JP6952176B2 - 時間的圧縮感知システム - Google Patents
時間的圧縮感知システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6952176B2 JP6952176B2 JP2020187927A JP2020187927A JP6952176B2 JP 6952176 B2 JP6952176 B2 JP 6952176B2 JP 2020187927 A JP2020187927 A JP 2020187927A JP 2020187927 A JP2020187927 A JP 2020187927A JP 6952176 B2 JP6952176 B2 JP 6952176B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- time
- data
- radiation
- sample
- sensor array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007906 compression Methods 0.000 title claims description 109
- 230000006835 compression Effects 0.000 title claims description 109
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 title claims description 58
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 116
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 112
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 103
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 claims description 84
- 238000013480 data collection Methods 0.000 claims description 65
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 38
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 24
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 21
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 12
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 claims description 12
- 238000009432 framing Methods 0.000 claims description 11
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 10
- 238000005457 optimization Methods 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 10
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims description 10
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 9
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 9
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 8
- 238000000619 electron energy-loss spectrum Methods 0.000 claims description 7
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 5
- 238000005430 electron energy loss spectroscopy Methods 0.000 claims description 4
- 241000252073 Anguilliformes Species 0.000 claims 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 120
- 238000004627 transmission electron microscopy Methods 0.000 description 34
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 23
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 20
- 238000003491 array Methods 0.000 description 18
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 18
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 18
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 15
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 15
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 12
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 11
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 11
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 10
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 230000014616 translation Effects 0.000 description 7
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000001350 scanning transmission electron microscopy Methods 0.000 description 5
- 238000013169 thromboelastometry Methods 0.000 description 5
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 5
- 238000000701 chemical imaging Methods 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 4
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 3
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 238000005094 computer simulation Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 238000013178 mathematical model Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000035807 sensation Effects 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000003325 tomography Methods 0.000 description 3
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 3
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 3
- 241000321453 Paranthias colonus Species 0.000 description 2
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000013144 data compression Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000000724 energy-dispersive X-ray spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 238000010801 machine learning Methods 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 2
- 238000012549 training Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003332 Raman imaging Methods 0.000 description 1
