JP6911272B2 - 感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、およびカラーフィルタ - Google Patents

感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、およびカラーフィルタ Download PDF

Info

Publication number
JP6911272B2
JP6911272B2 JP2019553075A JP2019553075A JP6911272B2 JP 6911272 B2 JP6911272 B2 JP 6911272B2 JP 2019553075 A JP2019553075 A JP 2019553075A JP 2019553075 A JP2019553075 A JP 2019553075A JP 6911272 B2 JP6911272 B2 JP 6911272B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
carbon atoms
photosensitive resin
chemical formula
meth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019553075A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020515680A (ja
Inventor
ジン パク、ヘ
ジン パク、ヘ
チョ、チャンホ
アン、ジュンゲ
オ、ミヨン
ソン、キュンチュル
Original Assignee
エルジー・ケム・リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エルジー・ケム・リミテッド filed Critical エルジー・ケム・リミテッド
Priority claimed from PCT/KR2018/013652 external-priority patent/WO2019093827A1/ko
Publication of JP2020515680A publication Critical patent/JP2020515680A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6911272B2 publication Critical patent/JP6911272B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F220/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F220/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
    • C08F220/10Esters
    • C08F220/26Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen
    • C08F220/32Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen containing epoxy radicals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F2/00Processes of polymerisation
    • C08F2/46Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
    • C08F2/48Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light
    • C08F2/50Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light with sensitising agents
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F220/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F220/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
    • C08F220/10Esters
    • C08F220/12Esters of monohydric alcohols or phenols
    • C08F220/16Esters of monohydric alcohols or phenols of phenols or of alcohols containing two or more carbon atoms
    • C08F220/18Esters of monohydric alcohols or phenols of phenols or of alcohols containing two or more carbon atoms with acrylic or methacrylic acids
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F220/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F220/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
    • C08F220/10Esters
    • C08F220/20Esters of polyhydric alcohols or phenols, e.g. 2-hydroxyethyl (meth)acrylate or glycerol mono-(meth)acrylate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F220/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F220/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
    • C08F220/10Esters
    • C08F220/26Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen
    • C08F220/32Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen containing epoxy radicals
    • C08F220/325Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen containing epoxy radicals containing glycidyl radical, e.g. glycidyl (meth)acrylate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F220/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F220/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
    • C08F220/52Amides or imides
    • C08F220/54Amides, e.g. N,N-dimethylacrylamide or N-isopropylacrylamide
    • C08F220/56Acrylamide; Methacrylamide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/18Manufacture of films or sheets
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/38Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)

