するはんだリフロー試験や繰り返しの耐熱性に関する冷熱サイクル試験において良好な結果が得られる硬化性樹脂組成物が多く用いられている。 Curable resins such as epoxy resins, which have low shrinkage and are excellent in adhesiveness, insulation, and chemical resistance, are used in many industrial products. In particular, in electronic equipment applications, curable resin compositions that give good results in a solder reflow test for short-time heat resistance and a cold-heat cycle test for repeated heat resistance are often used.

また、プリント配線板の層間絶縁材料等に用いられる硬化性樹脂組成物には、低誘電率、低誘電正接といった誘電特性が必要となる。このような誘電特性に優れる硬化性樹脂組成物として、例えば、特許文献1、2には、硬化性樹脂と特定の構造を有するポリイミドやビスマレイミド化合物とを含有する硬化性樹脂組成物が開示されている。しかしながら、これらの硬化性樹脂組成物は、誘電特性には優れるものの、硬化物のガラス転移温度が低いため、これらの硬化性樹脂組成物を用いて作製されたプリント配線板は、実装温度における弾性率が低く半導体素子の実装が困難である等、耐熱性や機械的強度の点で問題があった。 Further, the curable resin composition used as an interlayer insulating material for a printed wiring board or the like is required to have dielectric properties such as low dielectric constant and low dielectric loss tangent. As a curable resin composition having such excellent dielectric properties, for example, Patent Documents 1 and 2 disclose a curable resin composition containing a curable resin and a polyimide or a bismaleimide compound having a specific structure. ing. However, although these curable resin compositions are excellent in dielectric properties, the glass transition temperature of the cured product is low, so that the printed wiring board produced using these curable resin compositions is elastic at the mounting temperature. There were problems in terms of heat resistance and mechanical strength, such as a low rate and difficulty in mounting semiconductor elements.

特開2017−186551号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-186551 国際公開2016/114286号International Publication 2016/114286

本発明は、耐熱性、機械的強度、及び、誘電特性に優れる硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、該硬化性樹脂組成物を用いてなる積層体を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a curable resin composition capable of obtaining a cured product having excellent heat resistance, mechanical strength, and dielectric properties. Another object of the present invention is to provide a laminate made of the curable resin composition.

本発明は、硬化性樹脂とイミド化合物とを含有し、上記イミド化合物は、トリマートリアミン残基を有する多官能マレイミド化合物を含む硬化性樹脂組成物である。
以下に本発明を詳述する。
The present invention contains a curable resin and an imide compound, and the imide compound is a curable resin composition containing a polyfunctional maleimide compound having a trimertriamine residue.
The present invention will be described in detail below.

本発明者らは、特定の構造を有する多官能マレイミド化合物を硬化剤として用いることにより、耐熱性、機械的強度、及び、誘電特性に優れる硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物を得ることができることを見出し、本発明を完成させるに至った。 The present inventors obtain a curable resin composition capable of obtaining a cured product having excellent heat resistance, mechanical strength, and dielectric properties by using a polyfunctional maleimide compound having a specific structure as a curing agent. We have found that we can do this, and have completed the present invention.

本発明の硬化性樹脂組成物は、イミド化合物を含有する。
上記イミド化合物は、トリマートリアミン残基を有する多官能マレイミド化合物(以下、「本発明にかかる多官能マレイミド化合物」ともいう)を含む。
本発明にかかる多官能マレイミド化合物を含有することにより、本発明の硬化性樹脂組成物は、耐熱性、機械的強度、及び、誘電特性に優れる硬化物を得ることができるものとなる。
The curable resin composition of the present invention contains an imide compound.
The imide compound includes a polyfunctional maleimide compound having a trimertriamine residue (hereinafter, also referred to as "polyfunctional maleimide compound according to the present invention").
By containing the polyfunctional maleimide compound according to the present invention, the curable resin composition of the present invention can obtain a cured product having excellent heat resistance, mechanical strength, and dielectric properties.

本発明にかかる多官能マレイミド化合物は、トリマートリアミン残基を有する。本発明にかかる多官能マレイミド化合物は、上記トリマートリアミン残基を有するため、本発明の硬化性樹脂組成物のガラス転移温度及び誘電特性を向上させることができる。
なお、本明細書において上記「残基」は、結合に供された官能基以外の部分の構造を意味し、例えば、「トリマートリアミン残基」は、トリマートリアミンにおけるアミノ基以外の部分の構造を意味する。
The polyfunctional maleimide compound according to the present invention has a trimertriamine residue. Since the polyfunctional maleimide compound according to the present invention has the trimertriamine residue, the glass transition temperature and dielectric properties of the curable resin composition of the present invention can be improved.
In the present specification, the above-mentioned "residue" means the structure of a portion other than the functional group provided for binding, and for example, the "trimertriamine residue" refers to the structure of the portion other than the amino group in the trimertriamine. means.

上記トリマートリアミン残基の由来となるトリマートリアミンは、対応するトリマー酸から作製することができる。
上記トリマー酸としては、例えば、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、パルミトレイン酸、エライジン酸等の炭素数10以上30以下の脂肪族酸の三量体や、該脂肪酸の三量体が更に水添されたもの等が挙げられる。
上記トリマートリアミンのうち市販されているものとしては、例えば、PRIAMINE 1071(クローダジャパン社製)等が挙げられる。なお、トリマートリアミンの市販品では、トリマートリアミンの含有量が通常15〜20質量%程度であり、該市販品中にダイマージアミンが80質量%を超えて含まれていることがある。
The trimertriamine from which the trimertriamine residue is derived can be made from the corresponding trimer acid.
As the trimer acid, for example, a trimer of an aliphatic acid having 10 or more and 30 or less carbon atoms such as oleic acid, linoleic acid, linolenic acid, palmitoleic acid, and elaidic acid, and a trimer of the fatty acid are further hydrogenated. The ones that have been made are mentioned.
Examples of commercially available trimmer triamines include PRIAMINE 1071 (manufactured by Croda Japan) and the like. In the commercial product of trimertriamine, the content of trimertriamine is usually about 15 to 20% by mass, and the commercially available product may contain diamine diamine in an amount of more than 80% by mass.

本発明にかかる多官能マレイミド化合物の分子量の好ましい上限は1100である。上記分子量が1100以下であることにより、得られる硬化性樹脂組成物の硬化物が耐熱性及び機械的強度により優れるものとなる。本発明にかかる多官能マレイミド化合物の分子量のより好ましい上限は1050である。
また、本発明にかかる多官能マレイミド化合物の分子量の好ましい下限は特にないが、実質的な下限は310である。
なお、本明細書において上記「分子量」は、分子構造が特定される化合物については、構造式から求められる分子量であるが、重合度の分布が広い化合物及び変性部位が不特定な化合物については、数平均分子量を用いて表す場合がある。本明細書において上記「数平均分子量」は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で溶媒としてテトラヒドロフランを用いて測定を行い、ポリスチレン換算により求められる値である。GPCによってポリスチレン換算による数平均分子量を測定する際に用いるカラムとしては、例えば、JAIGEL−2H−A(日本分析工業社製)等が挙げられる。
The preferred upper limit of the molecular weight of the polyfunctional maleimide compound according to the present invention is 1100. When the molecular weight is 1100 or less, the cured product of the obtained curable resin composition is superior in heat resistance and mechanical strength. A more preferable upper limit of the molecular weight of the polyfunctional maleimide compound according to the present invention is 1050.
Further, although there is no particular preferable lower limit of the molecular weight of the polyfunctional maleimide compound according to the present invention, the practical lower limit is 310.
In the present specification, the above-mentioned "molecular weight" is the molecular weight obtained from the structural formula for a compound whose molecular structure is specified, but for a compound having a wide distribution of degree of polymerization and a compound having an unspecified modification site. It may be expressed using a number average molecular weight. In the present specification, the above-mentioned "number average molecular weight" is a value obtained by measuring by gel permeation chromatography (GPC) using tetrahydrofuran as a solvent and converting it into polystyrene. Examples of the column used when measuring the number average molecular weight in terms of polystyrene by GPC include JAIGEL-2H-A (manufactured by Nippon Analytical Industry Co., Ltd.).

本発明にかかる多官能マレイミド化合物としては、具体的には、下記式(1)で表されるトリスマレイミド化合物が好ましい。 Specifically, as the polyfunctional maleimide compound according to the present invention, a trismaleimide compound represented by the following formula (1) is preferable.

Figure 0006978371
Figure 0006978371

本発明にかかる多官能マレイミド化合物を製造する方法としては、例えば、置換基を有していてもよい無水マレイン酸と上記トリマートリアミンとを反応させる方法等が挙げられる。
なお、上記無水マレイン酸が置換基を有している場合の置換基としては、例えば、メチル基等が挙げられる。
Examples of the method for producing the polyfunctional maleimide compound according to the present invention include a method of reacting maleic anhydride, which may have a substituent, with the trimertriamine.
When the maleic anhydride has a substituent, examples of the substituent include a methyl group and the like.

上記無水マレイン酸と上記トリマートリアミンとを反応させる方法の具体例を以下に示す。
まず、予め上記トリマートリアミンと触媒量のテトラ−n−ブチルアンモニウムクロライドを、反応により得られるマレインアミド酸が可溶な溶媒(例えば、トルエン等)に溶解させる。得られた溶液に上記無水マレイン酸を添加して還流下で2時間反応させてマレインアミド酸溶液を得る。次いで、ディーンスタークトラップを取り付け、混合物を12時間還流してマレインアミド酸を脱水環化させることにより、本発明にかかる多官能マレイミド化合物を得ることができる。
Specific examples of the method for reacting the maleic anhydride with the trimertriamine are shown below.
First, the trimertriamine and a catalytic amount of tetra-n-butylammonium chloride are previously dissolved in a solvent (for example, toluene or the like) in which the maleinamic acid obtained by the reaction is soluble. The above maleic anhydride is added to the obtained solution and reacted under reflux for 2 hours to obtain a maleic anhydride solution. The polyfunctional maleimide compound according to the present invention can then be obtained by attaching a Dean-Stark trap and refluxing the mixture for 12 hours to dehydrate and cyclize the maleeamic acid.

