JP6962511B1 - 半導体装置、及び電力変換装置 - Google Patents
半導体装置、及び電力変換装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6962511B1 JP6962511B1 JP2021542538A JP2021542538A JP6962511B1 JP 6962511 B1 JP6962511 B1 JP 6962511B1 JP 2021542538 A JP2021542538 A JP 2021542538A JP 2021542538 A JP2021542538 A JP 2021542538A JP 6962511 B1 JP6962511 B1 JP 6962511B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- sense
- source electrode
- semiconductor device
- dummy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 241
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 153
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 34
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 49
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 23
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 20
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 14
- 108091006146 Channels Proteins 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 13
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 13
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 8
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 2
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102000004129 N-Type Calcium Channels Human genes 0.000 description 1
- 108090000699 N-Type Calcium Channels Proteins 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7801—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/7802—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors
- H01L29/7815—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors with voltage or current sensing structure, e.g. emulator section, overcurrent sensing cell
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0684—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape, relative sizes or dispositions of the semiconductor regions or junctions between the regions
- H01L29/0692—Surface layout
- H01L29/0696—Surface layout of cellular field-effect devices, e.g. multicellular DMOS transistors or IGBTs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic System
- H01L29/1608—Silicon carbide
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7801—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/7802—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors
- H01L29/7803—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors structurally associated with at least one other device
- H01L29/7806—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors structurally associated with at least one other device the other device being a Schottky barrier diode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7801—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/7802—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors
- H01L29/7813—Vertical DMOS transistors, i.e. VDMOS transistors with trench gate electrode, e.g. UMOS transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/86—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