Description

関連出願との相互引用
本出願は2017年11月10日付韓国特許出願第10−2017−0149676号および2018年11月8日付韓国特許出願第10−2018−0136598号に基づいた優先権の利益を主張し、当該韓国特許出願の文献に開示された全ての内容は本明細書の一部として含まれる。
本発明は、光硬化性および熱硬化性を有する共重合体、これを用いた感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、およびカラーフィルタに関するものである。より詳しくは、相対的に低い温度で優れた熱硬化性を有し、光照射による光硬化も行うことができ、十分な硬化を通じて優れた耐久性、耐化学性および保存安定性を有することができる光硬化性および熱硬化性を有する共重合体、これを用いた感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、およびカラーフィルタに関するものである。
カラーフィルタ工程中でRGBパターンの場合、主にスピンやスリットコーター(slit coater)を用いて感光性樹脂組成物をコーティングし、プリベーキング(pre−baking)した後に露光し、現像を行う。
現像に続き、最後に220℃以上の熱を加えるポストベーキング(post−baking)工程を行い、一般に使用されるガラスはこの温度でほとんど変形を起こさないが、フレキシブル(flexible)ディスプレイに使用されるプラスチックは220℃以上の温度で深刻な変形が起こる問題があった。
このような基板の変形を減らすために、ポーストベーキング(post−baking)工程の温度を低める方法を使用したが、このようにポーストベーキング(post−baking)工程の温度を低める場合、感光性樹脂組成物の硬化が完全に起こらなくガス発生量が増加するようになって残像が現れるだけでなく、耐化学性および耐熱性が落ちる限界があった。
よって、低い温度でも高い水準の硬化が可能で優れた耐熱性および耐化学性を有する硬化膜を形成するための材料および感光性樹脂組成物の開発が要求されている。
本発明は、相対的に低い温度で優れた熱硬化性を有し、光照射による光硬化も進行可能で、十分な硬化を通じて優れた耐久性、耐化学性および保存安定性を有することができる光硬化性および熱硬化性を有する共重合体を提供するためのものである。
また、本発明は、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体を用いた感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、およびカラーフィルタを提供するためのものである。
本明細書では、分枝鎖末端にエポキシグループを含む有機官能基が結合した第1(メタ)アクリレート繰り返し単位;および分枝鎖末端にアルケニルグループを含む有機官能基が結合した第2(メタ)アクリレート繰り返し単位を含み、前記第2(メタ)アクリレート繰り返し単位で、前記分枝鎖はヒドロキシ基が置換された炭素数1〜20のアルキルエステル基;またはヒドロキシ基が置換された炭素数1〜20のオキシアルキルエステル基;またはヒドロキシ基が置換された炭素数3〜30のシクロアルキル基によって置換されたアルキルエステル基;またはヒドロキシ基が置換された炭素数7〜30の多重環アルキルエステル基;またはヒドロキシ基が置換された炭素数7〜30の多重環アルキルオキシ基によって置換されたアルキルエステル基を含む、光硬化性および熱硬化性を有する共重合体が提供される。
本明細書ではまた、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体;2つ以上の光硬化可能な不飽和官能基を有する光重合性モノマー;および光開始剤;を含む、感光性樹脂組成物が提供される。
本明細書ではまた、1)前記感光性樹脂組成物を基板に塗布して塗膜を形成する段階;2)前記塗膜を乾燥させる段階;3)前記乾燥された塗膜に光を照射して光硬化させる段階;および4)前記光硬化された塗膜を50℃〜250℃で熱硬化させる段階を含む、感光性樹脂フィルム製造方法が提供される。
本明細書ではまた、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体;および2つ以上の光硬化可能な不飽和官能基を有する光重合性モノマー間の硬化物を含む、感光性樹脂フィルムが提供される。
本明細書ではまた、前記感光性樹脂フィルムを含む、カラーフィルタが提供される。
本明細書で、ある部分がある構成要素を"含む"という時、これは特に反対になる記載がない限り、他の構成要素を除くのではなく、他の構成要素をさらに含むことができるのを意味する。
本明細書で、"置換"という用語は、化合物内の水素原子の代わりに他の官能基が結合することを意味し、置換される位置は水素原子が置換される位置、即ち、置換基が置換可能な位置であれば限定されず、2以上置換される場合、2以上の置換基は互いに同一であるか異なってもよい。
本明細書で、
Figure 0006911272
は他の置換基に連結される結合を意味し、直接結合はLで表される部分に別途の原子が存在しない場合を意味する。
本明細書で、"(メタ)アクリル"とは、アクリルまたはメタクリルを意味することができる。
本明細書で、重量平均分子量は、GPC法によって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量を意味する。前記GPC法によって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量を測定する過程では、通常知られた分析装置と示差屈折検出器(Refractive Index Detector)などの検出器および分析用カラムを使用することができ、通常適用される温度条件、溶媒、flow rateを適用することができる。前記測定条件の具体的な例を挙げれば、Polymer Laboratories PLgel MIX−B 300mmの長さのカラムを用いてWaters PL−GPC220機器を用いて、評価温度は160℃であり、1,2,4−トリクロロベンゼンを溶媒として使用し、流速は1mL/minの速度で、サンプルは10mg/10mLの濃度に調剤した後、200μLの量で供給し、ポリスチレン標準を用いて形成された検定曲線を用いてMwの値を求めることができる。ポリスチレン標準品の分子量は2,000/10,000/30,000/70,000/200,000/700,000/2,000,000/4,000,000/10,000,000の9種を使用した。
本明細書で、アルキル基は、アルカン(alkane)に由来した1価の官能基であって、例えば、直鎖状、分枝状または環状であって、メチル、エチル、プロピル、イソブチル、sec−ブチル、tert−ブチル、ペンチル、ヘキシルなどであってもよい。前記アルキル基に含まれている一つ以上の水素原子は他の置換基で置換されてもよく、前記置換基の例としては炭素数1〜10のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数2〜12のヘテロアリール基、炭素数6〜12のアリールアルキル基、ハロゲン原子、シアノ基、アミノ基、アミジノ基、ニトロ基、アミド基、カルボニル基、ヒドロキシ基、スルホニル基、カルバメート基、炭素数1〜10のアルコキシ基などが挙げられる。
本明細書において、シクロアルキル基は特に限定されないが、単環式シクロアルカン(cycloalkane)に由来した1価の官能基であって、その例は特に限定されないが、炭素数3〜60であるのが好ましく、一実施状態によれば、前記シクロアルキル基の炭素数は3〜30である。また一つの実施状態によれば、前記シクロアルキル基の炭素数は3〜20である。また一つの実施状態によれば、前記シクロアルキル基の炭素数は3〜6である。具体的に、シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、3−メチルシクロペンチル、2,3−ジメチルシクロペンチル、シクロヘキシル、3−メチルシクロヘキシル、4−メチルシクロヘキシル、2,3−ジメチルシクロヘキシル、3,4,5−トリメチルシクロヘキシル、4−tert−ブチルシクロヘキシル、シクロへプチル、シクロオクチルなどがあるが、これに限定されない。
本明細書において、多重環アルキル基は特に限定されないが、多環式シクロアルカン(cycloalkane)に由来した1価の官能基であって、その例は特に限定されないが、炭素数3〜60であるのが好ましく、一実施状態によれば、前記シクロアルキル基の炭素数は3〜30である。具体的に、ノルボルナン(Norbornane)、2,3−トリメチレンノルボルナン(2,3−trimethylenenorbonane)などがあるが、これに限定されない。
本明細書で、アリール基はアレン(arene)に由来した1価の官能基であって、例えば、単環式または多環式であってもよい。具体的に、単環式アリール基としてはフェニル基、ビフェニル基、テルフェニル基、スチルベニル基などであってもよいが、これに限定されるのではない。多環式アリール基としてはナフチル基、アントリル基、フェナントリル基、ピレニル基、ペリレニル基、クリセニル基、フルオレニル基などであってもよいが、これに限定されるのではない。このようなアリール基中の一つ以上の水素原子はそれぞれ前記アルキル基の場合と同様の置換基で置換可能である。
本明細書において、アルケニル基は直鎖または分枝鎖であってもよく、炭素数は特に限定されないが、2〜40であるのが好ましい。一実施状態によれば、前記アルケニル基の炭素数は2〜20である。また一つの実施状態によれば、前記アルケニル基の炭素数は2〜10である。また一つの実施状態によれば、前記アルケニル基の炭素数は2〜6である。具体的な例としては、ビニル、1−プロフェニル、イソプロフェニル、1−ブテニル、2−ブテニル、3−ブテニル、1−ペンテニル、2−ペンテニル、3−ペンテニル、3−メチル−1−ブテニル、1,3−ブタジエニル、アリル、1−フェニルビニル−1−イル、2−フェニルビニル−1−イル、2,2−ジフェニルビニル−1−イル、2−フェニル−2−(ナフチル−1−イル)ビニル−1−イル、2,2−ビス(ジフェニル−1−イル)ビニル−1−イル、スチルベニル基、スチレニル基などがあるが、これらに限定されない。
本明細書で、アルキレン基は、アルカン(alkane)に由来した2価の官能基であって、炭素数は1〜20、または1〜10、または1〜5である。例えば、直鎖状、分枝状または環状であって、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、イソブチレン基、sec−ブチレン基、tert−ブチレン基、ペンチレン基、へキシレン基などであってもよい。前記アルキレン基に含まれている一つ以上の水素原子はそれぞれ前記アルキル基の場合と同様の置換基で置換可能である。
本明細書で、オキシアルキレン基は、前記アルキレン基に由来した官能基であって、アルキレン基の一末端にエーテル基(−O−)が結合した構造を有し、炭素数は1〜20、または1〜10、または1〜5である。例えば、直鎖状、分枝状または環状であって、オキシメチレン基、オキシエチレン基、オキシプロピレン基、オキシn−ブチレン基、オキシイソブチレン基、オキシsec−ブチレン基、オキシtert−ブチレン基、オキシペンチレン基、オキシへキシレン基などであってもよい。前記オキシアルキレン基に含まれている一つ以上の水素原子はそれぞれ前記アルキル基の場合と同様の置換基で置換可能である。
本明細書で、シクロアルキレン基は、シクロアルカン(cycloalkane)に由来した2価の官能基であって、炭素数は3〜30、または3〜20、または3〜10である。例えば、シクロプロピレン、シクロブチレン、シクロペンチレン、3−メチルシクロペンチレン、2,3−ジメチルシクロペンチレン、シクロへキシレン、3−メチルシクロへキシレン、4−メチルシクロへキシレン、2,3−ジメチルシクロへキシレン、3,4,5−トリメチルシクロへキシレン、4−tert−ブチルシクロへキシレン、シクロへプチレン、シクロオクチレンなどがあるが、これに限定されない。
本明細書で、多重環アルキレン基は、多環式シクロアルカン(cycloalkane)である多重環アルカンに由来した2価の官能基であって、前記多重環アルキル基で水素原子1つが官能基で置換されたものを意味する。
本明細書でカルボニル基の炭素数は特に限定されないが、炭素数1〜30であるのが好ましい。具体的に、下記のような構造の化合物であってもよいが、これに限定されるのではない。
Figure 0006911272
本明細書において、エステル基は、エステル基の酸素が炭素数1〜25の直鎖、分枝鎖または環鎖アルキル基または多重環アルキル基で置換されてもよい。前記アルキル基で置換されたエステル基は"アルキルエステル基"、前記多重環アルキル基で置換されたエステル基は"多重環アルキルエステル基"と称することができる。
以下、発明の具体的な実施形態による光硬化性および熱硬化性を有する共重合体、これを用いた感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、およびカラーフィルタについてより詳細に説明する。
