JP6930909B2 - 検査用光照射装置及び検査システム - Google Patents
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Description
200 撮像装置
300 検査用光照射装置
W ワーク
10 光源部
LS 発光面
20 反射部材
30 レンズ部
IS 入射面
ES 出射面
40 位置調整機構
50 第2のレンズ部
Claims (7)
- 発光面を有した光源部と、光を反射する反射部材と、光の入射面及び出射面を有したレンズ部と、これら光源部、反射部材及びレンズ部を保持する筐体とを備え、
前記発光面が、前記反射部材で折り曲げられた前記レンズ部の光軸上に配置されて、前記発光面から出た光が前記反射部材で反射し、前記レンズ部の入射面を通って出射面から出射するように構成された検査用光照射装置において、
前記発光面から出射した光の一部が、前記反射部材を介することなく前記レンズ部の入射面に到達するように構成されていると共に、前記入射面が、平面状又は凹面状をなすように形成されていることを特徴とする検査用光照射装置。 - 前記反射部材で折り曲げられた前記レンズ部の光軸上において前記光源部の発光面の位置を調整する位置調整機構をさらに備える請求項1記載の検査用光照射装置。
- 前記レンズ部が、一つ以上のレンズを備えるものであり、
前記光源部の発光面の径が、前記レンズ部の出射面の径に対して30%以下である請求項1又は2のいずれかに記載の検査用光照射装置。 - 前記光源部の発光面を物体とした場合の物体側NAが0.5よりも小さい請求項1乃至3のいずれかに記載の検査用光照射装置。
- 前記光源部の発光面から出射した全光束のうち、13.5%以上の光束が前記物体側NAの外側にある請求項4記載の検査用光照射装置。
- 前記光源部と前記反射部材との間に配置された第2のレンズ部をさらに具備している請求項1乃至5のいずれかに記載の検査用光照射装置。
- 前記請求項1乃至6のいずれかに記載の検査用光照射装置と、
前記検査用光照射装置によって光が照射されたワークを撮像する撮像装置と、を備えた検査システム。
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JP2017248706A JP6930909B2 (ja) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 検査用光照射装置及び検査システム |
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EP3988513A4 (en) | 2019-06-19 | 2023-12-06 | Agc Inc. | GLASS SUBSTRATE |
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