JP6940866B2 - 半導体光デバイス、半導体光源、光集積回路、及び半導体光デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
(半導体光デバイス1)
以下、本発明の実施形態における半導体光デバイス1について説明する。図1(a)は、本実施形態における半導体光デバイス1の一例を示す模式斜視図であり、図1(b)は、活性層4の一例を示す拡大模式断面図である。なお、各図において基板2の主面に平行な方向をX方向及びY方向とし、X方向及びY方向に交わる方向をZ方向とする。
基板2は、n型不純物を含み、例えばP(リン)、S(硫黄)、又はAs(ヒ素)を含む。基板2として、例えばInP(311)Bが用いられるほか、例えばInP(001)、GaAs(砒化ガリウム)、又はSi(ケイ素)が用いられる。
下層クラッド層3は、例えば基板2の上に設けられる。下層クラッド層3は、n形不純物を含み、例えばP、S、As、又はSiを含む。下層クラッド層3として、例えばInAlAsが用いられるほか、例えばInP、InGaAsP、又はAlGaAs等が用いられる。なお、各材料の組成比は任意のため省略し、以下の説明においても同様である。
活性層4は、基板2の上に設けられ、例えば基板2との間に下層クラッド層3を挟む。活性層4は、図1(b)に示すように、交互に積層された複数のバリア層41と、複数の量子層42とを有する。各量子層42として、例えば量子ドット構造を有する複数の量子ドット42aが用いられてもよい。この場合、各量子ドット42a間の隙間には、バリア層41が設けられてもよい。各量子層42として、例えば量子井戸構造を有する量子井戸層、又は量子細線構造を有する量子細線層が用いられてもよい。なお、バリア層41及び量子層42の積層数は、任意である。
クラッド層5は、活性層4の上に設けられる。クラッド層5は、例えばメサ状に形成され、XY平面上に広がる平面部と、平面部からZ方向に延在する突出部とを有し、突出部が絶縁層6に挟まれてもよい。
コンタクト層7は、クラッド層5の上に設けられる。コンタクト層7は、例えばクラッド層5の突起部の上に設けられ、絶縁層6に挟まれる。コンタクト層7の厚さは、クラッド層5の厚さよりも薄い。
電極8は、コンタクト層7と接する上層電極81と、基板2と接する下層電極82とを有する。電極8は、活性層4に電圧を印可するために用いられる。各電極81、82として、例えばTi、Pt、及びAuの積層体が用いられる。
絶縁層6は、クラッド層5上に設けられるほか、例えばコンタクト層7上に設けられてもよい。絶縁層6は、クラッド層5、コンタクト層7、及び上層電極81の少なくとも何れかを挟んで設けられる。絶縁層6として、例えばベンゾシクロブテン(BCB)、又はシリコン酸化物(SiO2)が用いられる。
次に、本実施形態における半導体光源(例えば半導体レーザ10、半導体光増幅器20)及び光集積回路30について説明する。半導体光源及び光集積回路30は、半導体光デバイス1を備えることができる。図2(a)は、本実施形態における半導体レーザ10の一例を示す模式断面図であり、図2(b)は、本実施形態における半導体光増幅器20の一例を示す模式断面図であり、図2(c)は、本実施形態における光集積回路30の一例を示す模式平面図である。
半導体レーザ10は、例えば図2(a)に示すように、半導体光デバイス1を備える。半導体レーザ10は、例えば電極81、82に電圧を印可することで、活性層4から所定の波長帯域のレーザ光を放出する(図の矢印方向)。半導体レーザ10は、例えば基板2とコンタクト層7との間に図示しない一対の反射層を有してもよい。この場合、レーザ光は、Z方向に放出される。
半導体光増幅器20は、例えば図2(b)に示すように、半導体光デバイス1を備える。この場合、半導体光増幅器20は、Y方向の両側面に反射防止膜9を有する。反射防止膜9として、例えばシリコン酸化物と酸化チタンとの多層膜が用いられる。
光集積回路30は、例えば図2(c)に示すように、半導体光デバイス1を備える。この場合、半導体光デバイス1は、光集積回路30の有する制御部40により制御される。半導体光デバイス1は、例えば制御部40から送信された信号に基づいてレーザ光を放出する半導体光源として用いられるほか、例えば外部から受光した光の情報を制御部40に送信する半導体受光素子として用いられてもよい。
次に、本実施形態における半導体光デバイス1の製造方法の一例について説明する。図3は、本実施形態における半導体光デバイス1の製造方法の一例を示すフローチャートである。
先ず、基板2の上に活性層4を形成する(ステップS110)。このとき、例えば基板2と活性層4との間に、下層クラッド層3のほか、図示しないバッファ層等を形成してもよい。活性層4を形成する方法として、MBE(Molecular Beam Epitaxy)法が用いられるほか、例えばMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法等が用いられてもよい。