I.光硬化性および熱硬化性を有する共重合体
発明の一実施形態によれば、分枝鎖末端にエポキシグループを含む有機官能基が結合した第1(メタ)アクリレート繰り返し単位;および分枝鎖末端にアルケニルグループを含む有機官能基が結合した第2(メタ)アクリレート繰り返し単位を含み、前記第2(メタ)アクリレート繰り返し単位で、前記分枝鎖はヒドロキシ基が置換された炭素数1〜20のアルキルエステル基;またはヒドロキシ基が置換された炭素数3〜30のシクロアルキル基によって置換されたアルキルエステル基;またはヒドロキシ基が置換された炭素数7〜30の多重環アルキルエステル基;またはヒドロキシ基が置換された炭素数7〜30の多重環アルキルオキシ基によって置換されたアルキルエステル基を含む、光硬化性および熱硬化性を有する共重合体を提供することができる。
本発明者らは、前述の2種の繰り返し単位を含有した光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の場合、第2(メタ)アクリレート繰り返し単位に含有されたアルケニルグループを含む有機官能基が光照射によって光硬化を行って1次的な硬化構造を形成することができ、第1(メタ)アクリレート繰り返し単位に含有されたエポキシグループを含む有機官能基が200℃未満の低い温度でも熱硬化を通じて2次的な硬化構造を形成することによって、低い温度でも熱硬化および光硬化によって十分な硬化が行われ得る。これによって最終硬化が完了したフィルムが優れた耐久性、耐化学性を有することができ、硬化が行われる前の感光性樹脂組成物も優れた保存安定性を有するという点を実験を通じて確認して発明を完成した。
具体的に、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体は、分枝鎖末端にエポキシグループを含む有機官能基が結合した第1(メタ)アクリレート繰り返し単位を含むことができる。前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位を含むことによって、前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位に含有されたエポキシグループによって200℃未満の低い温度でも熱硬化を通じて緻密な硬化構造を形成することができる。
前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位で、(メタ)アクリレートに含まれている二重結合の重合反応を通じて形成された鎖を主鎖(main chain)といい、前記主鎖から枝形状に伸びた鎖を分枝鎖または側鎖(side chain)という。
前記(メタ)アクリレート繰り返し単位は(メタ)アクリレート単量体の単独重合体内に含まれている繰り返し単位であって、主鎖として(メタ)アクリレート単量体に含有されたビニル基の重合によるポリエチレン鎖、分枝鎖として(メタ)アクリレート単量体に含有されたエステル官能基を含むことができる。即ち、前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位で、エポキシグループを含む有機官能基が結合する分枝鎖末端は前記(メタ)アクリレート繰り返し単位に含有されたエステル官能基の末端を意味することができる。
前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位で、分枝鎖はカルボニル基(−CO−);または炭素数1〜20のアルキルエステル基(R'COO−:R'は炭素数1〜20のアルキル基);または炭素数1〜20のオキシアルキルエステル基;のうちのいずれか一つを含むことができ、前記カルボニル基または炭素数1〜20のアルキルエステル基に含まれている炭素数1〜20のアルキル基の末端に前記エポキシグループを含む有機官能基が結合されてもよい。
前記エポキシグループを含む有機官能基は、エポキシグループのみからなる官能基またはエポキシグループが他の有機官能基と結合した官能基を全て含むことができ、具体的に、下記化学式1で表される官能基;または下記化学式2で表される官能基;または下記化学式3で表される官能基のうちのいずれか一つであってもよい。
[化学式1]
Figure 0006911272
上記化学式1で、R、R、およびRはそれぞれ独立して直接結合、水素、または炭素数1〜5のアルキル基のうちのいずれか一つであってもよく、好ましくはR、R、Rが全て水素であってもよい。
[化学式2]
Figure 0006911272
上記化学式2で、R、およびRはそれぞれ独立して直接結合、または炭素数1〜5のアルキレン基のうちのいずれか一つであってもよく、好ましくはRは炭素数1のメチレン基、Rは炭素数2のエチレン基であってもよい。
[化学式3]
Figure 0006911272
上記化学式3で、R、およびRはそれぞれ独立して直接結合、または炭素数1〜5のアルキレン基のうちのいずれか一つであり、Xは直接結合、−O−、または−S−のうちのいずれか一つである。
具体的に、前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位は、下記化学式4で表すことができる。
[化学式4]
Figure 0006911272
上記化学式4で、R〜R10はそれぞれ独立して水素、または炭素数1〜10のアルキル基のうちのいずれか一つであり、Lは直接結合、または炭素数1〜20のアルキレン基、または炭素数1〜20のオキシアルキレン基のうちのいずれか一つであり、R11はエポキシグループを含む有機官能基である。
好ましくは、前記化学式4で、RおよびR10はそれぞれ独立して水素であり、Rは炭素数1〜3のアルキル基であり、Lは直接結合、または炭素数1〜3のアルキレン基のうちのいずれか一つであり、R11は前記化学式1で表される官能基、または化学式2で表される官能基、または化学式3で表される官能基のうちのいずれか一つである。
より好ましくは、前記化学式4で、Lが直接結合であり、R11は前記化学式3で表される官能基であってもよい。また、前記化学式4で、Lは炭素数1〜3のアルキレン基であり、R11は前記化学式1で表される官能基、または化学式2で表される官能基、または化学式3で表される官能基であってもよい。
具体的に、前記化学式4で表される前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位の例としては、グリシジルメタクリレートに由来した下記化学式4−1、または3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートに由来した下記化学式4−2、または下記合成例3の化学式Aに由来した下記化学式4−3、下記合成例4の化学式Bに由来した下記化学式4−4が挙げられる。
[化学式4−1]
Figure 0006911272
[化学式4−2]
Figure 0006911272
[化学式4−3]
Figure 0006911272
[化学式4−4]
Figure 0006911272
前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体は、分枝鎖末端にアルケニルグループを含む有機官能基が結合された第2(メタ)アクリレート繰り返し単位を含むことができる。前記第2(メタ)アクリレート繰り返し単位を含むことによって、前記第2(メタ)アクリレート繰り返し単位に含有されたアルケニルグループによって光照射によって光硬化を行って緻密な硬化構造を形成することができる。
前記第2(メタ)アクリレート繰り返し単位で、(メタ)アクリレートに含まれている二重結合の重合反応を通じて形成された鎖を主鎖(main chain)といい、前記主鎖から枝形状に伸びた鎖を分枝鎖または側鎖(side chain)という。
前記(メタ)アクリレート繰り返し単位は、(メタ)アクリレート単量体の単独重合体内に含まれている繰り返し単位であって、主鎖として(メタ)アクリレート単量体に含有されたビニル基の重合によるポリエチレン鎖、分枝鎖として(メタ)アクリレート単量体に含有されたエステル官能基を含むことができる。即ち、前記第2(メタ)アクリレート繰り返し単位で、アルケニルグループを含む有機官能基が結合される分枝鎖末端は前記(メタ)アクリレート繰り返し単位に含有されたエステル官能基の末端を意味することができる。
前記第2(メタ)アクリレート繰り返し単位で、分枝鎖はヒドロキシ基が置換された炭素数1〜20、または炭素数1〜10のアルキルエステル基(R'COO−:R'は炭素数1〜10のアルキル基)、またはヒドロキシ基が置換された炭素数1〜20のオキシアルキルエステル基、またはヒドロキシ基が置換された炭素数3〜30、または炭素数3〜10のシクロアルキル基によって置換されたアルキルエステル基、またはヒドロキシ基が置換された炭素数7〜30、または炭素数8〜15の多重環アルキルエステル基、またはヒドロキシ基が置換された炭素数7〜30、または炭素数8〜15の多重環アルキルオキシ基によって置換されたアルキルエステル基のうちのいずれか一つを含むことができる。
具体的に、前記ヒドロキシ基が置換された炭素数1〜20のアルキルエステル基に含まれている炭素数1〜20のアルキル基、または前記ヒドロキシ基が置換された炭素数3〜30のシクロアルキル基によって置換されたアルキルエステル基に含まれている炭素数3〜30のシクロアルキル基の末端に前記アルケニルグループを含む有機官能基が置換されてもよい。
また、前記ヒドロキシ基が置換された炭素数7〜30の多重環アルキルエステル基で、前記炭素数7〜30の多重環アルキルエステル基に含まれている炭素数7〜30の多重環アルキル基の末端に前記アルケニルグループを含む有機官能基が置換されてもよい。
また、前記ヒドロキシ基が置換された炭素数7〜30の多重環アルキルオキシ基によって置換されたアルキルエステル基で、前記炭素数7〜30の多重環アルキルオキシ基に含まれている炭素数7〜30の多重環アルキル基の末端に前記アルケニルグループを含む有機官能基が置換されてもよい。
一方、前記ヒドロキシ基は炭素数1〜20のアルキルエステル基に含まれている炭素数1〜10のアルキル基に分枝鎖として置換されるか、前記炭素数3〜30のシクロアルキル基に置換されるか、前記炭素数10〜30の多重環アルキルエステル基に含まれている10〜30の多重環アルキル基に置換されるか、前記炭素数10〜30の多重環アルキルオキシ基に含まれている10〜30の多重環アルキル基に置換されてもよい。
前記ヒドロキシ基は前述の第1(メタ)アクリレート繰り返し単位に含有されたエポキシグループの開環反応を通じて誘導でき、より具体的に、前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位に含有されたエポキシグループ、そしてアルケニルグループを含む有機官能基を含有した化合物間の反応を通じて誘導できる。
前記アルケニルグループを含む有機官能基はアルケニルグループのみからなる官能基またはアルケニルグループが他の有機官能基と結合した官能基を全て含むことができ、具体的に、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリロイルオキシ基などを使用することができ、好ましくはメタクリロイルオキシ基を使用することができる。
具体的に、前記第2(メタ)アクリレート繰り返し単位は、下記化学式5で表すことができる。
[化学式5]
Figure 0006911272
上記化学式5で、R12〜R14はそれぞれ独立して水素、または炭素数1〜10のアルキル基のうちのいずれか一つであり、Lは直接結合または炭素数1〜20のアルキレン基、炭素数1〜20のオキシアルキレン基のうちのいずれか一つであり、Lはヒドロキシ基が置換された炭素数1〜20のアルキレン基、またはヒドロキシ基が置換された炭素数3〜30のシクロアルキレン基、またはヒドロキシ基が置換された炭素数7〜30の多重環アルキレン基のうちのいずれか一つであり、R15はアルケニルグループを含む有機官能基である。
好ましくは、前記化学式5で、R12、およびR14はそれぞれ独立して水素であり、R13はそれぞれ炭素数1〜3のアルキル基であり、Lは直接結合または炭素数1〜10のアルキレン基、炭素数1〜10のオキシアルキレン基であり、Lはヒドロキシ基で置換された炭素数1〜5のアルキレン基、またはヒドロキシ基で置換された炭素数3〜10のシクロアルキレン基、またはヒドロキシ基が置換された炭素数8〜15の多重環アルキレン基である。
より好ましくは、前記化学式5で、Lは直接結合であり、Lはヒドロキシ基が置換された炭素数10〜20の多重環アルキレン基であってもよい。また、前記化学式5で、Lは炭素数1〜10のアルキレン基、または炭素数1〜10のオキシアルキレン基であり、Lはヒドロキシ基で置換された炭素数1〜5のアルキレン基、またはヒドロキシ基で置換された炭素数3〜10のシクロアルキレン基、またはヒドロキシ基が置換された炭素数8〜15の多重環アルキレン基であってもよい。
具体的に、前記化学式5で表される前記第2(メタ)アクリレート繰り返し単位の例としては、下記化学式5−1〜化学式5−4が挙げられ、これは前述の化学式4−1〜4−4で末端のエポキシグループが(メタ)アクリル酸と反応して製造できる。
[化学式5−1]
Figure 0006911272
[化学式5−2]
