JP6976710B2 - 多孔質セラミック体、吸着用部材および多孔質セラミック体の製造方法 - Google Patents
多孔質セラミック体、吸着用部材および多孔質セラミック体の製造方法 Download PDFInfo
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Description
3以下であり、クロマティクネス指数b*が−1以上9以下であるので、白みが強すぎる(光を反射し過ぎる)ことも、黒みが強すぎる(光を吸収し過ぎる)こともないため、センサ等を用いた位置検出等における検出精度の安定性が比較的高い。
色差(△E*ab)の平均値が1以上であると、表面の色調が不均一に視認されるので、様々な色味の色移りがあっても、この色移りによる汚れが目立ち難い。
光分析装置(ICP)または蛍光X線分析装置(XRF)を用いて測定すればよい。また、それぞれの元素を酸化物に換算してもよい。
純物を含んでいてもよい。なお、チタンの含有量は、チタンに結合している酸素が2未満の場合もあるが、全て二酸化チタンとして換算した値である。
2 載置部
2a 載置面
3 支持部
3a 凹状部
3b 吸引路
3c 溝
3d 帯状部
3e 取り付け穴
Claims (10)
- 吸着用部材に用いられる、酸化アルミニウムを主成分とする複数の粒子がガラスを介して接合された多孔質セラミック体であって、
表面に、組成式がTiOx(1.5≦x<2)で示されるチタン酸化物を主成分とし、円相当径が100μm以上400μm以下である複数の暗色部が1cm2あたり50個以上分散して位置しており、
前記表面の拡散反射光処理によるCIE1976L*a*b*色空間における明度指数L*が58以上71以下であり、クロマティクネス指数a*が−1以上3以下であり、クロマティクネス指数b*が−1以上9以下であることを特徴とする多孔質セラミック体。 - 前記暗色部は、組成式がTiOx(1.5≦x<2)で示されるチタン酸化物を主成分とすることを特徴とする請求項1に記載の多孔質セラミック体。
- 結晶構造が、ルチルである二酸化チタンを含有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の多孔質セラミック体。
- 前記粒子の形状は球状であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の多孔質セラミック体。
- 前記ガラスは、酸素を除き、珪素を最も多く含み、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウムおよびバリウムの少なくともいずれかを含んでいることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の多孔質セラミック体。
- 前記ガラスは、さらに亜鉛を含んでいることを特徴とする請求項5に記載の多孔質セラミック体。
- 組成式がCaAl2Si2O8およびCa3Al2O6として示される複合酸化物の少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の多孔質セラミック体。
- 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の多孔質セラミック体を用いてなることを特徴とする吸着用部材。
- 被吸着体を載置する載置面に露出する粒子を有し、該粒子の周囲を前記ガラスが被覆し
てなることを特徴とする請求項8に記載の吸着用部材。 - 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の多孔質セラミック体の製造方法であって、酸化アルミニウムを主成分とし、酸化チタンを含有する粉体を加熱処理する工程と、加熱処理された前記粉体と、ガラス粉体とを混合する工程と、前記ガラス粉体を溶融して前記粉体同士が結合された結合体を得る工程と、前記結合体に対して大気雰囲気中あるいは窒素雰囲気中で1200℃以上1400℃以下でさらに熱処理を施す工程とを含むことを特徴とする多孔質セラミック体の製造方法。
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