次に、活性層4の上にクラッド層5を形成する(ステップS120)。クラッド層5を形成する方法として、MBE法が用いられるほか、例えばMOCVD法等が用いられてもよい。クラッド層5は、例えば1.5μmから2μm程度の厚さで形成される。
次に、クラッド層5の上にコンタクト層7を形成する(ステップS130)。コンタクト層7を形成する方法として、MBE法が用いられるほか、例えばMOCVD法等が用いられてもよい。コンタクト層7は、例えば100nm程度の厚さで形成される。
次に、コンタクト層7に第2不純物を注入する(ステップS140)。第2不純物を注入する方法として、例えばイオン注入法が用いられる。
次に、コンタクト層7を加熱する(ステップS150)。コンタクト層7を加熱する方法として、例えばRTA(Rapid thermal annealing)法が用いられる。なお、コンタクト層7を加熱するとき、基板2からクラッド層5までの構成も加熱される。
次に、電極8を形成する(ステップS160)。電極8を形成する方法として、例えば蒸着法等が用いられる。電極8は、コンタクト層7の上に形成された上層電極81と、基板2の下に形成された下層電極82とを有する。なお、ステップS150の後に電極8を形成することで、電極8の劣化を防ぐことができる。これにより、電極8の特性の低下を抑制することが可能となる。
次に、本実施形態における半導体光デバイス1の実施例1について説明する。実施例1では、図4に示すような半導体光デバイス1を備えた半導体レーザを評価サンプル100として作成し、特性を評価した。
次に、本実施形態における半導体光デバイス1の実施例2について説明する。実施例2では、半導体光デバイス1を評価サンプルとして作成し、特性を評価した。
2 :基板
3 :下層クラッド層
4 :活性層
5 :クラッド層
6 :絶縁層
7 :コンタクト層
8 :電極
9 :反射防止膜
10 :半導体レーザ
20 :半導体光増幅器
30 :光集積回路
40 :制御部
41 :バリア層
42 :量子層
42a :量子ドット
81 :上層電極
82 :下層電極
100 :評価サンプル
Claims (6)
- 基板の上に設けられた活性層と、前記活性層の上に設けられたクラッド層とを備える半導体光デバイスであって、
前記クラッド層の上に設けられ、第1不純物及び前記第1不純物とは異なる第2不純物を含むコンタクト層を備え、
前記第1不純物は、ベリリウム又は亜鉛であり、
前記第2不純物は、アルゴン、リン、又はホウ素であり、
前記第2不純物の濃度は、1.0×10 12 cm −2 以上1.0×10 15 cm −2 以下であり、
前記コンタクト層は、InGaAs又はGaAsであること
を特徴とする半導体光デバイス。 - 前記2不純物はアルゴン又はホウ素であり、
前記クラッド層に含まれる前記第2不純物の濃度は、前記コンタクト層に接する側から前記活性層に接する側に向かって濃度が低下し、
前記活性層は、前記第2不純物を含まない、又は、前記クラッド層よりも低い濃度で前記第2不純物を含むこと
を特徴とする請求項1記載の半導体光デバイス。 - 基板の上に設けられた活性層と、前記活性層の上に設けられたクラッド層とを備える半導体光源であって、
前記クラッド層の上に設けられ、第1不純物及び前記第1不純物とは異なる第2不純物を含むコンタクト層を備え、
前記第1不純物は、ベリリウム又は亜鉛であり、
前記第2不純物は、アルゴン、リン、又はホウ素であり、
前記第2不純物の濃度は、1.0×10 12 cm −2 以上1.0×10 15 cm −2 以下であり、
前記コンタクト層は、InGaAs又はGaAsであること
を特徴とする半導体光源。 - 基板の上に設けられた活性層と、前記活性層の上に設けられたクラッド層とを備えた半導体光デバイスを備える光集積回路であって、
前記半導体光デバイスは、前記クラッド層の上に設けられ、第1不純物及び前記第1不純物とは異なる第2不純物を含むコンタクト層を備え、
前記第1不純物は、ベリリウム又は亜鉛であり、
前記第2不純物は、アルゴン、リン、又はホウ素であり、
前記第2不純物の濃度は、1.0×10 12 cm −2 以上1.0×10 15 cm −2 以下であり、
前記コンタクト層は、InGaAs又はGaAsであること
を特徴とする光集積回路。 - 基板の上に活性層を形成する工程と、前記活性層の上にクラッド層を形成する工程とを備える半導体光デバイスの製造方法であって、
前記クラッド層の上に第1不純物を含むコンタクト層を形成する工程と、
前記コンタクト層に前記第1不純物とは異なる第2不純物を注入する工程と、
前記コンタクト層を加熱する工程と、
を備え、
前記第1不純物は、ベリリウム又は亜鉛であり、
前記第2不純物は、アルゴン、リン、又はホウ素であり、
前記第2不純物の濃度は、1.0×10 12 cm −2 以上1.0×10 15 cm −2 以下であり、
前記コンタクト層は、InGaAs又はGaAsであること
を特徴とする半導体光デバイスの製造方法。 - 前記コンタクト層を形成する工程として、前記第1不純物を含むInGaAsが形成され、
