JP2021520518A - 構造の特性を決定する方法及びメトロロジ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、参照によって全体として本明細書に組み込まれている2018年4月9日に出願された欧州特許出願公開第18166312.1号の優先権を主張するものである。
の形式から理解することができ、光学系2の倍率M、並びに第1の照明放射線21及び第1の基準放射線51の相対的方向の両方に依存することが分かる。一実施形態では、第2の干渉パターンにおける位置に応じたコントラストの変動の減少を達成するために、対応する調節が行われる。
a. 基板上に製造された構造の特性を決定するメトロロジ装置であって、
−放射線を用いて構造を照明する照明分岐と、
−センサに衝突する放射線を記録するのに適したセンサに向けて、散乱放射線の一部分をガイドする検出分岐であって、検出分岐が、鏡面反射からの放射線を除外した散乱放射線の一部分を捕捉する光学素子を含み、検出分岐がさらに、構造を照明する放射線に対してコヒーレントな基準放射線を受け取る受け取りユニットを含み、検出分岐が、光学素子によって捕捉された散乱放射線とセンサ上で干渉する基準放射線をセンサへとガイドするように構成される、検出分岐と、
を含む、メトロロジ装置。
1. 基板上に製造された構造の特性を決定する方法であって、
第1の照明放射線を用いて構造を照明することにより、第1の散乱放射線を生成すること、並びにセンサ上で、センサに到達する第1の散乱放射線の一部分及び第1の基準放射線間の干渉によって形成される第1の干渉パターンを検出することと、
構造の基準座標系内で第1の照明放射線とは異なる方向から、第2の照明放射線を用いて構造を照明することにより、第2の散乱放射線を生成すること、並びにセンサ上で、センサに到達する第2の散乱放射線の一部分及び第2の基準放射線間の干渉によって形成される第2の干渉パターンを検出することと、
第1の干渉パターン及び第2の干渉パターンを使用して、構造の特性を決定することと、
を含み、
センサ上への第1の基準放射線の方位角が、構造の基準座標系内で、センサ上への第2の基準放射線の方位角とは異なる、方法。
2. センサ上への第1の基準放射線の方位角と、センサ上への第2の基準放射線の方位角との差が、180±30度である、条項1に記載の方法。
3. 構造上への第1の照明放射線の方位角と、構造上への第2の照明放射線の方位角との差が、構造の基準座標系内で、公称で180度である、条項1又は2に記載の方法。
4. 第1の照明放射線及び第1の基準放射線を生成するために放射ビームが分割され、並びに
放射ビームが分割される点とセンサとの間の光路長が、第1の照明放射線及び第1の基準放射線のそれぞれに関して等しくなるように設定される、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
5. 第2の照明放射線及び第2の基準放射線を生成するために放射ビームが分割され、並びに
放射ビームが分割される点とセンサとの間の光路長が、第2の照明放射線及び第2の基準放射線のそれぞれに関して等しくなるように設定される、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
6. センサに到達する第1の散乱放射線の一部分が、第1の散乱放射線の鏡面反射成分を除外する、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
7. センサに到達する第2の散乱放射線の一部分が、第2の散乱放射線の鏡面反射成分を除外する、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
8. センサに到達する第1の散乱放射線の一部分が、少なくとも大部分は、構造から散乱された1つ又は複数の非ゼロ次回折成分から成る、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
9. センサに到達する第2の散乱放射線の一部分が、少なくとも大部分は、構造から散乱された1つ又は複数の非ゼロ次回折成分から成り、1つ又は複数の非ゼロ次回折成分が、センサに到達する第1の散乱放射線の一部分の1つ又は複数の非ゼロ次回折成分と符号が逆である、条項8に記載の方法。
10. センサ上への第1の基準放射線の方位角が、構造上への第1の照明放射線の方位角に対して斜めである、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
11. 第1の干渉パターンにおける位置に応じたコントラストの変動を減少させるために、構造上への第1の照明放射線の方向に対する、センサ上への第1の基準放射線の方向を調節することをさらに含む、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