- H01L29/861—Diodes
- H01L29/872—Schottky diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P27/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of supply voltage
- H02P27/04—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of supply voltage using variable-frequency supply voltage, e.g. inverter or converter supply voltage
- H02P27/06—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of supply voltage using variable-frequency supply voltage, e.g. inverter or converter supply voltage using dc to ac converters or inverters
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
<構成>
図1は、本開示の実施の形態1に係る半導体装置101の全体を模式的に表す上面模式図である。図1に示すように、実施の形態1の半導体装置101は、メイン領域50と、センス領域60と、境界領域70と、を有する。センス領域60には、活性センス領域61と、ダミーセンス領域62と、が含まれる。
次に、半導体装置101の製造方法について説明する。まず、半導体基板1と、半導体基板1の上面にエピタキシャル結晶成長させたドリフト層2と、を有する基板を用意する。ドリフト層2は、n型の不純物濃度が半導体基板1のn型の不純物濃度よりも低い。ドリフト層2の厚みと不純物濃度は、半導体装置101の設計耐圧に応じて任意に設定する。例えば、ドリフト層2の厚みを1[um]〜200[um]、不純物濃度を1.0×1014[cm3]〜1.0×1016[cm3]とすることができる。
次に、半導体装置101における電流検出動作等を説明する。図8は、半導体装置101の構成を電気回路として模式的に示す回路図である。図8から自明なように、ドレイン電極10から流入する順方向電流は、メイン領域50を通ってソース電極9に流れると同時に、センス領域60を通ってセンスソース電極19にも流れる。そのため、センスソース電極19に検流計を接続してセンス領域60に流れる電流を測定し、この測定結果から、メイン領域50を含む半導体装置101全体に流れる電流を計算することで推定できる。また、ドレイン電極10から流れ込む電流の一部をセンス領域60に分流し、センス領域60における電流の測定結果を用いることで、メイン領域50に流れる電流を直接測定する場合に比べて、半導体装置101に流れる電流を低損失に検出できる。
次に、実施の形態1に係る半導体装置101の変形例を説明する。図9(a)は、実施の形態1の変形例に係るセンス領域60の一部の断面を示す断面模式図である。図9(a)に示す構造は、ダミーセンスウェル領域23を除き、図3(a)に示す構造と同様である。図9(a)の構造では、ゲート電極7の下方において、ダミーセンスウェル領域23が間隔を空けずに設けられており、ドリフト層2がダミーセンスゲート絶縁膜26と接していない。なお、半導体装置101の断面は、図9(a)に示すものに限られず、例えば図9(b)に示すような構造であってもよい。
図13は、実施の形態2に係る半導体装置201のセンス領域60の一部の断面を示す断面模式図である。実施の形態2の半導体装置201は、実施の形態1の半導体装置101と異なり、ダミーセンスソース領域24を有する。ダミーセンスソース領域24は、ダミーセンスウェル領域23の表層に選択的に形成されたn型の領域である。ダミーセンスソース領域24は、センスソース電極19とオーミック接続している。ダミーセンスソース領域24は、ダミーセンスゲート絶縁膜26に面しており、ダミーセンスゲート絶縁膜26を介してゲート電極7と対向する。その他の構成は、実施の形態1の半導体装置101と同様である。
図15は、実施の形態3に係る半導体装置301の境界領域70の断面を示す断面模式図である。半導体装置301は、図15に示すように、半導体装置101または半導体装置201の構成に加えて、境界領域70に設けられたソース電極間領域31、境界ウェル領域33、及びショットキー接合部35をさらに備える。
図16は、実施の形態4に係る半導体装置401の境界領域70の断面を示す断面模式図である。半導体装置401は、図16に示すように、半導体装置101または半導体装置201の構成に加えて、境界領域70に設けられたソース電極間領域31、境界ウェル領域33、及び絶縁膜38をさらに備える。実施の形態3の半導体装置301とは異なる点として、ショットキー接合部35を形成する代わりに絶縁膜38を追加したものと言うことができる。
図17は、実施の形態5に係る半導体装置501のセンス領域60の一部の断面を示す断面模式図である。実施の形態5の半導体装置501は、実施の形態1の半導体装置101とはSBDの形成位置やゲート構造の形成方法などが異なる。その他の構成は、実施の形態1の半導体装置101と同様である。
次に、実施の形態5に係る半導体装置501の変形例を説明する。図18は、実施の形態5の変形例に係るセンス領域60の一部の断面を示す断面模式図である。図18に示す構造では、ダミーセンス領域62において、ダミーセンスゲート絶縁膜26及びゲート電極7は、半導体層の表面からダミーセンスウェル領域23を貫通してドリフト層2に達する溝(第2の溝)内に設けられている。ダミーセンスゲート絶縁膜26は、溝の側面においてダミーセンスウェル領域23と接している。ゲート電極7は、この溝の側面において、ダミーセンスゲート絶縁膜26を介してダミーセンスウェル領域23と対向する。その他の構成は、図17に示す構造と同様である。
本実施の形態は、上述した実施の形態1から5のいずれかにかかる半導体装置を電力変換装置に適用したものである。本開示は特定の電力変換装置に限定されるものではないが、以下、実施の形態6として、三相のインバータに本開示を適用した場合について説明する。
