JP6929541B2 - 接合方法 - Google Patents
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Description
2 接合対象部品
3 接合対象部品
4 接合補助部品
5 接合補助部品
6 界面部分
7 接合材
8 界面部分
9 界面部分
21 セラミックス基板
22 金属部材
31 半導体装置
32 金属部材
41 金属パッド
42 レジンパッド
43 レジンパッド
51 金属パッド
52 レジンパッド
53 レジンパッド
101 接合装置
102 装置躯体部
103 作業空間部
104 加圧機構
105 出力部材
106 支持具
107 支持空間部
108 支持部
109 共振器
110 接合ツール部
111 被支持部
112 振動子
113 受止部
Claims (2)
- 2つの接合対象部品を積層した構造の接合対象構造物と受止部との間又は前記接合対象構造物と共振器との間の一方又は両方にレジンパッドと金属パッドとを積層した構造の接合補助部品が配置され、前記接合対象構造物と前記接合補助部品とが互いに接触する方向で加圧され、前記共振器が当該共振器の一端部に取り付けられた振動子から伝達された音波振動又は超音波振動に共振して前記加圧される方向に直交する横方向に振動して前記2つの接合対象部品どうしを接合することを特徴とする接合方法。
- 前記接合対象構造物が前記2つの接合対象部品の間に金属製の接合材を配置した構造であり、前記共振器が前記振動子から伝達された音波振動又は超音波振動に共振して前記加圧される方向に直交する横方向に振動して前記2つの接合対象部品どうしを前記接合材で接合することを特徴とする請求項1記載の接合方法。
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JP2017183050A JP6929541B2 (ja) | 2017-09-22 | 2017-09-22 | 接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017183050A JP6929541B2 (ja) | 2017-09-22 | 2017-09-22 | 接合方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019058910A JP2019058910A (ja) | 2019-04-18 |
JP6929541B2 true JP6929541B2 (ja) | 2021-09-01 |
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ID=66176986
Family Applications (1)
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JP2017183050A Active JP6929541B2 (ja) | 2017-09-22 | 2017-09-22 | 接合方法 |
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Family Cites Families (3)
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JP3244664B2 (ja) * | 1998-12-10 | 2002-01-07 | 株式会社アルテクス | 超音波振動接合装置 |
JP2016078093A (ja) * | 2014-10-20 | 2016-05-16 | 株式会社アルテクス | 接合構造体及び音波又は超音波接合方法 |
JP2016203251A (ja) * | 2014-12-04 | 2016-12-08 | 株式会社アルテクス | 金属接合方法及び金属接合構造体 |
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2017
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