上記イミド化合物は、本発明にかかる多官能マレイミド化合物に加えて他のイミド化合物を含んでいてもよい。
上記他のイミド化合物としては、例えば、ダイマージアミン残基を有するビスマレイミド化合物等が挙げられる。
The imide compound may contain other imide compounds in addition to the polyfunctional maleimide compound according to the present invention.
Examples of the other imide compound include a bismaleimide compound having a dimerdiamine residue.

上記イミド化合物が上記他のイミド化合物を含む場合、上記イミド化合物中における、本発明にかかる多官能マレイミド化合物の含有量の好ましい下限は5重量%、好ましい上限は50重量%である。本発明にかかる多官能マレイミド化合物の含有量がこの範囲であることにより、得られる硬化性樹脂組成物の硬化物が、耐熱性、機械的強度、及び、誘電特性により優れるものとなる。本発明にかかる多官能マレイミド化合物の含有量のより好ましい下限は10重量%、好ましい上限は40重量%である。 When the imide compound contains the other imide compound, the preferable lower limit of the content of the polyfunctional maleimide compound according to the present invention in the imide compound is 5% by weight, and the preferable upper limit is 50% by weight. When the content of the polyfunctional maleimide compound according to the present invention is in this range, the cured product of the obtained curable resin composition is excellent in heat resistance, mechanical strength, and dielectric properties. A more preferable lower limit of the content of the polyfunctional maleimide compound according to the present invention is 10% by weight, and a preferable upper limit is 40% by weight.

硬化性樹脂とイミド化合物との合計100重量部中における上記イミド化合物の含有量の好ましい下限は0.1重量部、好ましい上限は50重量部である。上記イミド化合物の含有量がこの範囲であることにより、得られる硬化性樹脂組成物の硬化物が、耐熱性、機械的強度、及び、誘電特性により優れるものとなる。上記イミド化合物の含有量のより好ましい下限は0.2重量部、より好ましい上限は40重量部である。 The preferable lower limit of the content of the imide compound in 100 parts by weight of the curable resin and the imide compound is 0.1 part by weight, and the preferable upper limit is 50 parts by weight. When the content of the imide compound is in this range, the cured product of the obtained curable resin composition is excellent in heat resistance, mechanical strength, and dielectric properties. The more preferable lower limit of the content of the imide compound is 0.2 parts by weight, and the more preferable upper limit is 40 parts by weight.

本発明の硬化性樹脂組成物は、未硬化状態での加工性を向上させる等のために、本発明の目的を阻害しない範囲において、上記イミド化合物に加えて他の硬化剤を含有してもよい。
上記他の硬化剤としては、例えば、フェノール系硬化剤、チオール系硬化剤、アミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤、シアネート系硬化剤、活性エステル系硬化剤等が挙げられる。なかでも、フェノール系硬化剤、酸無水物系硬化剤、シアネート系硬化剤、活性エステル系硬化剤が好ましい。
The curable resin composition of the present invention may contain other curing agents in addition to the above-mentioned imide compound in order to improve processability in an uncured state, etc., as long as the object of the present invention is not impaired. good.
Examples of the other curing agents include phenol-based curing agents, thiol-based curing agents, amine-based curing agents, acid anhydride-based curing agents, cyanate-based curing agents, active ester-based curing agents, and the like. Of these, a phenol-based curing agent, an acid anhydride-based curing agent, a cyanate-based curing agent, and an active ester-based curing agent are preferable.

本発明の硬化性樹脂組成物が上記他の硬化剤を含有する場合、硬化剤全体中における上記他の硬化剤の含有割合の好ましい上限は50重量%、より好ましい上限は40重量%である。 When the curable resin composition of the present invention contains the other curing agent, the preferable upper limit of the content ratio of the other curing agent in the entire curing agent is 50% by weight, and the more preferable upper limit is 40% by weight.

本発明の硬化性樹脂組成物は、硬化性樹脂を含有する。
上記硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、シアネート樹脂、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、カルボジイミド樹脂、及び、ベンゾオキサジン樹脂からなる群より選択される少なくとも1種が好ましい。なかでも、上記硬化性樹脂は、エポキシ樹脂を含むことがより好ましい。
また、上記硬化性樹脂は、フィルム加工する場合等の加工性をより良好にするために、25℃において液状又は半固形形状であることが好ましく、液状であることがより好ましい。
The curable resin composition of the present invention contains a curable resin.
As the curable resin, at least one selected from the group consisting of an epoxy resin, a cyanate resin, a phenol resin, an active ester resin, a carbodiimide resin, and a benzoxazine resin is preferable. Above all, it is more preferable that the curable resin contains an epoxy resin.
Further, the curable resin is preferably in a liquid or semi-solid form at 25 ° C., and more preferably in a liquid form, in order to improve the processability when processing a film.

上記エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、2,2’−ジアリルビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノール型エポキシ樹脂、プロピレンオキシド付加ビスフェノールA型エポキシ樹脂、レゾルシノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スルフィド型エポキシ樹脂、ジフェニルエーテル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、オルトクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレンフェノールノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、アルキルポリオール型エポキシ樹脂、ゴム変性型エポキシ樹脂、グリシジルエステル化合物等が挙げられる。なかでも、硬化後のガラス転移温度が高く、誘電正接が低いことから、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂が好ましい。 Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol E type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, 2,2'-diallyl bisphenol A type epoxy resin, and hydrogenated bisphenol type epoxy resin. , Propoxy oxide-added bisphenol A type epoxy resin, resorcinol type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, sulfide type epoxy resin, diphenyl ether type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, fluorene type epoxy resin, naphthylene ether Type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, orthocresol novolac type epoxy resin, dicyclopentadiene novolac type epoxy resin, biphenyl novolac type epoxy resin, naphthalenephenol novolac type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, alkyl polyol type epoxy resin, Examples thereof include rubber-modified epoxy resins and glycidyl ester compounds. Of these, dicyclopentadiene novolac type epoxy resin and biphenyl novolac type epoxy resin are preferable because the glass transition temperature after curing is high and the dielectric loss tangent is low.

上記シアネート樹脂としては、例えば、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、及び、これらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。
上記フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂のうち市販されているものとしては、例えば、PT−30、PT−60(いずれもロンザジャパン社製)等が挙げられる。
上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂が一部三量化されたプレポリマーのうち市販されているものとしては、例えば、BA−230S、BA−3000S、BTP−1000S、BTP−6020S(いずれもロンザジャパン社製)等が挙げられる。
上記シアネート樹脂は、単独で用いられてもよいし、2種以上が組み合わせて用いられてもよい。
Examples of the cyanate resin include a novolak type cyanate ester resin, a bisphenol type cyanate ester resin, and a prepolymer in which these are partially triquantized. Examples of the novolak type cyanate ester resin include phenol novolac type cyanate ester resin and alkylphenol type cyanate ester resin. Examples of the bisphenol type cyanate ester resin include bisphenol A type cyanate ester resin, bisphenol E type cyanate ester resin, and tetramethyl bisphenol F type cyanate ester resin.
Examples of commercially available phenol novolac type cyanate ester resins include PT-30 and PT-60 (both manufactured by Lonza Japan Co., Ltd.).
Among the prepolymers in which the above bisphenol type cyanate ester resin is partially quantified, commercially available ones include, for example, BA-230S, BA-3000S, BTP-1000S, and BTP-6020S (all manufactured by Lonza Japan). And so on.
The cyanate resin may be used alone or in combination of two or more.

上記フェノール樹脂としては、例えば、ノボラック型フェノール樹脂、ビフェニルノボラック型フェノール樹脂、アラルキル型フェノール樹脂、アミノトリアジン骨格を有するフェノール樹脂等が挙げられる。
上記ノボラック型フェノール樹脂のうち市販されているものとしては、例えば、TD−2091(DIC社製)等が挙げられる。
上記ビフェニルノボラック型フェノール樹脂のうち市販されているものとしては、例えば、MEH−7851(明和化成社製)等が挙げられる。
上記アラルキル型フェノール化合物のうち市販されているものとしては、例えば、MEH−7800(明和化成社製)等が挙げられる。
上記アミノトリアジン骨格を有するフェノール樹脂のうち市販されているものとしては、例えば、LA1356、LA3018−50P(いずれもDIC社製)等が挙げられる。
上記フェノール樹脂は、単独で用いられてもよいし、2種以上が組み合わせて用いられてもよい。
Examples of the phenol resin include a novolak type phenol resin, a biphenyl novolak type phenol resin, an aralkyl type phenol resin, and a phenol resin having an aminotriazine skeleton.
Examples of commercially available novolak-type phenolic resins include TD-2091 (manufactured by DIC Corporation) and the like.
Among the above-mentioned biphenyl novolac type phenol resins, those commercially available include, for example, MEH-7851 (manufactured by Meiwakasei Co., Ltd.) and the like.
Examples of commercially available aralkyl-type phenol compounds include MEH-7800 (manufactured by Meiwakasei Co., Ltd.) and the like.
Examples of commercially available phenolic resins having an aminotriazine skeleton include LA1356 and LA3018-50P (both manufactured by DIC Corporation).
The above-mentioned phenol resin may be used alone or in combination of two or more.

上記活性エステル樹脂とは、構造体中にエステル結合を少なくとも1つ含み、かつ、エステル結合の両側に芳香族環が結合している化合物をいう。
上記活性エステル樹脂は、例えば、カルボン酸化合物又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物又はチオール化合物との縮合反応等によって得られる。
The active ester resin refers to a compound containing at least one ester bond in the structure and having aromatic rings bonded to both sides of the ester bond.
The active ester resin is obtained, for example, by a condensation reaction between a carboxylic acid compound or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound or a thiol compound.

上記活性エステル樹脂としては、例えば、下記式(2)で表される化合物等が挙げられる。 Examples of the active ester resin include compounds represented by the following formula (2).