以上説明した本開示に係る実施の形態1〜6においては、半導体材料が炭化珪素である場合について説明したが、その他の半導体材料を用いてもよい。すなわち、半導体基板1、ドリフト層2、各ウェル領域、及び各ソース領域を含む半導体層は、その他の半導体材料から構成することができる。その他の半導体材料としては、例えば、シリコンと比べてバンドギャップが広い、いわゆるワイドバンドギャップ半導体が挙げられる。炭化珪素以外のワイドバンドギャップ半導体としては、窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化アルミニウムガリウム、酸化ガリウム、ダイヤモンドなどが挙げられる。これらのワイドバンドギャップ半導体を用いた場合であっても同様の効果を得ることができる。
Claims (24)
- 第1主面及び前記第1主面に対向する第2主面を有する半導体層と、前記第1主面側に設けられたソース電極と、前記第2主面側に設けられたドレイン電極と、を備え、ゲート電極に印加する電圧により前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に流れる電流を制御する半導体装置であって、
前記ソース電極とは別体に設けられ、前記半導体層の前記第1主面側に設けられたセンスソース電極と、
前記半導体層の主要部を構成する第1導電型のドリフト層と、
前記ドリフト層の表層に選択的に設けられ、前記センスソース電極に電気的に接続された第2導電型のセンスウェル領域と、
前記センスウェル領域の表層に選択的に設けられ、前記センスソース電極に電気的に接続された第1導電型のセンスソース領域と、
前記センスウェル領域とは別に前記ドリフト層の表層に選択的に設けられ、前記センスソース電極に電気的に接続された、チャネルが形成されない第2導電型のダミーセンスウェル領域と、
前記ダミーセンスウェル領域と前記ゲート電極との間に設けられたゲート絶縁膜と、
前記センスソース電極と前記ドリフト層との間に設けられ、前記センスウェル領域または前記ダミーセンスウェル領域と前記ドリフト層とから構成されるpnダイオードの動作電圧よりも立ち上がり電圧が低く、前記センスソース電極から前記ドレイン電極に向けて流れる電流を通電可能なダイオードと、
を備え、
前記ダミーセンスウェル領域と前記ダイオードとが配置されるダミーセンス領域内において、前記ダイオードは、前記ダミーセンスウェル領域が前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向する領域である対向領域と混在するように設けられる、
半導体装置。 - 前記ダイオードは、平面視において、前記対向領域と交互に繰り返し設けられる、
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記センスウェル領域が配置される活性センス領域と、前記ダミーセンス領域と、を含むセンス領域と、
前記センス領域とは異なる領域であるメイン領域と、
を備え、
前記メイン領域は、
前記ドリフト層の表層に選択的に設けられ、前記ソース電極に電気的に接続された第2導電型のウェル領域と、
前記ウェル領域の表層に選択的に設けられ、前記ソース電極に電気的に接続された第1導電型のソース領域と、
前記ソース電極と前記ドリフト層との間に設けられ、前記ウェル領域と前記ドリフト層とから構成されるpnダイオードの動作電圧よりも立ち上がり電圧が低く、前記ソース電極から前記ドレイン電極に向けて流れる電流を通電可能な第2ダイオードと、
を有し、
前記ダイオードは、前記メイン領域における前記第2ダイオードの配置間隔の2倍以下となるように前記ダミーセンス領域内に配置される、
請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記ダイオードは、前記ダミーセンス領域内において1μm以上100μm以下の間隔で配置される、
請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記センスウェル領域が配置される活性センス領域と、前記ダミーセンス領域と、を含むセンス領域と、
前記センス領域とは異なる領域であって前記センス領域の周囲に設けられる境界領域と、
を備え、
前記ダイオードと前記対向領域とは、前記境界領域から前記活性センス領域に向かう方向に交互に繰り返し設けられる、
請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記ダイオードは、前記ダミーセンス領域内において周期的に設けられる、
請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記ダミーセンス領域内において、前記ダイオードから最も遠いpn接合と前記ダイオードとの間の距離は、前記ダイオードの配置間隔の半分以下である
請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記対向領域において、前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極と対向する位置に前記ドリフト層が設けられていない、
請求項1から7のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記ダミーセンスウェル領域の表層に選択的に設けられ、前記センスソース電極に電気的に接続され、前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極と対向する第1導電型のダミーセンスソース領域をさらに備える、
請求項8に記載の半導体装置。 - 前記対向領域において、前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極と対向する位置には前記ダミーセンスソース領域が設けられており、前記ダミーセンスウェル領域は、前記ゲート絶縁膜と接していない、
請求項9に記載の半導体装置。 - 前記センスウェル領域は、平面視において、ひとかたまりに設けられる、
請求項1から10のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記ダミーセンスウェル領域は、前記ソース電極とオーミック接続されていない、
請求項1から11のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記ソース電極と前記センスソース電極との間であって前記ドリフト層の表層に設けられた第2導電型の境界ウェル領域をさらに備え、
前記境界ウェル領域は、前記ソース電極及び前記センスソース電極とオーミック接続されておらず、前記センスウェル領域、及び前記ダミーセンスウェル領域のいずれとも接続されていない、