12. 第1の干渉パターンにおける位置に応じたコントラストの変動を減少させるために、センサに到達する第1の散乱放射線の一部分を構造からセンサへとガイドするために使用される光学系の光学特性を調節することをさらに含む、条項11に記載の方法。
13. 光学特性が光学系の倍率を含む、条項12に記載の方法。
14. 基板上に製造された構造の特性を決定する方法であって、
第1の照明放射線を用いて構造を照明することにより、第1の散乱放射線を生成すること、並びにセンサ上で、センサに到達する第1の散乱放射線の一部分及び第1の基準放射線間の干渉によって形成される第1の干渉パターンを検出することと、
構造の基準座標系内で第1の照明放射線とは異なる方向から、第2の照明放射線を用いて構造を照明することにより、第2の散乱放射線を生成すること、並びにセンサ上で、センサに到達する第2の散乱放射線の一部分及び第2の基準放射線間の干渉によって形成される第2の干渉パターンを検出することと、
第1の干渉パターン及び第2の干渉パターンを使用して、構造の特性を決定することと、
を含み、
構造の基準座標系内で、センサ上への第1の基準放射線の方位角が、公称で、センサ上への第2の基準放射線の方位角と同じであり、並びにセンサ上への第1の基準放射線の方位角と、構造上への第1の照明放射線の方位角及び構造上への第2の照明放射線の方位角のそれぞれとの差が、90±30度である、方法。
15. 第1の基準放射線及び第2の基準放射線のそれぞれが、平面波又は球面波である、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
16. センサに到達する第1の散乱放射線の一部分が、センサにおいて、第1の基準放射線と少なくとも部分的にコヒーレントであり、及び
センサに到達する第2の散乱放射線の一部分が、センサにおいて、第2の基準放射線と少なくとも部分的にコヒーレントである、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
17. 構造の特性の決定が、第1の干渉パターンと第2の干渉パターンとの差に基づく、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
18. 構造の特性の決定が、第1の干渉パターン及び第2の干渉パターンのそれぞれから複素放射フィールドを計算することと、計算された複素フィールドを使用して、構造の特性を決定することと、を含む、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
19. 構造の特性が、以下:
オーバーレイ、
構造を製造するためのリソグラフィプロセスで使用される放射線のフォーカスエラーを示すエラー、及び
構造を製造するためのリソグラフィプロセスで使用される放射線の放射ドーズエラーを示すエラー、
の1つ又は複数を含む、先行する条項の何れか一項に記載の方法。
20. 基板上に製造された構造の特性を決定するように構成されたメトロロジ装置であって、
第1の照明放射線を用いて構造を照明することにより、第1の散乱放射線を生成するように構成された照明分岐と、
センサ上で、センサに到達する第1の散乱放射線の一部分及び第1の基準放射線間の干渉によって形成される第1の干渉パターンを検出するように構成された検出分岐と、
を含み、
照明分岐が、構造の基準座標系内で第1の照明放射線とは異なる方向から、第2の照明放射線を用いて構造を照明することにより、第2の散乱放射線を生成するようにさらに構成され、
検出分岐が、センサ上で、センサに到達する第2の散乱放射線の一部分及び第2の基準放射線間の干渉によって形成される第2の干渉パターンを検出するようにさらに構成され、
装置が、第1の干渉パターン及び第2の干渉パターンを使用して、構造の特性を決定するように構成された処理ユニットをさらに含み、並びに
センサ上への第1の基準放射線の方位角が、構造の基準座標系内で、センサ上への第2の基準放射線の方位角とは異なる、メトロロジ装置。
21. 基板上に製造された構造の特性を決定するように構成されたメトロロジ装置であって、
第1の照明放射線を用いて構造を照明することにより、第1の散乱放射線を生成するように構成された照明分岐と、
センサ上で、センサに到達する第1の散乱放射線の一部分及び第1の基準放射線間の干渉によって形成される第1の干渉パターンを検出するように構成された検出分岐と、
を含み、
照明分岐が、構造の基準座標系内で第1の照明放射線とは異なる方向から、第2の照明放射線を用いて構造を照明することにより、第2の散乱放射線を生成するようにさらに構成され、
