JP6958915B2 - 改良された均一性および印刷速度で薄膜を製造するための技法 - Google Patents
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Description
プリンタは、加工のための多種多様な工業プロセスで使用される。1つの用途では、プリンタは、基板上に液体を噴出するために使用されることができ、液体は、次いで、電子デバイスの永久層を形成するように、硬化、乾燥、または別様に処理される。本技法は、他の技法を使用して容易に堆積させられることができない材料、例えば、有機材料(プラスチック等)の堆積のために特に有用である。1つの例示的用途は、表示パネル(テレビまたは他の表示画面等)、太陽電池パネル、および発光デバイスの加工を伴う。例えば、プリンタは、電気刺激の影響下で光を生成することに役立つ有機LED材料、ならびに酸素、湿気、または他の汚染物質への暴露から敏感な内部層を保護することに役立つ有機カプセル化層を堆積させるために使用されることができる。大型パネル電子デバイスを加工するために使用される従来のプロセスでは、これらのプリンタは、「部屋のサイズ」であり、組立ライン型プロセスの一部として、非常に精密なパラメータ以内で非常に大型の基板上に印刷するために使用されることができる。大型パネルデバイスが、これらの基板(例えば、大型TVまたは太陽電池パネル)から形成されることができる、または代替として、多くの小型デバイスが、これらの基板上に形成され、次いで、相互から分離されることができる。当然ながら、これらの用途は、例証的にすぎず、プリンタは、電子デバイス以外の多くのタイプのデバイスについて、多くの異なる材料(有機または別様)を印刷するために多くの加工プロセスで使用されることができる。
本願明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
(項目1)
基板表面上に電子デバイスの永久層を加工する方法であって、前記層は、離散液滴の形態で前記基板表面上に液体を印刷するようにプリンタを使用して形成され、前記液滴は、連続液体コートを形成するように拡散して混合し、前記液滴は、前記基板表面上の拡散特性によって特徴付けられ、前記方法は、
前記拡散特性を表すデータを受信するステップと、
前記データに応じて、前記基板表面の単位面積あたりの前記液体の体積を計算するステップであって、単位面積あたりの前記液体の前記体積は、前記基板表面の前記単位面積内に空隙を有していない様式で前記基板表面上に前記連続液体コートを生成するために必要な量を表す、ステップと、
前記永久層のための所望の厚さを受信するステップと、
単位面積あたりの前記体積を生成するために必要な前記単位面積あたりの前記離散液滴の数に応じて、かつ前記所望の厚さと前記液体の体積によって生成される厚さとの間の関係に応じて、ノズル発射決定を前記プリンタ内のプリントヘッドの個別のノズルに割り当て、前記プリンタに前記離散液滴のうちの対応するものを堆積させ、そこから前記永久層の前記所望の厚さを生成するステップと、
前記プリンタを使用し、割り当てられたノズル発射決定に従って前記液滴を印刷するステップと、
前記連続液体コートを処理し、そこから前記永久層を形成するステップと、
を含む、方法。
(項目2)
前記方法はさらに、少なくとも閾値量だけ前記量よりも大きい単位面積あたりの体積を表すような様式で、前記数を選択するステップを含む、項目1に記載の方法。
(項目3)
前記ノズルのそれぞれは、個別のノズル制御信号に応じて、離散代替液滴サイズのうちの選択的サイズを生成するものであり、
前記数は、第1の数であり、
前記方法はさらに、
前記離散代替液滴サイズのうちの少なくとも2つの各々に対し、前記基板表面の単位面積あたりの対応する数の液滴を選択するステップであって、前記対応する数の液滴は、前記量を生成するために必要であり、前記対応する少なくとも2つのための前記液滴の数は、前記第1の数を含む、ステップと、
前記基板表面上に印刷する前記液滴に従って、前記少なくとも2つのうちの1つの液滴サイズを選定するステップであって、前記選定されたものは、前記拡散特性を考慮して、前記所望の厚さ以下の厚さを有するよう、前記液滴サイズが処理後に前記永久層を生成するために十分に小さいという基準を満たす、前記少なくとも2つのうちの1つに応じて選択される、ステップと、
を含み、
前記プリンタを使用するステップは、前記選定された液滴サイズに従って前記液滴を印刷するステップを含む、項目1に記載の方法。
(項目4)
選定するステップは、前記少なくとも2つのうちの最大液滴サイズを選択するステップを含む、項目3に記載の方法。
(項目5)
