JP5476205B2 - ガス検出装置 - Google Patents
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Description
図1,2は、第一の実施形態に係るガス検出装置1を示す。このガス検出装置1は、支持体2、リード線51,52,53、センサ素子6、及び防曝部材7を備えている。
図7は、参考形態に係るガス検出装置1を示す。このガス検出装置1は、支持基板21及びスペーサ9で構成される支持体2と、センサ素子6と、リード線51,52,53と、防曝部材7とで構成されている。
ガス検出装置1として、図1に示す構成のものを使用した。
ガス検出装置1として、図7に示す構成のものを使用した。
ガス検出装置1として、図5に示すような、センサ筐体20内にセンサ素子6を収容したもの(エフアイエス株式会社製、品番SB−30)を使用した。センサ素子6としては実施例1と同じ構成のものを使用した。
実施例1,参考例及び比較例1で得られた各ガス検出装置1を測定用回路に接続し、ヒータ兼用電極62に通電してセンサ素子6を420℃に加熱した状態で、このガス検出装置1を空気気流中に配置し、続いてこの気流中に水素を100ppmの濃度で混入し、続いてこの気流中への水素の混入を停止した。この場合に測定されたヒータ兼用電極62と芯線状電極63との間の電気抵抗値Rsと、空気気流中におけるヒータ兼用電極62と芯線状電極63との間の電気抵抗値R0との比(Rs/R0)の変化を、図9及び図10のグラフに示す。尚、前記電気抵抗値R0は、当該試験における、試験開始から120秒経過時でのヒータ兼用電極62と芯線状電極63との間の電気抵抗値である。
2 支持体
21 支持基板
22 絶縁性基板
31 ベース体
41 配線
42 配線
43 配線
51 リード線
52 リード線
53 リード線
6 センサ素子
7 防曝部材
8 配置空間
9 スペーサ
Claims (2)
- 支持体、リード線、センサ素子、及び有孔の防曝部材を備え、
前記支持体が、支持基板と、凹所が形成されたベース体とを備え、前記支持基板が、絶縁性基板と、この絶縁性基板の表面上に形成された第一の導体配線とを備え、前記支持基板が前記凹所内に配置され、
前記支持体に外部へ開口する配置空間が形成され、前記配置空間が、前記凹所内の前記支持基板が占めていない空間であり、
前記リード線が、前記第一の導体配線に接続されて、前記支持体から前記配置空間へ突出し、
前記センサ素子が前記配置空間内で前記リード線によって支持されると共に前記リード線に電気的に接続され、
前記防曝部材が前記凹所を覆っているガス検出装置。 - 前記ベース体が、第二の導体配線を有し、
前記第二の導体配線が前記凹所内で前記第一の導体配線と接続し、
前記第二の導体配線が前記ベース体の外面で外部に露出する、請求項1に記載のガス検出装置。
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