Figure 0006911272
[化学式5−3]
Figure 0006911272
[化学式5−4]
Figure 0006911272
前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位と第2(メタ)アクリレート繰り返し単位間のモル比率が99:1〜1:99であってもよい。このように、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体は、前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位と第2(メタ)アクリレート繰り返し単位を両方とも含有することによって、光硬化性および低温熱硬化性を同時に実現することができる。
好ましくは、前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位100モルに対して、第2(メタ)アクリレート繰り返し単位を10モル〜90モル、または20モル〜70モル、または30モル〜50モルの比率で含むことができる。前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位100モルに対して第2(メタ)アクリレート繰り返し単位の含量が10モル未満で過度に減少すれば、合成された共重合体に残渣問題が発生することがある。
反面、前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位100モルに対して第2(メタ)アクリレート繰り返し単位の含量が90モル超過で過度に増加すれば、合成された共重合体に移染特性および耐化学性が悪くなる問題が発生することがある。
一方、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体は、下記化学式6で表される第3(メタ)アクリレート繰り返し単位;下記化学式7で表されるマレイミド繰り返し単位;および下記化学式8で表されるビニル繰り返し単位からなる群より選択された1種以上の繰り返し単位をさらに含むことができる。これにより、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の耐熱性および耐化学性が向上できる。
[化学式6]
Figure 0006911272
[化学式7]
Figure 0006911272
[化学式8]
Figure 0006911272
上記化学式6〜8で、R16〜R26はそれぞれ独立して、水素;重水素;ハロゲン基;炭素数1〜20のアルキル基;炭素数1〜20のアルコキシ基;炭素数6〜30の単環または多環のアリール基;炭素数2〜20のアルケニル基;または炭素数3〜30の単環または多環のシクロアルキル基のうちのいずれか一つであり、Lは直接結合または炭素数1〜20のアルキレン基、炭素数1〜20のオキシアルキレン基のうちのいずれか一つである。
より具体的な例として、前記化学式6で表される第3(メタ)アクリレート繰り返し単位で、R16およびR18は水素であり、R17はメチル基、Lはメチレン基、R19はフェニル基であってもよい。即ち、前記第3(メタ)アクリレート繰り返し単位はベンジルメタクリレート由来繰り返し単位であってもよい。
また、前記化学式7で表されるマレイミド繰り返し単位で、R20およびR21は水素であり、R22はフェニル基であってもよい。前記化学式8で表されるビニル繰り返し単位で、R23、R24およびR25は水素であり、R26はフェニル基であってもよい。即ち、前記化学式7で表されるマレイミド繰り返し単位はN−フェニルマレイミド由来繰り返し単位、前記化学式8で表されるビニル繰り返し単位はスチレン由来繰り返し単位であってもよい。
前記第3(メタ)アクリレート繰り返し単位と第1(メタ)アクリレート繰り返し単位間のモル比率が1:99〜99:1であり、前記第3(メタ)アクリレート繰り返し単位と第2(メタ)アクリレート繰り返し単位間のモル比率が1:99〜99:1であってもよい。このように、前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位、第2(メタ)アクリレート繰り返し単位、および第3(メタ)アクリレート繰り返し単位を共に混合して使用することによって、耐熱性および耐化学性が向上する技術的効果を実現することができる。
前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の重量平均分子量(GPC測定)が1,000g/mol〜100,000g/molであってもよい。
一方、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体は、分枝鎖末端にエポキシグループを含む有機官能基が結合した第1(メタ)アクリレート繰り返し単位;分枝鎖末端にアルケニルグループを含む有機官能基が結合した第2(メタ)アクリレート繰り返し単位;前記化学式6で表される第3(メタ)アクリレート繰り返し単位;前記化学式7で表されるマレイミド繰り返し単位;および前記化学式8で表されるビニル繰り返し単位からなってもよい。
即ち、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体は、前述の5つの繰り返し単位以外の追加的な繰り返し単位をさらに含まなくてもよい。これにより、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体は硬化が行われる前、自発的な分子内副反応が抑制され高い信頼性を確保することができる。
例えば、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体が前述の5つの繰り返し単位以外に追加的な繰り返し単位として、前記第2(メタ)アクリレート繰り返し単位と酸無水物の反応で得られた繰り返し単位をさらに含む場合、酸無水物の開環反応によって形成された末端カルボキシ基によって(メタ)アクリル官能基またはエポキシ基との副反応が行われ、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の物性が十分に実現されにくい限界がある。
前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体を合成する方法の例が大きく限定されるのではないが、例えば、末端にエポキシグループを含む有機官能基が置換された(メタ)アクリレート単量体を含む単量体混合物を重合した後、アルケニルグループを含む有機官能基を含有した化合物を反応させて製造することができる。前記末端にエポキシグループを含む有機官能基が置換された(メタ)アクリレート単量体の例としてはグリシジルメタクリレート、または3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート、または下記合成例3の化学式Aに由来した下記化学式4−3、下記合成例4の化学式Bに由来した下記化学式4−4などが挙げられ、前記アルケニルグループを含む有機官能基を含有した化合物の例としてはメタクリル酸が挙げられる。また、前記単量体混合物には共重合体合成に使用されるその他の単量体として、ベンジルメタクリレート、N−フェニルマレイミド、スチレンを追加することができる。
II.感光性樹脂組成物
発明の他の実施形態によれば、前記一実施形態の光硬化性および熱硬化性を有する共重合体;2つ以上の光硬化可能な不飽和官能基を有する光重合性モノマー;および光開始剤;を含む感光性樹脂組成物を提供することができる。
前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体に関する内容は、前記一実施形態で前述した内容を全て含む。
前記光重合性モノマーは、例えば、2つ以上の多官能ビニル基など光硬化可能な不飽和官能基を有する化合物であってもよく、前述の光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の不飽和官能基と架橋結合を形成して露光時に光硬化による架橋構造を形成することができる。これにより、後述のパターンフィルム形成時に露光部の感光性樹脂組成物がアルカリ現像されず、基板上に残留するようにすることができる。
このような光重合性モノマーとしては、室温で液状であるものを使用することができ、これにより前記感光性樹脂組成物の粘度を塗布方法に合うように調節するか、非露光部のアルカリ現像性をより向上させる役割も共に果たすことができる。
前記光重合性モノマーとしては、2つ以上の光硬化可能な不飽和官能基を有するアクリレート系化合物を使用することができ、より具体的な例として、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、ペンタエリトリトールトリアクリレート、またはジペンタエリトリトールペンタアクリレートなどの水酸基含有のアクリレート系化合物;ポリエチレングリコールジアクリレート、またはポリプロピレングリコールジアクリレートなどの水溶性アクリレート系化合物;トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリトリトールテトラアクリレート、またはジペンタエリトリトールヘキサアクリレートなどの多価アルコールの多官能ポリエステルアクリレート系化合物;トリメチロールプロパン、または水素添加ビスフェノールAなどの多官能アルコールまたはビスフェノールA、ビフェノールなどの多価フェノールのエチレンオキシド付加物および/またはプロピレンオキシド付加物のアクリレート系化合物;前記水酸基含有アクリレートのイソシアネート変性物である多官能または単官能ポリウレタンアクリレート系化合物;ビスフェノールAジグリシジルエーテル、水素添加ビスフェノールAジグリシジルエーテルまたはフェノールノボラックエポキシ樹脂の(メタ)アクリル酸付加物であるエポキシアクリレート系化合物;カプロラクトン変性ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリトリトールのアクリレート、またはカプロラクトン変性ヒドロキシピバル酸ネオペンチルグリコールエステルジアクリレートなどのカプロラクトン変性のアクリレート系化合物、および前述のアクリレート系化合物に対応するメタクリレート系化合物などの感光性(メタ)アクリレート化合物からなる群より選択された1種以上の化合物を使用することができ、これらを単独または2種以上を組み合わせて使用することもできる。
これらの中でも、前記光重合性モノマーとしては1分子中に2つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する多官能(メタ)アクリレート系化合物を好ましく使用することができ、特にペンタエリトリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサアクリレート、またはカプロラクトン変性ジトリメチロールプロパンテトラアクリレートなどを適切に使用することができる。商業的に入手可能な光重合性モノマーの例としては、KAYARAD DPEA−12などが挙げられる。
前述の光重合性モノマーの含量は、感光性樹脂組成物全体重量に対して0.1重量%〜30重量%、または1重量%〜20重量%であってもよい。光重合性モノマーの含量が過度に小さくなれば、光硬化が十分でなくなることがあり、過度に大きくなれば硬化膜の乾燥性が悪くなって物性が低下することがある。
一方、前記光開始剤は、例えば、感光性樹脂組成物の露光部で光硬化性および熱硬化性を有する共重合体と、光重合性モノマー間にラジカル光硬化を開始する役割を果たす。
光開始剤としては公知のものを使用することができ、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテルなどのベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、4−(1−t−ブチルジオキシ−1−メチルエチル)アセトフェノンなどのアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンなどのアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントンなどのチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタールなどのケタール類;ベンゾフェノン、4−(1−t−ブチルジオキシ−1−メチルエチル)ベンゾフェノン、3,3',4,4'−テトラキス(t−ブチルジオキシカルボニル)ベンゾフェノンなどのベンゾフェノン類のような物質を使用することができる。
また、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1,2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン(市販品としてはチバスペシャルティケミカルズ社(現、チバジャパン社)製品のイルガギュア(登録商標)907、イルガキュア369、イルガキュア379など)などのα−アミノアセトフェノン類、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキシド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキシド(市販品としては、BASF社製品のルシリン(登録商標)TPO、チバスペシャルティケミカルズ社製のイルガキュア819など)などのアシルホスフィンオキシド類が好ましい光開始剤として言及できる。
また、好ましい光開始剤としては、オキシムエステル類が挙げられる。オキシムエステル類の具体例としては、2−(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン−9−オン、(1,2−オクタンジオン、1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−、2−(O−ベンゾイルオキシム))、(エタノン、1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−、1−(O−アセチルオキシム))などが挙げられる。市販品としては、チバスペシャルティケミカルズ社製のGGI−325、イルガキュアOXE01、イルガキュアOXE02、ADEKA社製のN−1919、チバスペシャルティケミカルズ社のDarocur TPOなどが挙げられる。
光開始剤の含量は樹脂組成物全体重量に対して0.1重量%〜20重量%、または1重量%〜10重量%であってもよい。光開始剤の含量が過度に小さければ、光硬化がうまく起こらないことがあり、反対に過度に大きくなれば、感光性樹脂組成物の解像度が低下するかパターンフィルムの信頼性が十分でないことがある。
一方、前記感光性樹脂組成物は、溶剤;およびフィラー、顔料(Pigment)および添加剤からなる群より選択された1種以上をさらに含むことができる。
このように追加されるフィラーは、耐熱安定性、熱による寸法安定性、樹脂接着力を向上させる役割を果たす。また、色を補強することによって体質顔料の役割も果たす。フィラーとしては無機または有機充填剤を使用することができ、例えば、硫酸バリウム、チタン酸バリュム、無定形シリカ、結晶性シリカ、溶融シリカ、球形シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム(アルミナ)、水酸化アルミニウム、マイカなどを使用することができる。
前記顔料は視認性、隠蔽力を発揮し、顔料としては赤色、青色、緑色、黄色、黒色顔料などを使用することができる。青色顔料としては、フタロシアニンブルー、ピグメントブルー15:1、ピグメントブルー15:2、ピグメントブルー15:3、ピグメントブルー15:4、ピグメントブルー15:6、ピグメントブルー60などを使用することができる。緑色顔料としては、ピグメントグリーン7、ピグメントグリーン36、ソルベントグリーン3、ソルベントグリーン5、ソルベントグリーン20、ソルベントグリーン28などを使用することができる。黄色顔料としては、アントラキノン系、イソインドリノン系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系などがあり、例えば、ピグメントイエロー108、ピグメントイエロー147、ピグメントイエロー151、ピグメントイエロー166、ピグメントイエロー181、ピグメントイエロー193などを使用することができる。赤色顔料としてはピグメントレッド254などを使用することができる。
顔料の含量は、樹脂組成物全体重量に対して0.1重量%〜10重量%、または0.5重量%〜5重量%で使用するのが好ましい。
前記添加剤は、樹脂組成物の気泡を除去するか、フィルムコーティング時に表面のポッピング(Popping)やクレーター(Crater)を除去、難燃性質付与、粘度調節、触媒などの役割として添加できる。
具体的に、微粉シリカ、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤;シリコン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤および/またはレベリング剤;イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系などのシランカップリング剤;リン系難燃剤、アンチモン系難燃剤などの難燃剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。
この中で、レべリング剤はフィルムコーティング時に表面のポッピングやクレーターを除去する役割を果たし、例えば、BYK−Chemie GmbHのBYK−380N、BYK−307、BYK−378、BYK−350などを使用することができる。
添加剤の含量は、樹脂組成物全体重量に対して0.01重量%〜10重量%であるのが好ましい。
前記溶剤は、樹脂組成物を溶解させるか適切な粘度を付与するために1つ以上の溶剤を混用して使用することができる。
溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類;エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル類(セロソルブ);酢酸エチル、酢酸ブチル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどの酢酸エステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、カルビトールなどのアルコール類;オクタン、デカンなどの脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水素添加石油ナフサ、溶媒ナフサなどの石油系溶剤;ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド(DMF)などのアミド類などが挙げられる。これら溶剤は、単独でまたは2種以上の混合物として使用することができる。
溶剤の含量は、樹脂組成物全体重量に対して5重量%〜50重量%であってもよい。5重量%未満である場合には粘度が高くてコーティング性が落ち、50重量%を超過する場合には乾燥がうまくいかなくてベタつきが増加するようになる。
また、前記感光性樹脂組成物は必要によって、酸変性オリゴマーまたは熱硬化性バインダーをさらに含むことができ、前記酸変性オリゴマーと熱硬化性バインダーの具体的な例は、感光性樹脂組成物分野で広く知られた多様な種類の化合物、オリゴマー、または高分子を制限なく適用することができる。
III.感光性樹脂フィルム
発明のまた他の実施形態によれば、前記一実施形態の光硬化性および熱硬化性を有する共重合体;および2つ以上の光硬化可能な不飽和官能基を有する光重合性モノマー間の硬化物を含む、感光性樹脂フィルムを提供することができる。
前記感光性樹脂フィルムは、パターンを含まない単一フィルムであるか、あるいは露光現像によるパターンを含むパターンフィルムを含むことができる。
前記感光性樹脂フィルムは、1)前記他の実施形態の感光性樹脂組成物を基板に塗布して塗膜を形成する段階;2)前記塗膜を乾燥させる段階;3)前記乾燥された塗膜に光を照射して光硬化させる段階;および4)前記光硬化された塗膜を50℃〜250℃で熱硬化させる段階を含む、感光性樹脂フィルム製造方法によって製造できる。
前記他の実施形態の感光性樹脂組成物を基板に塗布して塗膜を形成する段階(段階1)で、感光性樹脂組成物は前記他の実施形態で前述した内容を全て含む。
前記感光性樹脂組成物を基板に塗布する方法は特に制限されず、例えばスクリーン印刷、オフセット印刷、フレキソ印刷、インクジェットなどの方法を用いることができる。
また、前記感光性樹脂組成物は、前記一実施形態の光硬化性および熱硬化性を有する共重合体;2つ以上の光硬化可能な不飽和官能基を有する光重合性モノマー;および光開始剤を有機溶媒に溶解または分散させたものであってもよい。
前記塗膜を乾燥させる段階(段階2)は、前記感光性樹脂組成物に使用された溶媒などを除去するためのものであって、例えば、塗膜の加熱または真空蒸発などの方法を用いることができる。前記乾燥は、好ましくは50℃〜130℃で、より好ましくは70℃〜120℃の温度で行われるのが好ましい。
前記乾燥された塗膜に光を照射して光硬化させる段階(段階3)は、前記段階2で乾燥された塗膜に光を照射して硬化処理する段階である。前述のように、前記一実施形態の光硬化性および熱硬化性を有する共重合体に含まれている第2(メタ)アクリレート繰り返し単位内部のアルケニルグループを含む有機官能基が光照射によって光硬化を行って硬化構造を形成することができる。
前記光を照射して光硬化させる段階では一定の波長帯を有する光線(UVなど)で露光(Exposure)する。露光は、フォトマスクで選択的に露光するか、またはレーザーダイレクト露光機で直接パターン露光すこともできる。露光量は塗膜の厚さによって異なるが、0.1mJ/cm〜1,000mJ/cmが好ましい。
前記乾燥された塗膜に光を照射して光硬化させる段階(段階3)以後に、必要によってアルカリ溶液などを用いて現像(Development)段階を行うことができる。アルカリ溶液は、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類などのアルカリ水溶液を使用することができる。このような現像によって、露光部のフィルムのみが残留することが可能である。
即ち、前記露光を行えば、例えば、露光部では光硬化が起こり光硬化性および熱硬化性を有する共重合体と、光重合性モノマーなどに含まれている不飽和官能基の間に架橋結合が形成され、その結果、以後の現像によって除去されない状態になり得る。
前記光硬化された塗膜を50℃〜250℃で熱硬化させる段階(段階4)は、前記段階3で光硬化処理された塗膜を低温熱処理する段階である。前記低温熱処理温度は、200℃以下が好ましい。好ましくは、前記低温熱処理温度は50℃〜250℃であり、より好ましくは70℃〜150℃、または80℃〜120℃である。この時、前記熱処理手段は特に制限されず、ホットプレート、熱風循環炉、赤外線炉などの加熱手段によって実施できる。
前述のように前記一実施形態の光硬化性および熱硬化性を有する共重合体に含まれている第1(メタ)アクリレート繰り返し単位内部のエポキシグループを含む有機官能基が熱処理によって熱硬化を行って硬化構造を形成することができる。
前述の方法などを通じて、感光性樹脂フィルムは光硬化および熱硬化を経ることによって、前記一実施形態の光硬化性および熱硬化性を有する共重合体;2つ以上の光硬化可能な不飽和官能基を有する光重合性モノマー間の硬化物を含むことができる。より具体的に、前記硬化物は、前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体のエポキシグループと、熱硬化可能な官能基が熱硬化によって架橋結合された架橋構造;前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体のアルケニルグループとおよび光重合性モノマーの不飽和官能基が互いに光硬化によって架橋結合された架橋構造を含むことができる。
付加して、前記感光性樹脂フィルムは、光硬化に参与して残った少量の光開始剤、または必要によって添加された顔料または添加剤を硬化物内に分散した状態でさらに含むことができる。
前記感光性樹脂フィルムの厚さが大きく限定されるのではないが、例えば、0.01μm〜1000μm範囲内で自由に調節可能である。前記感光性樹脂フィルムの厚さが特定数値だけ増加するか減少する場合、感光性樹脂フィルムから測定される物性も一定数値だけ変化することが可能である。
IV.カラーフィルタ
発明のまた他の実施形態によれば、前記他の実施形態の感光性樹脂フィルムを含むカラーフィルタを提供することができる。
前記感光性樹脂フィルムに関する内容は前記他の実施形態で前述した内容を全て含むことができる。前記カラーフィルタに使用される感光性樹脂フィルムは顔料を硬化物内に分散した状態で含むことができる。
以外に、その他のカラーフィルタに関する内容はカラーフィルタ分野で広く知られた多様な技術構成を制限なく適用することができる。
本発明によれば、相対的に低い温度で優れた熱硬化性を有し、光照射による光硬化も進行可能であり、十分な硬化を通じて優れた耐久性、耐化学性および保存安定性を有することができる光硬化性および熱硬化性を有する共重合体、これを用いた感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、およびカラーフィルタを提供することができる。
発明を下記の実施例でより詳細に説明する。但し、下記の実施例は本発明を例示するものに過ぎず、本発明の内容が下記の実施例によって限定されるのではない。
<合成例:光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の合成>
合成例1
反応容器にベンジルメタクリレート5.1wt%、N−フェニルマレイミド0.8wt%、スチレン0.6wt%、グリシジルメタクリレート13.2wt%を溶媒のプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)78.9wt%と共に入れて溶かした後、窒素雰囲気で75℃に昇温した。反応物が75℃に到達すると熱開始剤V−65 1.2wt%を添加した後、12時間反応させた。このように得られた樹脂溶液に熱重合禁止剤と触媒を添加した後、メタクリル酸0.1wt%を空気雰囲気で投入し120℃を維持して16時間反応させた。製造された光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の重量平均分子量は4,500g/molであり、分枝鎖末端がエポキシ基で置換された(メタ)アクリレート繰り返し単位含量は49モル%、分枝鎖末端がアルケニル基で置換された(メタ)アクリレート繰り返し単位含量は21モル%であった。
合成例2
グリシジルメタクリレートの代わりに3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを使用したことを除いては、前記合成例1と同様な方法で光硬化性および熱硬化性を有する共重合体を合成した。製造された光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の重量平均分子量は4,700g/molであり、分枝鎖末端がエポキシ基で置換された(メタ)アクリレート繰り返し単位含量は49モル%、分枝鎖末端がアルケニル基で置換された(メタ)アクリレート繰り返し単位含量は21モル%であった。
合成例3
グリシジルメタクリレートの代わりに下記化学式Aで表される化合物を使用したことを除いては、前記合成例1と同様な方法で光硬化性および熱硬化性を有する共重合体を合成した。
[化学式A]
Figure 0006911272
合成例4
グリシジルメタクリレートの代わりに下記化学式Bで表される化合物を使用したことを除いては、前記合成例1と同様な方法で光硬化性および熱硬化性を有する共重合体を合成した。
[化学式B]
Figure 0006911272
<比較合成例>
比較合成例1
反応容器にベンジルメタクリレート9.3wt%、N−フェニルマレイミド1.5wt%、スチレン1.1wt%、グリシジルメタクリレート6.8wt%を溶媒のプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)74.6wt%と共に入れて溶かした後、窒素雰囲気で65℃に昇温した。反応物が65℃に到達すると熱開始剤V−65 0.7wt%を添加した後、12時間反応させた。このように得られた樹脂溶液に熱重合禁止剤と触媒を添加した後、メタクリル酸4.3wt%を空気雰囲気で投入し120℃を維持して16時間反応させた。製造された樹脂溶液の温度を90℃に低め、1,2,5,6−テトラヒドロフタル酸無水物5.5wt%を空気雰囲気で投入し24時間反応させた。製造された樹脂の重量平均分子量は8,100g/molであり、酸価は83KOHmg/gであり、分枝鎖末端がエポキシ基で置換された(メタ)アクリレート繰り返し単位含量は0モル%、分枝鎖末端がアルケニル基で置換された(メタ)アクリレート繰り返し単位含量は40モル%であった。
<実施例および比較例:感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムの製造>
実施例1
(1)感光性樹脂組成物
プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)35gの溶媒に光重合開始剤としてIrgacure369(チバスペシャルティケミカルズ製造)1gを30分間常温で攪拌して溶かした後、前記合成例1で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体7.5g、エチレン系二重結合を有する架橋性モノマーとしてジペンタエリトリトールペンタ/ヘキサアクリレート(DPHA、日本化薬製造)5gを入れて1時間常温で攪拌した後、顔料としてC.I.ピグメントRed254 15%分散液50gと添加剤0.2gを入れて1時間常温で攪拌した。前記反応で得られた組成物を不純物をなくすために2回以上ろ過させて感光性樹脂組成物を製造した。
(2)感光性樹脂パターンフィルム
前記感光性樹脂組成物を5cm×5cmガラスに230rpmでコーティングし、100℃で100秒間プリベーキングを行った。その後、40mJ/cmのエネルギーで露光し、現像後に100℃で30分間ポストベーキングを行って感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
実施例2
感光性樹脂組成物製造時、顔料としてC.I.ピグメントRed254の代わりにC.I.ピグメントGreen7を使用したことを除いては、前記実施例1と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
実施例3
感光性樹脂組成物製造時、顔料としてC.I.ピグメントRed254の代わりにC.I.ピグメントBlue15:6を使用したことを除いては、前記実施例1と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
実施例4
感光性樹脂組成物製造時、前記合成例1で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の代わりに前記合成例2で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体を使用したことを除いては、前記実施例1と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
実施例5
感光性樹脂組成物製造時、前記合成例1で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の代わりに前記合成例2で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体を使用したことを除いては、前記実施例2と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
実施例6
感光性樹脂組成物製造時、前記合成例1で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の代わりに前記合成例2で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体を使用したことを除いては、前記実施例3と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
実施例7
感光性樹脂組成物製造時、前記合成例1で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の代わりに前記合成例3で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体を使用したことを除いては、前記実施例1と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
実施例8
感光性樹脂組成物製造時、前記合成例1で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の代わりに前記合成例4で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体を使用したことを除いては、前記実施例1と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
比較例1
感光性樹脂組成物製造時、前記合成例1で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の代わりに下記化学式Cで表される熱硬化性樹脂(ビスフェノール系ノボラックエポキシ樹脂;國都化学のKBPN−110)を使用したことを除いては、前記実施例1と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
[化学式C]
Figure 0006911272
比較例2
感光性樹脂組成物製造時、前記合成例1で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の代わりに前記比較例1で使用された熱硬化性樹脂を使用したことを除いては、前記実施例2と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
比較例3
感光性樹脂組成物製造時、前記合成例1で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の代わりに前記比較例1で使用された熱硬化性樹脂を使用したことを除いては、前記実施例3と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
比較例4
感光性樹脂組成物製造時、前記合成例1で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の代わりに前記比較合成例1で得られた共重合樹脂を使用したことを除いては、前記実施例1と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
比較例5
感光性樹脂組成物製造時、前記合成例1で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の代わりに前記比較合成例1で得られた共重合樹脂を使用したことを除いては、前記実施例2と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
比較例6
感光性樹脂組成物製造時、前記合成例1で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の代わりに前記比較合成例1で得られた共重合樹脂を使用したことを除いては、前記実施例3と同様な方法で感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムを製造した。
<実験例:実施例および比較例で得られた感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムの物性測定>
前記実施例および比較例で得られた感光性樹脂組成物および感光性樹脂パターンフィルムの物性を下記方法で測定し、その結果を表に示した。
1.実験例1:移染特性
前記実施例および比較例で得られた感光性樹脂パターンフィルム上に、感光性樹脂パターンフィルムに含まれている顔料と異なる色を有する顔料を含む感光性樹脂組成物をコーティング/現像した後、前記感光性樹脂パターンフィルムに対してMPCD(Minimum Perceptable Color Difference)として色変化を測定し、光学装備を用いてパターン移動およびスウェリング(Swelling)を観察し、下記基準によって顔料溶出有無を判断し、その結果を下記表1に示した。
○:顔料が全く溶出しない
△:顔料の微細溶出が観察される
X:顔料が溶出すると同時にフィルムが剥離される
2.実験例2:耐化学性
前記実施例および比較例で得られた感光性樹脂パターンフィルム上に、オーバーコート(Over Coat)感光液をコーティング/露光/硬化した後、前記感光性樹脂パターンフィルムに対してMPCD(Minimum Perceptable Color Difference)として色変化を測定し、光学装備を用いてパターン移動およびスフェリング(Swelling)を観察し、下記基準によって顔料溶出有無を判断し、その結果を下記表1に示した。
○:顔料が全く溶出しない
△:顔料の微細溶出が観察される
X:顔料が溶出すると同時にフィルムが剥離される
3.実験例3:保存安定性
前記実施例および比較例で得られた感光性樹脂組成物に対して、製造日、そして2週間常温で放置した後の現像時間(秒)を測定し、その結果を下記表1に示した。製造日と2週後の現像時間変化が少ないほど保存安定性に優れたものと評価することができる。
Figure 0006911272
上記表1に示されているように、前記合成例で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体をバインダー樹脂として使用した実施例の感光性樹脂組成物は、ポストベーキングを100℃温度で行っても一般熱硬化性樹脂を適用した比較例1〜3と異なり後工程による耐化学性および移染特性が優れていることが確認された。
また、分枝鎖末端にエポキシグループを含む有機官能基が結合した第1(メタ)アクリレート繰り返し単位が存在しない比較合成例で得られた樹脂を使用した比較例4〜6と比較時にも、後工程による耐化学性および移染特性が優れていることが確認された。
これによって、前記合成例で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体は従来の熱硬化性バインダー樹脂に比べて低温でも優れた硬化特性示し、優れた耐熱性および耐化学性を有する硬化膜を形成できるのを確認することができた。
また、実施例の感光性樹脂組成物は比較例と同等水準以上に優れた保存安定性を有することができると確認された。これによって、前記合成例で得られた光硬化性および熱硬化性を有する共重合体は従来の熱硬化性バインダー樹脂と比較しても硬化時に十分な結合が形成され優れた保存安定性が実現されるのを確認することができた。