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000011481 absorbance measurement Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000012152 algorithmic method Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010205 computational analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000002447 crystallographic data Methods 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000001941 electron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000556 factor analysis Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000000799 fluorescence microscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- VKYKSIONXSXAKP-UHFFFAOYSA-N hexamethylenetetramine Chemical compound C1N(C2)CN3CN1CN2C3 VKYKSIONXSXAKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- 238000003331 infrared imaging Methods 0.000 description 1
- 238000002595 magnetic resonance imaging Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010454 slate Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- -1 tungsten halogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000010865 video microscopy Methods 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/36—Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements
- G02B21/365—Control or image processing arrangements for digital or video microscopes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T11/00—2D [Two Dimensional] image generation
- G06T11/003—Reconstruction from projections, e.g. tomography
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/222—Image processing arrangements associated with the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/22—Treatment of data
- H01J2237/221—Image processing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/22—Treatment of data
- H01J2237/226—Image reconstruction
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/24455—Transmitted particle detectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/262—Non-scanning techniques
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2802—Transmission microscopes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
本願は、米国仮出願第62/258,194号(2015年11月20日出願)の利益を主張し、上記出願は、参照により本明細書に組み込まれる。
本発明は、アメリカ合衆国エネルギー省による許可番号DE−SC0013104下、合衆国政府の支援によって為された。
例えば、本願は以下の項目を提供する。
(項目1)
時間的圧縮感知のための方法であって、前記方法は、
a)ある強度を有する放射線を源からサンプルまたは場面に差し向けることと、
b)1つ以上のデータ収集期間に対してセンサアレイデータを捕捉することであって、前記1つ以上のデータ収集期間の各々内で、前記サンプルまたは場面によって透過され、反射され、弾性的に散乱され、または非弾性的に散乱される前記放射線のパターンの異なる線形の組み合わせに対応する1つ以上の測定データセットが、一連のタイムスライスに対して捕捉される、ことと、
c)前記1つ以上のデータ収集期間の各々内の前記一連の前記タイムスライスの各々に対してタイムスライスデータセットを再構築することであって、前記再構築することは、
i)各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットと、
ii)一連の係数であって、前記一連の係数は、前記データ収集期間内に前記サンプルまたは場面に差し向けられる前記源からの前記放射線の前記強度の既知の時間依存性、または、前記データ収集期間内に前記サンプルまたは場面によって透過され、反射され、弾性的に散乱され、または非弾性的に散乱される前記放射線を前記センサアレイの異なる領域に切り替えるための既知の時間依存性を表し、前記係数は、タイムスライスおよび前記センサアレイの領域の関数として変動するが、前記センサアレイ内または前記センサアレイの所与の領域内の所与のピクセルのための空間位置から独立している、一連の係数と、
iii)各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットおよび前記一連の係数から前記タイムスライスデータセットを計算するアルゴリズムと
を使用する、ことと、
それによって、前記1つ以上のデータ収集期間の各々に対する一連のタイムスライスデータセットを提供することと
を含み、
前記一連のタイムスライスデータセットは、前記データ収集期間の長さによって決定される時間分解能を超える時間分解能を有する、方法。
(項目2)
前記放射線は、レーザ、フォトカソード、電子銃、またはそれらの任意の組み合わせである源からのものである、項目1に記載の方法。
(項目3)
前記センサアレイは、1次元センサアレイ、2次元センサアレイ、センサアレイチップ上に複数の測定データセットを記憶するセンサアレイ、またはそれらの任意の組み合わせである、項目1−2のいずれか1項に記載の方法。
(項目4)
前記センサアレイは、電荷結合素子(CCD)センサ、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)センサ、CMOSフレーミングカメラ、フォトダイオードアレイ、またはそれらの任意の組み合わせを備えている2次元センサアレイである、項目1−3のいずれか1項に記載の方法。
(項目5)
前記センサアレイは、前記放射線を前記センサアレイによって直接検出可能な放射線に変換する非線形光学材料、蛍光材料、リン光性材料、またはマイクロチャネルプレートをさらに備えている、項目1−4のいずれか1項に記載の方法。
(項目6)
前記タイムスライスデータセットを再構築するために使用される前記アルゴリズムは、l1ノルム、非ゼロ係数の総数、全変動、もしくは事前のベータプロセスを介して劣決定連立一次方程式の非スパース解にペナルティを科す最適化アルゴリズム、反復貪欲回復アルゴリズム、辞書学習アルゴリズム、確率ベイジアンアルゴリズム、変分ベイジアンアルゴリズム、またはそれらの任意の組み合わせである、項目1−5のいずれか1項に記載の方法。
(項目7)
少なくともまたは少なくとも約10個のタイムスライスデータセットが、各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットから再構築される、項目1−6のいずれか1項に記載の方法。
(項目8)
前記2次元センサアレイは、毎秒少なくともまたは少なくとも約100フレームの有効データ収集および読み出し速度で動作する、項目1−7のいずれか1項に記載の方法。
(項目9)
前記放射線は、電子を備え、前記センサアレイは、電荷結合素子(CCD)センサ、画像強化電荷結合素子(ICCD)センサ、電子エネルギー損失分光計における検出器(EELS)、またはそれらの任意の組み合わせである、項目1−8のいずれか1項に記載の方法。
(項目10)
前記放射線は、電子を備え、前記センサアレイは、エネルギー分散型X線分光計(EDX)における検出器によって置換される、項目1−9のいずれか1項に記載の方法。
(項目11)
前記タイムスライスデータセットは、透過型電子顕微鏡画像データの再構築されたフレームを備えている、項目1−10のいずれか1項に記載の方法。
(項目12)
前記タイムスライスデータセットは、透過型電子顕微鏡回折パターンデータの再構築されたフレームを備えている、項目1−11のいずれか1項に記載の方法。
(項目13)
前記タイムスライスデータセットは、透過型電子顕微鏡電子エネルギー損失スペクトルデータの再構築されたフレームを備えている、項目1−12のいずれか1項に記載の方法。
(項目14)
前記タイムスライスデータセットは、走査型電子顕微鏡画像データまたは透過型電子顕微鏡エネルギー分散型X線スペクトルデータの再構築されたフレームを備えている、項目1−13のいずれか1項に記載の方法。
(項目15)
再構築されるべきタイムスライスデータセットの数は、前記タイムスライスデータセットの計算中に調節される、項目1−14のいずれか1項に記載の方法。
(項目16)
再構築されるべきタイムスライスデータセットの数は、前記測定データセットを捕捉することに先立って、各々が異なる数のタイムスライスを伴うさまざまな測定行列係数を計算することによって最適化される、項目1−15のいずれか1項に記載の方法。
(項目17)
一連のタイムスライスに対して前記サンプルまたは場面によって透過され、反射され、弾性的に散乱され、または非弾性的に散乱される前記放射線のパターンの前記異なる線形の組み合わせは、時間的様式で前記放射線強度以外の実験パラメータを変調することによって生成される、項目1−16のいずれか1項に記載の方法。
(項目18)
時間的に変調されるべき前記実験パラメータは、前記サンプルまたは場面の回転の向き、1次元での前記サンプルまたは場面の線形平行移動、2次元での前記サンプルまたは場面の線形平行移動、および3次元での前記サンプルまたは場面の線形平行移動、またはそれらの任意の組み合わせから成る群から選択される、項目17に記載の方法。
(項目19)
前記放射線は、狭いビームに集束され、時間的に変調されるべき前記実験パラメータは、前記サンプルまたは場面に対する前記ビームの位置である、項目17に記載の方法。
(項目20)
前記一連の係数は、前記データ収集期間内に前記サンプルまたは場面に差し向けられる前記源からの前記放射線の前記強度の既知の空間依存性および時間依存性、または、前記源からの前記放射線の前記強度の既知の空間依存性および前記データ収集期間内に前記サンプルまたは場面によって透過され、反射され、弾性的に散乱され、または非弾性的に散乱される前記放射線を前記センサアレイの異なる領域に切り替えるための既知の時間依存性を表す、項目1−19のいずれか1項に記載の方法。
(項目21)
時間的圧縮感知のためのシステムであって、前記システムは、
a)サンプルまたは場面に差し向けられるある強度を有する放射線を提供する放射線源と、
b)前記サンプルまたは場面による透過、反射、弾性散乱、または非弾性散乱後の前記放射線を検出するセンサアレイと、
c)前記サンプルまたは場面とのその相互作用に先立って、前記放射線源によって生成される前記放射線の前記強度を急速に変調する機構、または、前記サンプルまたは場面によって透過され、反射さる、弾性的に散乱され、または非弾性的に散乱される前記放射線を前記センサアレイの異なる領域に急速に切り替える機構と、
d)1つ以上のコンピュータプロセッサと
を備え、
前記1つ以上のコンピュータプロセッサは、
(i)1つ以上のデータ収集期間に対してセンサアレイデータを捕捉することであって、各データ収集期間内で、一連のタイムスライスに対する透過され、反射され、弾性的に散乱され、または非弾性的に散乱される放射線のパターンの異なる線形の組み合わせに対応する1つ以上の測定データセットが捕捉される、ことと、
(ii)前記1つ以上のデータ収集期間の各々内の前記一連の前記タイムスライスの各々に対してタイムスライスデータセットを再構築することであって、前記再構築することは、
1)各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットと、
2)一連の係数であって、前記一連の係数は、前記データ収集期間内に前記サンプルまたは場面に差し向けられる前記源からの前記放射線の前記強度の既知の時間依存性、または、前記データ収集期間内に前記サンプルまたは場面によって透過され、反射され、弾性的に散乱され、または非弾性的に散乱される前記放射線を前記センサアレイの異なる領域に切り替えるための既知の時間依存性を表し、前記係数は、タイムスライスおよび前記センサアレイの領域の関数として変動するが、前記センサアレイ内または前記センサアレイの所与の領域内の所与のピクセルのための空間位置から独立している、一連の係数と、
3)各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットおよび前記一連の係数から前記タイムスライスデータセットを計算するアルゴリズムと
を使用する、ことと、
それによって、前記1つ以上のデータ収集期間の各々に対する一連のタイムスライスデータセットを提供することと
を行い、
前記一連のタイムスライスデータセットは、前記データ収集期間の長さによって決定される時間分解能を超える時間分解能を有する、システム。
(項目22)
時間的圧縮感知のためのシステムであって、前記システムは、
a)サンプルまたは場面に差し向けられる放射線を提供する放射線源と、
b)前記サンプルまたは場面による透過、反射、弾性散乱、または非弾性散乱後の前記放射線を検出するセンサアレイと、
c)前記放射の方向に対して、前記サンプルまたは場面の1次元、2次元、もしくは3次元平行移動位置または回転の向き、または、それらの任意の組み合わせを急速に変調する機構と、
d)1つ以上のコンピュータプロセッサと
を備え、
前記1つ以上のコンピュータプロセッサは、
(i)1つ以上のデータ収集期間に対してセンサアレイデータを捕捉することであって、各データ収集期間内で、一連のタイムスライスに対する透過され、反射され、弾性的に散乱され、または非弾性的に散乱される放射線のパターンの異なる線形の組み合わせに対応する1つ以上の測定データセットが捕捉される、ことと、
(ii)前記1つ以上のデータ収集期間の各々内の前記一連の前記タイムスライスの各々に対してタイムスライスデータセットを再構築することであって、前記再構築することは、
1)各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットと、
2)一連の係数であって、前記一連の係数は、前記データ収集期間内の前記サンプルまたは場面の平行移動位置または回転の向きの既知の時間依存性を表す、一連の係数と、
3)各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットおよび前記一連の係数から前記タイムスライスデータセットを計算するアルゴリズムと
を使用する、ことと、
それによって、前記1つ以上のデータ収集期間の各々に対する一連のタイムスライスデータセットを提供することと
を行い、
前記一連のタイムスライスデータセットは、前記データ収集期間の長さによって決定される時間分解能を超える時間分解能を有する、システム。
(項目23)
前記放射線源は、レーザ、フォトカソード、電子銃、またはそれらの任意の組み合わせである、項目21−22のいずれか1項に記載のシステム。
(項目24)
前記センサアレイは、1次元センサアレイ、2次元センサアレイ、チップ上に複数の測定データセットを記憶するセンサアレイ、またはそれらの任意の組み合わせである、項目21−23のいずれか1項に記載のシステム。
(項目25)
前記センサアレイは、電荷結合素子(CCD)センサ、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)センサ、CMOSフレーミングカメラ、フォトダイオードアレイ、またはそれらの任意の組み合わせを備えている2次元センサアレイである、項目21−24のいずれか1項に記載のシステム。
(項目26)
前記センサアレイは、前記放射線源からの前記信号を前記センサアレイによって直接検出可能な放射線に変換する非線形光学材料、蛍光材料、リン光性材料、またはマイクロチャネルプレートをさらに備えている、項目21−25のいずれか1項に記載のシステム。
(項目27)
前記タイムスライスデータセットを再構築する前記アルゴリズムは、l1ノルム、非ゼロ係数の総数、全変動、もしくは事前のベータプロセスを介して劣決定連立一次方程式の非スパース解にペナルティを科す最適化アルゴリズム、反復貪欲回復アルゴリズム、辞書学習アルゴリズム、確率ベイジアンアルゴリズム、変分ベイジアンアルゴリズム、またはそれらの任意の組み合わせである、項目21−26のいずれか1項に記載のシステム。
(項目28)
少なくともまたは少なくとも約10個のタイムスライスデータセットが、各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットから再構築される、項目21−27のいずれか1項に記載のシステム。
(項目29)
前記2次元センサアレイは、毎秒少なくともまたは少なくとも約100フレームの有効データ収集および読み出し速度で動作する、項目21−28のいずれか1項に記載のシステム。
(項目30)
前記タイムスライスデータセットは、ビデオ画像データの再構築されたフレームを備えている、項目21−29のいずれか1項に記載のシステム。
(項目31)
前記放射線は、電子を備え、前記センサアレイは、電荷結合素子(CCD)センサ、画像強化電荷結合素子(ICCD)センサ、電子エネルギー損失分光計における検出器(EELS)、またはそれらの任意の組み合わせである、項目21−30のいずれか1項に記載のシステム。
(項目32)
前記放射線は、電子を備え、前記センサアレイは、エネルギー分散型X線分光計(EDX)における検出器によって置換される、項目21−31のいずれか1項に記載のシステム。
(項目33)
前記タイムスライスデータセットは、透過型電子顕微鏡画像データの再構築されたフレームを備えている、項目21−32のいずれか1項に記載のシステム。
(項目34)
前記タイムスライスデータセットは、透過型電子顕微鏡回折パターンデータの再構築されたフレームを備えている、項目21−33のいずれか1項に記載のシステム。
(項目35)
前記タイムスライスデータセットは、透過型電子顕微鏡電子エネルギー損失スペクトルデータの再構築されたフレームを備えている、項目21−34のいずれか1項に記載のシステム。
(項目36)
前記タイムスライスデータセットは、走査型電子顕微鏡画像データまたは透過型電子顕微鏡エネルギー分散型X線スペクトルデータの再構築されたフレームを備えている、項目21−35のいずれか1項に記載のシステム。
(項目37)
再構築されるべきタイムスライスデータセットの数は、前記タイムスライスデータセットの計算中に調節される、項目21−36のいずれか1項に記載のシステム。
(項目38)
再構築されるべきタイムスライスデータセットの数は、前記測定データセットを捕捉することに先立って、各々が異なる数のタイムスライスを伴うさまざまな測定行列係数を計算することによって最適化される、項目21−37のいずれか1項に記載のシステム。
(項目39)
前記放射線は、狭いビームに集束され、前記機構は、前記サンプルまたは場面に対して前記ビームの位置を急速に変調する、項目22に記載のシステム。
(項目40)
前記一連の係数は、前記データ収集期間内に前記サンプルまたは場面に差し向けられる前記源からの前記放射線の前記強度の既知の空間依存性および時間依存性、または、前記源からの前記放射線の前記強度の既知の空間依存性および前記データ収集期間内に前記サンプルまたは場面によって透過され、反射され、弾性的に散乱され、または非弾性的に散乱される前記放射線を前記センサアレイの異なる領域に切り替えるための既知の時間依存性を表す、項目21−39のいずれか1項に記載のシステム。
本明細書で記述される全ての刊行物、特許、および特許出願は、各個々の刊行物、特許、または特許出願が、参照することによってそれらの全体として組み込まれるように具体的かつ個別に示された場合と同一の程度に、参照することによってそれらの全体として本明細書に組み込まれる。本明細書の用語と組み込まれた参考文献内の用語との間の対立の場合には、本明細書の用語が優先する。
and Chemical Imaging 1:10を参照)。TEMにおいて符号化開口ビデオ圧縮感知を実装することの実際的制限は、多大となっており、多大であり続けるであろう。符号化開口ビデオ圧縮を実装するために要求されるシステム修正は、高価かつ高度に侵襲性の両方であり得、頻繁(かつ潜在的に困難)な保守ならびに再較正ステップを要求し得る。本アプローチの実用性は、したがって、公開された計算研究では考慮されていない、物理的考慮事項(充電、汚染、限定された分解能等)によって限定される可能性が高いであろう。
本開示は、本開示の方法を実装するようにプログラムされる、コンピュータ制御システムを提供する。図9は、単一コアもしくはマルチコアプロセッサ、または並列処理のための複数のプロセッサであることができる、中央処理装置(CPU、また、本明細書では「プロセッサ」および「コンピュータプロセッサ」)905を含み、1つ以上のグラフィックス処理装置(GPU)もしくはGPU様並列計算コンポーネント、または量子計算コンポーネントもしくは光学計算コンポーネント、または電気光学計算コンポーネントを含み得る、コンピュータシステム901を示す。コンピュータシステム901はまた、メモリまたはメモリ場所910(例えば、ランダムアクセスメモリ、読取専用メモリ、フラッシュメモリ)、電子記憶ユニット915(例えば、ハードディスク)、1つ以上の他のシステムと通信するための通信インターフェース920(例えば、ネットワークアダプタ)、ならびにキャッシュ、他のメモリ、データ記憶装置、および/または電子ディスプレイアダプタ等の周辺デバイス925を含む。メモリ910、記憶ユニット915、インターフェース920、および周辺デバイス925は、マザーボード等の通信バス(実線)を通してCPU905と通信している。記憶ユニット915は、データを記憶するためのデータ記憶ユニット(またはデータリポジトリ)であることができる。コンピュータシステム901は、通信インターフェース920の助けを借りて、コンピュータネットワーク(「ネットワーク」)930に動作可能に結合されることができる。ネットワーク930は、インターネット、インターネットおよび/またはエクストラネット、もしくはインターネットと通信しているイントラネットおよび/またはエクストラネットであることができる。ネットワーク930は、ある場合には、電気通信および/またはデータネットワークである。ネットワーク930は、クラウドコンピューティング等の分散コンピューティングを可能にし得る、1つ以上のコンピュータサーバを含むことができる。ネットワーク930は、ある場合には、コンピュータシステム901の助けを借りて、コンピュータシステム901に結合されたデバイスがクライアントまたはサーバとして挙動することを可能にし得る、ピアツーピアネットワークを実装することができる。
(実施例1−コンピュータシミュレーション)
コンピュータシミュレーションは、方程式(3)によって表されるモデルに基づく時間ドメイン符号化時間的圧縮感知システムが、測定画像の数を有意に超えるタイムスライス画像の数を伴うビデオデータの再構築を提供し得ることを実証する。図1は、原位置引張亀裂伝搬実験(K.Hattar他、Sandia National Laboratoryの厚意による)からのTEM画像データの10個のフレームを図示する。(図2で概略的に図示される)10個のタイムスライス画像の異なる組み合わせが、例えば、TEMの中に配設される高速ビーム偏向システムを使用することによって、大面積カメラ上の4つの異なる領域に送信され、分析のために4つの測定画像フレームにデジタルでセグメント化される(図3)。本非限定的実施例では、高速ビーム偏向システムは、1つのカメラデータ収集期間内に(すなわち、単一の暴露中に)4つの測定画像フレームを収集する能力を提供する。16フレーム高速偏向器システムが、すでに利用可能であり、本実施例で図示される10/4=2.5値よりもはるかに大きい圧縮係数が達成可能であることが予期される。4つの測定された画像フレームへのスパースな数学的再構築技法の適用は、10個全てのタイムスライスフレームの信頼性のある推定値を提供する(図4)。同一のアルゴリズムが、微妙な詳細(例えば、故障前の応力集中領域中の回折コントラストの変化)ならびに全体的な不連続性(例えば、タイムスライス7からタイムスライス8への急激な変化)を捕捉する。シミュレーション結果は、単一の暴露周期からのビデオデータの10個のフレームの再構築を実証する。16フレーム高速偏向器システム(すなわち、カメラデータ収集期間につき16個のセグメント化された画像フレームを捕捉するもの)および約6倍圧縮率の使用が、単一の暴露につき再構築されたビデオデータの約100個のフレームを提供するであろう。
例証的(先見的)実施例として、急速サンプル後偏向器システム、比較的大型のカメラ(例えば、TEMデータ収集のために一般的に使用されるようなシンチレータおよび光ファイバ束を伴うCCDカメラ)、および随意のサンプル前ビームブランキングシステムを伴うTEMを考慮されたい。図5は、TEMの基本構成要素および機能の一般的な簡略図を描写する。電子源は、殆どの現在の器具について、典型的には、電子につき約80keV〜約300keVの運動エネルギーまで加速される、電子のビームを生成する。集光レンズシステムは、電子ビームの選択された一部を、対物レンズの中心の近傍に設置されるサンプル上に集束する。ビームは、サンプルを通過し、中間/投影レンズシステムは、データ収集システムによって捕捉されることができる画像または回折パターンのいずれかを生成する。データ収集システムは、典型的には、カメラ、またはそれ自体がカメラを含むポストカラムエネルギーフィルタシステムのいずれかである。エネルギーフィルタシステムは、エネルギーフィルタ付き収集および電子エネルギー損失分光法(EELS)能力をシステムに追加する。類似結果を生じる、他のシステム(例えば、インカラムエネルギーフィルタ)が存在する。収集システムは、典型的には、検出器を含むが、必ずしもシンチレータを伴うCCDカメラまたは直接検出CMOSカメラもしくは類似技術のいずれかを含むわけではない。本システムのデータ収集速度は、したがって、カメラの収集および読み出し時間(以降では「データ収集期間」または「カメラフレーム時間」)によって設定される。
別の例証的(先見的)実施例として、図8に図示されるように、電気光学変調器制御型切り替えネットワークを伴う光学カメラのセットを考慮されたい。電気光学変調器(EOM)および他の高速変調器(例えば、音響光学変調器(AOM))は、2つの異なる出力経路の間で光学信号を急速に切り替えるために使用されることができる。本切り替えは、(信号が2つの出力経路のうちの1つのみに進むように)2進様式で、または(各出力経路に送信される信号の割合を制御する能力を伴って)連続的様式で実装され得る。そのようなスイッチのネットワークは、それぞれ、それ自体がフル解像度カメラ(または分光システム)である、検出器のアレイにつながり得る。実空間撮像のためにそのようなシステムを設計することの工学複雑性は、高くあり得るが、時間分解分光法の分野での実装は、光ファイバシステムのための十分に開発されたEOM/AOMソリューションを利用することによって、より容易であり得る。光ファイバおよび変調器のネットワークは、分光計の平行アレイ(または事実上、平行アレイとして作用することができる大型2次元センサを伴う単一の分光計)をフィードし、電子制御システムは、各個々の分光計に送信されるタイムスライスの重畳を決定するであろう。本光学システムは、測定されているサンプルシステムの再現性に応じて、単一ショットまたはストロボモード(すなわち、着目プロセスの多くの公称上同じサイクルにわたって信号を蓄積する)のいずれかで動作し得る。
さらに別の例証的(先見的)実施例として、図7に図示されるようなピコ秒分解能任意波形レーザシステムを組み込む、ストロボ超高速TEMを考慮されたい。現在、ストロボ超高速TEMは、サンプルプローブとしてピコ秒スケール(またはサブピコ秒スケールまたはフェムト秒スケール)電子パルスを使用し、1つのそのようなプローブパルスは、ある高度に反復可能なサンプルプロセスのサイクル毎に起こる。時間分解測定が、何百万ものそのようなサンプルプロセスサイクルからデータを蓄積し、周期的サンプルプロセスの位相に対してプローブパルスの時間を偏移させ、測定されるタイムスライス毎に繰り返すことによって、行われる。何百ものそのようなタイムスライスを測定することは、したがって、研究されるサンプルプロセスの何十億ものサイクルにわたって測定を行うことを要求し得、これは、何時間もかかり得る。これは、サンプルプロセスの再現性およびサンプルならびに測定システムの両方の安定性に両方とも極度に高い要求を課す。代わりに、各測定がタイムスライスの恣意的重畳からデータを捕捉する場合、およびタイムスライスのそのような重畳を使用して複数の測定を行う場合には、事実上、方程式(3)に基づいて時間的圧縮感知システムを実装している。そのようなシステムは、波形の仕様において1ピコ秒またはそれよりも良好な分解能で、例えば、200ピコ秒のタイムスパンにわたって、光強度の任意の規定時間的パターンを生じることができるよう設計される、(米国特許第9,165,743号で説明されるものに類似するが、異なる時系列上で動作する)任意波形発生器(AWG)レーザシステムと、TEMのカソードを駆動する短パルスレーザを置換することによって、実現され得る。これは、2つの明確に異なる効果を通して実験的データ収集時間を短縮するであろう。第1に、サイクルにつき測定される信号の量が、大いに増加されるであろう。これは、そのようなシステムで使用されることができる電流(または単位時間あたりの電子)の量が、空間電荷効果(すなわち、電子が相互に反発し、したがって、パルスが電子銃からサンプルまで移動するにつれて、それを空間および時間の両方で広げさせるという事実)によって限定されるためである。提案される任意波形レーザシステムは、本電流限界が、サイクルにつき単一の約1ピコ秒タイムスライスについてだけでなく、複数のそのようなタイムスライスについても達成されることを可能にするであろう。CS理論によると、最適なデータサンプリングスループットが、典型的には、約50%のデューティサイクルにおいて起こるため、(200ピコ秒タイムスパンにつき)200個のタイムスライスの我々の実施例では、タイムスライスのうちの約100個が電子パルスで充填されるであろう一方で、残りは空であろう。したがって、サイクルあたりの電子の数は、本実施例では、ビーム品質または時間分解能の低下を伴わずに、単一パルスシステムについてよりも任意波形システムについてはほぼ100倍多いであろう。これは、所与の測定のための許容信号対雑音比に達するために、約100倍少ない測定サイクルが要求されるであろうことを意味する。第2に、N個のタイムスライスを再構築するために必要とされる測定の数Mが、Nよりもはるかに少ないはずであるような圧縮感知の固有の性質により、そのような測定の数も減少するはずである。典型的には、比M/Nは、約0.1であるが、これは用途によって大いに変動する。本比が超高速TEMに当てはまる場合には、M回の収集がそれぞれ、単一パルス/サイクルシステムよりも100倍少ない総収集時間を要するはずであるだけでなく、そのような収集の要求される数は、約1,000倍のデータ収集時間の全体的短縮のために、約10倍削減されるはずである。現在、何時間もの収集時間を要求しているデータセットは、レーザシステムの状態を変化させるために必要とされるオーバーヘッドさえも含んで、数分で収集され得る。これは、これらのシステムの性能の劇的改良を表す。
さらに別の例証的(先見的)実施例として、高速直接検出カメラ、例えば、直接電子検出能力を伴うCMOSフレーミングカメラ(例えば、各ピクセルにおける複数の容量ビンの使用を通してチップ上に複数の画像を記憶することができるカメラ、および任意の所与の時間に信号を蓄積しているビンのセットを決定する電子切り替えシステム)を組み込み、それによって、それが高速TEM用途に使用されることを可能にする、TEMシステムを考慮されたい。適切なチップレベル電子設計を用いて、そのような検出器は、方程式(3)によって表されるアプローチを実装し、さらなる複雑性を伴うと、方程式(4)または(5)によって直接表されるものさえも実装する。本フレーミングカメラアプローチはまた、X線検出および光学カメラにも使用され得る。
Claims (26)
- 時間的圧縮感知のための方法であって、前記方法は、
a)ある強度を有する放射線を源からサンプルまたは場面に差し向けることと、
b)1つ以上のデータ収集期間に対してセンサアレイデータを捕捉することであって、前記1つ以上のデータ収集期間のそれぞれにおいて、前記サンプルまたは場面によって透過され、反射され、弾性的に散乱され、または、非弾性的に散乱される前記放射線のパターンの異なる線形の組み合わせに対応する1つ以上の測定データセットが、一連のタイムスライスに対して捕捉される、ことと、
c)前記1つ以上のデータ収集期間のそれぞれにおける前記一連の前記タイムスライスのそれぞれに対してタイムスライスデータセットを再構築することであって、前記再構築することは、
i)各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットと、
ii)一連の係数であって、前記一連の係数は、前記データ収集期間内に前記サンプルまたは場面に差し向けられる前記源からの前記放射線の前記強度の既知の時間依存性を表し、前記係数は、タイムスライスおよび前記センサアレイの領域の関数として変動する線形の組み合わせを画定するが、前記センサアレイの所与の領域内の所与のピクセルのための空間位置から独立している、一連の係数と、
iii)各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットおよび前記一連の係数から前記タイムスライスデータセットを計算するアルゴリズムと
を使用する、ことと
を含み、
これにより、前記1つ以上のデータ収集期間のそれぞれに対する一連のタイムスライスデータセットを提供し、前記一連のタイムスライスデータセットは、前記データ収集期間の長さによって決定される時間分解能を超える時間分解能を有する、方法。 - 前記センサアレイは、電荷結合素子(CCD)センサ、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)センサ、CMOSフレーミングカメラ、フォトダイオードアレイ、または、これらの任意の組み合わせを備えている2次元センサアレイである、請求項1に記載の方法。
- 前記センサアレイは、前記放射線を前記センサアレイによって直接検出可能な放射線に変換する非線形光学材料、蛍光材料、リン光性材料、または、マイクロチャネルプレートをさらに備えている、請求項1〜2のいずれか一項に記載の方法。
- 前記タイムスライスデータセットを再構築するために使用される前記アルゴリズムは、l 1 ノルム、非ゼロ係数の総数、全変動、もしくは事前のベータプロセスを介して劣決定連立一次方程式の非スパース解にペナルティを科す最適化アルゴリズム、反復貪欲回復アルゴリズム、辞書学習アルゴリズム、確率ベイジアンアルゴリズム、変分ベイジアンアルゴリズム、または、これらの任意の組み合わせである、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも10個または少なくとも約10個のタイムスライスデータセットが、各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットから再構築される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記2次元センサアレイは、毎秒少なくとも100フレームまたは少なくとも約100フレームの有効データ収集および読み出し速度で動作する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記放射線は、電子を備え、前記センサアレイは、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)カメラ、電荷結合素子(CCD)センサ、画像強化電荷結合素子(ICCD)センサ、電子エネルギー損失分光計における検出器(EELS)、または、これらの任意の組み合わせである、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記タイムスライスデータセットは、透過型電子顕微鏡画像データ、透過型電子顕微鏡回折パターンデータ、透過型電子顕微鏡電子エネルギー損失スペクトルデータ、または、走査型電子顕微鏡画像データの再構築されたフレームを備えている、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 再構築されるべきタイムスライスデータセットの数は、前記タイムスライスデータセットの計算中に調節される、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 再構築されるべきタイムスライスデータセットの数は、前記測定データセットを捕捉することに先立って、それぞれが異なる数のタイムスライスを伴う測定行列係数の範囲を計算することによって最適化される、請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記放射線の強度以外の実験パラメータを時間的に変調することをさらに含む、請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 時間的に変調される前記実験パラメータは、前記サンプルまたは場面の回転の向き、1次元での前記サンプルまたは場面の線形平行移動、2次元での前記サンプルまたは場面の線形平行移動、3次元での前記サンプルまたは場面の線形平行移動、または、これらの任意の組み合わせからなる群から選択される、請求項11に記載の方法。
- 前記放射線は、狭いビームに集束され、時間的に変調される前記実験パラメータは、前記サンプルまたは場面に対する前記ビームの位置である、請求項11または請求項12に記載の方法。
- 前記一連の係数は、データ収集期間内で前記サンプルまたは場面に差し向けられる、前記源からの放射線の強度の既知の空間依存性および時間依存性を表す、請求項1〜13のいずれか一項に記載の方法。
- 時間的圧縮感知のためのシステムであって、前記システムは、
a)サンプルまたは場面に差し向けられるある強度を有する放射線を提供する放射線源と、
b)前記サンプルまたは場面による透過、反射、弾性散乱、または、非弾性散乱後の前記放射線を検出するセンサアレイと、
c)前記サンプルまたは場面とのその相互作用に先立って、前記放射線源によって生成される前記放射線の前記強度を急速に変調する機構、または、前記サンプルまたは場面によって透過され、反射され、弾性的に散乱され、または、非弾性的に散乱される前記放射線を前記センサアレイの異なる領域に急速に切り替える機構と、
d)1つ以上のコンピュータプロセッサと
を備え、
前記1つ以上のコンピュータプロセッサは、
(i)1つ以上のデータ収集期間に対してセンサアレイデータを捕捉することであって、各データ収集期間内で、一連のタイムスライスに対する透過され、反射され、弾性的に散乱され、または、非弾性的に散乱される放射線のパターンの異なる線形の組み合わせに対応する1つ以上の測定データセットが捕捉される、ことと、
(ii)前記1つ以上のデータ収集期間のそれぞれにおける各タイムスライスに対してタイムスライスデータセットを再構築することであって、前記再構築することは、
1)各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットと、
2)一連の係数であって、前記一連の係数は、前記放射線源によって生成され前記データ収集期間内に前記サンプルまたは場面に差し向けられる前記放射線の前記強度の既知の時間依存性を表し、前記係数は、タイムスライスおよび前記センサアレイの領域の関数として変動する線形の組み合わせを画定するが、前記センサアレイの所与の領域内の所与のピクセルのための空間位置から独立している、一連の係数と、
3)各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットおよび前記一連の係数から前記タイムスライスデータセットを計算するアルゴリズムであって、これにより、データ収集期間の長さによって決定される時間分解能を超える時間分解能を有する1つ以上のデータ収集期間のそれぞれに対する一連のタイムスライスデータセットを生成する、アルゴリズムと
を使用して行われる、ことと
を含む、システム。 - 前記放射線源は、レーザ、フォトカソード、電子銃、または、これらの任意の組み合わせである、請求項15に記載のシステム。
- 前記センサアレイは、電荷結合素子(CCD)センサ、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)センサ、CMOSフレーミングカメラ、フォトダイオードアレイ、または、これらの任意の組み合わせを備えている2次元センサアレイである、請求項15または請求項16に記載のシステム。
- 前記センサアレイは、請求項1の前記放射線源からの前記信号を前記センサアレイによって直接検出可能な放射線に変換する非線形光学材料、蛍光材料、リン光性材料、または、マイクロチャネルプレートをさらに備えている、請求項17に記載のシステム。
- 前記タイムスライスデータセットを再構築する前記アルゴリズムは、l 1 ノルム、非ゼロ係数の総数、全変動、もしくは事前のベータプロセスを介して劣決定連立一次方程式の非スパース解にペナルティを科す最適化アルゴリズム、反復貪欲回復アルゴリズム、辞書学習アルゴリズム、確率ベイジアンアルゴリズム、変分ベイジアンアルゴリズム、またはこれらの任意の組み合わせである、請求項15〜18のいずれか一項に記載のシステム。
- 少なくとも10個または少なくとも約10個のタイムスライスデータセットが、各データ収集期間に対して捕捉される前記1つ以上の測定データセットから再構築される、請求項15〜19のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記2次元センサアレイは、毎秒少なくとも100フレームまたは少なくとも約100フレームの有効データ収集および読み出し速度で動作する、請求項15〜20のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記放射線は、電子を備え、前記センサアレイは、電荷結合素子(CCD)センサ、画像強化電荷結合素子(ICCD)センサ、電子エネルギー損失分光計における検出器(EELS)、または、これらの任意の組み合わせである、請求項15〜21のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記タイムスライスデータセットは、透過型電子顕微鏡画像データ、透過型電子顕微鏡回折パターンデータ、透過型電子顕微鏡電子エネルギー損失スペクトルデータ、または、走査型電子顕微鏡画像データの再構築されたフレームを備えている、請求項15〜22のいずれか一項に記載のシステム。
- 再構築されるべきタイムスライスデータセットの数は、前記タイムスライスデータセットの計算中に調節される、請求項15〜23のいずれか一項に記載のシステム。
- 再構築されるべきタイムスライスデータセットの数は、前記測定データセットを捕捉することに先立って、それぞれが異なる数のタイムスライスを伴う測定行列係数の範囲を計算することによって最適化される、請求項15〜24のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記一連の係数は、データ収集期間内で前記サンプルまたは場面に差し向けられる、前記源からの放射線の強度の既知の空間依存性および時間依存性を表す、請求項15〜25のいずれか一項に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562258194P | 2015-11-20 | 2015-11-20 | |
US62/258,194 | 2015-11-20 | ||
JP2018526623A JP6794447B2 (ja) | 2015-11-20 | 2016-08-22 | 時間的圧縮感知システム |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018526623A Division JP6794447B2 (ja) | 2015-11-20 | 2016-08-22 | 時間的圧縮感知システム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021039947A JP2021039947A (ja) | 2021-03-11 |
JP2021039947A5 JP2021039947A5 (ja) | 2021-09-24 |
JP6952176B2 true JP6952176B2 (ja) | 2021-10-20 |
Family
ID=58718090
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018526623A Active JP6794447B2 (ja) | 2015-11-20 | 2016-08-22 | 時間的圧縮感知システム |
JP2020187927A Active JP6952176B2 (ja) | 2015-11-20 | 2020-11-11 | 時間的圧縮感知システム |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018526623A Active JP6794447B2 (ja) | 2015-11-20 | 2016-08-22 | 時間的圧縮感知システム |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US9841592B2 (ja) |
EP (1) | EP3378040A4 (ja) |
JP (2) | JP6794447B2 (ja) |
KR (1) | KR20180109861A (ja) |
CN (1) | CN108474755B (ja) |
AU (1) | AU2016357089B2 (ja) |
CA (1) | CA3005439A1 (ja) |
IL (1) | IL259375B (ja) |
WO (1) | WO2017087045A1 (ja) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016149676A1 (en) * | 2015-03-18 | 2016-09-22 | Battelle Memorial Institute | Electron beam masks for compressive sensors |
US10170274B2 (en) * | 2015-03-18 | 2019-01-01 | Battelle Memorial Institute | TEM phase contrast imaging with image plane phase grating |
EP3378040A4 (en) | 2015-11-20 | 2020-01-22 | Integrated Dynamic Electron Solutions, Inc. | TEMPORAL COMPRESSION DETECTION SYSTEMS |
WO2017189212A1 (en) | 2016-04-29 | 2017-11-02 | Battelle Memorial Institute | Compressive scanning spectroscopy |
EP3297018B1 (en) * | 2016-09-19 | 2019-03-27 | FEI Company | Tomographic imaging method |
US10539783B1 (en) * | 2016-10-17 | 2020-01-21 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Compressive sensing optical design and simulation tool |
US11032498B2 (en) * | 2017-03-17 | 2021-06-08 | The Regents Of The University Of Colorado, A Body | High speed two-dimensional imaging with an analog interface |
EP3392900B1 (en) | 2017-03-20 | 2020-03-11 | TESCAN Brno, s.r.o. | A method for automatically aligning a scanning transmission electron microscope for precession electron diffraction data mapping |
US10295677B2 (en) | 2017-05-08 | 2019-05-21 | Battelle Memorial Institute | Systems and methods for data storage and retrieval |
CN107547089B (zh) * | 2017-07-20 | 2020-08-07 | 西北工业大学 | 一种低能耗水声数据压缩与重构方法 |
CN107666322B (zh) * | 2017-09-08 | 2020-11-10 | 山东科技大学 | 一种基于字典学习的自适应微震数据压缩感知方法 |
US10267889B1 (en) * | 2017-11-15 | 2019-04-23 | Avalex Technologies Corporation | Laser source location system |
GB2571119B (en) * | 2018-02-18 | 2020-04-29 | Faraday Predictive Ltd | System and method for monitoring an operating condition of an electrical device when in operation |
TWI768191B (zh) | 2018-03-20 | 2022-06-21 | 美商泰斯坎坦佩公司 | 用於自動對準掃描透射電子顯微鏡以便旋進電子衍射資料映射的方法 |
EP3550585B1 (en) * | 2018-04-05 | 2021-06-23 | FEI Company | Studying dynamic specimens in a transmission charged particle microscope |
US10522323B2 (en) * | 2018-04-05 | 2019-12-31 | Fei Company | Electron energy loss spectroscopy with adjustable energy resolution |
US10989756B2 (en) * | 2018-04-09 | 2021-04-27 | The Regents Of The University Of California | Systems and methods using stroboscopic universal structure-energy flow correlation scattering microscopy |
EP3570060A1 (de) * | 2018-05-15 | 2019-11-20 | Siemens Healthcare GmbH | Verfahren zur rekonstruktion von magnetresonanztomographie-aufnahmen mit variabler zeitauflösung |
US11410324B2 (en) * | 2018-06-19 | 2022-08-09 | Kettering University | System and method for determining operating deflection shapes of a structure using optical techniques |
CN109545234B (zh) * | 2018-10-29 | 2023-09-26 | 重庆邮电大学 | 一种基于压缩感知的语音线谱频率编码及自适应快速重构方法 |
CN109871824B (zh) * | 2019-03-11 | 2022-06-21 | 西安交通大学 | 基于稀疏贝叶斯学习的超声导波多模态分离方法及其系统 |
CA3146827A1 (en) * | 2019-07-10 | 2021-01-14 | Integrated Dynamic Electron Solutions, Inc. | High framerate and high dynamic range electron microscopy |
CN110658179B (zh) * | 2019-10-09 | 2021-11-19 | 上海理工大学 | 基于多信号叠加和伪逆法的激光拉曼气体浓度检测方法 |
US11450508B2 (en) * | 2019-12-17 | 2022-09-20 | Fei Company | Comparative holographic imaging |
US11630218B1 (en) * | 2020-01-09 | 2023-04-18 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Mapping and imaging ionizing radiation in two and three dimensions |
US11513732B2 (en) | 2020-08-13 | 2022-11-29 | Raytheon Company | Fast data compression for systems with large dynamic ranges or other systems |
EP4006531B1 (en) * | 2020-11-27 | 2023-04-26 | JEOL Ltd. | X-ray detection apparatus and method |
KR20240055696A (ko) | 2021-04-16 | 2024-04-29 | 인터그레이티드 다이나믹 일렉트론 솔루션즈, 인크. | 전자 현미경 기술을 위한 임의의 전자 선량 파형 |
CN113379129B (zh) * | 2021-06-17 | 2022-09-20 | 青岛港国际股份有限公司 | 一种集装箱码头设备监测传感器安装选址方法 |
US20240095512A1 (en) * | 2022-09-15 | 2024-03-21 | Tetramem Inc. | Integrated sensing and machine learning processing devices |
US20240099023A1 (en) * | 2022-09-15 | 2024-03-21 | Tetramem Inc. | Integrated sensing and machine learning processing devices |
US11848173B1 (en) | 2023-01-31 | 2023-12-19 | Integrated Dynamic Electron Solutions, Inc. | Methods and systems for event modulated electron microscopy |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7646924B2 (en) | 2004-08-09 | 2010-01-12 | David Leigh Donoho | Method and apparatus for compressed sensing |
US20060239336A1 (en) | 2005-04-21 | 2006-10-26 | Baraniuk Richard G | Method and Apparatus for Compressive Imaging Device |
US7271747B2 (en) | 2005-05-10 | 2007-09-18 | Rice University | Method and apparatus for distributed compressed sensing |
US8687689B2 (en) | 2005-10-25 | 2014-04-01 | William Marsh Rice University | Method and apparatus for on-line compressed sensing |
KR101000786B1 (ko) * | 2008-07-03 | 2010-12-14 | 한국과학기술원 | 움직임 추정 및 움직임 보상을 이용한 압축 센싱 기반 동적자기공명 영상기법 |
US8458109B2 (en) * | 2009-05-27 | 2013-06-04 | Yin Zhang | Method and apparatus for spatio-temporal compressive sensing |
US7834795B1 (en) * | 2009-05-28 | 2010-11-16 | Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. | Compressive sensor array system and method |
WO2011071958A2 (en) | 2009-12-07 | 2011-06-16 | William Marsh Rice University | Apparatus and method for compressive imaging and sensing through multiplexed modulation |
US20130070138A1 (en) | 2010-02-22 | 2013-03-21 | Richard G Baraniuk | Number Of Pixels In Detector Arrays Using Compressive Sensing |
RU2571564C2 (ru) * | 2010-06-21 | 2015-12-20 | Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. | Способ и система для выполнения визуализации методом низкодозовой компьютерной томографии |
EP2584971B1 (en) * | 2010-06-23 | 2021-11-10 | Analog Devices, Inc. | Ultrasound imaging with analog processing |
CN102959388B (zh) * | 2010-06-24 | 2016-02-24 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 利用压缩感测重建的动态对比度增强mr成像 |
US8559688B2 (en) * | 2010-06-30 | 2013-10-15 | General Electric Company | System and method for processing data signals |
US8860835B2 (en) * | 2010-08-11 | 2014-10-14 | Inview Technology Corporation | Decreasing image acquisition time for compressive imaging devices |
US8775490B2 (en) | 2011-02-04 | 2014-07-08 | Alcatel Lucent | Method and apparatus for compressive sensing with reduced compression complexity |
CN102393248B (zh) * | 2011-10-26 | 2013-09-11 | 中国科学院空间科学与应用研究中心 | 一种时间分辨极弱光多光谱成像系统及方法 |
CN102706450B (zh) | 2012-06-13 | 2014-03-12 | 西安电子科技大学 | 基于压缩感知的双通道多光谱视频成像仪及成像方法 |