前記離散代替液滴サイズは、前記離散代替液滴サイズのうちの最小サイズの倍数であるサイズを表し、
前記プリンタを使用して印刷するステップは、前記最小サイズの関数として選定された液滴サイズを伝えるような様式で、前記ノズル制御信号を生成するステップを含む、
項目3に記載の方法。
(項目6)
割り当てるステップは、ソフトウェアルーチンを呼び出し、前記選定された液滴サイズを前記ソフトウェアに識別する様式で前記ノズル発射決定を割り当てるステップを含み、
前記プリンタを使用するステップは、前記選定されたサイズの前記液滴を堆積させる前記ノズル発射決定に従って、前記液滴を印刷するステップを含む、
項目3に記載の方法。
(項目7)
前記所望の膜厚さは、4.0ミクロン未満またはそれと等しく、
前記選定された液滴サイズは、7.0ピコリットル未満またはそれと等しい期待体積を有する、
項目6に記載の方法。
(項目8)
前記プリンタは、印刷グリッドの節点において前記液滴を印刷するものであり、前記印刷グリッドの前記節点の間のクロススキャン間隔は、クロススキャン方向への前記液滴のうちの隣接するものの間に最小間隔を画定し、前記印刷グリッドの前記節点の間のインスキャン間隔は、インスキャン方向への前記液滴のうちの隣接するものの間に最小間隔を画定し、
前記ノズル発射を割り当てるステップは、前記所望の厚さに応じて、前記クロススキャン間隔または前記インスキャン間隔のうちの少なくとも1つを選択的に変動させるステップを含む、
項目1に記載の方法。
(項目9)
前記プリンタは、前記インスキャン方向に対して前記基板または前記プリントヘッドのうちの少なくとも1つを選択的に回転させるための機構を含み、
選択的に変動させるステップは、前記機構に、前記インスキャン方向に対して前記基板または前記プリントヘッドのうちの少なくとも1つを回転させ、前記クロススキャン方向へ前記印刷グリッドの前記節点の間の前記間隔を変動させるステップを含み、
前記プリンタを使用するステップは、前記変動された間隔に従って前記基板上に印刷するステップを含む、
項目8に記載の方法。
(項目10)
前記プリンタは、前記個別のノズル発射決定に従って前記ノズルのそれぞれの発射をトリガするタイミング信号を生成する回路を備え、選択的に変動させるステップは、前記回路を制御して前記タイミング信号の周波数を変動させ、スキャン速度を考慮して、前記インスキャン方向へ前記印刷グリッドの前記節点の間の前記間隔を変動させるステップを含む、項目8に記載の方法。
(項目11)
前記方法はさらに、前記プリンタを使用し、基板上に試験パターンを印刷するステップと、前記印刷された試験パターンを光学的に測定するステップと、前記印刷された試験パターンの光学的測定に応じて、前記拡散特性を識別するステップとを含む、項目1に記載の方法。
(項目12)
前記プリンタは、少なくとも2つの選択的液滴サイズのうちの選択されたものを使用して、前記離散液滴を印刷するものであり、
前記ノズル発射を割り当てるステップは、前記所望の厚さに応じて、前記離散液滴のうちの少なくともいくつかのサイズを選択的に変動させるステップを含む、
項目1に記載の方法。
(項目13)
前記選択されたものは、少なくとも4つの所定の液滴サイズのうちの選択されたものである、項目12に記載の方法。
(項目14)
前記連続液体コートを処理するステップは、紫外線で前記連続液体コートを硬化させるステップまたは前記連続液体コートを焼成するステップのうちの少なくとも1つを含む、項目1に記載の方法。
(項目15)
前記永久層が前記所望の厚さ未満またはそれと等しいように生成されることができない場合、(a)印刷で使用するための異なる液滴サイズを選択するステップ、または(b)印刷される前記液滴に従って印刷グリッドの少なくとも1つの間隔を変更するステップのうちの少なくとも1つを行うステップをさらに含む、項目1に記載の方法。
(項目16)
基板表面上に電子デバイスの永久層を加工するための装置であって、前記層は、離散液滴の形態で前記基板表面上に液体を印刷するようにプリンタを使用して形成され、前記液滴は、連続液体コートを形成するように拡散して混合し、前記液滴は、前記基板表面上の拡散特性によって特徴付けられ、前記装置は、少なくとも1つのプロセッサと、非一過性の記憶装置の中に記憶された命令とを備え、前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、
前記拡散特性を表すデータを受信することと、
前記データに応じて、前記基板表面の単位面積あたりの前記液体の体積を計算することであって、単位面積あたりの前記液体の前記体積は、前記基板表面の前記単位面積内に空隙を有していない様式で前記基板表面上に前記連続液体コートを生成するために必要な量を表す、ことと、
前記永久層のための所望の厚さを受信することと、
単位面積あたりの前記体積を生成するために必要な前記単位面積あたりの前記離散液滴の数に応じて、かつ前記所望の厚さと前記液体の体積によって生成される厚さとの間の関係に応じて、ノズル発射決定を前記プリンタ内のプリントヘッドの個別のノズルに割り当て、前記プリンタに前記離散液滴のうちの対応するものを堆積させ、そこから前記永久層の前記所望の厚さを生成することと、
割り当てられたノズル発射決定に従って、前記プリンタに前記離散液滴を印刷させることと、
そこから前記永久層を形成するよう、前記連続液体コートを処理させることと
を行わせる、装置。
(項目17)
前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、少なくとも閾値量だけ前記量よりも大きい単位面積あたりの体積を表すような様式で前記数を選択させるものである、項目16に記載の装置。
(項目18)
前記ノズルのそれぞれは、個別のノズル制御信号に応じて、離散代替液滴サイズのうちの選択的サイズを生成するものであり、
前記数は、第1の数であり、
前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、
前記離散代替液滴サイズのうちの少なくとも2つの各々に対し、前記基板表面の単位面積あたりの対応する数の液滴を選択することであって、前記対応する数の液滴は、前記量を生成するために必要であり、前記対応する少なくとも2つのための前記液滴の数は、前記第1の数を含む、ことと、
前記基板表面上に印刷する前記液滴に従って、前記少なくとも2つのうちの1つの液滴サイズを選定することであって、前記選定されたものは、前記拡散特性を考慮して、前記所望の厚さ以下の大きさである厚さを有するよう、前記液滴サイズが処理後に前記永久層を生成するために十分に小さいという基準を満たす、前記少なくとも2つのうちの1つに応じて選択される、ことと
を行わせ、
前記プリンタは、前記選定された液滴サイズに従って前記液滴を印刷するものである、項目16に記載の装置。
(項目19)
前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、前記少なくとも2つのうちの最大液滴サイズを選択させるものである、項目18に記載の装置。
(項目20)
前記離散代替液滴サイズは、前記離散代替液滴サイズのうちの最小サイズの倍数であるサイズを表し、
前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、前記最小サイズの関数として選定された液滴サイズを伝えるような様式で、前記ノズル制御信号を生成させるものである、
項目18に記載の装置。
(項目21)
前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、ソフトウェアルーチンを呼び出させ、前記選定された液滴サイズを前記ソフトウェアに識別する様式で前記ノズル発射決定を割り当てさせるものであり、
前記プリンタは、前記選定されたサイズの液滴を堆積させるように前記ノズル発射決定に応答する、
項目18に記載の装置。
(項目22)
前記所望の膜厚さは、4.0ミクロン未満またはそれと等しく、
前記選定された液滴サイズは、7.0ピコリットル未満またはそれと等しい期待体積を有する、
項目21に記載の装置。
(項目23)
前記プリンタは、印刷グリッドの節点において前記液滴を印刷するものであり、前記印刷グリッドの前記節点の間のクロススキャン間隔は、クロススキャン方向への前記液滴のうちの隣接するものの間に最小間隔を画定し、前記印刷グリッドの前記節点の間のインスキャン間隔は、インスキャン方向への前記液滴のうちの隣接するものの間に最小間隔を画定し、前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、
前記所望の厚さに応じて、前記クロススキャン間隔または前記インスキャン間隔のうちの少なくとも1つを選択的に変動させるものである、項目16に記載の装置。
(項目24)
前記プリンタは、前記インスキャン方向に対して前記基板または前記プリントヘッドのうちの少なくとも1つを選択的に回転させるための機構を含み、前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、
前記機構に、前記インスキャン方向に対して前記基板または前記プリントヘッドのうちの少なくとも1つを回転させ、前記クロススキャン方向へ前記印刷グリッドの前記節点の間の前記間隔を変動させること
を行わせ、
前記プリンタは、前記変動された間隔に従って前記基板上に前記離散液滴を印刷するものである、項目23に記載の装置。