検出分岐が、センサ上で、センサに到達する第2の散乱放射線の一部分及び第2の基準放射線間の干渉によって形成される第2の干渉パターンを検出するようにさらに構成され、
装置が、第1の干渉パターン及び第2の干渉パターンを使用して、構造の特性を決定するように構成された処理ユニットをさらに含み、並びに
構造の基準座標系内で、センサ上への第1の基準放射線の方位角が、公称で、センサ上への第2の基準放射線の方位角と同じであり、並びにセンサ上への第1の基準放射線の方位角と、構造上への第1の照明放射線の方位角及び構造上への第2の照明放射線の方位角のそれぞれとの差が、90±30度である、メトロロジ装置。
Claims (15)
- 基板上に製造された構造の特性を決定する方法であって、
第1の照明放射線を用いて前記構造を照明することにより、第1の散乱放射線を生成すること、並びにセンサ上で、前記センサに到達する前記第1の散乱放射線の一部分及び第1の基準放射線間の干渉によって形成される第1の干渉パターンを検出することと、
前記構造の基準座標系内で前記第1の照明放射線とは異なる方向から、第2の照明放射線を用いて前記構造を照明することにより、第2の散乱放射線を生成すること、並びに前記センサ上で、前記センサに到達する前記第2の散乱放射線の一部分及び第2の基準放射線間の干渉によって形成される第2の干渉パターンを検出することと、
前記第1の干渉パターン及び前記第2の干渉パターンを使用して、前記構造の特性を決定することと、
を含み、
前記センサ上への前記第1の基準放射線の方位角が、前記構造の前記基準座標系内で、前記センサ上への前記第2の基準放射線の方位角とは異なる、方法。 - 前記センサ上への前記第1の基準放射線の前記方位角と、前記センサ上への前記第2の基準放射線の前記方位角との差が、180±30度である、請求項1に記載の方法。
- 前記構造上への前記第1の照明放射線の方位角と、前記構造上への前記第2の照明放射線の方位角との差が、前記構造の前記基準座標系内で、公称で180度である、請求項1又は2に記載の方法。
- i)前記第1の照明放射線及び前記第1の基準放射線を生成するために放射ビームが分割され、並びに前記放射ビームが分割される点と前記センサとの間の光路長が、前記第1の照明放射線及び前記第1の基準放射線のそれぞれに関して等しくなるように設定されることと、
ii)前記第2の照明放射線及び前記第2の基準放射線を生成するために放射ビームが分割され、並びに前記放射ビームが分割される点と前記センサとの間の光路長が、前記第2の照明放射線及び前記第2の基準放射線のそれぞれに関して等しくなるように設定されることと、
の少なくとも一方である、請求項1〜3の何れか一項に記載の方法。 - i)前記センサに到達する前記第1の散乱放射線の前記一部分が、前記第1の散乱放射線の鏡面反射成分を除外することと、
ii)前記センサに到達する前記第2の散乱放射線の前記一部分が、前記第2の散乱放射線の鏡面反射成分を除外することと、
の少なくとも一方である、請求項1〜4の何れか一項に記載の方法。 - i)前記センサに到達する前記第1の散乱放射線の前記一部分が、少なくとも大部分は、前記構造から散乱された1つ又は複数の非ゼロ次回折成分から成ることと、
ii)前記センサに到達する前記第2の散乱放射線の前記一部分が、少なくとも大部分は、前記構造から散乱された1つ又は複数の非ゼロ次回折成分から成り、前記1つ又は複数の非ゼロ次回折成分が、前記センサに到達する前記第1の散乱放射線の前記一部分の前記1つ又は複数の非ゼロ次回折成分と符号が逆であることと、
の少なくとも一方である、請求項1〜5の何れか一項に記載の方法。 - 前記センサ上への前記第1の基準放射線の前記方位角が、前記構造上への前記第1の照明放射線の前記方位角に対して斜めである、請求項1〜6の何れか一項に記載の方法。
- 前記第1の干渉パターンにおける位置に応じたコントラストの変動を減少させるために、前記構造上への前記第1の照明放射線の前記方向に対する、前記センサ上への前記第1の基準放射線の方向、又は前記センサに到達する前記第1の散乱放射線の前記一部分を前記構造から前記センサへとガイドするために使用される光学系の例えば倍率などの光学特性を含む、システムを調節することをさらに含む、請求項1〜7の何れか一項に記載の方法。
- 基板上に製造された構造の特性を決定する方法であって、
第1の照明放射線を用いて前記構造を照明することにより、第1の散乱放射線を生成すること、並びにセンサ上で、前記センサに到達する前記第1の散乱放射線の一部分及び第1の基準放射線間の干渉によって形成される第1の干渉パターンを検出することと、
