JP6913905B2 - 膜厚管理装置 - Google Patents

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Description

本発明は、膜厚管理装置に関する。
従来、印刷物の再現性は人間の目視によってチェックされてきた。しかしながら、印刷物のチェックを目視で行う場合、作業者に負担がかかるとともにチェックを均一に行うことができない。
そこで、濃度計を用いて印刷物の品質を管理することが知られている(特許文献1参照)。特許文献1には、濃度計を用いてインキ膜の膜厚を決定するように印刷機を制御することが記載されている。特許文献1の制御装置は、異なる印刷条件で試し印刷された複数の印刷物のインキ濃度を計測し、計測結果に基づいて目標濃度を実現するためのパラメータを算出し、インキを予備供給する。
特開平11−320838公報
濃度計では、光源から出射された光がインキを介して受光センサにて受光され、受光量に応じて対象物の膜厚が管理される。しかしながら、光源の指向性が低いと、光源から出射された光がインキを介することなく受光センサにて受光されてしまうことがあり、対象物の膜厚を適切に管理できなかった。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、光源の指向性が低くても対象物の膜厚を管理可能な膜厚管理装置を提供することにある。
本発明による膜厚管理装置は、対象物の膜厚を管理する。前記膜厚管理装置は、光源と、受光センサと、包囲部材とを備える。前記光源は、前記対象物に向けて出射光を出射する。前記受光センサは、前記出射光が前記対象物によって反射された反射光を検出する。前記包囲部材は、前記光源の周囲を包囲する。前記包囲部材は、前記出射光を遮る内周遮光側面と、前記対象物と対向して前記出射光を通過させる光通過端面とを有する。
ある実施形態では、前記包囲部材は、中空形状を有する筒状部材を含む。
ある実施形態では、前記受光センサは複数の受光素子を含み、前記光源は前記複数の受光素子の中心に位置する。
ある実施形態では、前記光源は、発光ダイオードを含む。
ある実施形態では、前記膜厚管理装置は、制御基板をさらに備える。前記制御基板は、前記光源および前記受光センサを制御する。前記制御基板には、前記光源および前記受光センサが実装される。
ある実施形態では、前記膜厚管理装置は、筐体をさらに備える。前記筐体は、前記光源および前記受光センサを収容する。
ある実施形態では、前記筐体には、前記光源および前記受光センサと連絡する開口部が設けられる。
ある実施形態では、前記膜厚管理装置は、通信部をさらに備える。前記通信部は、前記受光センサの受光結果を送信する。
本発明によれば、光源の指向性が低くても対象物の膜厚を管理できる。
本発明による膜厚管理装置の実施形態の模式図である。 本発明による膜厚管理装置の実施形態の模式図である。 本発明による膜厚管理装置の実施形態の模式図である。 本発明による膜厚管理装置の実施形態のブロック図である。 本発明による膜厚管理装置の実施形態の模式図である。 本発明による膜厚管理装置の実施形態のブロック図である。 (a)は本実施形態の膜厚管理装置の模式的な正面図であり、(b)は(a)の膜厚管理装置の模式的な背面図であり、(c)は(a)の膜厚管理装置の模式的な斜視図である。 (a)は筐体の第1部材を取り外した本実施形態の膜厚管理装置の模式的な斜視図であり、(b)は筐体を取り外した本実施形態の膜厚管理装置の模式的な斜視図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図中、同一または相当部分には同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。
以下、図1を参照して、本発明による膜厚管理装置100の実施形態を説明する。図1は、本実施形態の膜厚管理装置100を示す模式図である。膜厚管理装置100は、対象物Oの膜厚を管理する。対象物Oは膜状である。例えば、膜厚管理装置100は、対象物Oの膜厚を測定する。
対象物Oは、例えば基材Sの表面に設けられる。例えば、基材Sは紙であり、対象物Oは印刷物である。対象物Oは、透明であってもよく、色が付されていてもよい。一例では、対象物Oはインクである。あるいは、対象物Oは、ニスであってもよく、機能性塗布剤であってもよい。
