JP6913905B2 - 膜厚管理装置 - Google Patents
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Description
110 光源
120 受光センサ
130 包囲部材
132 内周遮光側面
134 光通過端面
Claims (5)
- 対象物の膜厚を管理する膜厚管理装置であって、
複数の外面を有する筐体と、
前記筐体内に収容された制御基板と、
前記筐体の前記複数の外面のうちの1つの外面の端部に設けられ、前記制御基板の一部を開放する開口部と、
前記制御基板のうちの前記開口部によって開放された領域に支持され、前記対象物に向けて出射光を出射する光源と、
前記制御基板のうちの前記開口部によって開放された領域に支持され、前記出射光が前記対象物によって反射された反射光を検出する受光センサと、
前記制御基板のうちの前記開口部によって開放された領域に支持され、前記光源の周囲を包囲する包囲部材と
を備え、
前記包囲部材は、前記出射光を遮る内周遮光側面と、前記対象物と対向して前記出射光を通過させる光通過端面とを有する、膜厚管理装置。 - 前記包囲部材は、中空形状を有する筒状部材を含む、請求項1に記載の膜厚管理装置。
- 前記受光センサは複数の受光素子を含み、
前記光源は前記複数の受光素子の中心に位置する、請求項1または2に記載の膜厚管理装置。 - 前記受光センサの受光結果を送信する通信部をさらに備える、請求項1から3のいずれかに記載の膜厚管理装置。
- 前記開口部は、
前記1つの外面の一方の端部に設けられた第1開口部と、
前記1つの外面の他方の端部に設けられた第2開口部と
を有し、
前記光源は、
前記制御基板のうちの前記第1開口部によって開放された領域に支持され、前記対象物に向けて出射光を出射する発光ダイオードと、
前記制御基板のうちの前記第2開口部によって開放された領域に支持され、前記対象物に向けて出射光を出射するレーザ装置と
を有し、
前記受光センサは、
前記制御基板のうちの前記第1開口部によって開放された領域に支持され、前記発光ダイオードからの前記出射光が前記対象物によって反射された反射光を検出する第1受光センサと、
前記制御基板のうちの前記第2開口部によって開放された領域に支持され、前記レーザ装置からの前記出射光が前記対象物によって反射された反射光を検出する第2受光センサと
を有し、
前記包囲部材は、前記発光ダイオードの周囲を包囲する、請求項1から4のいずれかに記載の膜厚管理装置。
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2018
- 2018-02-06 JP JP2018019346A patent/JP6913905B2/ja active Active
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