JP6958356B2 - 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図7を用いて説明する。
次に、第2の実施形態に係る液晶露光装置について、図8を用いて説明する。第2の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板エンコーダシステム160の構成が異なる点を除き、上記第1の実施形態と同じであるので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (17)
- 投影光学系を介して照明光により物体を露光する露光装置であって、
前記投影光学系の下方に配置され、前記物体を保持する第1移動体と、
前記投影光学系の光軸と直交する所定平面内で互いに直交する第1、第2方向に関して前記第1移動体を移動させる第1駆動部と、
前記所定平面内で移動可能な第2移動体と、
前記露光装置に設けられ、前記所定平面内における前記第1移動体の移動の基準となる基準部材と、
前記第2移動体に対する前記第1移動体の相対位置情報となる第1情報と、前記基準部材に対する前記第2移動体の相対位置情報となる第2情報と、前記第1、第2情報に基づいて前記基準部材に対する前記第1移動体の相対位置情報となる第3情報を計測する計測部と、
前記第1、第2方向に関して前記第2移動体を移動させる第2駆動部と、を備え、
前記第2駆動部は、前記計測部による前記第1、第2情報の計測中に、前記第1駆動部により前記第1移動体が前記第1方向へ移動されているときに、前記第2移動体を前記第1方向に移動させ、または前記第1駆動部により前記第1移動体が前記第2方向へ移動されているときに、前記第2移動体を前記第2方向へ移動させ、
前記第1駆動部は、前記計測部により計測された前記第3情報に基づいて前記所定平面内で前記第1移動体を移動させる、露光装置。 - 前記計測部は、前記第1情報を計測する第1計測部と、前記第2情報を計測する第2計測部とを有し、
前記第1計測部は、前記第1移動体に被検出部あるいは被検出部を検出する検出部の一方を設け、前記第2移動体に前記被検出部あるいは前記検出部の他方を設け、前記検出部による前記被検出部の検出結果により前記第1情報を計測する請求項1に記載の露光装置。 - 前記第2駆動部は、前記第1計測部で計測された前記第1情報に基づいて、前記第2移動体を移動させる請求項2に記載の露光装置。
- 前記被検出部は、格子領域を有する第1格子部材であり、
前記検出部は、前記第1格子部材に対して第1計測ビームを照射する第1ヘッドであり、前記第1計測ビームが前記第1格子部材に照射される前記第1ヘッドの計測情報を前記検出結果とする請求項2または3に記載の露光装置。 - 前記被検出部は、計測マークであり、
前記検出部は、前記計測マークを検出する撮像部を有する、請求項2または3に記載の露光装置。 - 前記第1計測部は、前記第1移動体に前記被検出部を設け、前記第2移動体に前記検出部を設ける、請求項2〜5のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1計測部は、前記第1移動体に前記検出部を設け、前記第2移動体に前記被検出部を設ける、請求項2〜5のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2計測部は、
複数の格子領域を有する第2格子部材と、
前記第2格子部材に対して第2計測ビームを照射し、かつ前記第2移動体に設けられ、前記所定平面内で移動可能な第2ヘッド、を有し、
前記第2ヘッドから前記第2格子部材に対して照射された前記第2計測ビームにより計測された前記第2格子部材に対する前記第2ヘッドが設けられた前記第2移動体の相対位置情報に基づいて前記第2情報を計測する、請求項2〜7のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記被検出部は、格子領域を有する第1格子部材であり、
前記第1格子部材は、前記第1方向に関する長さが前記第2格子部材よりも短い請求項8に記載の露光装置。 - 前記第2計測部は、複数の前記第2格子部材を前記第2方向に関して互いに離して配置する、請求項8または9に記載の露光装置。
- 前記基準部材は、前記投影光学系を支持し、
前記第2計測部は、前記第2情報を計測する請求項2〜10のいずれか一項に記載の露光装置。 - 所定のパターンを保持するパターン保持体と、前記パターン保持体を前記第1方向に駆動する第3駆動部とを有し、エネルギビームを用いて前記パターン保持体を介して前記物体に前記パターンを形成する形成装置を備える請求項1〜11のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる露光基板である請求項12に記載の露光装置。
- 前記露光基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項13に記載の露光装置。
- 請求項13又は14に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項12に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 投影光学系を介して照明光により物体を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の下方に配置され、前記物体を保持する第1移動体を、第1駆動部により前記投影光学系の光軸と直交する所定平面内で互いに直交する第1、第2方向に関して移動させることと、
計測部により前記所定平面内で移動可能な第2移動体に対する前記第1移動体の相対位置情報となる第1情報と、前記所定平面内における前記第1移動体の基準となる基準部材に対する前記第2移動体の相対位置情報となる第2情報と、前記第1、第2情報とに基づいて前記基準部材に対する前記第1移動体の相対位置情報となる第3情報を計測することと、
前記第2移動体を、第2駆動部により前記第1、第2方向に関して移動させることと、
前記第1、第2情報の計測中に、前記第1駆動部により前記第1移動体が前記第1方向へ移動されているときに、前記第2駆動部により前記第2移動体を前記第1方向へ移動させること、もしくは前記第1駆動部により前記第1移動体が前記第2方向へ移動されているときに、前記第2駆動部により前記第2移動体を前記第2方向へ移動させることと、
前記第1駆動部は、前記計測部により計測された前記第3情報に基づいて前記所定平面内で前記第1移動体を移動させることと、を含む露光方法。
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