JP6949559B2 - 基板処理方法 - Google Patents
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Description
次に、処理ユニット16の概略構成について図2を参照して説明する。図2は、処理ユニット16の概略構成を示す図である。
次に、超臨界乾燥ユニット16Aの概略構成について、図4を参照して説明する。図4は、超臨界乾燥ユニット16Aの概略構成を示す図である。
次に、本実施形態による基板処理方法について、図5乃至図9を参照して説明する。
はじめに、凸状パターン25を有するウエハWを準備する(図6のステップS1)。このウエハWは、図5に示すように、基部24と、基部24に設けられた凸状パターン25を有している。このうち凸状パターン25は、複数の凸状部26は、基部24から突出している。
次に、上記ウエハWの凸状パターン25の倒壊しやすさの指標であるパターン倒壊発生指標を求める(図6のステップS2)。すなわちパターン倒壊発生指標は、その値によって凸状パターン25が倒壊しやすいかを定量的に予測することが可能な指標である。このようなパターン倒壊発生指標としては、例えば以下のγpc値を用いることができる。
次に、上述したパターン倒壊発生指標(例えばγpc値)に基づいて、複数のウエハ乾燥技術の中から特定のウエハ乾燥技術を選択する(図6のステップS3)。ここで、特定のウエハ乾燥技術としては、例えばIPA乾燥技術、撥水化乾燥技術及び超臨界乾燥技術等、乾燥媒体が異なる乾燥技術が挙げられる。本実施形態においては、特定のウエハ乾燥技術として、IPA乾燥技術、撥水化乾燥技術及び超臨界乾燥技術のうちいずれかの乾燥技術が選択される場合を例にとって説明する。しかしながら、本実施形態においては、特定のウエハ乾燥技術を選択する場合、同一乾燥媒体を用いた乾燥手法(例えばIPA乾燥技術)であっても、異なる処理内容(処理レシピ、処理装置等)を用いている場合、異なるウエハ乾燥技術であるとする。
まず、ウエハWが基板搬送装置17により処理ユニット16内に搬入され、基板保持機構30により保持される(図6のステップS4)。次に、駆動部33を動作させることによりウエハWが回転を開始する。ウエハWは、後述の乾燥処理が終了するまで、ずっと回転し続ける。
次に、ウエハWの中心部の真上に薬液ノズル41が位置し、薬液ノズル41からウエハWの表面の中心部にDHF等の薬液が所定時間にわたって供給される(図6のステップS5)(図7(a)参照)。供給された薬液は遠心力により広がり、ウエハWの外方に向けて流れる。このとき、ウエハWの表面の全域は薬液の液膜により覆われる。ウエハWの表面に存在する不要なポリマー等の膜が、薬液により除去される。
続いて、薬液の供給を停止するとともに、ウエハWの中心部の真上にリンスノズル42が位置し、リンスノズル42からウエハWの表面の中心部にDIW等のリンス液が所定時間にわたって供給される(図6のステップS6)(図7(b)参照)。供給されたリンス液は遠心力により広がり、ウエハWの外方に向けて流れる。このとき、ウエハWの表面の全域はリンス液の液膜により覆われる。これによりウエハWの表面上に残存する薬液(DHF)および薬液処理時の反応生成物が、リンス液により洗い流されてウエハW表面から除去される。その後、リンス液の供給を停止する。
リンス処理が終了したら、選択された乾燥処理を実行する(図6のステップS7)。以下の乾燥処理は、上述したパターン倒壊発生指標(例えばγpc値)に基づいて選択されたウエハ乾燥技術に応じて異なる工程をとる。
はじめに、ウエハ乾燥技術としてIPA乾燥処理が選択された場合について説明する。
次に、ウエハ乾燥技術として撥水化乾燥処理が選択された場合について説明する。
次に、ウエハ乾燥技術として超臨界乾燥処理が選択された場合について説明する。
次に、上述したパターン倒壊発生指標としての一例であるγpc値について説明する。
上記式4、7をまとめると、γpc値は下記のようにまとめられる。
次に、γpc値を用いてパターン倒壊を予測する具体例について説明する。
上記実施形態において、パターン倒壊発生指標は、複数の基板乾燥技術の中から特定の基板乾燥技術を選択する際に用いられる場合を例にとって説明した。しかしながら、パターン倒壊発生指標は、ウエハWの作製工程(例えばドライエッチング工程、ウエットエッチング工程)に対してフィードバックされて用いられても良い。
16 処理ユニット
16A 超臨界乾燥ユニット
20 チャンバ
25 凸状パターン
26 凸状部
30 基板保持機構
40 処理流体供給部
41 薬液ノズル
42 リンスノズル
43 乾燥用液体ノズル
44 撥水処理液ノズル
45 アーム
W ウエハ
Claims (7)
- 凸状パターンを有する基板を準備する工程と、
前記基板の前記凸状パターンの倒壊しやすさの指標であるパターン倒壊発生指標を求める工程と、
前記パターン倒壊発生指標に基づいて、複数の基板乾燥技術の中から特定の基板乾燥技術を選択する工程とを備え、
前記パターン倒壊発生指標は、前記凸状パターンの構造の機械的強度に関する近似的な情報を含む、基板処理方法。 - 前記複数の基板乾燥技術と前記パターン倒壊発生指標とは、予め関連づけられており、前記特定の基板乾燥技術を選択する工程は、処理する基板の前記パターン倒壊発生指標の値に基づいて、前記複数の基板乾燥技術の中から特定の基板乾燥技術を選択する工程である、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記複数の基板乾燥技術は、IPA乾燥技術、撥水化乾燥技術及び超臨界乾燥技術のうち少なくとも1つを含む、請求項1または2に記載の基板処理方法。
- 前記パターン倒壊発生指標を求める工程は、前記基板の特性を計測する工程を含む、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記パターン倒壊発生指標が第1の範囲である場合は、前記複数の基板乾燥技術の中から第1の乾燥技術が選択され、前記パターン倒壊発生指標が前記第1の範囲と異なる第2の範囲である場合は、前記複数の基板乾燥技術の中から第2の乾燥技術が選択される、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 凸状パターンを有する基板を作製する工程と、
前記基板の前記凸状パターンの倒壊しやすさの指標であるパターン倒壊発生指標を求める工程と、
前記パターン倒壊発生指標に基づいて、前記基板を作製する工程における処理内容を調整する工程とを備え、
前記パターン倒壊発生指標は、前記凸状パターンの構造の機械的強度に関する近似的な情報を含む、基板処理方法。
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