なお、基材Sは、通常紙であってもよい。あるいは、基材Sは、アルミニウムなどの蒸着によって形成された蒸着紙であってもよい。
本実施形態の膜厚管理装置100は、光源110と、受光センサ120と、包囲部材130とを備える。光源110は出射光LOを出射する。光源110から出射された光の少なくとも一部は対象物Oに向かう。対象物Oは、出射光LOを反射光LRとして反射する。例えば、光源110は発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)を含む。あるいは、光源110はレーザ装置を含んでもよい。
受光センサ120は、出射光LOが対象物Oによって反射された反射光LRを検出する。受光センサ120は、反射光LRの光量に応じた電圧又は電流を出力する。
反射光LRの光量は対象物Oの膜厚に対応する。膜厚管理装置100により、対象物Oの膜厚を管理できる。膜厚管理装置100の測定結果から対象物Oの膜厚を取得できる。膜厚管理装置100は、対象物Oの膜厚の具体的な数値を取得しなくてもよい。一例として、膜厚管理装置100は対象物Oの反射率または濃度を測定し、対象物Oの膜厚は対象物Oの反射率または濃度から取得される。例えば、対象物Oを大量生産する場合、膜厚管理装置100が対象物Oの反射率または濃度を測定することにより、対象物Oの反射率または濃度の変化から、対象物Oの膜厚に変化が生じたか否かを管理できる。
あるいは、膜厚管理装置100は対象物Oの膜厚を直接測定してもよい。例えば、膜厚管理装置100によって測定される対象物Oの膜厚は0.1μm以上100μm以下である。
例えば、膜厚管理装置100は、基材Sのうち対象物Oの存在しない領域、および、基材Sのうち対象物Oの存在する領域を測定する。2つの領域の測定結果の差が対象物Oの膜厚に相当する。予め用意した測定結果の差と対象物Oの膜厚との関係を示すテーブルから、測定結果の差に対応する対象物Oの膜厚を取得できる。
本実施形態の膜厚管理装置100は、包囲部材130を備える。包囲部材130は、光源110の周囲を包囲する。包囲部材130は筒状形状である。包囲部材130の高さは光源110の高さよりも大きい。包囲部材130は、例えば、樹脂から形成される。包囲部材130の内周側に光源110が配置されており、包囲部材130の外周側に受光センサ120が配置される。ここでは、包囲部材130の内周には、光源110および空気を除いて何も配置されていない。包囲部材130が光源110の周囲を包囲することにより、光源110からの出射光LOが対象物Oを介することなく受光センサ120に直接入射することを抑制できる。
包囲部材130は、内周遮光側面132と、光通過端面134とを有する。内周遮光側面132は、包囲部材130の内周側面に位置する。内周遮光側面132は、出射光LOが包囲部材130の内周側から外周側に通過することを遮る。光通過端面134は、対象物Oと対向する。光通過端面134は出射光LOを通過させる。
本実施形態の膜厚管理装置100によれば、包囲部材130は、光源110からの出射光LOが受光センサ120に直接到達することを抑制するとともに反射光LRを通過させる。光源110の周囲が包囲部材130によって包囲されるため、光源110としてLEDを好適に用いることができる。このため、光源110から出射される出射光LOの指向性が比較的低くても、包囲部材130により、出射光LOが対象物Oに反射されることなく直接受光センサ120に受光されることを抑制できる。
光源110がLEDを含む場合、基材Sが通常紙であるときの対象物Oを好適に測定できる。なお、光源110がレーザ装置を含んでもよい。光源110がレーザ装置を含む場合、基材Sが蒸着紙であるときの対象物Oを好適に測定できる。
上述したように、包囲部材130は、中空形状を有する筒状部材である。このため、光源110から出射された出射光LOは、包囲部材130の内周空間を対象物Oに向けて進行する。このように、包囲部材130は、簡易な構造で、受光センサ120に対して出射光LOが包囲部材130の内側から外側に通過することを遮り、出射光LOを対象物Oに向けて通過させることができる。
なお、膜厚管理装置100は、対象物Oの膜厚の測定結果を外部機器に送信してもよい。例えば、膜厚管理装置100は、外部機器と無線または有線で接続されており、膜厚管理装置100は、対象物Oを測定した後、対象物Oの膜厚の測定結果を外部機器に送信してもよい。
