JP6917147B2 - 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 - Google Patents

基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 Download PDF

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Description

本開示は、基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体に関する。
特許文献1には、被処理膜が形成された基板を、気体の流速が10cm/秒以下である酸素含有雰囲気の処理室内に配置し、当該基板に紫外線を照射して被処理膜の一部を除去する基板処理方法が開示されている。
特開2016−27617号公報
上述の基板処理方法によれば、処理室内の気流に起因する処理斑(紫外線の照射による処理の進行度の斑)が低減されるので、紫外線(エネルギー線)の照射による処理の進行度の均一性を高めることができる。本開示は、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる基板処理装置及び基板処理方法を提供することを目的とする。
本開示の一側面に係る基板処理装置は、基板を収容する処理室と、処理室内の基板に処理用のエネルギー線を照射する光源と、処理室内の基板に交差する軸線まわりに当該基板及び光源の少なくとも一方を回転させる回転駆動部と、処理室外から処理室内及び処理室内から処理室外に気流を通す開状態と、当該気流を遮断する閉状態とを切り替える開閉機構と、開状態及び閉状態を切り替えるように開閉機構を制御することと、開閉機構が開状態を閉状態に切り替えるのに同期して光源の出射光量を増加させることと、開閉機構が閉状態を開状態に切り替えるのに同期して光源の出射光量を減少させることと、を実行するように構成された制御部と、を備える。
この基板処理装置によれば、処理室内の基板及び光源の少なくとも一方を回転駆動部が回転させることにより、光源から基板の各部に到達するエネルギー線の強度の斑(以下、「照度斑」という。)に起因する処理斑が低減される。ここで、基板及び光源の少なくとも一方の回転により、気流起因の処理斑(処理室内の気流に起因する処理斑)も低減されることが期待される。しかしながら、本願発明者等は、基板及び光源の少なくとも一方を回転させたとしても、処理室内の換気用の気流に起因する処理斑を十分に低減できない場合があることを見出した。そこで、本基板処理装置は、開閉機構と、制御部とを更に備えており、制御部は、開状態及び閉状態を切り替えるように開閉機構を制御することと、開閉機構が開状態を閉状態に切り替えるのに同期して光源の出射光量を増加させ、開閉機構が閉状態を開状態に切り替えるのに同期して光源の出射光量を減少させることとを実行するように構成されている。これにより、基板の回転によっても低減させられない気流起因の処理斑を低減することができる。従って、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
処理室内の基板を加熱する熱板を更に備え、回転駆動部は、基板及び熱板を共に回転させるように構成されており、制御部は、光源の出射光量の増加に同期して基板及び熱板の回転速度を上昇させるように回転駆動部を制御することと、光源の出射光量の減少に同期して基板及び熱板の回転速度を低下させるように回転駆動部を制御することと、を更に実行するように構成されていてもよい。
この場合、光源の出射光量の減少時には基板及び熱板の回転速度を低下させることで、基板及び熱板の総回転角度を小さくすることができる。これにより、回転中に熱板へのエネルギー供給を継続するための構成を単純化することができる。
制御部は、光源の出射光量の増加に同期して基板及び熱板の回転速度を上昇させる際に、光源の出射光量の増加に先立って基板及び熱板の回転速度を上昇させるように回転駆動部を制御し、光源の出射光量の減少に同期して基板及び熱板の回転速度を低下させる際に、光源の出射光量の減少後に基板及び熱板の回転速度を低下させるように回転駆動部を制御し、基板及び熱板の回転速度が低下した後、基板及び熱板の回転速度が上昇する前に、基板が光源の出射光量の減少前の位置に戻るまで基板及び熱板を逆回転させるように回転駆動部を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。
この場合、光源の出射光量の増加に先立って基板及び熱板の回転速度を上昇させ、光源の出射光量の減少後に基板及び熱板の回転速度を低下させることで、基板の回転速度が安定しない加減速中における処理の進行が小さくなる。基板及び熱板の回転速度が低下した後、基板及び熱板の回転速度が上昇する前に、基板が光源の出射光量の減少前の位置に戻るまで基板及び熱板を逆回転させることで、光源の出射光量の減少時における基板の位置と、光源の出射光量の増加時における基板の位置との差異が小さくなる。従って、基板の回転の加減速に起因する照度斑が低減されるので、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
制御部は、光源の出射光量の減少に同期して基板及び熱板の回転速度を低下させる際に、光源の出射光量の減少時又は減少後に基板及び熱板の回転速度の低下を開始するように回転駆動部を制御し、光源の出射光量の増加に同期して基板及び熱板の回転速度を上昇させる際に、光源の出射光量の増加時又は増加前に基板及び熱板の回転速度の上昇が完了し、光源の出射光量の増加時における基板の位置及び光源の出射光量の減少時における基板の位置が一致する条件にて基板及び熱板の回転速度を上昇させるように回転駆動部を制御してもよい。
この場合、回転速度の上昇及び低下中における処理の進行が更に小さくなり、光源の出射光量の減少時における基板の位置と、光源の出射光量の増加時における基板の位置との差異が更に小さくなる。従って、基板の回転速度の上昇及び低下に起因する照度斑が更に低減されるので、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
制御部は、基板及び熱板を共に第一方向に回転させ、光源の出射光量の減少に同期して基板及び熱板の第一方向への回転速度を低下させ、光源の出射光量の増加に同期して基板及び熱板の第一方向への回転速度を上昇させるように回転駆動部を制御する第一回転制御と、基板及び熱板を共に第一方向とは逆の第二方向に回転させ、光源の出射光量の減少に同期して基板及び熱板の第二方向への回転速度を低下させ、光源の出射光量の増加に同期して基板及び熱板の第二方向への回転速度を上昇させるように回転駆動部を制御する第二回転制御とを、第一回転制御において回転速度の低下が完了する際の基板の位置(以下、「第一位置」という。)と第二回転制御において回転速度の低下が完了する際の基板の位置(以下、「第二位置」という。)とが異なる条件にて実行するように構成されていてもよい。
この場合、第一位置及び第二位置をずらすことで、基板の回転速度の上昇及び低下に起因する照度斑が低減されるので、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
制御部は、第一回転制御における回転速度の上昇及び低下中の基板の回転範囲(以下、「第一回転範囲」という。)と、第二回転制御における回転速度の上昇及び低下中の基板の回転範囲(以下、「第二回転範囲」という。)とが重複しないように、第一回転制御及び第二回転制御を実行するように構成されていてもよい。
この場合、第一回転範囲及び第二回転範囲を重複させないことで、基板の回転速度の上昇及び低下に起因する照度斑が更に低減されるので、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
制御部は、第一方向への基板及び熱板の回転速度の上昇及び低下を一定周期で繰り返すように第一回転制御を実行し、第二方向への基板及び熱板の回転速度の上昇及び低下を一定周期で繰り返すように第二回転制御を実行するように構成されていてもよい。
この場合、光源の出射光量の増加及び減少を一定周期で繰り返し、開閉機構による閉状態及び開状態の切り替えを一定周期で繰り返すことが可能となるので、換気周期の変動に起因する処理斑を低減することができる。従って、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
本開示の他の側面に係る基板処理方法は、基板を処理室内に収容することと、処理室内の基板を熱板により加熱することと、処理室内の基板に処理用のエネルギー線を照射することと、処理室内の基板に交差する軸線まわりに当該基板又はエネルギー線の光源を回転させることと、処理室外から処理室内及び処理室内から処理室外に気流を通す開状態と、当該気流を遮断する閉状態とを切り替えることと、開状態を閉状態に切り替えるのに同期して光源の出射光量を増加させることと、閉状態を開状態に切り替えるのに同期して光源の出射光量を減少させることと、を含む。
処理室内の基板を熱板により加熱することを更に含み、基板及び熱板を共に回転させ、光源の出射光量の増加に同期して基板及び熱板の回転速度を上昇させることと、光源の出射光量の減少に同期して基板及び熱板の回転速度を低下させることと、を更に含んでもよい。
光源の出射光量の増加に同期して基板及び熱板の回転速度を上昇させる際に、光源の出射光量の増加に先立って基板及び熱板の回転速度を上昇させ、光源の出射光量の減少に同期して基板及び熱板の回転速度を低下させる際に、光源の出射光量の減少後に基板及び熱板の回転速度を低下させ、基板及び熱板の回転速度が低下した後、基板及び熱板の回転速度が上昇する前に、基板が光源の出射光量の減少前の位置に戻るまで基板及び熱板を逆回転させることを更に含んでもよい。
光源の出射光量の減少に同期して基板及び熱板の回転速度を低下させる際に、光源の出射光量の減少時又は光源の出射光量の減少後に基板及び熱板の回転速度の低下を開始し、光源の出射光量の増加に同期して基板及び熱板の回転速度を上昇させる際に、光源の出射光量の増加時又は光源の出射光量の増加前に基板及び熱板の回転速度の上昇が完了し、光源の出射光量の増加時における基板の位置及び光源の出射光量の減少時における基板の位置が一致する条件にて基板及び熱板の回転速度を上昇させてもよい。
基板及び熱板を共に第一方向に回転させ、光源の出射光量の減少に同期して基板及び熱板の第一方向への回転速度を低下させ、光源の出射光量の増加に同期して基板及び熱板の第一方向への回転速度を上昇させる第一回転制御と、基板及び熱板を共に第一方向とは逆の第二方向に回転させ、光源の出射光量の減少に同期して基板及び熱板の第二方向への回転速度を低下させ、光源の出射光量の増加に同期して基板及び熱板の第二方向への回転速度を上昇させる第二回転制御とを、第一回転制御において回転速度の低下が完了する際の基板の位置と第二回転制御において回転速度の低下が完了する際の基板の位置とが異なる条件にて実行してもよい。
第一回転制御における回転速度の上昇及び低下中の基板の回転範囲と、第二回転制御における回転速度の上昇及び低下中の基板の回転範囲とが重複しないように、第一回転制御及び第二回転制御を実行してもよい
第一方向への基板及び熱板の回転速度の上昇及び低下を一定周期で繰り返すように第一回転制御を実行し、第二方向への基板及び熱板の回転速度の上昇及び低下を一定周期で繰り返すように第二回転制御を実行してもよい。
本開示の他の側面に係る記憶媒体は、上記基板処理方法を装置に実行させるためのプログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体である。
本開示によれば、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
基板処理装置の構成を模式的に示す斜視図である。 図1中のII−II線に沿う断面図である。 エッチングユニットの構成を模式的に示す断面図である。 照射部の斜視図である。 制御部のハードウェア構成を例示するブロック図である。 エッチングユニットによる処理手順を示すフローチャートである。 基板の搬入から熱処理開始までのエッチングユニットの動作を示す図である。 エッチング処理手順を示すフローチャートである。 エッチング処理におけるエッチングユニットの動作を示す図である。 エッチング処理手順の変形例を示すフローチャートである。 図10の手順における基板の回転角度を例示する図である。 エッチング処理手順の変形例を示すフローチャートである。 図12に続く手順を示すフローチャートである。 図12及び13の手順における基板の回転角度を例示する図である。
以下、図面を参照しつつ、実施形態について詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
〔基板処理装置〕
本実施形態に係る基板処理装置1は、基板に対し、保護膜の形成と、エッチングによる保護膜表面の平滑化とを行う装置である。処理対象の基板は、例えば半導体のウェハWである。保護膜は、例えばスピンオンカーボン(SOC)等の所謂ハードマスクである。
図1及び2に示すように、基板処理装置1は、互いに隣接するキャリアブロック2及び処理ブロック3と、制御部100とを備える。
キャリアブロック2は、基板処理装置1内へのウェハWの導入及び基板処理装置1内からのウェハWの導出を行う。例えばキャリアブロック2は、ウェハW用の複数のキャリア11を支持可能であり、受け渡しアームA1を内蔵している。キャリア11は、例えば円形の複数枚のウェハWを収容する。受け渡しアームA1は、キャリア11からウェハWを取り出して処理ブロック3に渡し、処理ブロック3からウェハWを受け取ってキャリア11内に戻す。
処理ブロック3は、複数の液処理ユニットU1と、複数のエッチングユニットU2と、これらのユニットにウェハWを搬送する搬送アームA2とを有する。液処理ユニットU1は、ハードマスク形成用の処理液をウェハWの表面に供給して被膜を形成する処理(以下、「塗布処理」という。)を行う。エッチングユニットU2は、上記被膜をハードマスク化するための熱処理と、エッチングによりハードマスクの表面を平滑化する処理(以下、「エッチング処理」という。)とを行う。処理ブロック3内におけるキャリアブロック2側には棚部U10が設けられている。棚部U10は、上下方向に並ぶ複数のセルに区画されている。
制御部100は、ウェハWに対する塗布処理、熱処理、及びエッチング処理を実行するようにキャリアブロック2及び処理ブロック3を制御する。例えば制御部100は、まずキャリア11内のウェハWを棚部U10に搬送するように受け渡しアームA1を制御する。次に、制御部100は、棚部U10のウェハWを液処理ユニットU1に搬送するように搬送アームA2を制御し、当該ウェハWに塗布処理を施すように液処理ユニットU1を制御する。次に、制御部100は、ウェハWを液処理ユニットU1からエッチングユニットU2に搬送するように搬送アームA2を制御し、当該ウェハWに熱処理及びエッチング処理を施すようにエッチングユニットU2を制御する。次に、制御部100は、ウェハWをエッチングユニットU2から棚部U10に搬送するように搬送アームA2を制御し、当該ウェハWを棚部U10からキャリア11内に戻すように受け渡しアームA1を制御する。以上で一枚のウェハWに対する塗布処理、熱処理及びエッチング処理が完了する。
〔エッチングユニット〕
続いて、エッチングユニットU2について詳細に説明する。図3に示すように、エッチングユニットU2は、ウェハWを収容する処理室PRと、処理室PR内のウェハWを加熱する熱板41と、処理室PR内のウェハWに処理用のエネルギー線を照射する光源31と、処理室PR内のウェハWに交差(例えば直交)する軸線まわりに当該ウェハW又は光源31を回転させる回転駆動部60と、処理室PR外から処理室PR内及び処理室PR内から処理室PR外に気流を通す開状態と、当該気流を遮断する閉状態とを切り替える開閉機構70と、を有する。
例えばエッチングユニットU2は、ケース20と、照射部30と、第一支持部40と、第二支持部50と、回転駆動部60と、開閉機構70とを有する。
ケース20は、エッチングユニットU2の各構成要素を収容する。ケース20は、隔壁23と、窓部24と、出入口25と、シャッター26と、排気口27とを含む。隔壁23は、ケース20の内部を上側の第一空間21及び下側の第二空間22に区画する。第一空間21は、後述の光源31を収容し、第二空間22は、後述の第一支持部40、第二支持部50、回転駆動部60及び開閉機構70を収容する。
出入口25は、第二空間22の側壁に設けられており、第二空間22内へのウェハWの搬入及び第二空間22内からのウェハWの搬出に用いられる。シャッター26は、例えば電動モータ又はエアシリンダ等を動力源として、出入口25の状態を開状態又は閉状態に切り替える。開状態は、出入口25を通したウェハWの搬入・搬出が可能な状態であり、閉状態は、出入口25を通したウェハWの搬入・搬出が不可となる状態である。シャッター26は、閉状態においても、出入口25を通した通気を可能とする。すなわちシャッター26は、通気用の開口を残した状態で出入口25を閉じる。
排気口27は、第二空間22の側壁において、出入口25の逆側に設けられている。排気口27は、排気用のダクト28に接続されており、第二空間22内から第二空間22外に排気を導く。これにより、第二空間22内には、出入口25側から排気口27側に気流が形成される。上述のように、シャッター26は、通気用の隙間を残した状態で出入口25を閉じる。このため、上記気流はシャッター26が出入口25を閉じた状態においても形成される。
第一支持部40は、第二空間22内に設けられている。第一支持部40は、熱板41と、側壁42と、パッキン43とを含む。熱板41は、水平な上面を有し、例えば電熱線などのヒータを熱源として発熱する。側壁42は、熱板41の上面を囲むように設けられ、熱板41上に処理室PRを形成する。処理室PRは、ウェハWを収容する。熱板41は、処理室PR内のウェハWを水平に支持し、当該ウェハWを加熱する。パッキン43は、側壁42と隔壁23との間を封止するために、側壁42の上端面に沿って設けられている。
第二支持部50は、第二空間22内において第一支持部40の下方に設けられている。第二支持部50は、上方に突出して熱板41を貫通する複数の支持ピン51を含む。
回転駆動部60は、処理室PR内のウェハW、及び熱板41を、ウェハWに交差する軸線まわりに共に回転させる。例えば回転駆動部60は、電動モータ等を動力源とし、鉛直な軸線回りに第一支持部40を回転させる。
開閉機構70は、処理室PRの状態を開状態又は閉状態に切り替える。開状態は、処理室PR外から処理室PR内及び処理室PR内から処理室PR外に気流を通す状態であり、閉状態は、当該気流を遮断する状態である。例えば開閉機構70は、電動モータ又はエアシリンダ等を動力源として第一支持部40を昇降させる。開閉機構70が第一支持部40を上昇させると、側壁42の上端面が隔壁23に接近し、パッキン43が隔壁23に密着する。これにより、開状態が閉状態に切り替わる。開閉機構70が第一支持部40を下降させると、パッキン43が隔壁23から離れ、側壁42の上端面が隔壁23から遠ざかる。これにより、閉状態が開状態に切り替わる。
なお、閉状態においては、開状態における気流(処理室PR外から処理室PR内及び処理室PR内から処理室PR外に通る気流)の少なくとも一部が遮断されればよく、必ずしも開状態における気流の全てが遮断されなくてよい。例えば第一支持部40はパッキン43を有さず、閉状態において側壁42の上端面と隔壁23との間に隙間が形成されていてもよい。
照射部30は、光源31と、窓部32とを有する。光源31は、処理室PR内のウェハWに処理用のエネルギー線を照射する。エネルギー線は、例えば波長10〜300nmの紫外線である。光源31は、ウェハWの表面Waにおいて、少なくとも周方向に照度斑が生じるように配置されている。例えば照射部30は、処理室PR内のウェハWに対向する面に沿った少なくとも一本の直管型の光源31を有する。照射部30は、互いに平行に並んだ複数本の光源31を有してもよい(図4参照)。窓部32は隔壁23において処理室PRに対応する位置に設けられており、光源31からのエネルギー線を処理室PR側に透過させる。
このように構成されたエッチングユニットU2は、上述の制御部100により制御される。制御部100は、開状態及び閉状態を切り替えるように開閉機構70を制御することと、開閉機構70が開状態を閉状態に切り替えるのに同期して光源31の出射光量を増加させることと、開閉機構70が閉状態を開状態に切り替えるのに同期して光源31の出射光量を減少させることと、を実行するように構成されている。
なお、「同期」とは、二つのタイミングが関連することを意味しており、必ずしも二つのタイミングが同時であることを意味するものではない。以下においても同様である。例えば、二つのタイミングが互いにずれている場合であっても、これらが同一の順序及び同一の時間差で繰り返す場合、これらは同期している。出射光量を増加させることは、消灯状態の光源31を点灯することを含み、出射光量を減少させることは、点灯状態の光源31を消灯させることを含む。
制御部100は、光源31の出射光量の増加に同期してウェハW及び熱板41の回転速度を上昇させるように回転駆動部60を制御することと、光源31の出射光量の減少に同期してウェハW及び熱板41の回転速度を低下させるように回転駆動部60を制御することと、を更に実行するように構成されていてもよい。
なお、ウェハW及び熱板41の回転速度を上昇させることは、停止しているウェハW及び熱板41の回転を開始させることを含み、ウェハW及び熱板41の回転速度を低下させることは、ウェハW及び熱板41の回転を停止させることを含む。
例えば制御部100は、機能上の構成(以下、「機能ブロック」という。)として、熱板制御部111と、搬入・搬出制御部112と、換気制御部113と、照射制御部114と、回転制御部115とを有する。
熱板制御部111は、ウェハWを加熱するための温度を調節するように熱板41を制御する。搬入・搬出制御部112は、第二空間22内へのウェハWの搬入及び搬出を行うようにシャッター26、開閉機構70及び搬送アームA2を制御する。換気制御部113は、処理室PRを開状態又は閉状態に切り替えるように開閉機構70を制御する。照射制御部114は、光源31を点灯又は消灯させるように照射部30を制御する。回転制御部115は、ウェハW及び熱板41の回転速度及び回転角度を目標値に追従させるように回転駆動部60を制御する。
制御部100は、一つ又は複数の制御用コンピュータにより構成される。例えば制御部100は、図5に示す回路120を有する。回路120は、一つ又は複数のプロセッサ121と、メモリ122と、ストレージ123と、入出力ポート124と、タイマ125とを有する。
ストレージ123は、後述の基板処理方法をエッチングユニットU2に実行させるためのプログラムを記録した記憶媒体である。例えばストレージ123は、上記各機能ブロックを構成するためのプログラムを記録している。ストレージ123は、コンピュータ読み取り可能であればどのようなものであってもよい。具体例として、ハードディスク、不揮発性の半導体メモリ、磁気ディスク及び光ディスク等が挙げられる。メモリ122は、ストレージ123からロードしたプログラム及びプロセッサ121の演算結果等を一時的に記憶する。プロセッサ121は、メモリ122と協働してプログラムを実行することで、各機能ブロックを構成する。
入出力ポート124は、プロセッサ121からの指令に応じ、シャッター26、回転駆動部60、開閉機構70、及び照射部30との間で電気信号の入出力を行う。タイマ125は、例えば一定周期の基準パルスをカウントすることで経過時間を計測する。
なお、制御部100のハードウェア構成は、必ずしもプログラムにより各機能ブロックを構成するものに限られない。例えば制御部100の上記機能ブロックの少なくとも一部は、専用の論理回路又はこれを集積したASIC(Application Specific Integrated Circuit)により構成されていてもよい。
〔基板処理方法〕
続いて、基板処理方法の一例として、制御部100によるエッチングユニットU2の制御手順を説明する。本手順の開始に先立って、エッチングユニットU2は、シャッター26が出入口25を閉状態とし、開閉機構70が処理室PRを閉状態とした状態となっている(図7の(a)参照)。
図6は、制御部100によるエッチングユニットU2の制御手順を例示するフローチャートである。まず、制御部100は、ステップS01を実行する。ステップS01では、熱板制御部111が、ウェハWを加熱するための温度調節を開始するように熱板41を制御する。
次に、制御部100はステップS02を実行する。ステップS02では、換気制御部113が、処理室PRの状態を閉状態から開状態に切り替えるように開閉機構70を制御する。例えば搬入・搬出制御部112は、パッキン43が隔壁23に接する第一位置から、パッキン43が隔壁23から離れる第二位置まで第一支持部40を下降させるように開閉機構70を制御する(図7の(b)参照)。これにより、処理室PR外から処理室PR内及び処理室PR内から処理室PR外に気流が通る。具体的には、出入口25から排気口27へ向かう気流の少なくとも一部が処理室PR内を通る。
次に、制御部100はステップS03を実行する。ステップS03では、搬入・搬出制御部112が、ウェハWを第二空間22内に搬入するための制御を実行する。例えば、搬入・搬出制御部112は、出入口25の状態を閉状態から開状態に切り替えるようにシャッター26を制御し、上記第二位置よりも更に低い第三位置まで第一支持部40を下降させるように開閉機構70を制御する。第三位置は、支持ピン51の先端部が熱板41の上面から突出するように設定されている。その後、搬入・搬出制御部112は、出入口25を通してウェハWを第二空間22内に搬入し、支持ピン51の上に水平に配置するように搬送アームA2を制御する(図7の(c)参照)。その後、搬入・搬出制御部112は、出入口25の状態を開状態から閉状態に切り替えるようにシャッター26を制御する(図7の(d)参照)。
次に、制御部100はステップS04を実行する。ステップS04では、熱板制御部111が、ウェハWを処理室PR内に収容可能な第四位置まで第一支持部40を上昇させる(図7の(d)参照)。処理室PR内に収容されたウェハWは熱板41により加熱される。第四位置は、処理室PRが開状態となるように設定されている。このため、ステップS04の実行中においては、出入口25から排気口27へ向かう気流の少なくとも一部が処理室PR内を通るので、処理室PR内が継続的に換気される。第四位置は上記第二位置と同じであってもよい。その後、熱板制御部111は所定時間の経過を待機する。所定時間は、上記被膜のハードマスク化を十分に進行させる観点にて、事前の実機試験又はシミュレーション等により予め設定されている。
次に、制御部100はステップS05を実行する。ステップS05では、換気制御部113、照射制御部114及び回転制御部115が、エッチング処理を実行するように開閉機構70、照射部30及び回転駆動部60をそれぞれ制御する。ステップS05の具体的内容は後述する。
次に、制御部100はステップS06を実行する。ステップS06では、処理対象の全ウェハWの処理が完了したか否かを搬入・搬出制御部112が確認する。
ステップS06において、全ウェハWの処理が完了していないと判定した場合、制御部100はステップS07を実行する。ステップS07では、搬入・搬出制御部112が、ウェハWを第二空間22内から搬出し、次のウェハWを第二空間22内に搬入するための制御を実行する。例えば、搬入・搬出制御部112は、出入口25の状態を閉状態から開状態に切り替えるようにシャッター26を制御し、上記第三位置まで第一支持部40を下降させるように開閉機構70を制御する。その後、搬入・搬出制御部112は、出入口25を通してウェハWを第二空間22内から搬出し、出入口25を通して次のウェハWを第二空間22内に搬入し、当該次のウェハWを支持ピン51の上に水平に配置するように搬送アームA2を制御する。その後、搬入・搬出制御部112は、出入口25の状態を開状態から閉状態に切り替えるようにシャッター26を制御する。
ステップS07の実行後、制御部100は処理をステップS04に戻す。以後、全ウェハWの処理が完了するまで、熱処理及びエッチング処理が繰り返される。
ステップS06において、全ウェハWの処理が完了したと判定した場合、制御部100はステップS08を実行する。ステップS08では、搬入・搬出制御部112が、ウェハWを第二空間22内から搬出するための制御を実行する。例えば、搬入・搬出制御部112は、出入口25の状態を閉状態から開状態に切り替えるようにシャッター26を制御し、上記第三位置まで第一支持部40を下降させるように開閉機構70を制御する。その後、搬入・搬出制御部112は、出入口25を通してウェハWを第二空間22内から搬出するように搬送アームA2を制御する。その後、搬入・搬出制御部112は、出入口25を開状態に維持する。
次に、制御部100はステップS09を実行する。ステップS09では、換気制御部113が、処理室PRの状態を開状態から閉状態に切り替えるように開閉機構70を制御する。例えば換気制御部113は、上記第一位置まで第一支持部40を上昇させるように開閉機構70を制御する。
次に、制御部100はステップS10を実行する。ステップS10では、熱板制御部111が、ウェハWを加熱するための温度調節を停止するように熱板41を制御する。以上で、制御部100によるエッチングユニットU2の制御手順が完了する。
続いて、ステップS05におけるエッチング処理の手順を説明する。図8は、エッチング処理において制御部100が実行する制御手順(以下、「エッチング制御手順」という。)を例示するフローチャートである。
制御部100は、まずステップS21を実行する。ステップS21では、換気制御部113が、処理室PRの状態を開状態から閉状態に切り替えるように開閉機構70を制御する。例えば換気制御部113は、上記第一位置まで第一支持部40を上昇させるように開閉機構70を制御する(図9の(a)参照)。
次に、制御部100はステップS22を実行する。ステップS22では、照射制御部114が、光源31を点灯させるように照射部30を制御する(図9の(b)参照)。
次に、制御部100はステップS23を実行する。ステップS23では、回転制御部115が、ウェハW及び熱板41の回転を開始し、ウェハW及び熱板41の回転速度を所定速度まで加速するように回転駆動部60を制御する。所定速度は、当該速度で回転させる後述の第一角度と、当該速度での回転中にウェハWにエネルギー線を照射すべき時間(以下、「要照射時間」という。)とに応じて予め設定されている。例えば所定速度は、第一角度を要照射時間で除算した値となっている。
次に、制御部100はステップS24を実行する。ステップS24では、上記所定速度でのウェハW及び熱板41の回転角度が第一角度に到達するのを回転制御部115が待機する。第一角度は、ウェハWの合計回転角度が後述の第二角度に到達するまでの間に、処理室PR内を換気すべき回数(以下、「要換気回数」という。)に応じて予め設定されている。例えば第一角度は、第二角度を要換気回数で除算した値から、ウェハW及び熱板41の加速・減速中の回転角度を減算した値となっている。
次に、制御部100はステップS25を実行する。ステップS25では、回転制御部115が、ウェハW及び熱板41の回転速度を減速し、ウェハW及び熱板41の回転を停止させるように回転駆動部60を制御する。
次に、制御部100はステップS26を実行する。ステップS26では、照射制御部114が、光源31を消灯させるように照射部30を制御する。
次に、制御部100はステップS27を実行する。ステップS27では、換気制御部113が、処理室PRの状態を閉状態から開状態に切り替えるように開閉機構70を制御する。例えば換気制御部113は、上記第四位置まで第一支持部40を下降させるように開閉機構70を制御する(図9の(c)参照)。これにより、第二空間22内を通って出入口25から排気口27へ向かう気流の少なくとも一部が処理室PR内を通るので、処理室PR内が換気される。
次に、制御部100はステップS28を実行する。ステップS28では、ウェハWの合計回転角度が第二角度に到達したか否かを回転制御部115が確認する。第二角度は、構造上の制約条件に応じて設定されている。上記制約条件は、例えば、熱板41に電力を供給するためのケーブルの長さを含む。
ステップS28において、合計回転角度が第二角度に到達していないと判定した場合、制御部100はステップS29を実行する。ステップS29では、換気制御部113が所定の換気時間の経過を待機する。換気時間は、処理室PR内の換気を十分に行う観点にて、理論式、シミュレーション又は実機試験により予め設定されている。処理室PRの換気が十分に行われた状態は、例えば、処理室PR内の気体の組成が、光源31の点灯(ステップS22)前における処理室PR内の気体の組成と実質的に同等となった状態である。
ステップS29の実行後、制御部100は処理をステップS21に戻す。以後、ウェハWの合計回転角度が第二角度に到達するまでは、処理室PR内のウェハWを回転させながら、光源31から当該ウェハWにエネルギー線を照射することと、光源31を消灯させた状態にて処理室PR内を換気することと、が一定周期で繰り返される。
ステップS28において、ウェハWの合計回転角度が第二角度に到達したと判定した場合、制御部100はステップS30を実行する。
ステップS30では、回転制御部115が、ステップS23を最初に実行する前の状態まで、ウェハW及び熱板41を逆回転させるように回転駆動部60を制御する。例えば回転制御部115は、上記合計回転角度と同じ回転角度にてウェハW及び熱板41を逆回転させるように回転駆動部60を制御する。以上でエッチング処理が完了する。
〔変形例1〕
制御部100は、光源31の点灯に同期してウェハW及び熱板41の回転を開始する際に、光源31の点灯に先立ってウェハW及び熱板41の回転を開始するように回転駆動部60を制御し、光源31の消灯に同期してウェハW及び熱板41の回転を停止する際に、光源31の消灯後にウェハW及び熱板41の回転を停止させるように回転駆動部60を制御してもよい。例えば制御部100は、ステップS22における光源31の点灯に先立ってステップS23におけるウェハWの加速を開始し、ステップS25におけるウェハWの停止に先立ってステップS26を実行するように構成されていてもよい。
この場合、制御部100は、ウェハW及び熱板41の回転が停止した後、ウェハW及び熱板41の回転が開始する前に、ウェハWが光源31の消灯前の位置に戻るまでウェハW及び熱板41を逆回転させるように回転駆動部60を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。
制御部100は、光源31の消灯に同期してウェハW及び熱板41の回転を停止する際に、光源31の消灯時又は消灯後にウェハW及び熱板41の減速を開始するように回転駆動部60を制御し、光源31の点灯に同期してウェハW及び熱板41の回転を開始する際に、光源31の点灯時又は点灯前にウェハW及び熱板41の加速が完了し、光源31の点灯時におけるウェハWの位置及び光源31の消灯時におけるウェハWの位置が一致する条件にてウェハW及び熱板41を加速するように回転駆動部60を制御してもよい。
図10は、これらの変形例を具体的に示すフローチャートである。図10におけるステップS41〜S47は、以下の点を除き、上述したステップS21〜S27と同じである。
i) ステップS23に相当するステップS42(ウェハW及び熱板41の加速)、及びステップS22に相当するステップS43(光源31の点灯)の実行順序が、ステップS22,S23の実行順序と逆転している。すなわち、制御部100は、光源31の点灯直前にウェハW及び熱板41の加速が完了するように回転駆動部60を制御する。
ii) ステップS26に相当するステップS45(光源31の消灯)、及びステップS25に相当するステップS46(ウェハW及び熱板41の減速)の実行順序が、ステップS25,S26の実行順序と逆転している。すなわち、制御部100は、光源31の消灯直後にウェハW及び熱板41の減速を開始するように回転駆動部60を制御する。
図11の(a)は、ステップS41〜S47におけるウェハWの動きを模式的に示している。角度θ1は、ステップS42における加速中の回転角度であり、角度θ2は、ステップS44における回転角度(第一角度)であり、角度θ3は、ステップS46における減速中の回転角度である。
図10に戻り、制御部100は、次にステップS28と同様のステップS48を実行する。ステップS48では、ステップS28と同様に、ウェハWの合計回転角度が第二角度に到達したか否かを回転制御部115が確認する。
ステップS48において、合計回転角度が第二角度に到達していないと判定した場合、制御部100はステップS49を実行する。ステップS49では、ウェハWが光源31の消灯(ステップS45)前の位置に戻るまでウェハW及び熱板41を逆回転させるように、回転制御部115が回転駆動部60を制御する。
図11の(b)は、ステップS49におけるウェハWの動きを模式的に示しており、角度θ4はステップS49における逆回転の角度である。角度θ4は、例えば角度θ1,θ2の和と同等である。
図10に戻り、制御部100は、次にステップS29と同様のステップS50を実行する。ステップS50では、換気制御部113が上記換気時間の経過を待機する。
ステップS50の実行後、制御部100は処理をステップS41に戻す。以後、ウェハWの合計回転角度が第二角度に到達するまでは、ウェハWの加速完了後に、処理室PR内のウェハWを回転させながら、光源31から当該ウェハWにエネルギー線を照射することと、ウェハWの消灯後に、ウェハWを減速・停止させることと、光源31の消灯前の位置までウェハWを逆回転させることと、処理室PR内を換気することと、が一定周期で繰り返される。
図11の(c)は、図11の(b)の状態の後、ステップS41〜S47を実行する際のウェハWの動きを模式的に示している。上述のように、逆回転の角度θ4は、角度θ1,θ2の和と同等である。このため、光源31の点灯(ステップS43)時におけるウェハWの位置P2と、前回の光源31の消灯(ステップS45)時におけるウェハWの位置P1が一致している。すなわち、制御部100は、光源31の点灯時におけるウェハWの位置及び光源31の消灯時におけるウェハWの位置が一致する条件にてウェハW及び熱板41を加速するように回転駆動部60を制御する。
ステップS48において、ウェハWの合計回転角度が第二角度に到達したと判定した場合、制御部100はステップS51を実行する。ステップS51では、回転制御部115が、ステップS42を最初に実行する前の状態まで、ウェハW及び熱板41を逆回転させるように回転駆動部60を制御する。例えば回転制御部115は、上記合計回転角度と同じ回転角度にてウェハW及び熱板41を逆回転させるように回転駆動部60を制御する。以上で図10のエッチング処理が完了する。
〔変形例2〕
制御部100は、ウェハW及び熱板41を共に第一方向に回転させ、光源31の消灯に同期してウェハW及び熱板41の第一方向への回転を停止させ、光源31の点灯に同期してウェハW及び熱板41の第一方向への回転を再開させるように回転駆動部60を制御する第一回転制御と、ウェハW及び熱板41を共に第一方向とは逆の第二方向に回転させ、光源31の消灯に同期してウェハW及び熱板41の第二方向への回転を停止させ、光源31の点灯に同期してウェハW及び熱板41の第二方向への回転を再開させるように回転駆動部60を制御する第二回転制御とを、第一回転制御におけるウェハWの停止位置と第二回転制御におけるウェハWの停止位置とが異なる条件にて実行するように構成されていてもよい。
更に、制御部100は、第一回転制御における加速及び減速中のウェハWの回転範囲と、第二回転制御における加速及び減速中のウェハWの回転範囲とが重複しないように、第一回転制御及び第二回転制御を実行するように構成されていてもよい。
更に、制御部100は、第一回転制御において、第一方向へのウェハW及び熱板41の回転及び当該回転の停止を一定周期で繰り返すように回転駆動部60を制御し、第二回転制御において、第二方向へのウェハW及び熱板41の回転及び当該回転の停止を上記一定周期で繰り返すように回転駆動部60を制御するように構成されていてもよい。
図12及び13は、これらの変形例を具体的に示すフローチャートである。図12のステップS61〜S69は、第一回転制御の一例であり、実質的に上記ステップS21〜S29と同じである。便宜上、ステップS61〜S69におけるウェハWの回転方向を上記第一方向とする。
ステップS68では、第一方向へのウェハWの合計回転角度が第二角度に到達したか否かを回転制御部115が確認する。制御部100は、上記合計回転角度が第二角度に到達するまで、ステップS61〜S69を一定周期で繰り返す。
ステップS68において、第一方向へのウェハWの合計回転角度が第二角度に到達したと判定した場合、制御部100はステップS70を実行する。ステップS70では、光源31が消灯した状態にて、第一方向に更にウェハWを回転させるように回転制御部115が回転駆動部60を制御する。ステップS70におけるウェハWの回転角度については後述する。
次に、制御部100は、ウェハWの回転方向を第一方向とは逆の第二方向に変更してステップS71〜S80を実行する。ステップS71〜S79は、第二回転制御の一例であり、ウェハWの回転方向が第二方向である点を除き、ステップS61〜S69と同じである。
ステップS78では、第二方向へのウェハWの合計回転角度が第二角度に到達したか否かを回転制御部115が確認する。制御部100は、上記合計回転角度が第二角度に到達するまで、ステップS71〜S79を一定周期で繰り返す。
ステップS78において、第二方向へのウェハWの合計回転角度が第二角度に到達したと判定した場合、制御部100はステップS80を実行する。ステップS80では、光源31が消灯した状態にて、第二方向に更にウェハWを回転させるように回転制御部115が回転駆動部60を制御する。ステップS80におけるウェハWの回転角度は、ステップS70におけるウェハWの回転角度と同じである。以上で図12及び13のエッチング処理が完了する。
図14の(a)は、ステップS61〜S69におけるウェハWの動きを模式的に示している。ステップS61〜S69において、ウェハWは第一方向D1に回転する。角度θ11は、ステップS63における加速中の回転角度であり、角度θ12は、ステップS64における回転角度(第一角度)であり、角度θ13は、ステップS65における減速中の回転角度である。図14の(b)は、ステップS70におけるウェハWの動きを模式的に示している。ステップS70において、ウェハWは第一方向D1に更に回転する。角度θ14は、ステップS70におけるウェハWの回転角度である。図14の(c)は、ステップS71〜S79におけるウェハWの動きを模式的に示している。ステップS71〜S79において、ウェハWは第二方向D2に回転する。
ステップS65におけるウェハWの停止位置P11と、ステップS75におけるウェハWの停止位置P12との関係は、角度θ14の設定によって調節可能である。また、ステップS63における加速及びステップS65における減速中のウェハWの回転範囲RA1と、ステップS73における加速及びステップS75における減速中のウェハWの回転範囲RA2との関係も、角度θ14の設定によって調節可能である。角度θ14は、停止位置P11と停止位置P12とが異なるように設定されており、回転範囲RA1と回転範囲RA2とが重複しないようにも設定されている。
なお、制御部100は、停止位置P11と停止位置P12とが異なる条件にて第一回転制御及び第二回転制御を実行するように構成されていればよいので、その具体的方式は上述したものに限られない。また、回転範囲RA1と回転範囲RA2とが重複しないようにする方式も上述したものに限られない。例えば制御部100は、ステップS70を行うことなく、図14の角度θ11,θ12,θ13を適宜変化させることで、停止位置P11と停止位置P12とをずらし、回転範囲RA1と回転範囲RA2との重複を回避するように構成されていてもよい。
〔本実施形態の効果〕
基板処理装置1は、ウェハWを収容する処理室PRと、処理室PR内のウェハWに処理用のエネルギー線を照射する光源31と、処理室PR内のウェハWに交差する軸線まわりに当該ウェハW及び光源31の少なくとも一方を回転させる回転駆動部60と、処理室PR外から処理室PR内及び処理室PR内から処理室PR外に気流を通す開状態と、当該気流を遮断する閉状態とを切り替える開閉機構70と、開状態及び閉状態を切り替えるように開閉機構70を制御することと、開閉機構70が開状態を閉状態に切り替えるのに同期して光源31の出射光量を増加させることと、開閉機構70が閉状態を開状態に切り替えるのに同期して光源31の出射光量を減少させることと、を実行するように構成された制御部100と、を備える。
この基板処理装置1によれば、処理室PR内のウェハW及び光源31の少なくとも一方を回転駆動部60が回転させることにより、光源31からウェハWの各部に到達するエネルギー線の強度の斑(以下、「照度斑」という。)に起因する処理斑が低減される。ここで、ウェハW及び光源31の少なくとも一方の回転により、気流起因の処理斑(処理室PR内の気流に起因する処理斑)も低減されることが期待される。しかしながら、本願発明者等は、ウェハW及び光源31の少なくとも一方を回転させたとしても、処理室PR内の換気用の気流に起因する処理斑を十分に低減できない場合があることを見出した。そこで、基板処理装置1は、開閉機構70と、制御部100とを更に備えており、制御部100は、開状態及び閉状態を切り替えるように開閉機構70を制御することと、開閉機構70が開状態を閉状態に切り替えるのに同期して光源31の出射光量を増加させ、開閉機構70が閉状態を開状態に切り替えるのに同期して光源31の出射光量を減少させることとを実行するように構成されている。これにより、ウェハWの回転によっても低減させられない気流起因の処理斑を低減することができる。従って、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
基板処理装置1は、処理室PR内のウェハWを加熱する熱板41を更に備え、回転駆動部60は、ウェハW及び熱板41を共に回転させるように構成されており、制御部100は、光源31の出射光量の増加に同期してウェハW及び熱板41の回転速度を上昇させるように回転駆動部60を制御することと、光源31の出射光量の減少に同期してウェハW及び熱板41の回転速度を低下させるように回転駆動部60を制御することと、を更に実行するように構成されていてもよい。
この場合、光源31の出射光量の減少時にはウェハW及び熱板41の回転速度を低下させることで、ウェハW及び熱板41の総回転角度を小さくすることができる。これにより、回転中に熱板41へのエネルギー供給を継続するための構成を単純化することができる。例えば、ブラシ等の可動接点を用いることなく、熱板41に有線での電力供給を継続することができる。
制御部100は、光源31の出射光量の増加に同期してウェハW及び熱板41の回転速度を上昇させる際に、光源31の出射光量の増加に先立ってウェハW及び熱板41の回転速度を上昇させるように回転駆動部60を制御し、光源31の出射光量の減少に同期してウェハW及び熱板41の回転速度を低下させる際に、光源31の出射光量の減少後にウェハW及び熱板41の回転速度を低下させるように回転駆動部60を制御し、ウェハW及び熱板41の回転速度が低下した後、ウェハW及び熱板41の回転速度が上昇する前に、ウェハWが光源31の出射光量の減少前の位置に戻るまでウェハW及び熱板41を逆回転させるように回転駆動部60を制御することを更に実行するように構成されていてもよい。
この場合、光源31の出射光量の増加に先立ってウェハW及び熱板41の回転速度を上昇させ、光源31の出射光量の減少後にウェハW及び熱板41の回転速度を低下させることで、ウェハWの回転速度が安定しない加減速中における処理の進行が小さくなる。ウェハW及び熱板41の回転速度が低下した後、ウェハW及び熱板41の回転速度が上昇する前に、ウェハWが光源の出射光量の減少前の位置に戻るまでウェハW及び熱板41を逆回転させることで、光源31の出射光量の減少時におけるウェハWの位置と、光源31の出射光量の増加時におけるウェハWの位置との差異が小さくなる。従って、ウェハWの回転の加減速に起因する照度斑が低減されるので、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
制御部100は、光源31の出射光量の減少に同期してウェハW及び熱板41の回転速度を低下させる際に、光源31の出射光量の減少時又は減少後にウェハW及び熱板41の回転速度の低下を開始するように回転駆動部60を制御し、光源31の出射光量の増加に同期してウェハW及び熱板41の回転速度を上昇させる際に、光源31の出射光量の増加時又は増加前にウェハW及び熱板41の回転速度の上昇が完了し、光源31の出射光量の増加時におけるウェハWの位置及び光源31の出射光量の減少時におけるウェハWの位置が一致する条件にてウェハW及び熱板41の回転速度を上昇させるように回転駆動部60を制御してもよい。
この場合、回転速度の上昇及び低下中における処理の進行が更に小さくなり、光源31の出射光量の減少時におけるウェハWの位置と、光源31の出射光量の増加時におけるウェハWの位置との差異が更に小さくなる。従って、ウェハWの回転速度の上昇及び低下に起因する照度斑が更に低減されるので、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
制御部100は、ウェハW及び熱板41を共に第一方向D1に回転させ、光源31の出射光量の減少に同期してウェハW及び熱板41の第一方向D1への回転速度を低下させ、光源31の出射光量の増加に同期してウェハW及び熱板41の第一方向D1への回転速度を上昇させるように回転駆動部60を制御する第一回転制御と、ウェハW及び熱板41を共に第一方向D1とは逆の第二方向D2に回転させ、光源31の出射光量の減少に同期してウェハW及び熱板41の第二方向D2への回転速度を低下させ、光源31の出射光量の増加に同期してウェハW及び熱板41の第二方向D2への回転速度を上昇させるように回転駆動部60を制御する第二回転制御とを、第一回転制御において回転速度の低下が完了する際のウェハWの位置P11と第二回転制御において回転速度の低下が完了する際のウェハWの位置P12とが異なる条件にて実行するように構成されていてもよい。
この場合、位置P11及び位置P12をずらすことで、基板の回転速度の上昇及び低下に起因する照度斑が低減されるので、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
制御部100は、第一回転制御における回転速度の上昇及び低下中のウェハWの回転範囲RA1と、第二回転制御における回転速度の上昇及び低下中のウェハWの回転範囲RA2とが重複しないように、第一回転制御及び第二回転制御を実行するように構成されていてもよい。
この場合、回転範囲RA1,RA2を重複させないことで、基板の回転速度の上昇及び低下に起因する照度斑が更に低減されるので、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
制御部100は、第一方向D1へのウェハW及び熱板41の回転速度の上昇及び低下を一定周期で繰り返すように第一回転制御を実行し、第二方向D2へのウェハW及び熱板41の回転速度の上昇及び低下を一定周期で繰り返すように第二回転制御を実行するように構成されていてもよい。
この場合、光源31の出射光量の増加及び減少を一定周期で繰り返し、開閉機構70による閉状態及び開状態の切り替えを一定周期で繰り返すことが可能となるので、処理室PR内の換気周期の変動に起因する処理斑を低減することができる。従って、エネルギー線の照射による処理の進行度の均一性を更に高めることができる。
以上、実施形態について説明したが、本開示は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。例えば、回転駆動部60は、ウェハW及び熱板41に変えて光源31を回転させてもよい。上述した構成は、レジスト膜等の有機膜に対するエネルギー線の照射にも適用可能である。処理対象の基板は半導体ウェハに限られず、例えばガラス基板、マスク基板、FPD(Flat Panel Display)等であってもよい。
1…基板処理装置、W…ウェハ(基板)、100…制御部、PR…処理室、41…熱板、31…光源、60…回転駆動部、70…開閉機構。

Claims (15)

  1. 基板を収容する処理室と、
    前記処理室内の前記基板に処理用のエネルギー線を照射する光源と、
    前記処理室内の前記基板に交差する軸線まわりに当該基板を回転させる回転駆動部と、
    前記処理室外から前記処理室内及び前記処理室内から前記処理室外に気流を通す開状態と、当該気流を遮断する閉状態とを切り替える開閉機構と、
    前記開状態及び前記閉状態を切り替えるように前記開閉機構を制御することと、前記開閉機構が前記開状態を前記閉状態に切り替えるのに同期して前記光源から前記処理室内の前記基板への前記エネルギー線の照射光量を処理用の第一光量まで増加させることと、前記開閉機構が前記閉状態を前記開状態に切り替えるのに同期して前記照射光量を、前記第一光量に比較して前記気流に起因する処理斑が低減される第二光量まで減少させることと、を実行するように構成された制御部と、
    前記処理室内の前記基板を支持して加熱する熱板と、を備え、
    前記回転駆動部は、前記基板を支持した前記熱板を回転させるように構成されており、
    前記制御部は、
    前記照射光量の増加に先立って前記熱板の回転速度を上昇させるように前記回転駆動部を制御することと、前記照射光量の減少後に前記熱板の回転速度を低下させるように前記回転駆動部を制御することと、
    前記熱板の回転速度が低下した後、前記熱板の回転速度が上昇する前に、前記照射光量の減少前の位置に戻るまで前記熱板を逆回転させるように前記回転駆動部を制御することと、を更に実行するように構成されている、基板処理装置。
  2. 前記照射光量を前記第一光量まで増加させることは、前記光源から前記処理室内の前記基板への前記エネルギー線の照射を開始することを含み、前記照射光量を前記第二光量まで減少させることは、前記光源から前記処理室内の前記基板への前記エネルギー線の照射を停止させることを含む、請求項1記載の基板処理装置。
  3. 前記制御部は、
    記照射光量の減少時又は減少後に前記熱板の回転速度の低下を開始し、その後更に前記熱板の回転速度を低下させるように前記回転駆動部を制御し、
    前記照射光量の増加に先立って前記熱板の回転速度を上昇させる際に、前記照射光量の増加時又は増加前に前記熱板の回転速度の上昇が完了し、前記照射光量の増加時における前記基板の位置及び前記照射光量の減少時における前記基板の位置が一致する条件にて前記熱板の回転速度を上昇させるように前記回転駆動部を制御する、請求項1又は2記載の基板処理装置。
  4. 基板を収容する処理室と、
    前記処理室内の前記基板に処理用のエネルギー線を照射する光源と、
    前記処理室内の前記基板に交差する軸線まわりに当該基板を回転させる回転駆動部と、
    前記処理室外から前記処理室内及び前記処理室内から前記処理室外に気流を通す開状態と、当該気流を遮断する閉状態とを切り替える開閉機構と、
    前記開状態及び前記閉状態を切り替えるように前記開閉機構を制御することと、前記開閉機構が前記開状態を前記閉状態に切り替えるのに同期して前記光源から前記処理室内の前記基板への前記エネルギー線の照射光量を処理用の第一光量まで増加させることと、前記開閉機構が前記閉状態を前記開状態に切り替えるのに同期して前記照射光量を前記気流に起因する処理斑が許容レベルとなる第二光量まで減少させることと、を実行するように構成された制御部と、
    前記処理室内の前記基板を支持して加熱する熱板と、を備え、
    前記回転駆動部は、前記基板を支持した前記熱板を回転させるように構成されており、
    前記制御部は、
    前記熱板を第一方向に回転させ、前記照射光量の減少に同期して前記熱板の前記第一方向への回転速度を低下させ、前記照射光量の増加に同期して前記熱板の前記第一方向への回転速度を上昇させるように前記回転駆動部を制御する第一回転制御と、
    前記熱板を前記第一方向とは逆の第二方向に回転させ、前記照射光量の減少に同期して前記熱板の前記第二方向への回転速度を低下させ、前記照射光量の増加に同期して前記熱板の前記第二方向への回転速度を上昇させるように前記回転駆動部を制御する第二回転制御とを、
    前記第一回転制御において回転速度の低下が完了する際の前記基板の位置と前記第二回転制御において回転速度の低下が完了する際の前記基板の位置とが異なる条件にて更に実行するように構成されている、基板処理装置。
  5. 前記照射光量を前記第一光量まで増加させることは、前記光源から前記処理室内の前記基板への前記エネルギー線の照射を開始することを含み、前記照射光量を前記第二光量まで減少させることは、前記光源から前記処理室内の前記基板への前記エネルギー線の照射を停止させることを含む、請求項4記載の基板処理装置。
  6. 前記制御部は、前記第一回転制御における回転速度の上昇及び低下中の前記熱板の回転範囲と、前記第二回転制御における回転速度の上昇及び低下中の前記熱板の回転範囲とが重複しないように、前記第一回転制御及び前記第二回転制御を実行するように構成されている、請求項4又は5記載の基板処理装置。
  7. 前記制御部は、
    前記第一方向への前記熱板の回転速度の上昇及び低下を一定周期で繰り返すように前記第一回転制御を実行し、
    前記第二方向への前記熱板の回転速度の上昇及び低下を前記一定周期で繰り返すように前記第二回転制御を実行するように構成されている、請求項4〜6のいずれか一項記載の基板処理装置。
  8. 基板を処理室内に収容することと、
    前記処理室内の前記基板に処理用のエネルギー線を照射することと、
    前記処理室内の前記基板に交差する軸線まわりに当該基板を回転させることと、
    前記処理室外から前記処理室内及び前記処理室内から前記処理室外に気流を通す開状態と、当該気流を遮断する閉状態とを切り替えることと、
    前記開状態を前記閉状態に切り替えるのに同期して前記エネルギー線の光源から前記処理室内の前記基板への前記エネルギー線の照射光量を処理用の第一光量まで増加させることと、
    前記閉状態を前記開状態に切り替えるのに同期して前記照射光量を、前記第一光量に比較して前記気流に起因する処理斑が低減される第二光量まで減少させることと、
    前記処理室内の前記基板を熱板により支持して加熱することと、を含み、
    前記基板を回転させる際には、前記基板を支持した熱板を回転させ、
    前記照射光量の増加に先立って前記熱板の回転速度を上昇させることと、
    前記光量の減少後に前記熱板の回転速度を低下させることと、
    前記熱板の回転速度が低下した後、前記熱板の回転速度が上昇する前に、前記照射光量の減少前の位置に戻るまで前記熱板を逆回転させることと、を実行する、基板処理方法。
  9. 前記照射光量を前記第一光量まで増加させることは、前記光源から前記処理室内の前記基板への前記エネルギー線の照射を開始することを含み、前記照射光量を前記第二光量まで減少させることは、前記光源から前記処理室内の前記基板への前記エネルギー線の照射を停止させることを含む、請求項8記載の基板処理方法。
  10. 記照射光量の減少時又は前記照射光量の減少後に前記熱板の回転速度の低下を開始し、その後更に前記熱板の回転速度を低下させ、
    前記照射光量の増加に先立って前記熱板の回転速度を上昇させる際に、前記照射光量の増加時又は前記照射光量の増加前に前記熱板の回転速度の上昇が完了し、前記照射光量の増加時における前記基板の位置及び前記照射光量の減少時における前記基板の位置が一致する条件にて前記基板及び前記熱板の回転速度を上昇させる、請求項8又は9記載の基板処理方法。
  11. 基板を処理室内に収容することと、
    前記処理室内の前記基板に処理用のエネルギー線を照射することと、
    前記処理室内の前記基板に交差する軸線まわりに当該基板を回転させることと、
    前記処理室外から前記処理室内及び前記処理室内から前記処理室外に気流を通す開状態と、当該気流を遮断する閉状態とを切り替えることと、
    前記開状態を前記閉状態に切り替えるのに同期して前記エネルギー線の光源から前記処理室内の前記基板への前記エネルギー線の照射光量を処理用の第一光量まで増加させることと、
    前記閉状態を前記開状態に切り替えるのに同期して前記照射光量を、前記第一光量に比較して前記気流に起因する処理斑が低減される第二光量まで減少させることと、
    前記処理室内の前記基板を熱板により支持して加熱することと、を含み、
    前記基板を回転させる際には、前記基板を支持した熱板を回転させ、
    前記熱板を第一方向に回転させ、前記照射光量の減少に同期して前記熱板の前記第一方向への回転速度を低下させ、前記照射光量の増加に同期して前記熱板の前記第一方向への回転速度を上昇させる第一回転制御と、
    前記熱板を前記第一方向とは逆の第二方向に回転させ、前記照射光量の減少に同期して前記熱板の前記第二方向への回転速度を低下させ、前記照射光量の増加に同期して前記熱板の前記第二方向への回転速度を上昇させる第二回転制御とを、
    前記第一回転制御において回転速度の低下が完了する際の前記基板の位置と前記第二回転制御において回転速度の低下が完了する際の前記基板の位置とが異なる条件にて実行する、基板処理方法。
  12. 前記照射光量を前記第一光量まで増加させることは、前記光源から前記処理室内の前記基板への前記エネルギー線の照射を開始することを含み、前記照射光量を前記第二光量まで減少させることは、前記光源から前記処理室内の前記基板への前記エネルギー線の照射を停止させることを含む、請求項11記載の基板処理方法。
  13. 前記第一回転制御における回転速度の上昇及び低下中の前記熱板の回転範囲と、前記第二回転制御における回転速度の上昇及び低下中の前記熱板の回転範囲とが重複しないように、前記第一回転制御及び前記第二回転制御を実行する、請求項11又は12記載の基板処理方法。
  14. 前記第一方向への前記熱板の回転速度の上昇及び低下を一定周期で繰り返すように前記第一回転制御を実行し、
    前記第二方向への前記熱板の回転速度の上昇及び低下を前記一定周期で繰り返すように前記第二回転制御を実行する、請求項11〜13のいずれか一項記載の基板処理方法。
  15. 請求項8〜14のいずれか一項記載の基板処理方法を装置に実行させるためのプログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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