JP6920629B2 - ワーク分割装置及びワーク分割方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係るワーク分割装置10Aの要部縦断面図であり、図2は、ワーク分割装置10Aの要部拡大斜視図である。なお、ワーク分割装置10Aによって分割処理されるウェーハユニットのサイズは限定されるものではないが、実施形態では、図23に示した直径300mmのウェーハ1がマウントされたウェーハユニット2を例示する。
図6は、第2実施形態に係るワーク分割装置10Bの要部縦断面図であり、図7は、ワーク分割装置10Bの要部拡大斜視図である。なお、ワーク分割装置10Bによって処理されるウェーハユニットについても、図23に示した直径300mmのウェーハ1がマウントされたウェーハユニット2を例示する。また、図1、図2に示したワーク分割装置10Aと同一又は類似の部材については同一の符号を付して説明する。
一方、分割予定ライン5の密度の低いY方向と平行な方向に位置する内周側領域3FBは、幅寸法は小さくならずバネ定数は小さいが、密度の低いY方向の分割予定ライン5を分割するための好適な張力をウェーハ28に付与することができる。よって、X方向とY方向において分割予定ライン5の密度が異なるウェーハ28に対して好適な分割能力を実現することができる。
図13は、第3実施形態に係るワーク分割装置10Cの要部断面図である。
図15は、第4実施形態に係るワーク分割装置10Dの要部断面図である。
図17は、第5実施形態に係るワーク分割装置10Eの要部拡大断面図である。
図18は、第6実施形態に係るワーク分割装置10Fの要部拡大断面図である。
Claims (7)
- ワークの外径よりも大きい内径を有するリング状フレームにダイシングテープの外周部が固定され、前記ダイシングテープに貼付された前記ワークを分割予定ラインに沿って個々のチップに分割するワーク分割装置において、
前記ダイシングテープにおける前記ワークの貼付面と反対側の裏面側に配置され、前記リング状フレームの内径よりも小さく、かつ前記ワークの外径よりも大きいリング状に形成され、前記ダイシングテープの裏面を押圧して前記ダイシングテープを拡張させるエキスパンドリングと、
前記ダイシングテープにおける前記ワークの貼付面と同一側に配置され、前記リング状フレームの内径よりも小さく、かつ前記エキスパンドリングの外径よりも大きい開口部を有するリング状に形成され、前記エキスパンドリングによる前記ダイシングテープの拡張の際に前記ダイシングテープが当接される拡張規制リングと、
を備え、
前記拡張規制リングは、前記エキスパンドリングによる前記ダイシングテープの拡張の際に、前記ダイシングテープに当接するテープ位置規制部を有し、
前記テープ位置規制部は、前記リング状フレームの前記ダイシングテープが貼付されたテープ貼付面よりも前記エキスパンドリングが配置される側に配置される、
ワーク分割装置。 - 前記拡張規制リングは、前記リング状フレームに固定されるフレーム固定部と、前記拡張規制リングの前記開口部の周縁部に沿って前記ダイシングテープに向けて突出した凸条部と、を備え、
前記テープ位置規制部は、前記凸条部の先端部によって構成される、請求項1に記載のワーク分割装置。 - 前記拡張規制リングには、前記ダイシングテープにおける前記ワークの貼付面と同一側に配置されたフレーム固定部であって、前記リング状フレームに当接して前記リング状フレームを固定するフレーム固定部が備えられる、請求項1に記載のワーク分割装置。
- 前記拡張規制リングは、前記ダイシングテープにおける前記ワークの貼付面と同一側に配置されたフレーム固定部材であって、前記拡張規制リングを介して前記リング状フレームを固定するフレーム固定部材に着脱自在に固定される、請求項1に記載のワーク分割装置。
- ワークの外径よりも大きい内径を有するリング状フレームにダイシングテープの外周部が固定され、前記ダイシングテープに貼付された前記ワークを分割予定ラインに沿って個々のチップに分割するワーク分割方法において、
前記ダイシングテープにおける前記ワークの貼付面と反対側の裏面側に配置され、前記リング状フレームの内径よりも小さく、かつ前記ワークの外径よりも大きいリング状に形成されたエキスパンドリングを用いて、前記ダイシングテープを押圧して前記ダイシングテープを拡張することにより前記ダイシングテープに張力を発生させる拡張工程と、
前記ダイシングテープにおける前記ワークの貼付面と同一側に配置され、前記リング状フレームの内径よりも小さく、かつ前記エキスパンドリングの外径よりも大きい開口部を有するリング状に形成された拡張規制リングを用いて、前記ダイシングテープの拡張の際に前記拡張規制リングが前記ダイシングテープに当接することで前記ダイシングテープのうち外周側に位置する外周側領域の拡張を規制する拡張規制工程と、
前記外周側領域を除く前記ダイシングテープの拡張を継続して前記ワークを個々のチップに分割する分割工程と、
を備え、
前記拡張規制工程において前記拡張規制リングが前記ダイシングテープに当接する位置は、前記リング状フレームの前記ダイシングテープが貼付されたテープ貼付面よりも前記エキスパンドリングが配置される側である、
ワーク分割方法。 - 前記拡張規制リングの前記開口部は円形に形成される、請求項1、3から5のいずれか1項に記載のワーク分割装置。
- 前記拡張規制リングの前記開口部は楕円形に形成される、請求項1、3から5のいずれか1項に記載のワーク分割装置。
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