(項目25)
前記プリンタは、前記個別のノズル発射決定に従って前記ノズルのそれぞれの発射をトリガするタイミング信号を生成する回路を備え、前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、前記回路を制御させて前記タイミング信号の周波数を変動させ、スキャン速度を考慮して、前記インスキャン方向へ前記印刷グリッドの前記節点の間の前記間隔を変動させるものである、項目23に記載の装置。
(項目26)
前記命令は、実行されると、前記プリンタに、基板上に試験パターンを印刷させるものであり、前記少なくとも1つのプロセッサによって受信される前記拡散特性を表す前記データは、前記印刷された試験パターンの光学測定に依存する、項目16に記載の装置。
(項目27)
前記プリンタは、少なくとも2つの選択的液滴サイズのうちの選択されたものを使用して、前記離散液滴を印刷するものであり、前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、
前記所望の厚さに応じて、前記離散液滴のうちの少なくともいくつかのサイズを選択的に変動させるものである、項目16に記載の装置。
(項目28)
前記選択されたものは、少なくとも4つの所定の液滴サイズのうちの選択されたものである、項目27に記載の装置。
(項目29)
前記命令は、実行されると、紫外線で前記連続液体コートを硬化させるステップまたは前記連続液体コートを焼成するステップのうちの少なくとも1つを含む様式で、前記連続液体コートを処理させるものである、項目16に記載の装置。
(項目30)
前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、前記永久層が前記所望の厚さ未満またはそれと等しいように生成されることができない場合、(a)印刷で使用するための異なる液滴サイズの選択、または(b)前記プリンタによって印刷される前記液滴に従った印刷グリッドの少なくとも1つの間隔の変更のうちの少なくとも1つを行わせるものである、項目16に記載の装置。
(詳細な説明)
Claims (26)
- 基板表面上に電子デバイスの層を加工する方法であって、前記方法は、
前記基板表面上に形成される層の所望の厚さを受信することと、
前記基板表面上に堆積させられる液体液滴の拡散特性を表すデータを受信することと、
前記拡散特性に基づき、前記所望の厚さ以下である処理後の前記層の高さに帰結する最大液滴サイズを、複数の可能液滴サイズから選択することと、
前記データに応じて、前記基板表面の単位面積あたりの前記液体の体積を計算することであって、前記液体の前記体積は、前記基板表面の前記単位面積内に空隙を有していない様式で前記基板表面上に連続液体コートを生成するために必要である、ことと、
前記所望の厚さに応じて、単位面積あたりの前記液体の前記体積をスケーリングすることと、
単位面積あたりの前記液体の前記スケーリング後の体積を生成するために必要な単位面積あたりの前記液体の液滴の数を決定することと、
ノズル発射決定をプリンタ内のプリントヘッドの個別のノズルに割り当て、単位面積あたりの前記液体の液滴の数に応じた液滴を前記プリンタに堆積させ、前記層の前記所望の厚さを生成することと、
前記プリンタを使用して、前記割り当てられたノズル発射決定に従って液滴を印刷することにより、前記連続液体コートを形成することと、
前記連続液体コートを処理して、前記層を形成することと
を含む、方法。 - 前記所望の厚さは、単位面積あたりの前記体積によって生成される厚さよりも閾値量だけ大きい、請求項1に記載の方法。
- 前記可能液滴サイズは、各ノズルが個別のノズル制御信号に応じて生成することができる液滴サイズであり、
単位面積あたりの前記液体の前記液滴の数を決定することは、前記液滴サイズに基づくものであり、
前記プリンタを使用することは、前記選定された液滴サイズに従って前記液滴を印刷することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記複数の液滴サイズの各液滴サイズは、前記複数の液滴サイズのうちの最小サイズの倍数であり、
前記ノズル制御信号は、前記最小液滴サイズの関数として液滴サイズを伝達する、請求項3に記載の方法。 - 割り当てることは、ソフトウェアルーチンを呼び出し、前記選定された液滴サイズを前記ソフトウェアに識別する様式で前記ノズル発射決定を割り当てることを含み、
前記プリンタを使用することは、前記選定されたサイズの液滴を堆積させる前記ノズル発射決定に従って、前記液滴を印刷することを含む、請求項3に記載の方法。 - 所望の膜厚さは、4.0ミクロン以下であり、
前記選定された液滴サイズは、7.0ピコリットル以下の体積に相当する、請求項5に記載の方法。 - 前記プリンタは、印刷グリッドの節点において前記液滴を印刷するものであり、前記印刷グリッドの前記節点の間のクロススキャン間隔は、クロススキャン方向への前記液滴のうちの隣接するものの間に最小間隔を画定し、前記印刷グリッドの前記節点の間のインスキャン間隔は、インスキャン方向への前記液滴のうちの隣接するものの間に最小間隔を画定し、
前記ノズル発射を割り当てることは、前記所望の厚さに応じて、前記クロススキャン間隔または前記インスキャン間隔を変動させることを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記プリンタは、前記インスキャン方向に対して前記基板または前記プリントヘッドのうちの少なくとも1つを回転させるための機構を含み、
前記クロススキャン間隔または前記インスキャン間隔を変動させることは、前記機構に、前記インスキャン方向に対して前記基板または前記プリントヘッドのうちの前記少なくとも1つを回転させ、前記クロススキャン方向へ前記印刷グリッドの前記節点の間の前記間隔を変動させることを含み、
前記プリンタを使用することは、前記変動された間隔に従って前記基板上に印刷することを含む、請求項7に記載の方法。 - 前記プリンタは、前記個別のノズル発射決定に従って前記ノズルのそれぞれの発射をトリガするタイミング信号を生成する回路を備え、前記クロススキャン間隔または前記インスキャン間隔を変動させることは、前記回路を制御して前記タイミング信号の周波数を変動させ、スキャン速度を考慮して、前記インスキャン方向へ前記印刷グリッドの前記節点の間の前記間隔を変動させることを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記方法は、前記プリンタを使用して、基板上に試験パターンを印刷することと、前記印刷された試験パターンを光学的に測定することと、前記印刷された試験パターンの光学的測定に応じて、前記拡散特性を識別することとをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ノズル発射決定を割り当てることは、前記所望の厚さに基づき、前記液滴のうちの少なくとも複数のサイズを変動させることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記液滴のサイズは、少なくとも4つの所定の液滴サイズ間で変動させられる、請求項11に記載の方法。
- 前記連続液体コートを処理することは、紫外線で前記連続液体コートを硬化させることまたは前記連続液体コートを焼成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記層が前記所望の厚さ以下に生成されない場合に、(a)印刷で使用するための異なる液滴サイズを選択することまたは(b)前記液滴が印刷される際に従う印刷グリッドの少なくとも1つの間隔を変更することのうちの少なくとも一方を行うことをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 基板表面上に電子デバイスの層を加工するための装置であって、前記層は、前記基板表面上に液体を離散液滴の形態で印刷するようにプリンタを使用して形成され、前記液滴は、連続液体コートを形成するように拡散および混合し、前記液滴は、前記基板表面上での拡散特性によって特徴付けられ、前記装置は、少なくとも1つのプロセッサと、非一過性の記憶装置に保存された命令とを備え、前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、
前記拡散特性を表すデータを受信することと、
前記層の所望の厚さを受信することと、
前記拡散特性に基づき、前記所望の厚さ以下である処理後の前記層の高さに帰結する最大液滴サイズを、複数の可能液滴サイズから選択することと、
前記データに応じて、前記基板表面の単位面積あたりの前記液体の体積を計算することであって、単位面積あたりの前記液体の前記体積は、前記基板表面の前記単位面積内に空隙を有していない様式で前記基板表面上に前記連続液体コートを生成するために必要である、ことと、
前記所望の厚さに応じて、単位面積あたりの前記液体の前記体積をスケーリングすることと、
単位面積あたりの前記スケーリング後の体積を生成するために必要な単位面積あたりの前記液滴の数を決定することと、
ノズル発射決定を、単位面積あたりの前記液滴の数に応じてプリンタ内のプリントヘッドの個別のノズルに割り当てることと、