Figure 0006978371
Figure 0006978371

式(2)中、X及びXは、それぞれ芳香族環を含む基を表す。
上記芳香族環を含む基としては、例えば、置換基を有していてもよいベンゼン環、置換基を有していてもよいナフタレン環等が挙げられる。上記置換基としては、炭化水素基等が挙げられる。該炭化水素基の炭素数は、12以下であることが好ましく、6以下であることがより好ましくは、4以下であることが更に好ましい。
In formula (2), X 1 and X 2 each represent a group containing an aromatic ring.
Examples of the group containing the aromatic ring include a benzene ring which may have a substituent, a naphthalene ring which may have a substituent, and the like. Examples of the substituent include a hydrocarbon group and the like. The hydrocarbon group preferably has 12 or less carbon atoms, more preferably 6 or less, and even more preferably 4 or less.

上記式(2)におけるX及びXの組み合わせとしては、例えば、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいベンゼン環との組み合わせ、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせ等が挙げられる。また、X及びXの組み合わせとしては、置換基を有していてもよいナフタレン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせ等も挙げられる。 The combination of X 1 and X 2 in the above formula (2) includes, for example, a combination of a benzene ring which may have a substituent and a benzene ring which may have a substituent, and a substituent. Examples thereof include a combination of a benzene ring which may be used and a naphthalene ring which may have a substituent. Further, examples of the combination of X 1 and X 2 include a combination of a naphthalene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent.

上記活性エステル樹脂は、熱寸法安定性をより一層高める観点から、2個以上の芳香族骨格を有する活性エステル樹脂であることが好ましい。また、上記活性エステル樹脂は、得られる硬化物の誘電正接をより低くし、かつ、熱寸法安定性を高める観点から、主鎖骨格中にナフタレン環を有することがより好ましい。
上記活性エステル樹脂のうち市販されているものとしては、例えば、HPC−8000−65T、EXB9416−70BK、EXB8100−65T、HPC−8150−60T(いずれもDIC社製)等が挙げられる。上記活性エステル樹脂は、単独で用いられてもよいし、2種以上が組み合わせて用いられてもよい。
The active ester resin is preferably an active ester resin having two or more aromatic skeletons from the viewpoint of further enhancing thermal dimensional stability. Further, it is more preferable that the active ester resin has a naphthalene ring in the main chain skeleton from the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent of the obtained cured product and enhancing the thermal dimensional stability.
Examples of commercially available active ester resins include HPC-8000-65T, EXB9416-70BK, EXB8100-65T, HPC-8150-60T (all manufactured by DIC Corporation) and the like. The active ester resin may be used alone or in combination of two or more.

上記カルボジイミド樹脂は、下記式(3)で表される構造単位を有する化合物である。 The carbodiimide resin is a compound having a structural unit represented by the following formula (3).

Figure 0006978371
Figure 0006978371

式(3)中、*は、他の基との結合部位であり、Xは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、シクロアルキレン基に置換基が結合した基、アリーレン基、又は、アリーレン基に置換基が結合した基を表し、pは1以上5以下の整数を表す。Xが複数存在する場合、複数のXは同一であってもよく、異なっていてもよい。 In the formula (3), * is a bonding site with another group, X is an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, a group in which a substituent is bonded to a cycloalkylene group, and the like. It represents an arylene group or a group in which a substituent is bonded to an arylene group, and p represents an integer of 1 or more and 5 or less. When there are a plurality of X's, the plurality of X's may be the same or different.

上記式(3)中、pが2以上5以下の整数である場合、少なくとも1つのXは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、又は、シクロアルキレン基に置換基が結合した基であることが好ましい。 In the above formula (3), when p is an integer of 2 or more and 5 or less, at least one X is an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, or a substituent to a cycloalkylene group. Is preferably a bonded group.

上記カルボジイミド樹脂のうち市販されているものとしては、例えば、日清紡ケミカル社製のカルボジイミド樹脂、ラインケミー社製のカルボジイミド樹脂等が挙げられる。
上記日清紡ケミカル社製のカルボジイミド樹脂としては、例えば、カルボジライト V−02B、カルボジライト V−03、カルボジライト V−04K、カルボジライト V−07、カルボジライト V−09、カルボジライト 10M−SP、カルボジライト 10M−SP(改)等が挙げられる。
上記ラインケミー社製のカルボジイミド樹脂としては、例えば、スタバクゾールP、スタバクゾールP400、ハイカジル510等が挙げられる。
上記カルボジイミド樹脂は、単独で用いられてもよいし、2種以上が組み合わせて用いられてもよい。
Examples of commercially available carbodiimide resins include carbodiimide resins manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., carbodiimide resins manufactured by Rheinchemy, and the like.
Examples of the carbodiimide resin manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd. include carbodilite V-02B, carbodilite V-03, carbodilite V-04K, carbodilite V-07, carbodilite V-09, carbodilite 10M-SP, and carbodilite 10M-SP (revised). And so on.
Examples of the carbodiimide resin manufactured by Rheinchemy include Stavaxol P, Stavaxol P400, and Hycadil 510.
The carbodiimide resin may be used alone or in combination of two or more.

上記ベンゾオキサジン樹脂としては、P−d型ベンゾオキサジン、及びF−a型ベンゾオキサジン等が挙げられる。
上記ベンゾオキサジン樹脂のうち市販されているものとしては、例えば、P−d型(四国化成工業社製)等が挙げられる。
Examples of the benzoxazine resin include P-d type benzoxazine and Fa type benzoxazine.
Examples of commercially available benzoxazine resins include P-d type (manufactured by Shikoku Chemicals Corporation).

本発明の硬化性樹脂組成物は、硬化促進剤を含有することが好ましい。上記硬化促進剤を含有することにより、硬化時間を短縮させて生産性を向上させることができる。 The curable resin composition of the present invention preferably contains a curing accelerator. By containing the above-mentioned curing accelerator, the curing time can be shortened and the productivity can be improved.

上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール系硬化促進剤、3級アミン系硬化促進剤、ホスフィン系硬化促進剤、光塩基発生剤、スルホニウム塩系硬化促進剤、ラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。なかでも、貯蔵安定性及び硬化性の観点から、イミダゾール系硬化促進剤、ラジカル性硬化促進剤が好ましい。
上記硬化促進剤は、単独で用いられてもよいし、2種類以上が組み合わせて用いられてもよい。
Examples of the curing accelerator include an imidazole-based curing accelerator, a tertiary amine-based curing accelerator, a phosphine-based curing accelerator, a photobase generator, a sulfonium salt-based curing accelerator, and a radical curing accelerator. .. Of these, imidazole-based curing accelerators and radical curing accelerators are preferable from the viewpoint of storage stability and curability.
The curing accelerator may be used alone or in combination of two or more.

上記イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。 Examples of the imidazole-based curing accelerator include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, and 2-phenyl-4-methylimidazole. , 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1- Cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimerite, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimerite, 2,4-diamino- 6- [2'-methylimidazolyl- (1')] -ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-undecylimidazole-(1')]-ethyl-s-triazine, 2 , 4-Diamino-6- [2'-ethyl-4'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazole- (1') ] -Ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl- Examples thereof include 5-dihydroxymethylimidazole.

上記ラジカル性硬化促進剤としては、例えば、過酸化物等が挙げられる。
上記過酸化物のうち市販されているものとしては、例えば、ジクミルペルオキシド(東京化成工業社製)、パーヘキシル25B(日油社製)等が挙げられる。
Examples of the radical curing accelerator include peroxides and the like.
Examples of commercially available peroxides include dicumyl peroxide (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and perhexyl 25B (manufactured by NOF CORPORATION).

上記硬化促進剤の含有量は、硬化性樹脂とイミド化合物と硬化促進剤との合計重量に対して、好ましい下限が0.1重量%である。上記硬化促進剤の含有量が0.1重量%以上であることにより、硬化時間を短縮させる効果により優れるものとなる。上記硬化促進剤の含有量のより好ましい下限は0.5重量%である。
また、接着性等の観点から、上記硬化促進剤の含有量の好ましい上限は20重量%、より好ましい上限は10重量%である。
The content of the curing accelerator is preferably 0.1% by weight with respect to the total weight of the curable resin, the imide compound and the curing accelerator. When the content of the curing accelerator is 0.1% by weight or more, the effect of shortening the curing time is more excellent. A more preferable lower limit of the content of the curing accelerator is 0.5% by weight.
Further, from the viewpoint of adhesiveness and the like, the preferable upper limit of the content of the curing accelerator is 20% by weight, and the more preferable upper limit is 10% by weight.

本発明の硬化性樹脂組成物は、無機粒子を含有することが好ましい。
上記無機粒子を含有することにより、本発明の硬化性樹脂組成物は、硬化物の熱線膨張率、誘電率、及び、誘電正接がより低くなり、層間絶縁材料等としてより優れるものとなる。
The curable resin composition of the present invention preferably contains inorganic particles.
By containing the above-mentioned inorganic particles, the curable resin composition of the present invention has a lower heat ray expansion rate, dielectric constant, and dielectric loss tangent of the cured product, and is more excellent as an interlayer insulating material or the like.

上記無機粒子としては、例えば、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素等が挙げられる。なかでも、シリカが好ましい。
上記無機粒子は、単独で用いられてもよいし、2種類以上が組み合わせて用いられてもよい。
Examples of the inorganic particles include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, and boron nitride. Of these, silica is preferable.
The inorganic particles may be used alone or in combination of two or more.