請求項1から12のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記境界ウェル領域は、前記ソース電極及び前記センスソース電極とショットキー接続する、
請求項13に記載の半導体装置。 - 前記境界ウェル領域と前記ソース電極との間、及び前記境界ウェル領域と前記センスソース電極との間に形成された絶縁膜をさらに備える、
請求項13に記載の半導体装置。 - 前記センスソース電極は、前記ダミーセンスウェル領域を貫通して前記ドリフト層に達する第1の溝内に設けられており、
前記ダイオードは、前記第1の溝の底面または側面において、前記センスソース電極と前記ドリフト層とが対向する部分に形成されている、
請求項1から15のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記ゲート絶縁膜及び前記ゲート電極は、前記半導体層の表面から前記ダミーセンスウェル領域へ貫通する第2の溝内に設けられており、
前記ゲート電極は、前記第2の溝の底面または側面のうち少なくとも一方において、前記ゲート絶縁膜を介して前記ダミーセンスウェル領域と対向する、
請求項1から16のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記第2の溝の深さは、前記ドリフト層の厚み方向において、前記ダミーセンスウェル領域の深さ以下である、
請求項17に記載の半導体装置。 - 前記ダミーセンスウェル領域の表層に設けられ、前記センスソース電極に電気的に接続された第1導電型のダミーセンスソース領域をさらに備え、
前記ゲート絶縁膜及び前記ゲート電極は、前記ダミーセンスソース領域を貫通して前記ダミーセンスウェル領域に達する前記第2の溝内に設けられており、
前記ゲート絶縁膜は、前記第2の溝の底面及び側面において前記ドリフト層と接しておらず、
前記ゲート電極は、前記ゲート絶縁膜を介して前記ダミーセンスソース領域と対向する、
請求項17または18に記載の半導体装置。 - 前記ダイオードは、前記センスソース電極と前記ドリフト層とがショットキー接合して形成されたショットキー接合部から構成される、
請求項1から19のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記ダイオードは、前記ダミーセンスウェル領域上に形成された第1導電型のチャネルダイオードから構成される、
請求項1から19のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記半導体層は、半導体材料としてワイドバンドギャップ半導体が用いられる、
請求項1から21のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 第1導電型のドリフト層を有する半導体層と、
前記半導体層の一方の主面側にソース電極及びゲート電極が設けられ、他方の主面側にドレイン電極が設けられたMOSFET構造を有するメイン領域と、
前記メイン領域とは異なる領域であって、前記半導体層の前記一方の主面側に前記ソース電極とは別体に形成されるセンスソース電極が設けられたMOSFET構造を有するセンス領域と、
前記センス領域内において、前記ドリフト層の表層に選択的に設けられた、チャネルが形成されない第2導電型のダミーセンスウェル領域と、
前記ダミーセンスウェル領域と前記ゲート電極との間に設けられたゲート絶縁膜と、
前記センスソース電極と前記ドリフト層との間に形成され、前記ダミーセンスウェル領域と前記ドリフト層とから構成されるpnダイオードの動作電圧よりも立ち上がり電圧が低く、前記センスソース電極から前記ドレイン電極に向けて流れる電流を通電可能なダイオードと、
を備え、
前記センス領域内において、前記ダイオードは、前記ダミーセンスウェル領域が前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極に対向する領域である対向領域と混在するように設けられる、
半導体装置。 - 請求項1から23のいずれか1項に記載の半導体装置を有し、入力される電力を変換して出力する主変換回路と、
前記半導体装置を駆動する駆動信号を前記半導体装置に出力する駆動回路と、
前記駆動回路を制御する制御信号を前記駆動回路に出力する制御回路と、
を備えた電力変換装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2020/021362 WO2021240790A1 (ja) | 2020-05-29 | 2020-05-29 | 半導体装置、及び電力変換装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6962511B1 true JP6962511B1 (ja) | 2021-11-05 |
JPWO2021240790A1 JPWO2021240790A1 (ja) | 2021-12-02 |
Family
ID=78409838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021542538A Active JP6962511B1 (ja) | 2020-05-29 | 2020-05-29 | 半導体装置、及び電力変換装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230139229A1 (ja) |
JP (1) | JP6962511B1 (ja) |
CN (1) | CN115668507A (ja) |
DE (1) | DE112020007266T5 (ja) |
WO (1) | WO2021240790A1 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010125819A1 (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | パナソニック株式会社 | 半導体素子、半導体装置および電力変換器 |
JP2016021652A (ja) * | 2014-07-14 | 2016-02-04 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置及び電力変換装置 |
WO2016052261A1 (ja) * | 2014-10-01 | 2016-04-07 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP2018037577A (ja) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体装置 |
JP2019012803A (ja) * | 2017-07-03 | 2019-01-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013042406A1 (ja) | 2011-09-21 | 2013-03-28 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置 |
CN105074921B (zh) | 2013-04-03 | 2017-11-21 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置 |
-
2020
- 2020-05-29 DE DE112020007266.5T patent/DE112020007266T5/de active Pending
- 2020-05-29 WO PCT/JP2020/021362 patent/WO2021240790A1/ja active Application Filing
- 2020-05-29 CN CN202080100925.7A patent/CN115668507A/zh active Pending
- 2020-05-29 JP JP2021542538A patent/JP6962511B1/ja active Active
- 2020-05-29 US US17/918,116 patent/US20230139229A1/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010125819A1 (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | パナソニック株式会社 | 半導体素子、半導体装置および電力変換器 |
JP2016021652A (ja) * | 2014-07-14 | 2016-02-04 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置及び電力変換装置 |
WO2016052261A1 (ja) * | 2014-10-01 | 2016-04-07 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP2018037577A (ja) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体装置 |
JP2019012803A (ja) * | 2017-07-03 | 2019-01-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2021240790A1 (ja) | 2021-12-02 |
US20230139229A1 (en) | 2023-05-04 |
CN115668507A (zh) | 2023-01-31 |
WO2021240790A1 (ja) | 2021-12-02 |
DE112020007266T5 (de) | 2023-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6753951B2 (ja) | 半導体装置および電力変換装置 | |
JP7357713B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置および電力変換装置 | |
JP6929404B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置および電力変換装置 | |
JP7170781B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置および電力変換装置 | |
JP6737401B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置および電力変換装置 | |
JPWO2018084020A1 (ja) | 炭化珪素半導体装置および電力変換装置 | |
JPWO2020026401A1 (ja) | ワイドバンドギャップ半導体装置、および、電力変換装置 | |
JP6873273B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置および電力変換装置 | |
JP6981585B1 (ja) | 半導体装置、電力変換装置、および半導体装置の製造方法 | |
JP6962511B1 (ja) | 半導体装置、及び電力変換装置 | |
US20230282741A1 (en) | Silicon carbide semiconductor device and power conversion device | |
JP6976489B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置および電力変換装置 | |
WO2022034636A1 (ja) | 炭化珪素半導体装置および電力変換装置 | |
WO2022097221A1 (ja) | 半導体装置、電力変換装置及び半導体装置の製造方法 | |
WO2024028995A1 (ja) | 半導体装置および電力変換装置 | |
TW202339290A (zh) | 半導體裝置、半導體裝置之製造方法及電力變換裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210721 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210721 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20210721 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210817 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210914 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210927 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6962511 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |