JP6945010B2 - ターゲットを測定する方法、メトロロジ装置、リソグラフィセル及びターゲット - Google Patents
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Description
[0001] 本願は、2017年5月19日出願の欧州特許出願公開第17171935.4号の優先権を主張するものであり、この特許文献は、その全体が参照により本明細書に援用される。
1.ステップモードでは、放射ビームに与えられたパターン全体が一度にターゲット部分C上に投影される間、マスクテーブルMT及び基板テーブルWTが本質的に静止状態で維持される(すなわち単一静的露光)。次いで、基板テーブルWTは、異なるターゲット部分Cに露光できるようにX及び/又はY方向にシフトされる。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズは、単一静的露光で結像されるターゲット部分Cのサイズを制限する。
2.スキャンモードでは、放射ビームに与えられたパターンがターゲット部分C上に投影される間、マスクテーブルMT及び基板テーブルWTが同時にスキャンされる(すなわち単一動的露光)。マスクテーブルMTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPSの拡大(縮小)及び像反転特性によって決定することができる。スキャンモードでは、露光フィールドの最大サイズは、単一動的露光でのターゲット部分の幅(非スキャン方向における)を制限する一方、スキャン動作の長さは、ターゲット部分の高さ(スキャン方向における)を決定する。
3.別のモードでは、放射ビームに与えられたパターンがターゲット部分C上に投影される間、マスクテーブルMTがプログラマブルパターニングデバイスを保持して本質的に静止状態で維持され、基板テーブルWTが移動又はスキャンされる。このモードでは、一般に、パルス放射源が採用され、基板テーブルWTの各移動後又はスキャン中の連続放射パルス間において、プログラマブルパターニングデバイスが必要に応じて更新される。この動作モードは、上記で言及されるタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
第1の放射線でターゲットを照明し、且つターゲットからの第1の放射線の散乱から生じる放射線を検出することを含む第1の測定プロセスと、
第2の放射線でターゲットを照明し、且つターゲットからの第2の放射線の散乱から生じる放射線を検出することを含む第2の測定プロセスと
を含み、
第1の測定プロセスは、アライメント構造の位置を検出し、
第2の測定プロセスは、第1の測定プロセスによって検出されたアライメント構造の位置を使用して、第2の放射線の放射スポットをメトロロジ構造内の所望の場所にアライメントし、及び
第2の測定プロセスの放射スポットは、
放射スポットを形成する少なくとも0次の放射線を概念上取り囲むことができる最小四辺形境界ボックスがアライメント構造と交差するか又はアライメント構造を取り囲み、及び
四辺形境界ボックスによって取り囲まれた少なくとも0次の放射線がアライメント構造の外側にのみある
ようにされる、方法。
第1の放射線でターゲットを照明し、且つターゲットからの第1の放射線の散乱から生じる放射線を検出するように構成された第1の測定システムと、
第2の放射線でターゲットを照明し、且つターゲットからの第2の放射線の散乱から生じる放射線を検出するように構成された第2の測定システムと、
コントローラであって、
第1の測定システムによって検出された放射線を使用してアライメント構造の位置を検出することと、
アライメント構造の検出された位置を使用して、第2の放射線の放射スポットをメトロロジ構造内の所望の場所にアライメントするように第2の測定システムを制御することと
を行うように構成されたコントローラと
を含み、
第2の測定の放射スポットは、
放射スポットを形成する少なくとも0次の放射線を概念上取り囲むことができる最小四辺形境界ボックスがアライメント構造と交差するか又はアライメント構造を取り囲み、及び
四辺形境界ボックスによって取り囲まれた少なくとも0次の放射線がアライメント構造の外側にのみある
ようにされる、メトロロジ装置。
ターゲットを測定するように構成されている、条項11〜20の何れか一項に記載のメトロロジ装置と
を含むリソグラフィセル。
アライメント構造及びメトロロジ構造を含み、
メトロロジ構造にわたって平均される、可視光線による照明に対するメトロロジ構造の全反射率は、アライメント構造にわたって平均される、可視光線による照明に対するアライメント構造の全反射率と、アライメント構造にわたって平均される、可視光線による照明に対するアライメント構造の全反射率の少なくとも20%だけ異なり、
メトロロジ構造は、アライメント構造のいかなる部分も存在しない円形又は楕円形領域を含み、及び
円形又は楕円形領域を概念上取り囲むことができる最小四辺形境界ボックスは、アライメント構造と交差するか又はアライメント構造を取り囲む、ターゲット。
第1の放射線でターゲットを照明し、且つターゲットからの第1の放射線の散乱から生じる放射線を検出することを含む第1の測定プロセスと、
第2の放射線でターゲットを照明し、且つターゲットからの第2の放射線の散乱から生じる放射線を検出することを含む第2の測定プロセスと
を含み、
第1の測定プロセスは、アライメント構造の位置を検出し、及び
第2の測定プロセスは、第1の測定プロセスによって検出されたアライメント構造の位置を使用して、第2の放射線の放射スポットをメトロロジ構造内の所望の場所にアライメントする、方法。
Claims (15)
- 基板上に形成されたターゲットを測定する方法であって、前記ターゲットは、アライメント構造及びメトロロジ構造を備え、前記方法は、
第1の放射線で前記ターゲットを照明し、且つ前記ターゲットからの前記第1の放射線の散乱から生じる放射線を検出することを含む第1の測定プロセスと、
第2の放射線で前記ターゲットを照明し、且つ前記ターゲットからの前記第2の放射線の散乱から生じる放射線を検出することを含む第2の測定プロセスと
を含み、
前記第1の測定プロセスは、前記アライメント構造の位置を検出し、
前記第2の測定プロセスは、前記第1の測定プロセスによって検出された前記アライメント構造の前記位置を使用して、前記第2の放射線の放射スポットを前記メトロロジ構造内の所望の場所にアライメントし、及び
前記第2の測定プロセスの前記放射スポットは、
前記放射スポットを形成する少なくとも0次の放射線を概念上取り囲むことができる最小四辺形境界ボックスが前記アライメント構造と交差するか又は前記アライメント構造を取り囲むようにされる、方法。 - 前記第1の測定プロセスは、前記アライメント構造及び前記メトロロジ構造の像を形成することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の測定プロセスは、前記アライメント構造を認識するためにコンピュータ実装パターン認識を使用する、請求項2に記載の方法。
- 前記メトロロジ構造は、周期構造を含む、請求項1〜3の何れか一項に記載の方法。
- 前記アライメント構造は、非周期的なものである、請求項1〜4の何れか一項に記載の方法。
- 前記メトロロジ構造にわたって平均される、前記第1の放射線による照明に対する前記メトロロジ構造の全反射率は、前記アライメント構造にわたって平均される、前記第1の放射線による照明に対する前記アライメント構造の全反射率と、前記アライメント構造にわたって平均される、前記第1の放射線による照明に対する前記アライメント構造の前記全反射率の少なくとも20%だけ異なる、請求項1〜5の何れか一項に記載の方法。
- 前記ターゲットは、互いに分離された2つ以上のアライメント構造を備える、請求項1〜6の何れか一項に記載の方法。
- 前記最小四辺形境界ボックスは、正方形又は長方形である、請求項1〜7の何れか一項に記載の方法。
- 前記放射スポットは、円形又は楕円形であり、
前記放射スポットは、前記四辺形境界ボックスによって取り囲まれた前記少なくとも0次の放射線が、前記アライメント構造の外側にのみ存在するようにされる、請求項1〜8の何れか一項に記載の方法。 - 前記放射スポットは、円形又は楕円形になるように制限された回折である、請求項1〜9の何れか一項に記載の方法。
- 基板上に形成されたターゲットを測定するためのメトロロジ装置であって、
第1の放射線で前記ターゲットを照明し、且つ前記ターゲットからの前記第1の放射線の散乱から生じる放射線を検出する第1の測定システムと、
第2の放射線で前記ターゲットを照明し、且つ前記ターゲットからの前記第2の放射線の散乱から生じる放射線を検出する第2の測定システムと、
コントローラであって、
前記第1の測定システムによって検出された前記放射線を使用してアライメント構造の位置を検出することと、
前記アライメント構造の前記検出された位置を使用して、前記第2の放射線の放射スポットをメトロロジ構造内の所望の場所にアライメントするように前記第2の測定システムを制御することと
を行うコントローラと
を含み、
第2の測定の前記放射スポットは、
前記放射スポットを形成する少なくとも0次の放射線を概念上取り囲むことができる最小四辺形境界ボックスが前記アライメント構造と交差するか又は前記アライメント構造を取り囲むようにされる、メトロロジ装置。 - 前記第1の測定システムは、前記アライメント構造及び前記メトロロジ構造の像を形成し、
前記放射スポットは、前記四辺形境界ボックスによって取り囲まれた前記少なくとも0次の放射線が、前記アライメント構造の外側にのみ存在するようにされる、請求項11に記載の装置。 - 前記コントローラは、前記アライメント構造を認識するためにコンピュータ実装パターン認識を使用する、請求項12に記載の装置。
- 基板上のターゲットを定義するためにリソグラフィプロセスを実行するリソグラフィ装置と、
前記ターゲットを測定する、請求項11〜13の何れか一項に記載のメトロロジ装置と
を含むリソグラフィセル。 - 基板上に形成されたターゲットであって、
アライメント構造及びメトロロジ構造を備え、
前記メトロロジ構造にわたって平均される、可視光線による照明に対する前記メトロロジ構造の全反射率は、前記アライメント構造にわたって平均される、可視光線による照明に対する前記アライメント構造の全反射率と、前記アライメント構造にわたって平均される、可視光線による照明に対する前記アライメント構造の前記全反射率の少なくとも20%だけ異なり、
前記メトロロジ構造は、前記アライメント構造のいかなる部分も存在しない円形又は楕円形領域を含み、及び
前記円形又は楕円形領域を概念上取り囲むことができる最小四辺形境界ボックスは、前記アライメント構造と交差するか又は前記アライメント構造を取り囲む、ターゲット。
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