前記コンタクト層を加熱する工程は、600℃以上720℃以下、及び、30秒以上180秒以下で加熱すること
を特徴とする請求項5記載の半導体光デバイスの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017121137A JP6940866B2 (ja) | 2017-06-21 | 2017-06-21 | 半導体光デバイス、半導体光源、光集積回路、及び半導体光デバイスの製造方法 |
US16/008,261 US10297978B2 (en) | 2017-06-21 | 2018-06-14 | Semiconductor optical device, semiconductor light source, and optical integrated circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017121137A JP6940866B2 (ja) | 2017-06-21 | 2017-06-21 | 半導体光デバイス、半導体光源、光集積回路、及び半導体光デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019009169A JP2019009169A (ja) | 2019-01-17 |
JP6940866B2 true JP6940866B2 (ja) | 2021-09-29 |
Family
ID=64693681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017121137A Active JP6940866B2 (ja) | 2017-06-21 | 2017-06-21 | 半導体光デバイス、半導体光源、光集積回路、及び半導体光デバイスの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10297978B2 (ja) |
JP (1) | JP6940866B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023100296A1 (ja) * | 2021-12-01 | 2023-06-08 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
Family Cites Families (16)
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JPS63278324A (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | イオン注入によるp型導電領域の形成方法 |
JPH0964459A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-03-07 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JPH10209569A (ja) * | 1997-01-16 | 1998-08-07 | Hewlett Packard Co <Hp> | p型窒化物半導体装置とその製造方法 |
JP3461112B2 (ja) * | 1997-12-19 | 2003-10-27 | 昭和電工株式会社 | Iii族窒化物半導体発光素子 |
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JP4894576B2 (ja) * | 2007-03-16 | 2012-03-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体光素子の製造方法 |
JP5891390B2 (ja) * | 2012-10-05 | 2016-03-23 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 窒化物半導体構造、積層構造、および窒化物半導体発光素子 |
-
2017
- 2017-06-21 JP JP2017121137A patent/JP6940866B2/ja active Active
-
2018
- 2018-06-14 US US16/008,261 patent/US10297978B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180375291A1 (en) | 2018-12-27 |
JP2019009169A (ja) | 2019-01-17 |
US10297978B2 (en) | 2019-05-21 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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