JP6972298B2 - 空間の温度分布を検出するセンサおよびセンサユニットの製造方法 - Google Patents
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Description
第1表面と、少なくとも部分的に第1表面の反対側にある第2表面と、を備えかつ少なくとも部分的にフレキシブルに構成されている少なくとも1つの基板と、
少なくとも1つの測定体にセンサユニットを取り付けるために、第1表面にかつ/または第2表面に少なくとも部分的に配置されている少なくとも1つの接着剤と、
基板の第2表面に配置されている少なくとも1つのセンサフィールドと、
を有する。
基板の第2表面において、段差解消シートの切欠き領域に少なくとも部分的に配置されており、特にセンサフィールドに配置されている少なくとも1つのカバーシート、および/または
基板の第2表面において、段差解消シートの切欠き領域に少なくとも部分的に配置されており、特にセンサフィールドに配置されている、少なくとも1つの注型材料、特にケイ素化合物を有する。
第1表面と、少なくとも部分的にこの第1表面の反対側にある第2表面と、を備えかつ少なくとも部分的にフレキシブルに構成されている少なくとも1つの基板を準備するステップと、
少なくとも1つの測定体にセンサユニットを取り付けるために、基板の第1表面にかつ/または第2表面に少なくとも部分的に少なくとも1つの接着剤を配置するステップと、
基板の第2表面に少なくとも1つのセンサフィールドを配置するステップと、
を有する。
スクリーン印刷、彫刻印刷、パッド印刷を用いて、かつ/または、金、銀、白金から成る金属粒子および/または銀・パラジウム合金を含むインクをベースとしたインクジェット印刷を用いて、センサフィールドを配置すること、および/または
第2表面への金属層の蒸着および/または金属層のレーザアブレーションを用いてセンサフィールドを配置すること、および/または
金属、特に貴金属を含むエアロゾルのデポジットによるエアロゾルデポジット法を用いてセンサフィールドを配置すること、を有する。
センサフィールドに含まれている少なくとも2つのセンサ素子のうちの少なくとも1つの電気的な接触接続のために、少なくとも1つの導体路、特に複数の導体路を配置すること、および/または
導体路に少なくとも1つの接続手段、特に少なくとも1つの接続パッドを配置することを有する。
第1表面と、少なくとも部分的にこの第1表面の反対側にある第2表面と、を備えかつ少なくとも部分的にフレキシブルに構成されている少なくとも1つの基板を準備するステップ1010と、
少なくとも1つの測定体にセンサユニットを取り付けるために、基板の第1表面にかつ/または第2表面に少なくとも部分的に少なくとも1つの接着剤を配置するステップ1020と、
基板の第2表面に少なくとも1つのセンサフィールドを配置するステップ1030と、
を有する。
3、3’’ 基板
5a、5a’、5a’’、5a’’’、5a’’’’、5n、5n’、5n’’、5n’’’’ センサ素子
7a、7a’’、7n、7n’’ 導体路
8 絶縁層
9a、9a’、9n、9n’ 接続パッド
11a、11a’’、11b、11n’’ 接着フィルム
13a’’、13n’’ ビア点
15’’’ 測定体
17’’’’、17a’’’’’、17n’’’’’ 段差解消シート
19’’’’’ カバーシート
21’’’’’ 注型材料
1000 センサユニットの製造方法
1010 基板を準備するステップ
1020 接着剤を配置するステップ
1030 センサフィールドを配置するステップ
Claims (15)
- 空間の温度分布を検出するセンサユニットであって、前記センサユニットは、
第1表面と、少なくとも部分的に前記第1表面の反対側にある第2表面と、を備えかつ少なくとも部分的にフレキシブルに構成されている少なくとも1つの基板(3、3’’)と、
少なくとも1つの測定体(15’’’)に前記センサユニットを取り付けるために、前記第1表面にかつ/または前記第2表面に少なくとも部分的に配置されている少なくとも1つの接着剤と、
前記基板(3、3’’)の前記第2表面に配置されている少なくとも1つのセンサフィールドと、
を有し、
前記センサフィールドは、温度を検出するようにそれぞれ適合されておりかつ前記基板(3、3’’)の前記第2表面の異なる位置に配置されている少なくとも2つのセンサ素子(5a、5a’、5a’’、5a’’’、5a’’’’、5n、5n’、5n’’、5n’’’’)を有し、
前記センサ素子(5a、5a’、5a’’、5a’’’、5a’’’’、5n、5n’、5n’’、5n’’’’)は、少なくとも部分的に、前記第1表面にかつ/または前記第2表面に配置されている共通の中央の導体路(7a、7a’’、7n、7n’’)から構成されている、
センサユニット。 - 前記第2表面の少なくとも1つのセンサ素子(5a、5a’、5a’’、5a’’’、5a’’’’、5n、5n’、5n’’、5n’’’’)は、前記第2表面の少なくとも1つの導体路(7a、7a’’、7n、7n’’)により、電気的に接触接続されている、
請求項1記載のセンサユニット。 - 前記第2表面の少なくとも1つのセンサ素子(5a、5a’、5a’’、5a’’’、5a’’’’、5n、5n’、5n’’、5n’’’’)は、前記第1表面の少なくとも1つの導体路(7a、7a’’、7n、7n’’)により、電気的に接触接続されており、
前記基板(3、3’’)を貫通する少なくとも1つのビア点により、前記第2表面の前記センサ素子(5a、5a’、5a’’、5a’’’、5a’’’’、5n、5n’、5n’’、5n’’’’)と前記第1表面の前記導体路(7a、7a’’、7n、7n’’)とを電気接続する、
請求項2記載のセンサユニット。 - 前記センサ素子(5a、5a’、5a’’、5a’’’、5a’’’’、5n、5n’、5n’’、5n’’’’)は、抵抗素子を有する、