上記無機粒子の平均粒子径の好ましい下限は10nmである。上記無機粒子の平均粒子径が10nm以上であることにより、溶融粘度の上昇が抑えられ、本発明の硬化性樹脂組成物を層間絶縁材料等として用いる場合に絶縁フィルムの埋め込み追従性がより一層良好になる。上記無機粒子の平均粒子径のより好ましい下限は30nm、更に好ましい下限は50nmである。
また、上記無機粒子の平均粒子径の好ましい上限は20μmである。上記無機粒子の平均粒子径が20μm以下であることにより、本発明の硬化性樹脂組成物を層間絶縁材料等として用いる場合に絶縁フィルムの表面の平坦性がより一層良好になる。上記無機粒子の平均粒子径のより好ましい上限は10μm、更に好ましい上限は5μm、特に好ましい上限は2μmである。また、パターンへの絶縁フィルムの埋め込み追従性及び絶縁層の表面の平坦性をより一層良好にする観点から、上記無機粒子の平均粒子径は、1μm以下であることが好ましい。
なお、本明細書において、上記無機粒子の平均粒子径は、50%となるメディアン径の値が採用され、レーザー回折式粒度分布測定装置を用いて測定することにより得られる。上記レーザー回折式粒度分布測定装置としては、マスターサイザー2000(マルバーン社製)等を用いることができる。
The preferable lower limit of the average particle size of the inorganic particles is 10 nm. When the average particle diameter of the inorganic particles is 10 nm or more, an increase in melt viscosity is suppressed, and when the curable resin composition of the present invention is used as an interlayer insulating material or the like, the embedding followability of the insulating film is further improved. become. A more preferable lower limit of the average particle size of the inorganic particles is 30 nm, and a further preferable lower limit is 50 nm.
The preferable upper limit of the average particle size of the inorganic particles is 20 μm. When the average particle diameter of the inorganic particles is 20 μm or less, the flatness of the surface of the insulating film becomes even better when the curable resin composition of the present invention is used as an interlayer insulating material or the like. A more preferable upper limit of the average particle size of the inorganic particles is 10 μm, a further preferable upper limit is 5 μm, and a particularly preferable upper limit is 2 μm. Further, from the viewpoint of further improving the embedding followability of the insulating film in the pattern and the flatness of the surface of the insulating layer, the average particle size of the inorganic particles is preferably 1 μm or less.
In the present specification, the average particle diameter of the inorganic particles adopts a value of a median diameter of 50%, and is obtained by measuring using a laser diffraction type particle size distribution measuring device. As the laser diffraction type particle size distribution measuring device, Master Sizar 2000 (manufactured by Malvern) or the like can be used.

上記無機粒子は、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。上記無機粒子が球状である場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、本発明の硬化性樹脂組成物を層間絶縁材料等として用いる場合に絶縁層と金属層との接着強度が効果的に高くなる。
上記無機粒子が球状である場合には、上記無機粒子のアスペクト比の好ましい上限は2、より好ましい上限は1.5である。
The inorganic particles are preferably spherical, more preferably spherical silica. When the inorganic particles are spherical, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and when the curable resin composition of the present invention is used as an interlayer insulating material or the like, the insulating layer and the metal layer are combined. The adhesive strength is effectively increased.
When the inorganic particles are spherical, the preferable upper limit of the aspect ratio of the inorganic particles is 2, and the more preferable upper limit is 1.5.

上記無機粒子は、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤により表面処理されていることがより好ましい。上記無機粒子が表面処理されていることにより、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、本発明の硬化性樹脂組成物を層間絶縁材料等として用いる場合に硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなり、硬化物の表面により一層微細な配線が形成され、かつ、より一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性が硬化物に付与される。 The inorganic particles are preferably surface-treated, and more preferably surface-treated with a coupling agent. By surface-treating the inorganic particles, the surface roughness of the surface of the cured product becomes even smaller, and when the curable resin composition of the present invention is used as an interlayer insulating material or the like, the cured product and the metal layer The adhesive strength is further increased, finer wiring is formed on the surface of the cured product, and even better inter-wiring insulation reliability and interlayer insulation reliability are imparted to the cured product.

上記カップリング剤としては、例えば、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤、アルミニウムカップリング剤等が挙げられる。なかでも、シランカップリング剤が好ましい。
上記シランカップリング剤としては、例えば、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、エポキシシラン等が挙げられる。
Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanate coupling agent, an aluminum coupling agent, and the like. Of these, a silane coupling agent is preferable.
Examples of the silane coupling agent include aminosilane, imidazolesilane, vinylsilane, and epoxysilane.

上記無機粒子の含有量は、上記硬化性樹脂と上記イミド化合物との合計100重量部に対して、好ましい下限が5重量部、好ましい上限が900重量部である。上記無機粒子の含有量がこの範囲であることにより、得られる硬化性樹脂組成物の硬化物の熱線膨張率、誘電率、及び、誘電正接がより低くなり、層間絶縁材料等としてより優れるものとなる。上記無機粒子の含有量のより好ましい下限は10重量部、より好ましい上限は850重量部である。 The content of the inorganic particles is preferably 5 parts by weight and a preferable upper limit of 900 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total of the curable resin and the imide compound. When the content of the inorganic particles is in this range, the coefficient of linear thermal expansion, the dielectric constant, and the dielectric loss tangent of the cured product of the obtained curable resin composition become lower, and it is more excellent as an interlayer insulating material or the like. Become. The more preferable lower limit of the content of the inorganic particles is 10 parts by weight, and the more preferable upper limit is 850 parts by weight.

本発明の硬化性樹脂組成物は、応力緩和、靭性付与等を目的として有機粒子を含有してもよい。
上記有機粒子としては、例えば、シリコーンゴム粒子、アクリルゴム粒子、ウレタンゴム粒子、ポリアミド粒子、ポリアミドイミド粒子、ポリイミド粒子、ベンゾグアナミン粒子、及び、これらのコアシェル粒子等が挙げられる。なかでも、ポリアミド粒子、ポリアミドイミド粒子、ポリイミド粒子が好ましい。
上記有機粒子は、単独で用いられてもよいし、2種類以上が組み合わせて用いられてもよい。
The curable resin composition of the present invention may contain organic particles for the purpose of stress relaxation, toughness imparting and the like.
Examples of the organic particles include silicone rubber particles, acrylic rubber particles, urethane rubber particles, polyamide particles, polyamide-imide particles, polyimide particles, benzoguanamine particles, and core-shell particles thereof. Of these, polyamide particles, polyamide-imide particles, and polyimide particles are preferable.
The organic particles may be used alone or in combination of two or more.

上記有機粒子の含有量は、上記硬化性樹脂と上記イミド化合物との合計100重量部に対して、好ましい上限が300重量部である。上記有機粒子の含有量がこの範囲であることにより、優れた接着性等を維持したまま、得られる硬化性樹脂組成物の硬化物が靭性等により優れるものとなる。上記有機粒子の含有量のより好ましい上限は200重量部である。 The content of the organic particles is preferably 300 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total of the curable resin and the imide compound. When the content of the organic particles is in this range, the cured product of the obtained curable resin composition becomes more excellent in toughness and the like while maintaining excellent adhesiveness and the like. A more preferable upper limit of the content of the organic particles is 200 parts by weight.

本発明の硬化性樹脂組成物は、難燃剤を含有してもよい。
上記難燃剤としては、例えば、ベーマイト型水酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等の金属水和物、ハロゲン系化合物、りん系化合物、窒素化合物等が挙げられる。なかでも、ベーマイト型水酸化アルミニウムが好ましい。
上記難燃剤は、単独で用いられてもよいし、2種類以上が組み合わせて用いられてもよい。
The curable resin composition of the present invention may contain a flame retardant.
Examples of the flame retardant include metal hydrates such as boehmite type aluminum hydroxide, aluminum hydroxide and magnesium hydroxide, halogen compounds, phosphorus compounds, nitrogen compounds and the like. Of these, boehmite-type aluminum hydroxide is preferable.
The flame retardant may be used alone or in combination of two or more.

上記難燃剤の含有量は、上記硬化性樹脂と上記イミド化合物との合計100重量部に対して、好ましい下限が5重量部、好ましい上限が200重量部である。上記難燃剤の含有量がこの範囲であることにより、得られる硬化性樹脂組成物が優れた接着性等を維持したまま、難燃性に優れるものとなる。上記難燃剤の含有量のより好ましい下限は10重量部、より好ましい上限は150重量部である。 The content of the flame retardant is preferably 5 parts by weight and a preferable upper limit of 200 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total of the curable resin and the imide compound. When the content of the flame retardant is in this range, the obtained curable resin composition has excellent flame retardancy while maintaining excellent adhesiveness and the like. The more preferable lower limit of the content of the flame retardant is 10 parts by weight, and the more preferable upper limit is 150 parts by weight.

本発明の硬化性樹脂組成物は、本発明の目的を阻害しない範囲で高分子化合物を含有してもよい。上記高分子化合物は、造膜成分としての役割を果たす。 The curable resin composition of the present invention may contain a polymer compound as long as the object of the present invention is not impaired. The polymer compound plays a role as a film-forming component.

上記高分子化合物は、反応性官能基を有していてもよい。
上記反応性官能基としては、例えば、アミノ基、ウレタン基、イミド基、水酸基、カルボキシル基、エポキシ基等が挙げられる。
The polymer compound may have a reactive functional group.
Examples of the reactive functional group include an amino group, a urethane group, an imide group, a hydroxyl group, a carboxyl group, an epoxy group and the like.

また、上記高分子化合物は、硬化物中で相分離構造を形成してもよいし、相分離構造を形成しなくてもよい。上記高分子化合物が硬化物中で相分離構造を形成しない場合、上記高分子化合物としては、高温での機械的強度、長期耐熱性、及び、耐湿性により優れることから、上記反応性官能基としてエポキシ基を有する高分子化合物が好ましい。 Further, the polymer compound may or may not form a phase-separated structure in the cured product. When the polymer compound does not form a phase-separated structure in the cured product, the polymer compound is excellent in mechanical strength at high temperature, long-term heat resistance, and moisture resistance, and therefore, as the reactive functional group. Polymer compounds having an epoxy group are preferred.

本発明の硬化性樹脂組成物は、塗工性等の観点から溶媒を含有してもよい。
上記溶媒としては、塗工性や貯蔵安定性等の観点から、沸点が160℃以下の非極性溶媒又は沸点が160℃以下の非プロトン性極性溶媒が好ましい。
上記沸点が160℃以下の非極性溶媒又は沸点が160℃以下の非プロトン性極性溶媒としては、例えば、ケトン系溶媒、エステル系溶媒、炭化水素系溶媒、ハロゲン系溶媒、エーテル系溶媒、含窒素系溶媒等が挙げられる。
上記ケトン系溶媒としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等が挙げられる。
上記エステル系溶媒としては、例えば、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソブチル等が挙げられる。
上記炭化水素系溶媒としては、例えば、ベンゼン、トルエン、ノルマルヘキサン、イソヘキサン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ノルマルヘプタン等が挙げられる。
上記ハロゲン系溶媒としては、例えば、ジクロロメタン、クロロホルム、トリクロロエチレン等が挙げられる。
上記エーテル系溶媒としては、例えば、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、1,3−ジオキソラン、アニソール等が挙げられる。
上記含窒素系溶媒としては、例えば、アセトニトリル等が挙げられる。
なかでも、取り扱い性やイミド化合物の溶解性等の観点から、沸点が60℃以上のケトン系溶媒、沸点が60℃以上のエステル系溶媒、及び、沸点が60℃以上のエーテル系溶媒からなる群より選択される少なくとも1種が好ましい。このような溶媒としては、例えば、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチル、酢酸イソブチル、1,4−ジオキサン、1,3−ジオキソラン、テトラヒドロフラン等が挙げられる。
なお、上記「沸点」は、101kPaの条件で測定される値、又は、沸点換算図表等で101kPaに換算された値を意味する。
The curable resin composition of the present invention may contain a solvent from the viewpoint of coatability and the like.
As the solvent, a non-polar solvent having a boiling point of 160 ° C. or lower or an aprotic polar solvent having a boiling point of 160 ° C. or lower is preferable from the viewpoint of coatability, storage stability and the like.
Examples of the non-polar solvent having a boiling point of 160 ° C. or lower or the aprotonic polar solvent having a boiling point of 160 ° C. or lower include a ketone solvent, an ester solvent, a hydrocarbon solvent, a halogen solvent, an ether solvent, and a nitrogen-containing solvent. Examples include system solvents.
Examples of the ketone solvent include acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and the like.
Examples of the ester solvent include methyl acetate, ethyl acetate, isobutyl acetate and the like.
Examples of the hydrocarbon solvent include benzene, toluene, normal hexane, isohexane, cyclohexane, methylcyclohexane, normal heptane and the like.
Examples of the halogen-based solvent include dichloromethane, chloroform, trichlorethylene and the like.
Examples of the ether solvent include diethyl ether, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, 1,3-dioxolane, anisole and the like.
Examples of the nitrogen-containing solvent include acetonitrile and the like.
Among them, from the viewpoint of handleability and solubility of imide compounds, a group consisting of a ketone solvent having a boiling point of 60 ° C. or higher, an ester solvent having a boiling point of 60 ° C. or higher, and an ether solvent having a boiling point of 60 ° C. or higher. At least one selected from the above is preferable. Examples of such a solvent include methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl acetate, isobutyl acetate, 1,4-dioxane, 1,3-dioxolane, tetrahydrofuran and the like.
The above "boiling point" means a value measured under the condition of 101 kPa or a value converted to 101 kPa in a boiling point conversion chart or the like.

本発明の硬化性樹脂組成物中における上記溶媒の含有量の好ましい下限は20重量%、好ましい上限は90重量%である。上記溶媒の含有量がこの範囲であることにより、本発明の硬化性樹脂組成物は、塗工性等により優れるものとなる。上記溶媒の含有量のより好ましい下限は30重量%、より好ましい上限は80重量%である。 The preferable lower limit of the content of the solvent in the curable resin composition of the present invention is 20% by weight, and the preferable upper limit is 90% by weight. When the content of the solvent is in this range, the curable resin composition of the present invention is excellent in coatability and the like. The more preferable lower limit of the content of the solvent is 30% by weight, and the more preferable upper limit is 80% by weight.

本発明の硬化性樹脂組成物は、本発明の目的を阻害しない範囲で反応性希釈剤を含有してもよい。
上記反応性希釈剤としては、接着信頼性の観点から、1分子中に2つ以上の反応性官能基を有する反応性希釈剤が好ましい。
The curable resin composition of the present invention may contain a reactive diluent as long as the object of the present invention is not impaired.
As the reactive diluent, a reactive diluent having two or more reactive functional groups in one molecule is preferable from the viewpoint of adhesive reliability.

本発明の硬化性樹脂組成物は、更に、カップリング剤、分散剤、貯蔵安定化剤、ブリード防止剤、フラックス剤、レベリング剤等の添加剤を含有してもよい。 The curable resin composition of the present invention may further contain additives such as a coupling agent, a dispersant, a storage stabilizer, an antibleeding agent, a flux agent, and a leveling agent.

本発明の硬化性樹脂組成物を製造する方法としては、例えば、ホモディスパー、万能ミキサー、バンバリーミキサー、ニーダー等の混合機を用いて、硬化性樹脂と、イミド化合物と、必要に応じて添加する溶媒等とを混合する方法等が挙げられる。 As a method for producing the curable resin composition of the present invention, for example, a curable resin, an imide compound, and an imide compound are added as necessary using a mixer such as a homodisper, a universal mixer, a Banbury mixer, and a kneader. Examples thereof include a method of mixing with a solvent and the like.

本発明の硬化性樹脂組成物は、硬化前のガラス転移温度の好ましい下限が−20℃、好ましい上限が80℃である。上記硬化前のガラス転移温度がこの範囲であることにより、本発明の硬化性樹脂組成物は、加工性により優れるものとなる。上記硬化前のガラス転移温度のより好ましい下限は−10℃、より好ましい上限は60℃である。
なお、本明細書において上記「硬化前のガラス転移温度」は、示差走査熱量計を用い、昇温速度10℃/分で測定を行ったときの、ガラス転移に伴う吸熱ピークの変曲点より求められる値である。
上記示差走査熱量計としては、例えば、示差走査熱量計測定機DSC7000シリーズ(日立ハイテクサイエンス社製)等が挙げられる。
また、上記硬化前のガラス転移温度の測定は、厚さを400μmとした後述する硬化性樹脂組成物フィルムについて行う。
In the curable resin composition of the present invention, the preferable lower limit of the glass transition temperature before curing is −20 ° C., and the preferred upper limit is 80 ° C. When the glass transition temperature before curing is in this range, the curable resin composition of the present invention is more excellent in processability. The more preferable lower limit of the glass transition temperature before curing is −10 ° C., and the more preferable upper limit is 60 ° C.
In the present specification, the above-mentioned "glass transition temperature before curing" is from the inflection point of the heat absorption peak accompanying the glass transition when measured at a temperature rise rate of 10 ° C./min using a differential scanning calorimeter. This is the required value.
Examples of the differential scanning calorimeter include a differential scanning calorimeter measuring machine DSC7000 series (manufactured by Hitachi High-Tech Science Corporation).
Further, the measurement of the glass transition temperature before curing is performed on a curable resin composition film having a thickness of 400 μm, which will be described later.

本発明の硬化性樹脂組成物は、硬化物のガラス転移温度の好ましい下限が100℃、好ましい上限が240℃である。上記硬化前のガラス転移温度がこの範囲であることにより、本発明の硬化性樹脂組成物は、硬化物が機械的強度及び耐熱性により優れるものとなる。上記硬化物のガラス転移温度のより好ましい下限は120℃、より好ましい上限は220℃である。
なお、本明細書において上記「硬化物のガラス転移温度」は、動的粘弾性測定装置を用い、昇温速度10℃/分、周波数10Hz、チャック間距離24mmで−0℃から300℃までの昇温条件で測定した際に得られるtanδカーブのピーク温度として求められる値である。上記動的粘弾性測定装置としては、例えば、レオバイブロン動的粘弾性自動測定器DDV−GPシリーズ(エー・アンド・デイ社製)等が挙げられる。
また、上記「硬化物のガラス転移温度」を測定する硬化物は、厚さを400μmとした後述する硬化性樹脂組成物フィルムを190℃で1時間加熱することにより得ることができる。
In the curable resin composition of the present invention, the preferable lower limit of the glass transition temperature of the cured product is 100 ° C., and the preferable upper limit is 240 ° C. When the glass transition temperature before curing is in this range, the cured resin composition of the present invention is superior in mechanical strength and heat resistance. The more preferable lower limit of the glass transition temperature of the cured product is 120 ° C., and the more preferable upper limit is 220 ° C.
In the present specification, the above-mentioned "glass transition temperature of the cured product" is from −0 ° C. to 300 ° C. at a temperature rise rate of 10 ° C./min, a frequency of 10 Hz, and a chuck-to-chuck distance of 24 mm using a dynamic viscoelasticity measuring device. It is a value obtained as the peak temperature of the tan δ curve obtained when measured under the temperature rising condition. Examples of the dynamic viscoelasticity measuring device include a Leovibron dynamic viscoelasticity automatic measuring device DDV-GP series (manufactured by A & D Co., Ltd.).
Further, the cured product for measuring the "glass transition temperature of the cured product" can be obtained by heating a curable resin composition film having a thickness of 400 μm, which will be described later, at 190 ° C. for 1 hour.

本発明の硬化性樹脂組成物を基材フィルム上に塗工し、乾燥させることにより、本発明の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂組成物フィルムを得ることができ、該硬化性樹脂組成物フィルムを硬化させて硬化物を得ることができる。 By applying the curable resin composition of the present invention on a base film and drying it, a curable resin composition film composed of the curable resin composition of the present invention can be obtained, and the curable resin composition can be obtained. A cured product can be obtained by curing the material film.