Claims (12)

  1. 分枝鎖末端にエポキシグループを含む有機官能基が結合した第1(メタ)アクリレート繰り返し単位と;
    分枝鎖末端にアルケニルグループを含む有機官能基が結合した第2(メタ)アクリレート繰り返し単位と;
    下記化学式6から8
    [化学式6]
    Figure 0006911272
    [化学式7]
    Figure 0006911272
    [化学式8]
    Figure 0006911272
    (上記化学式6中、
    16〜R19は、それぞれ独立して、水素;重水素;ハロゲン基;炭素数1〜20のアルキル基;炭素数1〜20のアルコキシ基;または炭素数6〜30の単環または多環のアリール基であり、
    上記化学式7〜8中、
    20〜R26は、それぞれ独立して、水素;重水素;ハロゲン基;炭素数1〜20のアルキル基;炭素数1〜20のアルコキシ基;炭素数6〜30の単環または多環のアリール基;炭素数2〜20のアルケニル基;または炭素数3〜30の単環または多環のシクロアルキル基であり、
    上記化学式6〜8中、
    は、直接結合または炭素数1〜20のアルキレン基、炭素数1〜20のオキシアルキレン基である。)
    で表される繰り返し単位と;からなり、
    前記第2(メタ)アクリレート繰り返し単位で、前記分枝鎖はヒドロキシ基が置換された炭素数1〜20のアルキルエステル基;またはヒドロキシ基が置換された炭素数1〜20のオキシアルキルエステル基;またはヒドロキシ基が置換された炭素数3〜30のシクロアルキル基によって置換されたアルキルエステル基;またはヒドロキシ基が置換された炭素数7〜30の多重環アルキルエステル基;またはヒドロキシ基が置換された炭素数7〜30の多重環アルキルオキシ基によって置換されたアルキルエステル基を含み、前記第2(メタ)アクリレート繰り返し単位が下記化学式5
    [化学式5]
    Figure 0006911272
    (上記化学式5中、
    12〜R14は、それぞれ独立して水素、または炭素数1〜10のアルキル基であり、
    は、直接結合または炭素数1〜20のアルキレン基、炭素数1〜20のオキシアルキレン基であり、
    は、ヒドロキシ基が置換された炭素数1〜20のアルキレン基、またはヒドロキシ基が置換された炭素数1〜20のオキシアルキレン基、またはヒドロキシ基が置換された炭素数3〜30のシクロアルキレン基、またはヒドロキシ基が置換された炭素数7〜30の多重環アルキレン基であり、
    15は、アルケニルグループを含む有機官能基である。)
    で表される、光硬化性および熱硬化性を有する共重合体;
    2つ以上の光硬化可能な不飽和官能基を有する光重合性モノマー;および
    光開始剤;を含む感光性樹脂組成物であって、
    前記光開始剤は、ベンゾイン、ベンゾインのアルキルエーテル類、アセトフェノン類、アントラキノン類、チオキサントン類、ケタール類、ベンゾフェノン類、α−アミノアセトフェノン類およびアシルホスフィンオキシド類のいずれかから選択されるものである、感光性樹脂組成物。
  2. 前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位と第2(メタ)アクリレート繰り返し単位間のモル比率が1:99〜99:1である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
  3. 前記光硬化性および熱硬化性を有する共重合体の重量平均分子量(GPC測定)が1000g/mol〜100000g/molである、請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。
  4. 前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位で、分枝鎖はカルボニル基;または炭素数1〜20のアルキルエステル基;または炭素数1〜20のオキシアルキルエステル基を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
  5. 前記エポキシグループを含む有機官能基は、下記化学式1で表される官能基;または下記化学式2で表される官能基;または下記化学式3で表される官能基を含む、請求項1から4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物:
    [化学式1]
    Figure 0006911272
    上記化学式1中、R、R、およびRはそれぞれ独立して、水素、または炭素数1〜5のアルキル基であり、
    [化学式2]
    Figure 0006911272
    上記化学式2中、R、およびRはそれぞれ独立して直接結合、または炭素数1〜5のアルキレン基であり、
    [化学式3]
    Figure 0006911272
    上記化学式3中、R、およびRはそれぞれ独立して直接結合、または炭素数1〜5のアルキレン基であり、Xは直接結合、−O−、または−S−である。
  6. 前記第1(メタ)アクリレート繰り返し単位は下記化学式4で表される、請求項1から5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物:
    [化学式4]
    Figure 0006911272
    上記化学式4中、
    〜R10は、それぞれ独立して水素、または炭素数1〜10のアルキル基であり、
    は、直接結合、または炭素数1〜20のアルキレン基、または炭素数1〜20のオキシアルキレン基であり、
    11は、エポキシグループを含む有機官能基である。
  7. 前記アルケニルグループを含む有機官能基は、(メタ)アクリロイル基または(メタ)アクリロイルオキシ基を含む、請求項1から6のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
  8. 前記光重合性モノマーは、2つ以上の光硬化可能な不飽和官能基を有するアクリレート系化合物を含む、請求項1から7のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
  9. 前記感光性樹脂組成物は、顔料をさらに含む、請求項1から8のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
  10. 1)請求項1から9のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を基板に塗布して塗膜を形成する段階;
    2)前記塗膜を乾燥させる段階;
    3)前記乾燥された塗膜に光を照射して光硬化させる段階;および
    4)前記光硬化された塗膜を50℃〜250℃で熱硬化させる段階を含む、感光性樹脂フィルム製造方法。
  11. 請求項1から9のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物に含まれる、光硬化性および熱硬化性を有する共重合体;および2つ以上の光硬化可能な不飽和官能基を有する光重合性モノマー間の硬化物を含む、感光性樹脂フィルム。
  12. 請求項11の感光性樹脂フィルムを含む、カラーフィルタ。
JP2019553075A 2017-11-10 2018-11-09 感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、およびカラーフィルタ Active JP6911272B2 (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20170149676 2017-11-10
KR10-2017-0149676 2017-11-10
KR1020180136598A KR102118627B1 (ko) 2017-11-10 2018-11-08 광경화성 및 열경화성을 갖는 공중합체, 이를 이용한 감광성 수지 조성물, 감광성 수지 필름, 및 컬러필터
KR10-2018-0136598 2018-11-08
PCT/KR2018/013652 WO2019093827A1 (ko) 2017-11-10 2018-11-09 광경화성 및 열경화성을 갖는 공중합체, 이를 이용한 감광성 수지 조성물, 감광성 수지 필름, 및 컬러필터