前記割り当てられたノズル発射決定に従って、前記プリンタに前記液滴を印刷させることと、
前記連続液体コートを、前記層を形成するように処理させることと
を行わせる、装置。 - 前記可能液滴サイズは、各ノズルが個別のノズル制御信号に応じて生成することができる液滴サイズであり、
前記最大液滴サイズを選択することは、
前記可能液滴サイズのうちの少なくとも2つについて、前記基板表面の前記単位面積内に空隙を有していない様式で前記基板表面上に前記連続液体コートを生成するために必要な前記基板表面の単位面積あたりの液滴の相当数を決定することと、
前記処理に続いて前記所望の厚さ以下の厚さを有する前記層を生成するために前記液滴サイズが充分に小さいかどうかを判定することと
を含む、請求項15に記載の装置。 - 前記可能液滴サイズは、前記可能液滴サイズのうちの最小サイズの倍数であり、
前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、前記選定された液滴サイズを前記最小サイズの関数として伝達させる様式で前記ノズル制御信号を生成させるものである、請求項16に記載の装置。 - 前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、ソフトウェアルーチンを呼び出させ、前記選定された液滴サイズを前記ソフトウェアに識別する様式で前記ノズル発射決定を割り当てさせるものであり、
前記プリンタは、前記選定されたサイズの液滴を堆積させるように前記ノズル発射決定に応答する、請求項16に記載の装置。 - 前記所望の膜厚さは、4.0ミクロン以下であり、
前記選定された液滴サイズは、7.0ピコリットル以下である期待体積を有する、請求項18に記載の装置。 - 前記プリンタは、印刷グリッドの節点において前記液滴を印刷するものであり、前記印刷グリッドの前記節点の間のクロススキャン間隔は、クロススキャン方向への前記液滴のうちの隣接するものの間に最小間隔を画定し、前記印刷グリッドの前記節点の間のインスキャン間隔は、インスキャン方向への前記液滴のうちの隣接するものの間に最小間隔を画定し、前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、
前記所望の厚さに応じて、前記クロススキャン間隔または前記インスキャン間隔のうちの少なくとも1つを選択的に変動させるものである、請求項15に記載の装置。 - 前記プリンタは、前記インスキャン方向に対して前記基板または前記プリントヘッドのうちの少なくとも1つを選択的に回転させるための機構を含み、前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、
前記機構に、前記インスキャン方向に対して前記基板または前記プリントヘッドのうちの少なくとも1つを回転させ、前記クロススキャン方向へ前記印刷グリッドの前記節点の間の前記間隔を変動させること
を行わせ、
前記プリンタは、前記変動された間隔に従って前記基板上に前記離散液滴を印刷するものである、請求項20に記載の装置。 - 前記プリンタは、前記個別のノズル発射決定に従って前記ノズルのそれぞれの発射をトリガするタイミング信号を生成する回路を備え、前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、前記回路を制御させて前記タイミング信号の周波数を変動させ、スキャン速度を考慮して、前記インスキャン方向へ前記印刷グリッドの前記節点の間の前記間隔を変動させるものである、請求項20に記載の装置。
- 前記命令は、実行されると、前記プリンタに、基板上に試験パターンを印刷させるものであり、前記少なくとも1つのプロセッサによって受信される前記拡散特性を表す前記データは、前記印刷された試験パターンの光学測定に依存する、請求項15に記載の装置。
- 前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、前記所望の厚さに応じて、前記液滴のサイズを選択的に変動させるものである、請求項15に記載の装置。
- 前記命令は、実行されると、前記連続液体コートを紫外線で硬化させるかまたは焼成することにより処理させるものである、請求項15に記載の装置。
- 前記命令は、実行されると、前記少なくとも1つのプロセッサに、前記層が前記所望の厚さ以下に生成されない場合に、(a)印刷で使用するための異なる液滴サイズの選択または(b)前記液滴が前記プリンタにより印刷される際に従う印刷グリッドの少なくとも1つの間隔の変更のうちの少なくとも一方を行わせるものである、請求項15に記載の装置。
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