上記硬化性樹脂組成物フィルムを得る方法としては、具体的には例えば、以下の方法等が挙げられる。
即ち、押出機を用いて、本発明の硬化性樹脂組成物を溶融混練して押出した後、Tダイやサーキュラーダイ等によりフィルム状に成形する押出成形法や、本発明の硬化性樹脂組成物を有機溶剤等の溶剤に溶解又は分散させた後、キャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法等が挙げられる。なかでも、薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。
なお、上記「フィルム」には、「シート」が含まれる。
Specific examples of the method for obtaining the curable resin composition film include the following methods.
That is, an extrusion molding method in which the curable resin composition of the present invention is melt-kneaded and extruded using an extruder and then molded into a film by a T-die, a circular die or the like, or the curable resin composition of the present invention. Examples thereof include a casting molding method in which the resin is dissolved or dispersed in a solvent such as an organic solvent and then cast to form a film. Of these, the extrusion molding method or the casting molding method is preferable because it can be made thinner.
The "film" includes a "sheet".

上記硬化性樹脂組成物フィルム状を得た後、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば90〜200℃で1〜180分間加熱乾燥させることにより、半硬化物を得ることができる。
以下、上述のような乾燥工程により得ることができる半硬化物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、完全に硬化しておらず、硬化が更に進行され得る。
After obtaining the curable resin composition film, a semi-cured product can be obtained by heating and drying at 90 to 200 ° C. for 1 to 180 minutes to the extent that curing by heat does not proceed too much.
Hereinafter, the semi-cured product obtained by the drying step as described above is referred to as a B stage film. The B stage film is not completely cured and can be further cured.

上記Bステージフィルムは、プリプレグではないことが好ましい。上記Bステージフィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じることがなくなる。また、上記Bステージフィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じることがなくなる。更に、本発明の硬化性樹脂組成物をプリプレグではないBステージフィルムとすることで、硬化物の熱による寸法変化が小さくなって形状保持性が高くなり、セミアディティブプロセス適性が高くなる。 The B stage film is preferably not a prepreg. When the B stage film is not a prepreg, migration does not occur along the glass cloth or the like. Further, when the B stage film is laminated or pre-cured, unevenness due to the glass cloth does not occur on the surface. Further, by using the curable resin composition of the present invention as a B-stage film which is not a prepreg, the dimensional change due to the heat of the cured product is reduced, the shape retention is improved, and the suitability for the semi-additive process is improved.

本発明の硬化性樹脂組成物は、基材と、該基材の一方の表面に積層された上記Bステージフィルムとを備える積層フィルムを形成するために好適に用いられる。
基材と、上記基材上に積層された本発明の硬化性樹脂組成物の硬化物とを有する積層体もまた、本発明の1つである。
The curable resin composition of the present invention is suitably used for forming a laminated film including a base material and the B stage film laminated on one surface of the base material.
A laminate having a substrate and a cured product of the curable resin composition of the present invention laminated on the substrate is also one of the present inventions.

上記基材としては、例えば、ポリエステル樹脂フィルム、オレフィン樹脂フィルム、ポリイミド樹脂フィルム、金属箔等が挙げられる。
上記ポリエステル樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等が挙げられる。
上記オレフィン樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等が挙げられる。
上記金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられる。
上記基材の表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。
Examples of the base material include polyester resin films, olefin resin films, polyimide resin films, metal foils, and the like.
Examples of the polyester resin film include polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film.
Examples of the olefin resin film include polyethylene films and polypropylene films.
Examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil.
The surface of the base material may be mold-released, if necessary.

本発明の硬化性樹脂組成物は、硬化物が低誘電率、低誘電正接であり、誘電特性に優れるため、プリント配線板の絶縁層を形成するために好適に用いることができる。 The curable resin composition of the present invention can be suitably used for forming an insulating layer of a printed wiring board because the cured product has a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent and is excellent in dielectric properties.

本発明の硬化性樹脂組成物を上記絶縁層を形成するために用いる場合、本発明の硬化性樹脂組成物により形成される層の厚さは、回路を形成する導体層の厚さ以上であることが好ましい。本発明の硬化性樹脂組成物により形成される層の厚さの好ましい下限は5μm、好ましい上限は200μmである。 When the curable resin composition of the present invention is used to form the insulating layer, the thickness of the layer formed by the curable resin composition of the present invention is equal to or greater than the thickness of the conductor layer forming the circuit. Is preferable. The preferable lower limit of the thickness of the layer formed by the curable resin composition of the present invention is 5 μm, and the preferable upper limit is 200 μm.

上記プリント配線板は、例えば、本発明の硬化性樹脂組成物により形成された上記Bステージフィルムを用いて、該Bステージフィルムを加熱加圧成形することにより得られる。 The printed wiring board can be obtained, for example, by heat-press molding the B-stage film using the B-stage film formed of the curable resin composition of the present invention.

上記プリント配線板においては、上記Bステージフィルムの片面又は両面に金属箔を積層できる。
上記Bステージフィルムの片面又は両面に金属箔を積層する方法としては、例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧する方法等が挙げられる。
In the printed wiring board, a metal foil can be laminated on one side or both sides of the B stage film.
Examples of the method of laminating the metal foil on one side or both sides of the B stage film include a method of pressurizing with or without heating using a device such as a parallel flat plate press or a roll laminator.

また、本発明の硬化性樹脂組成物は、銅張り積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張り積層板としては、例えば、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された上記Bステージフィルムとを備える銅張り積層板等が挙げられる。即ち、上記銅張り積層板のBステージフィルムが、本発明の硬化性樹脂組成物により好適に形成される。 Further, the curable resin composition of the present invention is suitably used for obtaining a copper-clad laminate. Examples of the copper-clad laminate include a copper-clad laminate having a copper foil and the B-stage film laminated on one surface of the copper foil. That is, the B-stage film of the copper-clad laminate is suitably formed by the curable resin composition of the present invention.

上記銅箔の厚さは、1μm以上50μm以下の範囲内であることが好ましい。また、本発明の硬化性樹脂組成物を硬化させた硬化物層と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。
上記凹凸の形成方法としては、例えば、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。
The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 μm or more and 50 μm or less. Further, in order to increase the adhesive strength between the cured product layer obtained by curing the curable resin composition of the present invention and the copper foil, it is preferable that the copper foil has fine irregularities on the surface.
Examples of the method for forming the unevenness include a method for forming the unevenness by a treatment using a known chemical solution.

また、本発明の硬化性樹脂組成物は、多層基板を得るために好適に用いられる。
上記多層基板の一例としては、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された硬化物層とを備える多層基板が挙げられる。即ち、この多層基板の硬化物層が、本発明の硬化性樹脂組成物を硬化させることにより好適に形成される。この場合、上記硬化物層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記硬化物層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。
Further, the curable resin composition of the present invention is suitably used for obtaining a multilayer substrate.
An example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and a cured product layer laminated on the surface of the circuit board. That is, the cured product layer of this multilayer substrate is suitably formed by curing the curable resin composition of the present invention. In this case, the cured product layer is preferably laminated on the surface on which the circuit of the circuit board is provided. It is preferable that a part of the cured product layer is embedded between the circuits.

上記多層基板では、上記硬化物層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。 In the multilayer board, it is preferable that the surface of the cured product layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated is roughened.

上記粗化処理としては、従来公知の粗化処理方法を用いることができる。
上記硬化物層の表面は、上記粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。
As the roughening treatment, a conventionally known roughening treatment method can be used.
The surface of the cured product layer may be swelled before the roughening treatment.

上記多層基板は、上記硬化物層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層を更に備えることが好ましい。 It is preferable that the multilayer substrate further includes a copper plating layer laminated on the roughened surface of the cured product layer.

上記多層基板の他の例としては、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された硬化物層と、該硬化物層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。この場合、上記硬化物層及び上記銅箔が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層されたBステージフィルムとを備える銅張り積層板を用いて、上記Bステージフィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。更に、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。 As another example of the multilayer board, the circuit board, the cured product layer laminated on the surface of the circuit board, and the cured product layer laminated on the surface opposite to the surface on which the circuit board is laminated are laminated. Examples thereof include a multilayer substrate provided with a copper foil. In this case, the cured product layer and the copper foil are cured by curing the B stage film using a copper-clad laminate having the copper foil and the B stage film laminated on one surface of the copper foil. It is preferably formed. Further, the copper foil is etched and preferably a copper circuit.

上記多層基板の更に他の例としては、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の硬化物層とを備える多層基板が挙げられる。この場合、上記複数の硬化物層のうちの少なくとも1層が、本発明の硬化性樹脂組成物を硬化させることにより形成される。上記多層基板は、本発明の硬化性樹脂組成物を硬化させることにより形成されている上記硬化物層の少なくとも一方の表面に積層されている回路を更に備えることが好ましい。 Yet another example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and a plurality of cured product layers laminated on the surface of the circuit board. In this case, at least one of the plurality of cured product layers is formed by curing the curable resin composition of the present invention. It is preferable that the multilayer substrate further includes a circuit laminated on at least one surface of the cured product layer formed by curing the curable resin composition of the present invention.

図1は、本発明の硬化性樹脂組成物を用いた多層基板を模式的に示した部分切欠正面断面図である。
図1に示す多層基板11では、回路基板12の上面12aに、複数の硬化物層13〜16が積層されている。硬化物層13〜16は、絶縁層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数の硬化物層13〜16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する硬化物層16以外の硬化物層13〜15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は配線である。回路基板12と硬化物層13との間、及び、積層された硬化物層13〜16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続のうちの少なくとも一方により互いに接続されている。
FIG. 1 is a partially cutaway front sectional view schematically showing a multilayer substrate using the curable resin composition of the present invention.
In the multilayer board 11 shown in FIG. 1, a plurality of cured product layers 13 to 16 are laminated on the upper surface 12a of the circuit board 12. The cured product layers 13 to 16 are insulating layers. A metal layer 17 is formed in a part of the upper surface 12a of the circuit board 12. Of the plurality of cured product layers 13 to 16, the cured product layers 13 to 15 other than the cured product layer 16 located on the outer surface opposite to the circuit board 12 side have a metal layer 17 in a part of the upper surface. Is formed. The metal layer 17 is wiring. The metal layer 17 is arranged between the circuit board 12 and the cured product layer 13 and between the layers of the laminated cured product layers 13 to 16, respectively. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of a via hole connection and a through hole connection (not shown).