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020515680A JP2020515680A (ja) 2020-05-28
JP6911272B2 true JP6911272B2 (ja) 2021-07-28

Family

ID=66678453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019553075A Active JP6911272B2 (ja) 2017-11-10 2018-11-09 感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、およびカラーフィルタ

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6911272B2 (ja)
KR (1) KR102118627B1 (ja)
CN (1) CN110709435B (ja)
TW (1) TWI743412B (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102420536B1 (ko) 2019-03-27 2022-07-13 주식회사 엘지화학 알칼리 가용성, 광경화성 및 열경화성을 갖는 공중합체, 이를 이용한 감광성 수지 조성물, 감광성 수지 필름, 및 컬러필터

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3688949B2 (ja) * 1999-09-24 2005-08-31 昭和高分子株式会社 感光性樹脂
JP2005517793A (ja) * 2002-02-15 2005-06-16 ピーピージー インダストリーズ オハイオ, インコーポレイテッド イソブチレンモノマーおよびアクリルモノマーのコポリマーを含有する放射線硬化性組成物
JP2006113327A (ja) * 2004-10-15 2006-04-27 Toray Fine Chemicals Co Ltd 感光性樹脂組成物
KR101255866B1 (ko) * 2004-11-30 2013-04-17 가부시끼가이샤 다이셀 지환식 에폭시(메트)아크릴레이트 및 그의 제조 방법, 및공중합체
JP2008031248A (ja) * 2006-07-27 2008-02-14 Daicel Chem Ind Ltd 硬化性樹脂組成物及び硬化塗膜の形成方法
EP2147937A4 (en) * 2007-05-11 2010-08-25 Daicel Chem LIGHT AND / OR HEAT-CURABLE COPOLYMER, HARDENABLE RESIN COMPOSITIONS AND HARDENED OBJECTS
JP2009108309A (ja) * 2007-10-11 2009-05-21 Hitachi Chem Co Ltd 樹脂組成物及びその硬化物を用いた光学部材
KR101249681B1 (ko) 2008-01-23 2013-04-05 주식회사 엘지화학 바인더 수지 및 이를 포함하는 감광성 수지조성물과, 이감광성 수지조성물에 의해 제조된 컬럼스페이서
JP5367324B2 (ja) * 2008-07-25 2013-12-11 株式会社ダイセル 硬化性共重合体及び硬化性樹脂組成物
JP6029506B2 (ja) * 2013-03-26 2016-11-24 富士フイルム株式会社 インプリント用下層膜形成組成物およびパターン形成方法
KR101435652B1 (ko) * 2014-01-17 2014-08-28 주식회사 삼양사 신규한 β-옥심에스테르 플루오렌 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
KR101564872B1 (ko) * 2015-02-10 2015-10-30 동우 화인켐 주식회사 네가티브형 감광성 수지 조성물
JP6720815B2 (ja) * 2015-10-06 2020-07-08 三菱ケミカル株式会社 感光性樹脂組成物、それを用いて得られる光学素子、スペーサー、絶縁膜及び表示装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN110709435B (zh) 2021-08-24
TWI743412B (zh) 2021-10-21
CN110709435A (zh) 2020-01-17
JP2020515680A (ja) 2020-05-28
TW201922818A (zh) 2019-06-16
KR20190053801A (ko) 2019-05-20
KR102118627B1 (ko) 2020-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101518774B1 (ko) 신규한 옥심에스테르 플로렌 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
KR101435652B1 (ko) 신규한 β-옥심에스테르 플루오렌 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
JP2018123274A (ja) アルカリ可溶性樹脂、感光性樹脂組成物及びその用途
JP5451048B2 (ja) 共重合体及び感光性樹脂組成物
JP2018009059A (ja) 硬化性樹脂組成物及びその用途
JP6463658B2 (ja) 硬化性樹脂組成物及びカラーフィルタ
JP6911272B2 (ja) 感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、およびカラーフィルタ
CN111032720A (zh) 树脂、感光性树脂组合物、树脂固化膜及图像显示装置
JP7205553B2 (ja) アルカリ可溶性、光硬化性および熱硬化性を有する共重合体、これを用いた感光性樹脂組成物、感光性樹脂フィルム、およびカラーフィルタ
KR101574535B1 (ko) 신규한 옥심에스테르 비페닐 화합물, 이를 포함하는 광개시제 및 감광성 수지 조성물
KR101478292B1 (ko) 신규한 β-옥심에스테르 비페닐 화합물, 이를 포함하는 광개시제 및 감광성 수지 조성물
KR101828927B1 (ko) 신규한 옥심에스테르 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
KR20220084087A (ko) 수지 조성물, 및 감광성 수지 조성물 및 그 경화물
KR20160071994A (ko) 흑색 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 블랙매트릭스 및 이를 구비한 화상 표시 장치
WO2019093827A1 (ko) 광경화성 및 열경화성을 갖는 공중합체, 이를 이용한 감광성 수지 조성물, 감광성 수지 필름, 및 컬러필터
KR101840061B1 (ko) 알칼리 가용성 고분자 화합물 및 이의 제조방법
JP7190294B2 (ja) 共重合体、該共重合体を含む硬化性樹脂組成物、及びその硬化物
KR101991838B1 (ko) 신규 1,3-벤조디아졸 베타-옥심 에스테르 화합물 및 이를 포함하는 조성물
KR101777845B1 (ko) 신규한 플루오란텐 옥심 에스테르 유도체, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
WO2024018984A1 (ja) 共重合体、硬化性樹脂組成物、及び硬化物
JP6377928B2 (ja) アルカリ可溶性樹脂を含むレジスト組成物及びその保存方法
WO2023218876A1 (ja) アルカリ可溶性樹脂、感光性樹脂組成物及びその硬化物
TW202429195A (zh) 鹼性顯影型樹脂組合物、其光硬化性的乾膜及其硬化物以及使用其而形成的印刷電路板
KR101959086B1 (ko) 알칼리 가용성 수지 및 이를 포함하는 착색 감광성 수지 조성물
JP2019038984A (ja) 硬化性樹脂組成物、及び(メタ)アクリレート系重合体の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20191004

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200630

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200928

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20201013

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210212

C60 Trial request (containing other claim documents, opposition documents)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60

Effective date: 20210212

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20210219

C21 Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21

Effective date: 20210224

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210406

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210526

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210608

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210617

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6911272

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150