請求項3記載のセンサユニット。 - 少なくとも2つの導体路(7a、7a’’、7n、7n’’)は、少なくとも部分的に交差し、
2つの前記導体路(7a、7a’’、7n、7n’’)が交差する領域において、少なくとも1つの絶縁層(8)が、2つの前記導体路(7a、7a’’、7n、7n’’)間に配置されている、
請求項3または4記載のセンサユニット。 - 前記導体路(7a、7a’’、7n、7n’’)は、前記センサ素子(5a、5a’、5a’’、5a’’’、5a’’’’、5n、5n’、5n’’、5n’’’’)に接触接続するために銀材料および/または銅材料を含む、それぞれ少なくとも1つの接続手段を有する、
請求項3から5までのいずれか1項記載のセンサユニット。 - 前記基板(3、3’’)は、フレキシブルシートを有する、
請求項1から6までのいずれか1項記載のセンサユニット。 - 前記接着剤は、少なくとも1つの接着フィルム(11a、11a’’、11b、11n’’)を有する、
請求項1から7までのいずれか1項記載のセンサユニット。 - 前記センサユニットは、前記基板(3、3’’)の前記第2表面に少なくとも部分的に配置される、少なくとも1つの一体型または複数構成型に構成された段差解消シート(17’’’’、17a’’’’’、17n’’’’’)を有する、
請求項1から8までのいずれか1項記載のセンサユニット。 - 前記センサユニットは、前記基板(3、3’’)の前記第2表面において、前記段差解消シート(17’’’’、17a’’’’’、17n’’’’’)の切欠き領域に少なくとも部分的に配置されている少なくとも1つのカバーシート(19’’’’’)を有する、
および/または、
前記センサユニットは、前記基板(3、3’’)の前記第2表面において、前記段差解消シート(17’’’’、17a’’’’’、17n’’’’’)の切欠き領域に少なくとも部分的に配置されている、少なくとも1つの注型材料(21’’’’’)を有する、
請求項9記載のセンサユニット。 - 測定体(15’’’)において、空間の温度分布を検出するための、請求項1から10までのいずれか1項の記載のセンサユニット(1、1’、1’’、1’’’)の使用方法。
- ガルバニ電池に配置された、請求項1から10までのいずれか1項記載のセンサユニット(1、1’、1’’、1’’’)を少なくとも1つ有するガルバニ電池。
- 空間の温度分布を検出するセンサユニットの製造方法であって、以下のステップ、すなわち、
第1表面と、少なくとも部分的に前記第1表面の反対側にある第2表面と、を備えかつ少なくとも部分的にフレキシブルに構成されている少なくとも1つの基板(3、3’’)を準備するステップ(1010)と、
少なくとも1つの測定体(15’’’)に前記センサユニットを取り付けるために、前記基板(3、3’’)の前記第1表面にかつ/または前記第2表面に少なくとも部分的に少なくとも1つの接着剤を配置するステップ(1020)と、
前記基板(3、3’’)の前記第2表面に少なくとも1つのセンサフィールドを配置するステップ(1030)と、
を有し、
前記センサフィールドは、温度を検出するようにそれぞれ適合されておりかつ前記基板(3、3’’)の前記第2表面の異なる位置に配置されている少なくとも2つのセンサ素子(5a、5a’、5a’’、5a’’’、5a’’’’、5n、5n’、5n’’、5n’’’’)を有し、
前記センサ素子(5a、5a’、5a’’、5a’’’、5a’’’’、5n、5n’、5n’’、5n’’’’)は、少なくとも部分的に、前記第1表面にかつ/または前記第2表面に配置されている共通の中央の導体路(7a、7a’’、7n、7n’’)から構成されている、
方法。 - 少なくとも1つのセンサフィールドを配置する前記ステップ(1030)は、
スクリーン印刷、彫刻印刷、パッド印刷を用いて、かつ/または、金、銀、白金から成る金属粒子および/または銀・パラジウム合金を含むインクをベースとしたインクジェット印刷を用いて、前記センサフィールドを配置すること、および/または、
前記第2表面への金属層の蒸着および/または前記金属層のレーザアブレーションを用いて前記センサフィールドを配置すること、および/または、
金属を含むエアロゾルのデポジットによるエアロゾルデポジット法を用いて前記センサフィールドを配置すること、
を有する、
請求項13記載の方法。 - 少なくとも1つのセンサフィールドの前記配置のステップ(1030)は、
前記センサフィールドに含まれている少なくとも2つのセンサ素子(5a、5a’、5a’’、5a’’’、5a’’’’、5n、5n’、5n’’、5n’’’’)のうちの少なくとも1つの電気的な接触接続のために、少なくとも1つの導体路(7a、7a’’、7n、7n’’)を配置すること、および/または、
前記導体路(7a、7a’’、7n、7n’’)に少なくとも1つの接続手段を配置すること、
を有する、
請求項13または14記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP17182978.1A EP3435048A1 (de) | 2017-07-25 | 2017-07-25 | Sensor zur erfassung eines räumlichen temperaturprofils und verfahren zur herstellung einer sensoreinheit |
EP17182978.1 | 2017-07-25 | ||
PCT/EP2018/056961 WO2019020220A1 (de) | 2017-07-25 | 2018-03-20 | Sensor zur erfassung eines räumlichen temperaturprofils und verfahren zur herstellung einer sensoreinheit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020528555A JP2020528555A (ja) | 2020-09-24 |