光源110および受光センサ120および包囲部材130は、同一の支持部材に支持されることが好ましい。光源110、受光センサ120および包囲部材130は、支持部材の下面に配置される。例えば、光源110および受光センサ120の少なくとも一部が支持部材から露出されるように、光源110および受光センサ120は支持部材に支持される。
なお、図1を参照した上述の説明では、包囲部材130の内周には、光源110および空気を除き何も配置されていなかったが本発明はこれに限定されない。
ここで、図2を参照して本実施形態の膜厚管理装置100を説明する。図2は、本実施形態の膜厚管理装置100の模式図である。図2に示した膜厚管理装置100は、包囲部材130が内周遮光側面132および光通過端面134に加えて導光部材136を備える点で図1に示した膜厚管理装置100とは異なる。以下の説明では、冗長を避けるために、重複する説明を省略することがある。
本実施形態の膜厚管理装置100では、包囲部材130は、内周遮光側面132および光通過端面134に加えて導光部材136をさらに有する。導光部材136は、内周遮光側面132の内周に配置されている。導光部材136の外径は内周遮光側面132の内径とほぼ等しいことが好ましい。
なお、包囲部材130の内周に、光を集光するレンズが配置されてもよい。ただし、包囲部材130の内周にレンズを配置した場合、光源110と対象物Oとの距離が比較的長くなる。このため、包囲部材130の内周にはレンズを配置しないことが好ましい。
ここで、図3を参照して本実施形態の膜厚管理装置100を説明する。図3は、膜厚管理装置100の模式図である。図3に示した膜厚管理装置100は、光源110、受光センサ120および包囲部材130に加えて制御基板140および筐体150を備える点で図1に示した膜厚管理装置100とは異なる。以下の説明では、冗長を避けるために、重複する説明を省略することがある。
膜厚管理装置100は、光源110、受光センサ120および包囲部材130に加えて制御基板140および筐体150を備える。制御基板140は、光源110および受光センサ120を制御する。例えば、制御基板140は、配線のプリントされた回路基板である。制御基板140は、光源110、受光センサ120および包囲部材130を支持する。光源110および受光センサ120は制御基板140に実装される。包囲部材130は制御基板140に取り付けられる。光源110および受光センサ120を制御する制御基板140を光源110および受光センサ120と一体的に構成できる。
制御基板140は、平面140aと、平面140bとを有する。光源110、受光センサ120および包囲部材130は、制御基板140の平面140aに実装される。膜厚管理装置100が水平方向に延びた対象物Oを測定する場合、制御基板140の平面140aは鉛直下方に向き、制御基板140の平面140bは鉛直上方に向く。
筐体150は、光源110および受光センサ120を収容する。ここでは、筐体150は、光源110および受光センサ120とともに制御基板140を収容する。筐体150が光源110および受光センサ120を収容するため、光源110および受光センサ120を容易に持ち運びできる。
なお、ここでは、筐体150には開口部150aが設けられる。開口部150aは、筐体150の外部と光源110および受光センサ120とを連絡する。開口部150aの口径は、例えば、1mm以上100mm以下であり、3mm以上50mm以下であることがさらに好ましく、5mm以上16mm以下であることがさらに好ましい。あるいは、開口部150aの口径は、光源110の出射径と略同じであることが好ましい。
開口部150aは、光源110から出射された出射光LOを通過するとともに、対象物Oから反射された反射光LRを通過する。反射光LRは、開口部150aを通過して受光センサ120に到達する。筐体150の開口部150aにより、光源110および受光センサ120は、筐体150に収容されたまま筐体150の開口部150aを介して対象物Oを測定できる。
筐体150は、第1部材152と、第2部材154とを有する。膜厚管理装置100が水平方向に延びた対象物Oを測定する場合、第1部材152は鉛直下方に位置し、第2部材154は鉛直上方に位置する。筐体150は、第1部材152と第2部材154とを組み合わせることで形成される。開口部150aは第1部材152に設けられる。
