JP6974277B2 - 熱応力補償接合層及びこれを包含するパワーエレクトロニクスアセンブリ - Google Patents
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Description
本発明の実施態様の一部を以下の項目〈1〉−〈20〉に記載する。
〈1〉少なくとも一対の接合層の間に配置されている熱応力補償層であって、複数の中空球及び所定の多孔性を有する金属逆オパール(MIO)層を具備している、熱応力補償層;
を具備しており、
前記熱応力補償層が、TLP焼結温度より高い融点を有し、かつ前記少なくとも一対の接合層が、各々前記TLP焼結温度より低い融点を有している、
遷移的液相(TLP)接合層。
〈2〉前記MIO層が、第一の表面、第二の表面、及び前記第一の表面と前記第二の表面との間の段階的な多孔性を含む、態様1に記載のTLP接合層。
〈3〉前記MIO層が、第一の表面、第二の表面、及び前記第一の表面と前記第二の表面との間の段階的な剛性を含む、態様1に記載のTLP接合層。
〈4〉前記少なくとも一対の接合層が、第一の対の接合層及び第二の対の接合層を具備しており:
前記第一の対の接合層が、前記MIO層と前記第二の対の接合層との間に配置されており;
前記第一の対の接合層の各々が、前記TLP焼結温度よりも高い融点を有し;かつ
前記第二の対の接合層の各々が、前記TLP焼結温度よりも低い融点を有する、
態様1に記載のTLP接合層。
〈5〉前記MIO層が、銅逆オパール(CIO)層であり、前記第一の対の接合層が、ニッケル、銀又はこれらの合金から形成されており、かつ前記第二の対の接合層が、スズ、インジウム又はこれらの合金から形成されている、態様4に記載のTLP接合層。
〈6〉前記MIO層が、約50ミクロン〜約150ミクロンの厚さを有する、態様1に記載のTLP接合層。
〈7〉前記複数の中空球が、約5μm〜約50μmの平均直径を有する、態様1に記載のTLP接合層。
〈8〉前記一対の接合層が、各々約2ミクロン〜約10ミクロンの厚さを有する、態様1に記載のTLP接合層。
〈9〉以下を具備している、パワーエレクトロニクスアセンブリ:
金属基材;
半導体デバイス;並びに
前記半導体デバイスと前記金属基材との間に配置されており、かつこれらに接合されており、複数の中空球及び所定の多孔性を有する金属逆オパール(MIO)層を具備している、熱応力補償層。
〈10〉前記MIO層が、第一の表面、第二の表面、並びに前記第一の表面と前記第二の表面との間の段階的な多孔性を含む、態様9に記載のパワーエレクトロニクスアセンブリ。
〈11〉前記MIO層が、第一の表面、第二の表面、及び前記第一の表面と前記第二の表面との間の段階的な剛性を含む、態様9に記載のパワーエレクトロニクスアセンブリ。
〈12〉前記複数の中空球が、約5μm〜約50μmの平均直径を有する、態様9に記載のパワーエレクトロニクスアセンブリ。
〈13〉一対の接合層を更に具備している、態様9に記載のパワーエレクトロニクスアセンブリであって:
前記MIO層が、前記一対の接合層の間に配置されており、かつ前記金属基材及び前記半導体デバイスに遷移的液相(TLP)接合されており;かつ
前記一対の接合層の各々が、TLP焼結温度より高い融点を有する、
パワーエレクトロニクスアセンブリ。
〈14〉前記MIO層が、前記金属基材及び前記半導体デバイスに、電気めっきで接合されているか、又は無電解めっきで接合されている、態様9に記載のパワーエレクトロニクスアセンブリ。
〈15〉以下を含む、パワーエレクトロニクスアセンブリの製造方法:
金属基材と半導体デバイスとの間に熱応力補償層を配置して、金属基材/半導体デバイスアセンブリを提供すること、ここで、前記熱応力補償層が金属逆オパール(MIO)層を具備している;並びに
前記MIO層を、前記金属基材及び前記半導体デバイスに接合させること。
〈16〉前記熱応力補償層が更に、少なくとも一対の接合層を、前記一対の接合層の間に前記MIO層が配置されるようにして具備しており、かつ以下を更に含む、態様15に記載の方法:
前記金属基材/半導体デバイスアセンブリを、約280℃〜350℃の遷移的液相(TLP)焼結温度まで加熱すること、ここで、前記少なくとも一対の接合層が、各々前記TLP焼結温度よりも低い融点を有しており、かつ前記MIO層が、前記TLP焼結温度よりも高い融点を有しており、それによって、前記少なくとも一対の接合層が少なくとも部分的に溶融し、前記MIO層と前記金属基材との間、及び前記MIO層と前記半導体デバイスとの間に、TLP接合を形成するようにする;並びに
前記パワーエレクトロニクスアセンブリを、前記TLP焼結温度から冷却すること、ここで、前記TLP焼結温度から周囲温度への冷却の間における、前記半導体デバイスと前記金属基材との間の熱収縮不整合を、前記熱補償層が補償する。
〈17〉前記少なくとも一対の接合層が、第一の対の接合層及び第二の対の接合層を具備しており:
前記第一の対の接合層が、前記MIO層と前記第二の対の接合層との間に配置されており;
前記第一の対の接合層の各々が、前記TLP焼結温度よりも高い融点を有し;かつ
前記第二の対の接合層の各々が、前記TLP焼結温度よりも低い融点を有する、
態様16に記載の方法。
〈18〉前記金属基材/半導体デバイスアセンブリを電気めっき浴中又は無電解めっき浴中に配置すること、並びに前記金属基材及び前記半導体デバイスに前記MIO層を、電気めっきにより接合するか、又は無電解めっきにより接合することを更に含む、態様15に記載の方法。
〈19〉前記MIO層が、第一の表面、第二の表面、並びに前記第一の表面と前記第二の表面との間の段階的な多孔性を含む、態様15に記載の方法。
〈20〉前記MIO層が、第一の表面、第二の表面、及び前記第一の表面と前記第二の表面との間の段階的な剛性を含む、態様15に記載の方法。
Claims (8)
- 以下を具備している、パワーエレクトロニクスアセンブリ:
金属基材;
半導体デバイス;並びに
熱応力補償層、
前記熱応力補償層が、複数の中空球及び所定の多孔性を有する金属逆オパール(MIO)層、並びに少なくとも一対の接合層を具備しており、前記MIO層が前記少なくとも一対の接合層の間に配置されており、前記少なくとも一対の接合層が、前記半導体デバイスと前記金属基材との間に配置されており、かつ前記半導体デバイス及び前記金属基材に接合されており、
前記MIO層が、第一の表面、第二の表面、並びに前記第一の表面と前記第二の表面との間の段階的な多孔性を含み、かつ
前記MIO層が、TLP焼結温度より高い融点を有し、かつ前記少なくとも一対の接合層の各々が、TLP焼結温度より低い融点を有する。 - 前記MIO層が、前記第一の表面と前記第二の表面との間の段階的な剛性を含む、請求項1に記載のパワーエレクトロニクスアセンブリ。
- 他の一対の接合層を更に具備している、請求項1に記載のパワーエレクトロニクスアセンブリであって:
前記MIO層が、前記他の一対の接合層の間に配置されており、かつ前記金属基材及び前記半導体デバイスに前記少なくとも一対の接合層を介して遷移的液相(TLP)接合されており;かつ
前記他の一対の接合層の各々が、TLP焼結温度より高い融点を有する、
パワーエレクトロニクスアセンブリ。 - 以下を含む、パワーエレクトロニクスアセンブリの製造方法:
金属基材と半導体デバイスとの間に、熱応力補償層を配置して、金属基材/半導体デバイスアセンブリを提供すること、ここで、前記熱応力補償層が複数の中空球及び所定の多孔性を有する金属逆オパール(MIO)層、並びに少なくとも一対の接合層を具備しており、前記MIO層が前記少なくとも一対の接合層の間に配置されており、前記少なくとも一対の接合層が、前記半導体デバイスと前記金属基材との間に配置されており、かつ前記半導体デバイス及び前記金属基材に接合されており、前記MIO層が、第一の表面、第二の表面、並びに前記第一の表面と前記第二の表面との間の段階的な多孔性を含む、;並びに
前記MIO層を、前記金属基材及び前記半導体デバイスに接合させること、
ここで、前記MIO層が、TLP焼結温度より高い融点を有し、かつ前記少なくとも一対の接合層の各々が、TLP焼結温度より低い融点を有する。 - 以下を更に含む、請求項4に記載の方法:
前記金属基材/半導体デバイスアセンブリを、280℃〜350℃の遷移的液相(TLP)焼結温度まで加熱すること、ここで、前記少なくとも一対の接合層が、各々前記TLP焼結温度よりも低い融点を有しており、かつ前記MIO層が、前記TLP焼結温度よりも高い融点を有しており、それによって、前記少なくとも一対の接合層が少なくとも部分的に溶融し、前記MIO層と前記金属基材との間、及び前記MIO層と前記半導体デバイスとの間に、TLP接合を形成するようにする;並びに
前記パワーエレクトロニクスアセンブリを、前記TLP焼結温度から冷却すること、ここで、前記TLP焼結温度から周囲温度への冷却の間における、前記半導体デバイスと前記金属基材との間の熱収縮不整合を、前記熱応力補償層が補償する。 - 前記少なくとも一対の接合層が、第一の対の接合層及び第二の対の接合層を具備しており:
前記第一の対の接合層が、前記MIO層と前記第二の対の接合層との間に配置されており;
前記第一の対の接合層の各々が、前記TLP焼結温度よりも高い融点を有し;かつ
前記第二の対の接合層の各々が、前記TLP焼結温度よりも低い融点を有する、
請求項5に記載の方法。 - 前記金属基材/半導体デバイスアセンブリを電気めっき浴中又は無電解めっき浴中に配置すること、並びに前記金属基材及び前記半導体デバイスに前記MIO層を、電気めっきにより接合するか、又は無電解めっきにより接合することを更に含む、請求項4に記載の方法。
- 前記MIO層が、前記第一の表面と前記第二の表面との間の段階的な剛性を含む、請求項4に記載の方法。
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