多層基板11では、硬化物層13〜16が、本発明の硬化性樹脂組成物を硬化させることにより形成されている。硬化物層13〜16の表面は粗化処理されており、硬化物層13〜16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層基板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層基板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。 In the multilayer substrate 11, the cured product layers 13 to 16 are formed by curing the curable resin composition of the present invention. The surface of the cured product layers 13 to 16 has been roughened, and fine pores (not shown) are formed on the surface of the cured product layers 13 to 16. Further, the metal layer 17 reaches the inside of the fine pores. Further, in the multilayer board 11, the width direction dimension (L) of the metal layer 17 and the width direction dimension (S) of the portion where the metal layer 17 is not formed can be reduced. Further, in the multilayer board 11, good insulation reliability is imparted between the upper metal layer and the lower metal layer which are not connected by via hole connection and through hole connection (not shown).

本発明の硬化性樹脂組成物は、粗化処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、更に硬化が可能な予備硬化物も含まれる。 The curable resin composition of the present invention is preferably used to obtain a cured product to be roughened. The cured product also includes a pre-cured product that can be further cured.

本発明の硬化性樹脂組成物を予備硬化させることにより得られた予備硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、予備硬化物は粗化処理されることが好ましい。上記粗化処理の前に、予備硬化物は膨潤処理されることが好ましい。
上記硬化物は、予備硬化の後、かつ、粗化処理される前に、膨潤処理されており、更に、粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、予備硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。
In order to form fine irregularities on the surface of the pre-cured product obtained by pre-curing the curable resin composition of the present invention, it is preferable that the pre-cured product is roughened. Prior to the roughening treatment, the pre-cured product is preferably swelled.
It is preferable that the cured product is swelled and further cured after the roughening treatment after the pre-curing and before the roughening treatment. However, the pre-cured product does not necessarily have to be swelled.

上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコール等を主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液等により、予備硬化物を処理する方法等が用いられる。
上記膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤等として、アルカリを含む。上記膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30℃〜85℃で1〜30分間、予備硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50℃〜85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、更に硬化物と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。
As the method for the swelling treatment, for example, a method for treating the pre-cured product with an aqueous solution of a compound containing ethylene glycol or the like as a main component, an organic solvent dispersion solution, or the like is used.
The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is carried out by treating the pre-cured product at a treatment temperature of 30 ° C. to 85 ° C. for 1 to 30 minutes using a 40 wt% ethylene glycol aqueous solution or the like. The temperature of the swelling treatment is preferably in the range of 50 ° C to 85 ° C. If the temperature of the swelling treatment is too low, the swelling treatment takes a long time, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to be low.

上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物、過硫酸化合物等の化学酸化剤等が粗化液として用いられる。上記化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。
上記粗化液は、一般にpH調整剤等としてアルカリを含む。上記粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。
For the roughening treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfuric acid compound is used as the roughening liquid. The chemical oxidizing agent is used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added.
The roughening solution generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The roughening solution preferably contains sodium hydroxide.

上記マンガン化合物としては、例えば、過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。
上記クロム化合物としては、例えば、重クロム酸カリウム、無水クロム酸カリウム等が挙げられる。
上記過硫酸化合物としては、例えば、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウム等が挙げられる。
Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate.
Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate.
Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate, ammonium persulfate and the like.

上記粗化処理の方法としては、具体的には例えば、30〜90g/L過マンガン酸又は過マンガン酸塩溶液及び30〜90g/L水酸化ナトリウム溶液を用いて、処理温度30℃〜85℃及び1〜30分間の条件で、1回又は2回、予備硬化物を処理する方法が好適である。上記粗化処理の温度は50℃〜85℃の範囲内であることが好ましい。 As the roughening treatment method, specifically, for example, 30 to 90 g / L permanganate or permanganate solution and 30 to 90 g / L sodium hydroxide solution are used, and the treatment temperature is 30 ° C. to 85 ° C. A method of treating the pre-cured product once or twice under the conditions of 1 to 30 minutes is preferable. The temperature of the roughening treatment is preferably in the range of 50 ° C to 85 ° C.

膨潤液を用いて膨潤処理し、次に粗化液を用いて粗化処理したときに、粗化処理された硬化物の表面の算術平均粗さRaは、50nm以上350nm以下であることが好ましい。この場合には、硬化物と金属層又は配線との接着強度が高くなり、更に硬化物層の表面により一層微細な配線を形成することができる。 When the swelling treatment is performed using the swelling liquid and then the roughening treatment is performed using the roughening liquid, the arithmetic average roughness Ra of the surface of the roughened cured product is preferably 50 nm or more and 350 nm or less. .. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer or the wiring is increased, and further finer wiring can be formed on the surface of the cured product layer.

本発明の硬化性樹脂組成物を予備硬化させることにより得られた予備硬化物又は硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板等では、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、COレーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60〜80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物層に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。 Through holes may be formed in the pre-cured product or the cured product obtained by pre-curing the curable resin composition of the present invention. In the multilayer board or the like, vias or through holes are formed as through holes. For example, vias can be formed by irradiation with a laser such as a CO 2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 to 80 μm. Due to the formation of the through holes, smear, which is a residue of the resin derived from the resin component contained in the cured product layer, is often formed at the bottom of the via.

上記スミアを除去するために、硬化物層の表面は、デスミア処理されることが好ましい。なお、上記デスミア処理が上記粗化処理を兼ねることもある。 In order to remove the smear, the surface of the cured product layer is preferably desmear-treated. The desmear treatment may also serve as the roughening treatment.

上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物、過硫酸化合物等の化学酸化剤等がデスミア処理液として用いられる。上記化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。
上記デスミア処理液は、一般にアルカリを含む。上記デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。
In the desmear treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfuric compound is used as the desmear treatment liquid in the same manner as in the roughening treatment. The chemical oxidizing agent is used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after water or an organic solvent is added.
The desmear treatment liquid generally contains an alkali. The desmear treatment liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記デスミア処理の方法としては、例えば、30〜90g/L過マンガン酸又は過マンガン酸塩溶液及び30〜90g/L水酸化ナトリウム溶液を用いて、処理温度30℃〜85℃及び1〜30分間の条件で、1回又は2回、予備硬化物又は硬化物を処理する方法が好適である。上記デスミア処理の温度は50℃〜85℃の範囲内であることが好ましい。 As the method of desmear treatment, for example, 30 to 90 g / L permanganate or permanganate solution and 30 to 90 g / L sodium hydroxide solution are used, and the treatment temperature is 30 ° C. to 85 ° C. and 1 to 30 minutes. The method of treating the pre-cured product or the cured product once or twice under the above conditions is preferable. The temperature of the desmear treatment is preferably in the range of 50 ° C to 85 ° C.

本発明の硬化性樹脂組成物の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さが充分に小さくなる。 By using the curable resin composition of the present invention, the surface roughness of the surface of the desmear-treated cured product is sufficiently reduced.

本発明によれば、耐熱性、機械的強度、及び、誘電特性に優れる硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物を提供することができる。また、本発明によれば、該硬化性樹脂組成物を用いてなる積層体を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a curable resin composition capable of obtaining a cured product having excellent heat resistance, mechanical strength, and dielectric properties. Further, according to the present invention, it is possible to provide a laminate made of the curable resin composition.

図1は、本発明の硬化性樹脂組成物を用いた多層基板を模式的に示した部分切欠正面断面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front sectional view schematically showing a multilayer substrate using the curable resin composition of the present invention.

以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

(合成例1(マレイミド組成物Aの作製))
ダイマージアミンとトリマートリアミンとの混合物(クローダジャパン社製、「PRIAMINE 1071」)140重量部、テトラ−n−ブチルアンモニウムクロライド5重量部、トルエン(和光純薬工業社製)800重量部に溶解させた。該ダイマージアミンとトリマートリアミンとの混合物は、下記式(4)で表されるダイマージアミンと下記式(5)で表されるトリマートリアミンとを、ダイマージアミン:トリマートリアミン=80:20(重量比)の割合で含有する混合物である。
得られた溶液に無水マレイン酸(東京化成工業社製)58.8重量部を添加し、還流下で2時間撹拌して反応させてマレインアミド酸溶液を得た。次いで、ディーンスタークトラップを取り付け、得られたマレインアミド酸溶液を還流下で12時間撹拌して反応させてマレインアミド酸を脱水環化させた。室温に冷却し純水1000重量部で3回抽出洗浄を行い、硫酸マグネシウム100重量部にて乾燥させた後、トルエンを減圧除去することにより、マレイミド組成物Aを得た。
なお、H−NMR、GPC、GC−MS及び、FT−IR分析により、得られたマレイミド組成物Aは、本発明にかかる多官能マレイミド化合物として上記式(1)で表されるトリスマレイミド化合物を20重量%含み、他のイミド化合物として下記式(6)で表されるビスマレイミド化合物を80重量%含むことを確認した。
(Synthesis Example 1 (Preparation of Maleimide Composition A))
It was dissolved in 140 parts by weight of a mixture of diamine diamine and trimer triamine ("PRIAMINE 1071" manufactured by Croda Japan), 5 parts by weight of tetra-n-butylammonium chloride, and 800 parts by weight of toluene (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.). .. The mixture of the diamine diamine and the trimer triamine is a mixture of the diamine diamine represented by the following formula (4) and the trimer triamine represented by the following formula (5), and the diamine diamine: trimer triamine = 80: 20 (weight ratio). It is a mixture contained in the ratio of.
58.8 parts by weight of maleic anhydride (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was added to the obtained solution, and the mixture was stirred under reflux for 2 hours to react to obtain a maleic anhydride solution. Then, a Dean-Stark trap was attached, and the obtained maleaemia acid solution was stirred and reacted under reflux for 12 hours to dehydrate and cyclize the maleein amid acid. The maleimide composition A was obtained by cooling to room temperature, performing extraction washing with 1000 parts by weight of pure water three times, drying with 100 parts by weight of magnesium sulfate, and then removing toluene under reduced pressure.
The maleimide composition A obtained by 1 H-NMR, GPC, GC-MS and FT-IR analysis is a trismaleimide compound represented by the above formula (1) as the polyfunctional maleimide compound according to the present invention. Was confirmed to contain 20% by weight, and 80% by weight of the bismaleimide compound represented by the following formula (6) was confirmed as another imide compound.