ここで、図4を参照して本実施形態の膜厚管理装置100を説明する。図4は、膜厚管理装置100のブロック図である。図4に示した膜厚管理装置100は、光源110、受光センサ120および制御基板140に加えて、制御部142、増幅器144、通信部160、表示部170および電源180をさらに備える。
制御部142は、光源110、受光センサ120、通信部160および表示部170を制御する。例えば、制御部142は、制御基板140に実装される。
制御部142は、プロセッサーを含む。プロセッサーは、例えば、マイクロコンピュータを含む。あるいは、プロセッサーは、中央処理演算機(Central Processing Unit:CPU)を含んでもよい。または、プロセッサーは汎用演算機を含んでもよい。また、制御部142は、コンピュータープログラムを記憶する記憶部を含む。記憶部は、主記憶装置と、補助記憶装置とを含む。主記憶装置は、例えば、半導体メモリーである。補助記憶装置は、例えば、半導体メモリーおよび/またはハードディスクドライブである。記憶部はリムーバブルメディアを含んでいてもよい。制御部142は、記憶部の記憶しているコンピュータープログラムを実行して対象物Oを測定する。
増幅器144は、受光センサ120から出力される電圧又は電流を増幅する。これにより、受光センサ120の電圧又は電流を適切な強度にまで増幅できる。増幅器144は電流を電圧に変換し増幅する機能も有する。増幅器144は、制御基板140上に設けられる。
通信部160は、受光センサ120の受光結果を送信する。通信部160は、無線または有線で受光結果を送信する。なお、通信部160は、コンピュータに送信することが好ましい。例えば、通信部160は、パーソナルコンピュータに受光結果を送信する。
通信部160は、制御基板140に実装される。例えば、通信部160は、近距離通信可能である。通信部160は、電波または赤外線を出力する。通信部160は、ブルートゥース(登録商標)またはIrDAの規格に準拠する。
表示部170は、受光センサ120の受光結果を表示する。例えば、表示部170は、基材S上の対象物Oを測定した結果として、電圧又は電流を表示する。あるいは、表示部170は、基材S上の対象物Oを測定した結果として、対象物Oの濃度、反射率または膜厚を表示してもよい。表示部170は、図3に示した筐体150の表面に配置される。表示部170は、制御基板140に支持される。
電源180は、光源110、受光センサ120、制御部142、通信部160および表示部170に電力を供給する。例えば、電源180は制御基板140と接続する。ここでは、電源180として電池が制御基板140に搭載される。
なお、図1から図4を参照して上述した説明では、膜厚管理装置100は、1つの光源および1つの受光センサを備えていたが、本発明はこれに限定されない。膜厚管理装置100は、複数の光源および複数の受光センサを備えてもよい。
以下、図5を参照して本実施形態の膜厚管理装置100を説明する。図5は、膜厚管理装置100の模式図である。図5に示した膜厚管理装置100は、光源110、受光センサ120、包囲部材130、制御基板140および筐体150に加えて光源111および受光センサ121を備える点で図3に示した膜厚管理装置100とは異なる。以下の説明では、冗長を避けるために、重複する説明を省略することがある。
本実施形態の膜厚管理装置100は、光源110、受光センサ120、包囲部材130、制御基板140および筐体150に加えて、光源111および受光センサ121をさらに備える。光源111および受光センサ121の少なくとも一方は、光源110および受光センサ120とは異なる。例えば、光源111は、光源110とは異なってもよい。または、受光センサ120は、受光センサ121とは異なってもよい。あるいは、光源111および受光センサ121の両方が、光源110および受光センサ120とは異なってもよい。
光源111は出射光を出射する。光源111から出射された光の少なくとも一部は対象物Oに向かう。対象物Oは、出射光を反射光として反射する。例えば、光源111はレーザ装置を含んでもよい。光源111から出射される出射光の指向性が比較的高い。この場合、光源110とは異なり、光源111の周囲には、光源111の周囲を包囲する包囲部材130を設けなくても、光源111からの出射光が直接受光センサ121に受光されることを抑制できる。
なお、光源111はLEDを含んでもよい。この場合、光源111のLEDは、光源110のLEDよりも小さい出射角を有することが好ましい。
受光センサ120は、出射光が対象物Oによって反射された反射光を検出する。受光センサ120は、反射光の光量に応じた電圧又は電流を出力する。
本実施形態の膜厚管理装置100によれば、包囲部材130は、光源110からの出射光が受光センサ120に直接到達することを抑制するとともに反射光を通過させるため、対象物Oの膜厚を適切に測定できる。また、本実施形態の膜厚管理装置100によれば、(1)光源110および受光センサ120と、(2)光源111および受光センサ121とを備えるため、例えば、光源110および受光センサ120が対象物Oを測定できなくても、光源111および受光センサ121が対象物Oを測定できる。このように、基材Sおよび対象物Oに応じて(1)光源110および受光センサ120、(2)光源111および受光センサ121、のいずれかで対象物Oを測定できる。
例えば、光源110がLEDを含む場合、基材Sが通常紙であるときの対象物Oの膜厚を好適に測定できる。また、光源111がレーザ装置を含む場合、基材Sが蒸着紙であるときの対象物Oの膜厚を好適に測定できる。
なお、光源110、受光センサ120および包囲部材130は、同一の支持部材に支持されることが好ましい。また、光源110、受光センサ120および包囲部材130は、支持部材の下面に配置される。
光源111および受光センサ121は、光源110および受光センサ120と同様に、制御基板140の平面140aに実装される。また、光源110および受光センサ120は、制御基板140の平面140aのうちの一方の端部に配置され、光源111および受光センサ121は、制御基板140の平面140aのうちの他方の端部に配置される。
筐体150は、光源110および受光センサ120とともに光源111および受光センサ121を収容する。筐体150が光源110および受光センサ120とともに光源111および受光センサ121を収容するため、膜厚管理装置100全体を小型化でき、光源110、光源111、受光センサ120および受光センサ121を容易に持ち運びできる。
ここでは、筐体150には開口部150aおよび開口部150bが設けられる。ここでは、第1部材152に、開口部150aおよび開口部150bが設けられる。開口部150aは、光源110および受光センサ120による測定に用いられる。開口部150aは、光源110から出射された光を通過するとともに、対象物Oから反射された反射光を通過し、反射光は受光センサ120に到達する。これにより、対象物Oの膜厚を測定できる。開口部150aの口径は、例えば、1mm以上100mm以下であり、3mm以上50mm以下であることがさらに好ましく、5mm以上16mm以下であることがさらに好ましい。あるいは、開口部150aの口径は、光源110の出射径と略同じであることが好ましい。
また、開口部150bは、光源111よび受光センサ121による測定に用いられる。開口部150bは、光源111から出射された光を通過するとともに、対象物Oから反射された光を通過し、反射光は受光センサ121に到達する。これにより、対象物Oの膜厚を測定できる。開口部150bの口径は、例えば、1mm以上100mm以下であり、3mm以上50mm以下であることがさらに好ましく、5mm以上15mm以下であることがさらに好ましい。あるいは、開口部150bの口径は、光源110の出射径と略同じであることが好ましい。
このように、筐体150に開口部150aおよび開口部150aを設けることにより、光源110、光源111、受光センサ120および受光センサ121は、筐体150に収容されたまま対象物Oの膜厚を測定できる。
上述したように、光源110および光源111の少なくとも一方としてLEDを用いてもよい。なお、典型的には、レーザ装置から出射される出射光の指向性は比較的高いのに対して、LEDから出射される出射光の指向性は比較的低い。このため、光源110および光源111の少なくとも一方としてLEDを用いる場合、LEDの周囲を包囲する包囲部材130を配置することが好ましい。
ここで、図6を参照して本実施形態の膜厚管理装置100を説明する。図6は、膜厚管理装置100のブロック図である。図6に示した膜厚管理装置100は、光源110および受光センサ120に加えて光源111、受光センサ121および選択部190を備える点で図4に示した膜厚管理装置100とは異なる。以下の説明では、冗長を避けるために、重複する説明を省略することがある。
選択部190は、(1)光源110および受光センサ120、および、(2)光源111および受光センサ121、のいずれを駆動するかを選択する。例えば、選択部190は、ユーザからの指示に基づいて、(1)光源110および受光センサ120、および、(2)光源111および受光センサ121、のいずれを駆動するかを選択する。選択部190は、ボタンによってユーザからの指示を受け付けてもよい。あるいは、選択部190は、電気信号を介してユーザからの指示を受け付けてもよい。
選択部190により、膜厚管理装置100が対象物Oを測定する場合(1)光源110および受光センサ120、および、(2)光源111および受光センサ121、の両方が同時に駆動することなく(1)光源110および受光センサ120、および、(2)光源111および受光センサ121、のいずれか一方のみを駆動させることができる。このため、(1)光源110および受光センサ120、および、(2)光源111および受光センサ121、のうちの駆動するものを選択でき、不要な電力の消費を回避できる。選択部190は、図5に示した筐体150の表面に配置される。
また、増幅器144は、受光センサ120から出力される電圧又は電流、および、受光センサ121から出直される電圧又は電流を増幅する。なお、増幅器144は、選択部190の選択結果に応じて増幅するゲインを切り替えることが好ましい。これにより、駆動する光源および受光センサに応じて信号を適切な強度に増幅できる。
例えば、基材Sが通常紙である場合、光源として発光ダイオードを用いると、基材S上の対象物Oの膜厚を適切に測定できる。一方で、基材Sがアルミホイル箔またはアルミ蒸着紙等である場合、光源としてLEDを用いると基材S上の対象物Oの膜厚を適切に測定できない。しかしながら、光源としてレーザ装置を用いると、基材Sがアルミホイル箔またはアルミ蒸着紙等であっても基材S上の対象物Oの膜厚を適切に測定できる。したがって、光源110が発光ダイオードを含み、光源111がレーザ装置を含む場合、基材Sが通常紙および蒸着紙のいずれであっても、基材Sの表面に設けられた対象物Oの膜厚を適切に測定できる。
ここで、図7および図8を参照して、本実施形態の膜厚管理装置100を説明する。図7(a)は膜厚管理装置100の模式的な正面図であり、図7(b)は膜厚管理装置100の模式的な背面図であり、図7(c)は膜厚管理装置100の模式的な斜視図である。ここでは、膜厚管理装置100はほぼ直方体形状である。
なお、図7および図8では、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を示す。図7および図8において、膜厚管理装置100の長手方向に延びる方向をX方向とし、X方向に直交する方向をY方向およびZ方向とする。
膜厚管理装置100において、光源110および光源111はY方向に離れて配置される。図7および図8では、膜厚管理装置100の光源110の設けられる方向を+Y方向とし、膜厚管理装置100の光源111の設けられる方向を−Y方向とする。
図7(a)に示すように、筐体150の第2部材154の中央よりもやや+X方向側に表示部170が設けられる。また、筐体150の第2部材154のほぼ中央部に選択部190が設けられる。
図7(b)に示すように、光源110は筐体150の+Y方向端部に位置し、光源111は筐体150の−Y方向端部に位置する。また、第1部材152の+Y方向端部に開口部150aが設けられ、第1部材152の−Y方向端部に開口部150bが設けられる。開口部150aの+Z向側には光源110が配置される。また、開口部150bの+Z方向側には光源111が配置される。第1部材152のほぼ中央には窪みが設けられており、電源180として2本の単2電池が搭載される。
図8(a)は、図7(a)の膜厚管理装置100から筐体150の第1部材152を取り外した後の模式的な背面図であり、図8(b)は、膜厚管理装置100から筐体150を取り外した後の模式的な斜視図である。
図8(a)および図8(b)に示すように、膜厚管理装置100において、光源110および光源111は制御基板140に実装される。制御基板140は長辺と短辺とを有する。制御基板140の長辺はX方向に延びており、制御基板140の短辺はY方向に延びる。
制御基板140の+Y方向側の長辺の近傍に光源110および受光センサ120が実装される。光源110はLEDを含む。光源110の周囲は包囲部材130によって包囲される。また、ここでは、受光センサ120として、受光素子120a、120b、120cが実装される。光源110は、受光素子120a、120b、120cの中心に配置される。
また、制御基板140の−Y方向側の長辺の近傍に光源111および受光センサ121が実装される。光源111はレーザ装置を含む。ここでは、受光センサ121として、受光素子121a、121b、121cが実装される。光源111は、受光素子121a、121b、121cの中心に配置される。
以上、図面(図1〜図8)を参照して本発明の実施形態について説明した。ただし、本発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施できる。また、上記の実施形態に開示されている複数の構成要素は適宜改変可能である。例えば、ある実施形態に示される全構成要素のうちのある構成要素を別の実施形態の構成要素に追加してもよく、または、ある実施形態に示される全構成要素いくつかの構成要素を実施形態から削除してもよい。
また、図面は、発明の理解を容易にするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の厚さ、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の構成は一例であって、特に限定されるものではなく、本発明の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能であることは言うまでもない。
本発明によれば、光源の指向性が低くても対象物の膜厚を管理できる。
100 膜厚管理装置
110 光源
120 受光センサ
130 包囲部材
132 内周遮光側面
134 光通過端面

Claims (5)

  1. 対象物の膜厚を管理する膜厚管理装置であって、
    複数の外面を有する筐体と、
    前記筐体内に収容された制御基板と、
    前記筐体の前記複数の外面のうちの1つの外面の端部に設けられ、前記制御基板の一部を開放する開口部と、
    前記制御基板のうちの前記開口部によって開放された領域に支持され、前記対象物に向けて出射光を出射する光源と、
    前記制御基板のうちの前記開口部によって開放された領域に支持され、前記出射光が前記対象物によって反射された反射光を検出する受光センサと、
    前記制御基板のうちの前記開口部によって開放された領域に支持され、前記光源の周囲を包囲する包囲部材と
    を備え、
    前記包囲部材は、前記出射光を遮る内周遮光側面と、前記対象物と対向して前記出射光を通過させる光通過端面とを有する、膜厚管理装置。
  2. 前記包囲部材は、中空形状を有する筒状部材を含む、請求項1に記載の膜厚管理装置。
  3. 前記受光センサは複数の受光素子を含み、
    前記光源は前記複数の受光素子の中心に位置する、請求項1または2に記載の膜厚管理装置。
  4. 前記受光センサの受光結果を送信する通信部をさらに備える、請求項1から3のいずれかに記載の膜厚管理装置。
  5. 前記開口部は、
    前記1つの外面の一方の端部に設けられた第1開口部と、
    前記1つの外面の他方の端部に設けられた第2開口部と
    を有し、
    前記光源は、
    前記制御基板のうちの前記第1開口部によって開放された領域に支持され、前記対象物に向けて出射光を出射する発光ダイオードと、
    前記制御基板のうちの前記第2開口部によって開放された領域に支持され、前記対象物に向けて出射光を出射するレーザ装置と
    を有し、
    前記受光センサは、
    前記制御基板のうちの前記第1開口部によって開放された領域に支持され、前記発光ダイオードからの前記出射光が前記対象物によって反射された反射光を検出する第1受光センサと、
    前記制御基板のうちの前記第2開口部によって開放された領域に支持され、前記レーザ装置からの前記出射光が前記対象物によって反射された反射光を検出する第2受光センサと
    を有し、
    前記包囲部材は、前記発光ダイオードの周囲を包囲する、請求項1から4のいずれかに記載の膜厚管理装置。
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