JP6972298B2 true JP6972298B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=59409205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020503997A Active JP6972298B2 (ja) | 2017-07-25 | 2018-03-20 | 空間の温度分布を検出するセンサおよびセンサユニットの製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11268864B2 (ja) |
EP (2) | EP3435048A1 (ja) |
JP (1) | JP6972298B2 (ja) |
KR (1) | KR20200020951A (ja) |
CN (1) | CN110770556A (ja) |
WO (1) | WO2019020220A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018203809B3 (de) * | 2018-03-13 | 2019-06-19 | Leoni Kabel Gmbh | Sensorleitung, Messanordnung sowie Verfahren zur Herstellung einer Sensorleitung |
WO2021220540A1 (ja) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 株式会社村田製作所 | 温度センサアレイおよびその取付構造体 |
CN112366385B (zh) * | 2020-09-30 | 2023-03-17 | 广东广晟通信技术有限公司 | 一种通讯设备的电池热保护机构 |
CN112212991B (zh) * | 2020-10-10 | 2022-01-25 | 电子科技大学 | 一种燃料电池端部温度分布在线检测装置 |
CN114976137B (zh) * | 2022-05-25 | 2023-12-08 | 上海氢晨新能源科技有限公司 | 一种用于燃料电池的柔性分区特性测试片 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9939972B2 (en) | 2015-04-06 | 2018-04-10 | Synaptics Incorporated | Matrix sensor with via routing |
US9671915B2 (en) | 2015-06-30 | 2017-06-06 | Synaptics Incorporated | Avoidance of bending effects in a touch sensor device |
JP6701651B2 (ja) * | 2015-09-17 | 2020-05-27 | 富士ゼロックス株式会社 | 温度検出装置、定着装置、および画像形成装置 |
CN205826179U (zh) | 2016-07-19 | 2016-12-21 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 基于压阻效应的柔性阵列压力测量传感器 |
-
2017
- 2017-07-25 EP EP17182978.1A patent/EP3435048A1/de not_active Withdrawn
-
2018
- 2018-03-20 WO PCT/EP2018/056961 patent/WO2019020220A1/de unknown
- 2018-03-20 JP JP2020503997A patent/JP6972298B2/ja active Active
- 2018-03-20 US US16/633,847 patent/US11268864B2/en active Active
- 2018-03-20 CN CN201880038279.9A patent/CN110770556A/zh active Pending
- 2018-03-20 KR KR1020207003792A patent/KR20200020951A/ko not_active Application Discontinuation
- 2018-03-20 EP EP18710893.1A patent/EP3615903B1/de active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110770556A (zh) | 2020-02-07 |
EP3435048A1 (de) | 2019-01-30 |
EP3615903A1 (de) | 2020-03-04 |
US11268864B2 (en) | 2022-03-08 |
WO2019020220A1 (de) | 2019-01-31 |
US20200240848A1 (en) | 2020-07-30 |
JP2020528555A (ja) | 2020-09-24 |
EP3615903B1 (de) | 2023-12-27 |
KR20200020951A (ko) | 2020-02-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200124 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211027 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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