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(合成例2(マレイミド組成物Bの作製))
ダイマージアミンとトリマートリアミンとの混合物140重量部に代えて、上記式(4)で表されるダイマージアミン(クローダジャパン社製、「PRIAMINE 1074」)136重量部を用いたこと以外は、合成例1と同様にしてマレイミド組成物Bを得た。
なお、H−NMR、GPC、GC−MS及び、FT−IR分析により、得られたマレイミド組成物Bは、本発明にかかる多官能マレイミド化合物を含まず、上記式(6)で表されるビスマレイミド化合物を99重量%含むことを確認した。
(Synthesis Example 2 (Preparation of Maleimide Composition B))
Synthesis Example 1 except that 136 parts by weight of dimerdiamine (“PRIAMINE 1074” manufactured by Croda Japan) represented by the above formula (4) was used instead of 140 parts by weight of the mixture of dimerdiamine and trimertriamine. The maleimide composition B was obtained in the same manner as above.
The maleimide composition B obtained by 1 H-NMR, GPC, GC-MS and FT-IR analysis does not contain the polyfunctional maleimide compound according to the present invention and is represented by the above formula (6). It was confirmed that the vismaleimide compound was contained in an amount of 99% by weight.

(実施例1、2、比較例1、2)
表1に記載された配合比に従い、各材料を撹拌混合し、実施例1、2、比較例1、2の各硬化性樹脂組成物を作製した。
得られた各硬化性樹脂組成物を厚みが約20μmとなるように基材PETフィルム上に塗工し、乾燥させることにより、硬化性樹脂組成物フィルムを得た。
(Examples 1 and 2, Comparative Examples 1 and 2)
Each material was stirred and mixed according to the compounding ratio shown in Table 1 to prepare each curable resin composition of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2.
Each of the obtained curable resin compositions was coated on a base material PET film so as to have a thickness of about 20 μm, and dried to obtain a curable resin composition film.

<評価>
実施例及び比較例で得られた各硬化性樹脂組成物及び各硬化性樹脂組成物フィルムについて以下の評価を行った。結果を表1に示した。
<Evaluation>
The following evaluations were performed on each curable resin composition and each curable resin composition film obtained in Examples and Comparative Examples. The results are shown in Table 1.

(硬化物のガラス転移温度)
実施例及び比較例で得られた各硬化性樹脂組成物フィルムから基材PETフィルムを剥離し、ラミネーターを用いて積層した後、190℃で1時間加熱することにより硬化させ、厚さ400μmの硬化物を作製した。得られた硬化物について、動的粘弾性測定装置(エー・アンド・デイ社製、「レオバイブロンDDV−25GP」)を用い、昇温速度10℃/分、周波数10Hz、チャック間距離24mmで0℃から300℃まで昇温した際に得られたtanδカーブのピーク温度をガラス転移温度として求めた。
ガラス転移温度が120℃以上であった場合を、「○」、120℃未満で100℃以上であった場合を「△」、100℃未満であった場合を「×」とした。
(Glass transition temperature of cured product)
The base material PET film was peeled off from each of the curable resin composition films obtained in Examples and Comparative Examples, laminated using a laminator, and then cured by heating at 190 ° C. for 1 hour to cure to a thickness of 400 μm. I made a thing. The obtained cured product was used at a temperature rise rate of 10 ° C./min, a frequency of 10 Hz, and a chuck distance of 24 mm at 0 ° C. using a dynamic viscoelasticity measuring device (“Leovibron DDV-25GP” manufactured by A & D Co., Ltd.). The peak temperature of the tan δ curve obtained when the temperature was raised to 300 ° C. was determined as the glass transition temperature.
When the glass transition temperature was 120 ° C. or higher, it was rated as “◯”, when it was lower than 120 ° C. and 100 ° C. or higher, it was rated as “Δ”, and when it was lower than 100 ° C., it was rated as “x”.

(耐熱分解性(1%重量減少温度))
実施例及び比較例で得られた各硬化性樹脂組成物フィルムから基材PETフィルムを剥離し、190℃で1時間加熱することにより硬化させ、硬化物を作製した。
得られた硬化物について、熱重量測定装置(日立ハイテクサイエンス社製、「TG/DTA6200」)を用いて、30℃〜500℃の温度範囲、10℃/minの昇温条件で1%重量減少温度を測定した。
1%重量減少温度が390℃以上であった場合を、「○」、390℃未満で370℃以上であった場合を「△」、370℃未満であった場合を「×」とした。
(Heat-decomposable (1% weight loss temperature))
The base material PET film was peeled off from each of the curable resin composition films obtained in Examples and Comparative Examples, and cured by heating at 190 ° C. for 1 hour to prepare a cured product.
The weight of the obtained cured product is reduced by 1% in a temperature range of 30 ° C to 500 ° C and a temperature rise condition of 10 ° C / min using a thermogravimetric measuring device (“TG / DTA6200” manufactured by Hitachi High-Tech Science Co., Ltd.). The temperature was measured.
The case where the 1% weight loss temperature was 390 ° C. or higher was designated as "◯", the case where the temperature was lower than 390 ° C. and higher than 370 ° C. was "Δ", and the case where the temperature was lower than 370 ° C. was "x".

(誘電正接)
実施例及び比較例で得られた各硬化性樹脂組成物フィルムから基材PETフィルムを剥離し、幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断し、ラミネーターを用いて積層した後、190℃で1時間加熱することにより硬化させ、厚さ400μmの硬化物を作製した。得られた硬化物について、25℃において、誘電率測定装置(関東電子応用開発社製、「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びネットワークアナライザー(キーサイトテクノロジー社製、「ネットワークアナライザーN5224A PNA」)を用いて、空洞共振法で5.8GHzの条件で誘電正接を測定した。
誘電正接が0.0035未満であった場合を、「○」、0.0035以上で0.0040未満であった場合を「△」、0.0040以上であった場合を「×」とした。
(Dissipation factor)
The base material PET film was peeled off from each of the curable resin composition films obtained in Examples and Comparative Examples, cut into a size of 2 mm in width and 80 mm in length, laminated using a laminator, and then laminated at 190 ° C. 1 It was cured by heating for an hour to prepare a cured product having a thickness of 400 μm. For the obtained cured product, at 25 ° C, a dielectric constant measuring device (Kanto Denshi Applied Development Co., Ltd., "Cavity Resonant Permittivity Measuring Device CP521" and a network analyzer (KeySight Technology Co., Ltd., "Network Analyzer N5224A PNA"" ) Was used to measure the dielectric positive contact under the condition of 5.8 GHz by the cavity resonance method.
The case where the dielectric loss tangent was less than 0.0035 was designated as “◯”, the case where it was 0.0035 or more and less than 0.0040 was designated as “Δ”, and the case where it was 0.0040 or more was designated as “x”.

Figure 0006978371
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本発明によれば、耐熱性、機械的強度、及び、誘電特性に優れる硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物を提供することができる。また、本発明によれば、該硬化性樹脂組成物を用いてなる積層体を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a curable resin composition capable of obtaining a cured product having excellent heat resistance, mechanical strength, and dielectric properties. Further, according to the present invention, it is possible to provide a laminate made of the curable resin composition.

11 多層基板
12 回路基板
12a 上面
13〜16 硬化物層
17 金属層(配線)
11 Multilayer board 12 Circuit board 12a Top surface 13 to 16 Hardened material layer 17 Metal layer (wiring)

Claims (6)

硬化性樹脂とイミド化合物とを含有し、
前記イミド化合物は、トリマートリアミン残基を有する多官能マレイミド化合物を含むことを特徴とする硬化性樹脂組成物。
Contains curable resin and imide compound,
The curable resin composition is characterized in that the imide compound contains a polyfunctional maleimide compound having a trimertriamine residue.
前記イミド化合物中における、前記トリマートリアミン残基を有する多官能マレイミド化合物の含有量が5重量%以上50重量%以下である請求項1記載の硬化性樹脂組成物。 The curable resin composition according to claim 1, wherein the content of the polyfunctional maleimide compound having the trimertriamine residue in the imide compound is 5% by weight or more and 50% by weight or less. 前記硬化性樹脂と前記イミド化合物との合計100重量部中における前記イミド化合物の含有量が0.1重量部以上50重量部以下である請求項1又は2記載の硬化性樹脂組成物。 The curable resin composition according to claim 1 or 2, wherein the content of the imide compound in a total of 100 parts by weight of the curable resin and the imide compound is 0.1 parts by weight or more and 50 parts by weight or less. 前記硬化性樹脂は、エポキシ樹脂、シアネート樹脂、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、カルボジイミド樹脂、及び、ベンゾオキサジン樹脂からなる群より選択される少なくとも1種を含む請求項1、2又は3記載の硬化性樹脂組成物。 The curability according to claim 1, 2 or 3, wherein the curable resin contains at least one selected from the group consisting of an epoxy resin, a cyanate resin, a phenol resin, an active ester resin, a carbodiimide resin, and a benzoxazine resin. Resin composition. 無機粒子を含有する請求項1、2、3又は4記載の硬化性樹脂組成物。 The curable resin composition according to claim 1, 2, 3 or 4, which contains inorganic particles. 基材と、前記基材上に積層された請求項1、2、3、4又は5記載の硬化性樹脂組成物の硬化物とを有する積層体。 A laminate having a substrate and a cured product of the curable resin composition according to claim 1, 2, 3, 4 or 5 laminated on the substrate.
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