前記構造の基準座標系内で前記第1の照明放射線とは異なる方向から、第2の照明放射線を用いて前記構造を照明することにより、第2の散乱放射線を生成すること、並びに前記センサ上で、前記センサに到達する前記第2の散乱放射線の一部分及び第2の基準放射線間の干渉によって形成される第2の干渉パターンを検出することと、
前記第1の干渉パターン及び前記第2の干渉パターンを使用して、前記構造の特性を決定することと、
を含み、
前記構造の前記基準座標系内で、前記センサ上への前記第1の基準放射線の方位角が、公称で、前記センサ上への前記第2の基準放射線の方位角と同じであり、並びに前記センサ上への前記第1の基準放射線の前記方位角と、前記構造上への前記第1の照明放射線の方位角及び前記構造上への前記第2の照明放射線の方位角のそれぞれとの差が、90±30度である、方法。 - 前記第1の基準放射線及び前記第2の基準放射線のそれぞれが、平面波又は球面波である、請求項1〜9の何れか一項に記載の方法。
- i)前記センサに到達する前記第1の散乱放射線の前記一部分が、前記センサにおいて、前記第1の基準放射線と少なくとも部分的にコヒーレントであることと、
ii)前記センサに到達する前記第2の散乱放射線の前記一部分が、前記センサにおいて、前記第2の基準放射線と少なくとも部分的にコヒーレントであることと、
の少なくとも一方である、請求項1〜10の何れか一項に記載の方法。 - 前記構造の特性の決定が、前記第1の干渉パターンと前記第2の干渉パターンとの差に基づく、請求項1〜11の何れか一項に記載の方法。
- 前記構造の特性の決定が、前記第1の干渉パターン及び前記第2の干渉パターンのそれぞれから複素放射フィールドを計算することと、前記計算された複素フィールドを使用して、前記構造の特性を決定することと、を含み、例えば、前記構造の特性が、
オーバーレイ、
前記構造を製造するためのリソグラフィプロセスで使用される放射線のフォーカスエラーを示すエラー、及び
前記構造を製造するためのリソグラフィプロセスで使用される放射線の放射ドーズエラーを示すエラー、
の1つである、請求項1〜12の何れか一項に記載の方法。 - 基板上に製造された構造の特性を決定するように構成されたメトロロジ装置であって、
第1の照明放射線を用いて前記構造を照明することにより、第1の散乱放射線を生成するように構成された照明分岐と、
センサ上で、前記センサに到達する前記第1の散乱放射線の一部分及び第1の基準放射線間の干渉によって形成される第1の干渉パターンを検出するように構成された検出分岐と、
を含み、
前記照明分岐が、前記構造の基準座標系内で前記第1の照明放射線とは異なる方向から、第2の照明放射線を用いて前記構造を照明することにより、第2の散乱放射線を生成するようにさらに構成され、
前記検出分岐が、前記センサ上で、前記センサに到達する前記第2の散乱放射線の一部分及び第2の基準放射線間の干渉によって形成される第2の干渉パターンを検出するようにさらに構成され、
前記装置が、前記第1の干渉パターン及び前記第2の干渉パターンを使用して、前記構造の特性を決定するように構成された処理ユニットをさらに含み、並びに
前記センサ上への前記第1の基準放射線の方位角が、前記構造の前記基準座標系内で、前記センサ上への前記第2の基準放射線の方位角とは異なる、メトロロジ装置。 - 基板上に製造された構造の特性を決定するように構成されたメトロロジ装置であって、
第1の照明放射線を用いて前記構造を照明することにより、第1の散乱放射線を生成するように構成された照明分岐と、
センサ上で、前記センサに到達する前記第1の散乱放射線の一部分及び第1の基準放射線間の干渉によって形成される第1の干渉パターンを検出するように構成された検出分岐と、
を含み、
前記照明分岐が、前記構造の基準座標系内で前記第1の照明放射線とは異なる方向から、第2の照明放射線を用いて前記構造を照明することにより、第2の散乱放射線を生成するようにさらに構成され、
前記検出分岐が、前記センサ上で、前記センサに到達する前記第2の散乱放射線の一部分及び第2の基準放射線間の干渉によって形成される第2の干渉パターンを検出するようにさらに構成され、
前記装置が、前記第1の干渉パターン及び前記第2の干渉パターンを使用して、前記構造の特性を決定するように構成された処理ユニットをさらに含み、並びに
前記構造の前記基準座標系内で、前記センサ上への前記第1の基準放射線の方位角が、公称で、前記センサ上への前記第2の基準放射線の方位角と同じであり、並びに前記センサ上への前記第1の基準放射線の前記方位角と、前記構造上への前記第1の照明放射線の方位角及び前記構造上への前記第2の照明放射線の方位角のそれぞれとの差が、90±30度である、メトロロジ装置。
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