JP6972518B2 - 薬液チューブおよび薬液チューブの製造方法 - Google Patents
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Description
前記液溜部は、例えば側面に蛇腹部分を有する筒体である。
前記ノズル部は、可とう性を有することが望ましい。また、前記ノズル部は、伸縮部を有し、前記伸縮部は前記ノズル部が屈曲したものであることも望ましい。
前記ノズル部の先端の内周面の直径が4mm以下であることも望ましい。
あるいは、前記閉塞部は、前記管状部分の先端を閉塞する栓であってもよい。
(1.薬液チューブ10)
図1は本発明の第1の実施形態に係る薬液チューブ10の概略を示す図である。この薬液チューブ10は、内部に薬液を充填し封入したものであり、薬液の塗布に用いられる。本実施形態において、薬液は基材に塗布するレジストとするが、これに限定されることはない。
図2は薬液チューブ10を用いた塗布システム1の概略を示す図である。この塗布システム1は、ナノインプリント用のマスターモールドの製作時などで、薬液チューブ10内の薬液(レジスト)をステージ20上の基材21に塗布するものであり、クリーンルームである塗工室(不図示)内に設けられる。
本実施形態では、図3(a)に示すように加圧機構12によるノズル部102の押圧が解除された状態で、矢印aに示すように加圧機構11を下降させて液溜部101を上側から押圧する。すると液溜部101の蛇腹部分が縮んで液溜部101内の薬液40が送り出され、ノズル部102を通ってその先端から基材21へと吐出される。吐出量は加圧機構11の下降幅によって制御できる。
図4はノズル部102の端部の詳細を示す図である。図1、図2等ではノズル部102を簡略化して記載しているが、ノズル部102の端部は、実際には図4(a)のように所定長さの極細径(例えば内周面の直径が4mm程度以下)の部分が先端まで連続するものとしたり、図4(b)のようにテーパー状に窄ませてその先端を極細径(例えば内周面の直径が4mm程度以下)としたりすることが可能である。
図7は薬液チューブ10の製造方法について説明する図である。図7(a)に示すように、本実施形態では、まず、複数の液溜部101と、液溜部101から延びて隣り合う液溜部101同士を繋ぐ複数の管状部分104とを一体に形成して連続体50を製造する。連続体50において液溜部101および管状部分104の内部は連通している。
第2の実施形態は、薬液チューブの構成が第1の実施形態と異なる例である。
第3の実施形態は、薬液チューブの製造方法において第1の実施形態と異なる。
10、10’、10a、10b;薬液チューブ
11、11a、12;加圧機構
20;ステージ
21;基材
30;板材
31;ヒーター
40;薬液
50、50a;連続体
60;注射針
70;栓
101、101a;液溜部
102;ノズル部
103;閉塞部
104;管状部分
105;伸縮部
110;ボトル
120;配管
130;ポンプ
140;フィルター
150;バルブ
1021;切込み
Claims (14)
- 薬液の塗布に用いられる薬液チューブであって、
薬液を貯留するための液溜部と、
薬液を吐出するためのノズル部と、
前記ノズル部の先端に設けられた閉塞部と、
を有し、
前記液溜部と前記ノズル部が一体に形成され、
前記ノズル部の端部に、複数の切込みが前記薬液の流れ方向に間隔を空けて設けられ、
前記薬液はレジストであり、
前記薬液の流れる前記ノズル部の端部の内周面の直径が、前記薬液の流れ方向に一定であることを特徴とする薬液チューブ。 - 前記液溜部と前記ノズル部は、樹脂により形成されたことを特徴とする請求項1記載の薬液チューブ。
- 前記液溜部は、側面に蛇腹部分を有する筒体であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の薬液チューブ。
- 前記ノズル部は、可とう性を有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の薬液チューブ。
- 前記ノズル部は、伸縮部を有し、
前記伸縮部は前記ノズル部が屈曲したものであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の薬液チューブ。 - 前記閉塞部は、前記ノズル部に続く管状部分が溶融圧着されたものであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の薬液チューブ。
- 前記閉塞部は、前記ノズル部の先端に設けられた栓であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の薬液チューブ。
- 前記液溜部の側面の厚さが、前記ノズル部の側面の厚さよりも大きいことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれかに記載の薬液チューブ。
- 前記ノズル部の先端の内周面の直径が4mm以下であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれかに記載の薬液チューブ。
- 薬液の塗布に用いられる薬液チューブであって、薬液を貯留するための液溜部と、薬液を吐出するためのノズル部と、前記ノズル部の先端に設けられた閉塞部と、を有する薬液チューブの製造方法であって、
前記液溜部および前記液溜部から延びる管状部分を一体に形成した連続体を製造する工程と、
前記連続体に薬液を充填する工程と、
前記管状部分に前記閉塞部を設ける工程と、
を有し、
前記管状部分によって前記ノズル部が構成された前記薬液チューブを製造し、
前記ノズル部の端部には、複数の切込みが前記薬液の流れ方向に間隔を空けて設けられ、
前記薬液はレジストであり、
前記薬液の流れる前記ノズル部の端部の内周面の直径が、前記薬液の流れ方向に一定であることを特徴とする薬液チューブの製造方法。 - 前記連続体は、複数の前記液溜部および隣り合う前記液溜部同士を繋ぐ前記管状部分を一体に形成したものであり、
前記閉塞部を除く前記管状部分が前記ノズル部となることを特徴とする請求項10記載の薬液チューブの製造方法。 - 前記閉塞部は、前記管状部分を溶融圧着することによって設けられ、
前記閉塞部を切断することで前記薬液チューブが製造されることを特徴とする請求項11記載の薬液チューブの製造方法。 - 前記管状部分を板材によって挟んだ後、前記板材の中央部付近から加熱を行うことにより前記閉塞部を形成することを特徴とする請求項12記載の薬液チューブの製造方法。
- 前記閉塞部は、前記管状部分の先端を閉塞する栓であることを特徴とする請求項10記載の薬液チューブの製造方法。
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