US8907280B1 (en) * | 2012-09-19 | 2014-12-09 | Sandia Corporation | Fast electron microscopy via compressive sensing |
US9453895B2 (en) * | 2012-10-05 | 2016-09-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Dynamic image reconstruction with tight frame learning |
US8933401B1 (en) | 2013-10-25 | 2015-01-13 | Lawrence Livermore National Security, Llc | System and method for compressive scanning electron microscopy |
US9165743B2 (en) | 2014-02-14 | 2015-10-20 | Lawrence Livermore National Security, Llc | High-speed multiframe dynamic transmission electron microscope image acquisition system with arbitrary timing |
WO2016149676A1 (en) * | 2015-03-18 | 2016-09-22 | Battelle Memorial Institute | Electron beam masks for compressive sensors |
EP3378040A4 (en) | 2015-11-20 | 2020-01-22 | Integrated Dynamic Electron Solutions, Inc. | TEMPORAL COMPRESSION DETECTION SYSTEMS |
-
2016
- 2016-08-22 EP EP16866792.1A patent/EP3378040A4/en active Pending
- 2016-08-22 JP JP2018526623A patent/JP6794447B2/ja active Active
- 2016-08-22 WO PCT/US2016/048087 patent/WO2017087045A1/en active Application Filing
- 2016-08-22 US US15/243,235 patent/US9841592B2/en active Active
- 2016-08-22 KR KR1020187017403A patent/KR20180109861A/ko not_active Application Discontinuation
- 2016-08-22 CA CA3005439A patent/CA3005439A1/en active Pending
- 2016-08-22 AU AU2016357089A patent/AU2016357089B2/en active Active
- 2016-08-22 CN CN201680079603.2A patent/CN108474755B/zh active Active
-
2017
- 2017-11-03 US US15/802,876 patent/US10018824B2/en active Active
-
2018
- 2018-05-15 IL IL259375A patent/IL259375B/en unknown
- 2018-12-27 US US16/233,597 patent/US10571675B2/en active Active
-
2020
- 2020-11-11 JP JP2020187927A patent/JP6952176B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180136449A1 (en) | 2018-05-17 |
WO2017087045A1 (en) | 2017-05-26 |
US20170146787A1 (en) | 2017-05-25 |
JP2019503036A (ja) | 2019-01-31 |
CN108474755B (zh) | 2021-11-26 |
IL259375A (en) | 2018-07-31 |
AU2016357089B2 (en) | 2022-01-27 |
US20190204579A1 (en) | 2019-07-04 |
KR20180109861A (ko) | 2018-10-08 |
IL259375B (en) | 2021-10-31 |
CN108474755A (zh) | 2018-08-31 |
EP3378040A4 (en) | 2020-01-22 |
US9841592B2 (en) | 2017-12-12 |
JP6794447B2 (ja) | 2020-12-02 |
US10571675B2 (en) | 2020-02-25 |
US10018824B2 (en) | 2018-07-10 |
JP2021039947A (ja) | 2021-03-11 |
CA3005439A1 (en) | 2017-05-26 |
EP3378040A1 (en) | 2018-09-26 |
AU2016357089A1 (en) | 2018-05-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6952176B2 (ja) | 時間的圧縮感知システム | |
US10170274B2 (en) | TEM phase contrast imaging with image plane phase grating | |
US10109453B2 (en) | Electron beam masks for compressive sensors | |
JP6684705B2 (ja) | 圧縮走査型電子顕微鏡システムおよび動作方法 | |
US20140253713A1 (en) | Time-Resolved Single-Photon or Ultra-Weak Light Multi-Dimensional Imaging Spectrum System and Method | |
JP7538624B2 (ja) | 時間分解ハイパースペクトル単一画素撮像 | |
EP2633267A2 (en) | Scanning projective lensless microscope system | |
Yu et al. | Single-photon compressive imaging with some performance benefits over raster scanning | |
JP2022540637A (ja) | 高フレームレートおよび高ダイナミックレンジ電子顕微鏡検査 | |
Yang et al. | Compressed ultrafast photography by multi-encoding imaging | |
Raghuram et al. | Storm: Super-resolving transients by oversampled measurements | |
Reed | Temporal compressive sensing systems | |
Mochizuki et al. | Separation of multi-path components in sweep-less time-of-flight depth imaging with a temporally-compressive multi-aperture image sensor | |
US20200365361A1 (en) | Coded x-ray target | |
EP4198876A1 (en) | Reducing image artefacts in electron microscopy | |
CN115580762B (zh) | 一种多通道耦合压缩超快成像装置 | |
Alsolami et al. | Imaging with SPADs and DMDs: Seeing through diffraction-photons | |
Sun | Compressive Sensing and Imaging Applications | |
EP4449340A1 (en) | Reducing image artefacts in electron microscopy | |
Qin | Advanced Image Deconvolution Techniques for Super-resolution Microscopy | |
Moore | The Application of the Capacitive Division Technique to Wide-field Time-resolved Fluorescence Microscopy | |
WO2022117695A1 (en) | Superresolution optical imaging system and method | |
Gao et al. | Research on the Resolution Improvement Method of Multi-Slit Streak Tube Imaging Based on Compression Sensing |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201111 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210812 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210831 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210927 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6952176 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |