JP6905585B2 - トリアゾールシラン化合物、該化合物の合成方法およびその利用 - Google Patents

Description

本発明は、新規なトリアゾールシラン化合物、並びに該トリアゾールシラン化合物を用いた表面処理液、表面処理方法およびその利用に関するものである。

シランカップリング剤の成分として、有機物とケイ素から構成される物質が使用されている。この物質は分子中に種類の異なる官能基を有しており、通常では馴染まない有機材料と無機材料を結ぶ仲介役としての機能を発揮する。そのため、複合材料の開発や生産には不可欠の薬剤である。

特許文献１には、ガラスや金属とゴムの接着用プライマーに使用されるシランカップリング剤の成分として、トリアゾールやチアジアゾール等の含窒素複素環と、トリメトキシシリル基やトリエトキシシリル基等のシリル基が、チオエーテル（スルフィド）結合等を有する有機基を介して結合された構造の物質が種々提案されている。
特許文献２には、アルミニウムおよびマグネシウム合金の腐食抑制剤に使用されるシラン化合物として、１Ｎ−トリメトキシシリルプロピル−１，２，４−トリアゾールが提案されている。

日本国特開２００２−３６３１８９号公報 米国特許出願公開第２０１２／００２１２３２号明細書

本発明は、新規なトリアゾールシラン化合物及びその合成方法ならびに、新規なトリアゾールシラン化合物を成分とするシランカップリング剤を提供することを目的とする。
また、当該トリアゾールシラン化合物を用いた表面処理液、表面処理方法および異なる材料の接着方法を提供することを目的とする。

本発明者らは、前記の課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、トリアゾール化合物とハロゲン化アルキルシラン化合物を反応させることにより、新規なトリアゾールシラン化合物を合成し得ることを認め、本発明を完成するに至ったものである。

すなわち、本発明は以下の〔１〕〜〔３４〕の通りである。
〔１〕化学式（Ｉ）で示されるトリアゾールシラン化合物。

（式中、Ｘ^１およびＸ^２は、同一または異なって、水素原子、炭素数１〜１２の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、フェニル基、ベンジル基、アミノ基または炭素数１〜６のアルキルチオ基を表す。ｍは１〜１２の整数を表す。Ｒはメチル基またはエチル基を表す。但し、Ｘ^１とＸ^２が同時に水素原子である場合を除く。）

〔２〕化学式（ＩＩ）で示されるトリアゾール化合物と、化学式（ＩＩＩ）で示されるハロゲン化アルキルシラン化合物を反応させることを特徴とする前記〔１〕記載のトリアゾールシラン化合物の合成方法。

（式中、Ｘ¹およびＸ²は前記と同様である。）

（式中、Ｒおよびｍは前記と同様である。Ｈａｌは塩素原子、臭素原子または沃素原子を表す。）

〔３〕下記化学式（ＩＶ）で示されるトリアゾールシラン化合物を成分とすることを特徴とするシランカップリング剤。

（式中、Ｘ^１およびＸ^２は、同一または異なって、水素原子、炭素数１〜１２の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、フェニル基、ベンジル基、アミノ基または炭素数１〜６のアルキルチオ基を表す。ｍは１〜１２の整数を表す。ｎは０または１〜３の整数を表す。Ｒはメチル基またはエチル基を表す。但し、Ｘ^１とＸ^２が同時に水素原子である場合を除く。）

〔４〕下記化学式（ＩＶ）で示されるトリアゾールシラン化合物を含有する表面処理液。

（式中、Ｘ^１およびＸ^２は、同一または異なって、水素原子、炭素数１〜１２の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、フェニル基、ベンジル基、アミノ基または炭素数１〜６のアルキルチオ基を表す。ｍは１〜１２の整数を表す。ｎは０または１〜３の整数を表す。Ｒはメチル基またはエチル基を表す。但し、Ｘ^１とＸ^２が同時に水素原子である場合を除く。）

〔５〕金属、無機材料および樹脂材料からなる群から選択される少なくとも１つの表面を処理するために用いる前記〔４〕に記載の表面処理液。
〔６〕金属、無機材料および樹脂材料からなる群から選択される２つの材料を接着するために用いる前記〔４〕に記載の表面処理液。
〔７〕前記金属が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、錫、鉄、銀、金およびこれらの合金からなる群から選択される少なくとも１つである前記〔５〕または〔６〕に記載の表面処理液。
〔８〕前記金属が銅または銅合金である前記〔５〕または〔６〕に記載の表面処理液。
〔９〕前記無機材料が、シリコン、セラミックおよびガラスからなる群から選択される少なくとも１つである前記〔５〕または〔６〕に記載の表面処理液。
〔１０〕前記セラミックが、アルミナ、炭化ケイ素、窒化アルミ、窒化ケイ素およびチタン酸バリウムからなる群から選択される少なくとも１つである前記〔９〕に記載の表面処理液。
〔１１〕前記樹脂材料が、アクリレート樹脂、エポキシ樹脂、オレフィン樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、シリコーン樹脂およびポリイミド樹脂からなる群から選択される少なくとも１つである前記〔５〕または〔６〕に記載の表面処理液。

〔１２〕前記〔４〕に記載の表面処理液を金属の表面に接触させる金属の表面処理方法。
〔１３〕前記金属が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、錫、鉄、銀、金およびこれらの合金からなる群から選択される少なくとも１つである前記〔１２〕に記載の金属の表面処理方法。
〔１４〕前記金属が、銅または銅合金である前記〔１２〕に記載の金属の表面処理方法。
〔１５〕前記表面処理液を銅または銅合金の表面に接触させる前に、銅イオンを含む水溶液を前記銅または銅合金の表面に接触させる前記〔１４〕に記載の金属の表面処理方法。
〔１６〕前記表面処理液を銅または銅合金の表面に接触させた後に、酸性水溶液またはアルカリ性水溶液を前記銅または銅合金の表面に接触させる前記〔１４〕または〔１５〕に記載の金属の表面処理方法。

〔１７〕前記〔４〕に記載の表面処理液を無機材料の表面に接触させる無機材料の表面処理方法。
〔１８〕前記無機材料が、シリコン、セラミックおよびガラスからなる群から選択される少なくとも１つである前記〔１７〕に記載の無機材料の表面処理方法。
〔１９〕前記セラミックが、アルミナ、炭化ケイ素、窒化アルミ、窒化ケイ素およびチタン酸バリウムからなる群から選択される少なくとも１つである前記〔１８〕に記載の無機材料の表面処理方法。

〔２０〕前記〔４〕に記載の表面処理液を樹脂材料の表面に接触させる樹脂材料の表面処理方法。
〔２１〕前記樹脂材料が、アクリレート樹脂、エポキシ樹脂、オレフィン樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、シリコーン樹脂およびポリイミド樹脂からなる群から選択される少なくとも１つである前記〔２０〕に記載の樹脂材料の表面処理方法。

〔２２〕金属と樹脂材料の接着方法であって、前記〔４〕に記載の表面処理液を、金属および樹脂材料の少なくとも一方に接触させて当該少なくとも一方に化成皮膜を形成し、前記金属と前記樹脂材料とを前記化成皮膜を介して互いに接着する金属と樹脂材料の接着方法。
〔２３〕無機材料と樹脂材料の接着方法であって、前記〔４〕に記載の表面処理液を、無機材料および樹脂材料の少なくとも一方に接触させて当該少なくとも一方に化成皮膜を形成し、前記無機材料と前記樹脂材料とを前記化成皮膜を介して互いに接着する無機材料と樹脂材料の接着方法。
〔２４〕金属と無機材料の接着方法であって、前記〔４〕に記載の表面処理液を、金属および無機材料の少なくとも一方に接触させて当該少なくとも一方に化成皮膜を形成し、前記金属と前記無機材料とを前記化成皮膜を介して互いに接着する金属と無機材料の接着方法。

〔２５〕金属、無機材料および樹脂材料からなる群から選択される２つの材料を、前記〔４〕に記載の表面処理液により形成された化成皮膜を介して接着したプリント配線板。
〔２６〕金属、無機材料および樹脂材料からなる群から選択される２つの材料を、前記〔４〕に記載の表面処理液により形成された化成皮膜を介して接着した半導体ウェハ。
〔２７〕金属、無機材料および樹脂材料からなる群から選択される２つの材料を、前記〔４〕に記載の表面処理液により形成された化成皮膜を介して接着した電子デバイス。

〔２８〕前記〔３〕に記載のシランカップリング剤と樹脂材料または無機材料とを含有する絶縁性組成物。
〔２９〕前記樹脂材料が、アクリレート樹脂、エポキシ樹脂、オレフィン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、シリコーン樹脂およびポリイミド樹脂からなる群から選択される少なくとも１つである前記〔２８〕に記載の絶縁性組成物。
〔３０〕前記無機材料が、シリコン、セラミックおよびガラスからなる群から選択される少なくとも１つである前記〔２８〕に記載の絶縁性組成物。

〔３１〕前記〔２８〕〜〔３０〕のいずれか一つに記載の絶縁性組成物を含有する絶縁材料。
〔３２〕前記〔２８〕〜〔３０〕のいずれか一つに記載の絶縁性組成物から得られる絶縁層を有するプリント配線板。
〔３３〕前記〔２８〕〜〔３０〕のいずれか一つに記載の絶縁性組成物から得られる絶縁層を有する半導体ウェハ。
〔３４〕前記〔２８〕〜〔３０〕のいずれか一つに記載の絶縁性組成物から得られる絶縁層を有する電子デバイス。

本発明のトリアゾールシラン化合物は、分子中にアルコキシシリル基と共に１，２，４−トリアゾール環を有する物質であるので、これを成分とすることにより、トリアゾール化合物の特徴である金属を防錆する機能と、エポキシ樹脂やウレタン樹脂を硬化させる機能を付加したシランカップリング剤とすることが期待できる。
また、本発明のトリアゾールシラン化合物を含有した表面処理液によれば、材質の異なる２つの材料、即ち、金属と無機材料、金属と樹脂材料および、無機材料と樹脂材料の接着性を高めることができる。

以下、本発明を詳細に説明する。なお、本発明は、以下に説明する実施形態に限定されるものではない。

（トリアゾールシラン化合物）
本発明のトリアゾールシラン化合物は、前記の化学式（Ｉ）で示されるトリアゾールシラン化合物（以下、トリアゾールシラン化合物（Ｉ）ということがある）であり、例えば、
３−メチル−１−［２−（トリエトキシシリル）エチル］−１，２，４−トリアゾール、
５−メチル−１−［４−（トリメトキシシリル）ブチル］−１，２，４−トリアゾール、
３−エチル−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−プロピル−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−イソプロピル−１−［１０−（トリメトキシシリル）デシル］−１，２，４−トリアゾール、
３−ブチル−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−ヘキシル−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
５−メチル−３−オクチル−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−ドデシル−１−［６−（トリエトキシシリル）ヘキシル］−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ジメチル−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ジイソプロピル−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−フェニル−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−メチル−５−フェニル−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−エチル−５−フェニル−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ジフェニル−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−ベンジル−１−［４−（トリエトキシシリル）ブチル］−１，２，４−トリアゾール、
３−ベンジル−５−フェニル−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−ヘキシルチオ−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
５−プロピル−３−ベンジル−１−［６−（トリエトキシシリル）ヘキシル］−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−１−（トリエトキシシリル）メチル−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−１−［２−（トリメトキシシリル）エチル］−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
５−アミノ−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
５−アミノ−３−エチル−１−［６−（トリメトキシシリル）ヘキシル］−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−５−フェニル−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−５−ベンジル−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−１−［６−（トリメトキシシリル）ヘキシル］−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−１−［６−（トリエトキシシリル）ヘキシル］−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−１−［１２−（トリメトキシシリル）ドデシル］−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ジアミノ−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ジアミノ−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ジアミノ−１−［６−（トリメトキシシリル）ヘキシル］−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ジアミノ−１−［１２−（トリメトキシシリル）ドデシル］−１，２，４−トリアゾール、
３−メチルチオ−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−イソプロピルチオ−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−ヘキシルチオ−１−［１０−（トリエトキシシリル）デシル］−１，２，４−トリアゾール、
３−エチルチオ−５−イソプロピル−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ビス（メチルチオ）−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−メチルチオ−５−ヘキシルチオ−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−５−メチルチオ−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
５−アミノ−３−メチルチオ−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
５−アミノ−３−メチルチオ−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール、
５−アミノ−３−イソプロピルチオ−１−［６−（トリエトキシシリル）ヘキシル］−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−５−ヘキシルチオ−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール等が挙げられる。

本発明のトリアゾールシラン化合物は、前記の化学式（ＩＩ）で示されるトリアゾール化合物（以下、トリアゾール化合物（ＩＩ）ということがある）と、前記の化学式（ＩＩＩ）で示されるハロゲン化アルキルシラン化合物（以下、ハロゲン化アルキルシラン化合物（ＩＩＩ）ということがある）を、脱ハロゲン化水素剤の存在下、適量の反応溶媒中において適宜の反応温度および反応時間にて反応させることにより、概ね高収率で合成することができる（反応スキーム（Ａ）参照）。

（式中、Ｘ^１、Ｘ^２、Ｒ、Ｈａｌおよびｍは、前記と同様である。）

前記のトリアゾール化合物（ＩＩ）としては、
３−メチル−１，２，４−トリアゾール、
３−エチル−１，２，４−トリアゾール、
３−プロピル−１，２，４−トリアゾール、
３−イソプロピル−１，２，４−トリアゾール、
３−ブチル−１，２，４−トリアゾール、
３−ヘキシル−１，２，４−トリアゾール、
３−ドデシル−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ジメチル−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ジイソプロピル−１，２，４−トリアゾール、
３−エチル−５−オクチル−１，２，４−トリアゾール、
５−メチル−３−オクチル−１，２，４−トリアゾール、
３−フェニル−１，２，４−トリアゾール、
３−メチル−５−フェニル−１，２，４−トリアゾール、
３−エチル−５−フェニル−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ジフェニル−１，２，４−トリアゾール、
３−ベンジル−１，２，４−トリアゾール、
５−プロピル−３−ベンジル−１，２，４−トリアゾール、
３−ベンジル−５−フェニル−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−５−エチル−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−５−フェニル−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−５−ベンジル−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ジアミノ−１，２，４−トリアゾール、
３−メチルチオ−１，２，４−トリアゾール、
３−エチルチオ−５−イソプロピル−１，２，４−トリアゾール、
３−イソプロピルチオ−１，２，４−トリアゾール、
３−ヘキシルチオ−１，２，４−トリアゾール、
３，５−ビス（メチルチオ）−１，２，４−トリアゾール、
３−メチルチオ−５−ヘキシルチオ−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−５−メチルチオ−１，２，４−トリアゾール、
３−アミノ−５−イソプロピルチオ−１，２，４−トリアゾール及び
３−アミノ−５−ヘキシルチオ−１，２，４−トリアゾール等が挙げられる。

前記のハロゲン化アルキルシラン化合物（ＩＩＩ）としては、
１−クロロメチルトリメトキシシラン、
１−クロロメチルトリエトキシシラン、
２−クロロエチルトリメトキシシラン、
２−クロロエチルトリエトキシシラン、
３−クロロプロピルトリメトキシシラン、
３−クロロプロピルトリエトキシシラン、
３−ブロモプロピルトリメトキシシラン、
３−ブロモプロピルトリエトキシシラン、
３−ヨードプロピルトリメトキシシラン、
３−ヨードプロピルトリエトキシシラン、
４−ブロモブチルトリメトキシシラン、
４−ブロモブチルトリエトキシシラン、
５−ブロモペンチルトリメトキシシラン、
５−ブロモペンチルトリエトキシシラン、
６−ブロモヘキシルトリメトキシシラン、
６−ブロモヘキシルトリエトキシシラン、
８−ブロモオクチルトリメトキシシラン、
８−ブロモオクチルトリエトキシシラン、
１０−ブロモデシルトリメトキシシラン、
１０−ブロモデシルトリエトキシシラン、
１２−ブロモドデシルトリメトキシシラン及び
１２−ブロモドデシルトリエトキシシラン等が挙げられる。

前記の反応溶媒としては、トリアゾール化合物（ＩＩ）とハロゲン化アルキルシラン化合物（ＩＩＩ）に対して不活性な溶剤であれば特に限定されず、例えば、ヘキサン、トルエン、キシレン等の炭化水素系溶剤；
ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、シクロペンチルメチルエーテル等のエーテル系溶剤；
酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル系溶剤；
メタノール、エタノール等のアルコール系溶剤；
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミド系溶剤；
アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤；
アセトニトリル、ジメチルスルホキシドやヘキサメチルホスホロアミド等を挙げることができる。

前記の脱ハロゲン化水素剤としては、ナトリウムメトキシド、ナトリウムエトキシド、カリウムメトキシド、カリウムt−ブトキシド等のアルカリ金属アルコキシド；
炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等の炭酸アルカリ塩；
ジアザビシクロウンデセン等の有機塩基や水素化ナトリウム等を挙げることができる。

トリアゾール化合物（ＩＩ）とハロゲン化アルキルシラン化合物（ＩＩＩ）の反応は、前記の反応スキーム（Ａ）に示される如く、化学量論的に進行するが、トリアゾール化合物（ＩＩ）の使用量（仕込量）に対する、ハロゲン化アルキルシラン化合物（ＩＩＩ）の使用量（仕込量）は、反応温度や反応時間の他、使用する原料や反応溶媒の種類、反応スケール等の要因を考慮して、０．８〜１．２倍モルの範囲における適宜の割合とすることが好ましい。
ハロゲン化アルキルシラン化合物（ＩＩＩ）の仕込み量が１．２倍モルよりも多いと、該化合物が重合してゲル化する惧れがあり、０．８倍モルよりも少ないと、生成物の純度が低下したり、生成物の分離操作が煩雑になる等の惧れがある。
また、脱ハロゲン化水素剤は、トリアゾール化合物（ＩＩ）とハロゲン化アルキルシラン化合物（ＩＩＩ）の反応により副生するハロゲン化水素を中和する為に使用されるので、その使用量（仕込量）は、ハロゲン化アルキルシラン化合物（ＩＩＩ）の使用量に対して等モル以上であればよい。

前記の反応温度は、トリアゾール化合物（ＩＩ）の１位ＮＨと、ハロゲン化アルキルシラン化合物（ＩＩＩ）が反応する温度範囲であれば特に限定されないが、０〜１５０℃の範囲が好ましく、５〜１００℃の範囲がより好ましい。

前記の反応時間は、設定した反応温度に応じて適宜決定されるが、３０分〜１０時間の範囲が好ましく、１〜８時間の範囲がより好ましい。

（シランカップリング剤）
本発明のシランカップリング剤は、前記の化学式（ＩＶ）で示されるトリアゾールシラン化合物（以下、トリアゾールシラン化合物（ＩＶ）ということがある）を成分とする。

本発明のシランカップリング剤を使用するに当たっては、従来のシランカップリング剤の場合と同様な表面処理方法を採用することができる。
この表面処理方法としては、例えば、（ａ）適宜量のシランカップリング剤を有機溶剤により希釈した処理液を基材にスプレー塗布する方法、（ｂ）同シランカップリング剤を水−有機溶剤により希釈した処理液を基材にスプレー塗布する方法、（ｃ）同シランカップリング剤を水により希釈した処理液を基材にスプレー塗布する方法、（ｄ）同シランカップリング剤を有機溶剤により希釈した処理液に基材を浸漬する方法、（ｅ）同シランカップリング剤を水−有機溶剤により希釈した処理液に基材を浸漬する方法、（ｆ）同シランカップリング剤を水により希釈した処理液に基材を浸漬する方法等を挙げることができる。

前記の有機溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、へプタン、ヘキサン、シクロヘキサン、ｎ−オクタン等の炭化水素系溶剤；
ジクロロメタン、ジクロロエタン、四塩化炭素、クロロホルム、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、トリクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素系溶剤；
アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤；
ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル（メチルセロソルブ）、エチレングリコールモノエチルエーテル（エチルセロソルブ）、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のエーテル系溶剤；
メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、ｎ−ブチルアルコール、２−ブチルアルコール、ｔｅｒｔ−ブチルアルコール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール系溶剤などを挙げることができる。

本発明に使用される基材としては、例えば、金属、無機材料、樹脂材料等から形成された粒状、針状、繊維状、織物状、板状、箔状、無定形等の基材を挙げることができる。

前記の金属としては、例えば、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、錫、鉄、銀、金およびこれらの合金等が挙げられ、これらの金属からなる板や箔、めっき膜などを基材とすることができる。
前記合金の具体例としては、銅合金では、銅を含む合金であれば特に限定されず、例えば、Ｃｕ−Ａｇ系、Ｃｕ−Ｔｅ系、Ｃｕ−Ｍｇ系、Ｃｕ−Ｓｎ系、Ｃｕ−Ｓｉ系、Ｃｕ−Ｍｎ系、Ｃｕ−Ｂｅ−Ｃｏ系、Ｃｕ−Ｔｉ系、Ｃｕ−Ｎｉ−Ｓｉ系、Ｃｕ−Ｚｎ−Ｎｉ系、Ｃｕ−Ｃｒ系、Ｃｕ−Ｚｒ系、Ｃｕ−Ｆｅ系、Ｃｕ−Ａｌ系、Ｃｕ−Ｚｎ系、Ｃｕ−Ｃｏ系等の合金が挙げられる。
また、その他の合金では、アルミニウム合金（Ａｌ−Ｓｉ合金）、ニッケル合金（Ｎｉ−Ｃｒ合金）、鉄合金（Ｆｅ−Ｎｉ合金、ステンレス、鋼）等が挙げられる。
これらの金属の中では、銅および銅合金が好ましい。

前記の無機材料としては、例えば、シリコン、セラミックや、フィラーとして使用される無機材料およびガラス等が挙げられる。
具体的には、シリコン、炭化ケイ素、シリカ、ガラス、珪藻土、珪酸カルシウム、タルク、硝子ビーズ、セリサイト活性白土、ベントナイト、アルミノケイ酸塩、マイカ等のケイ素化合物、アルミナ、酸化亜鉛、酸化鉄、酸化マグネシウム、酸化錫、酸化チタン等の酸化物、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、塩基性炭酸マグネシウム等の水酸化物、炭酸カルシウム、炭酸亜鉛、ハイドロタルサイト、炭酸マグネシウム等の炭酸塩、硫酸バリウム、石膏等の硫酸塩、チタン酸バリウム等のチタン酸塩、窒化アルミ、窒化ケイ素等の窒化物、炭素繊維等が挙げられる。
これらの無機材料の中では、シリコン、セラミック（アルミナ、炭化ケイ素、窒化アルミ、窒化ケイ素およびチタン酸バリウム等）およびガラスが好ましい。

前記の樹脂材料としては、ナイロン、アクリレート樹脂、エポキシ樹脂、オレフィン樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、マレイミド樹脂、シアネート樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂、オレフィン樹脂、フッ素含有樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、液晶樹脂等が挙げられ、これらを混合したり、互いに変性したりして、組み合わせたものであってもよい。
これらの樹脂材料の中では、アクリレート樹脂、エポキシ樹脂、オレフィン樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、シリコーン樹脂およびポリイミド樹脂が好ましい。

このような表面処理を基材に施すことにより、基材の表面の親油性が高まって、樹脂等に対する親和性（接着性、密着性）を向上させることができる。
なお、この処理による効果をより発揮させるために、表面処理した基材を更に加熱処理してもよい。

（表面処理液）
＜化学式（ＩＶ）で示されるトリアゾールシラン化合物を含有する表面処理液＞
本発明の表面処理液は、前記のトリアゾールシラン化合物（ＩＶ）を含有する表面処理液であるが、このトリアゾールシラン化合物（ＩＶ）は、以下の化学式（Ｉ）と化学式（ＩＶａ）〜（ＩＶｃ）で示されるトリアゾールシラン化合物を包含する。

（式中、Ｘ¹、Ｘ²、Ｒおよびｍは前記と同様である。）

即ち、トリアゾールシラン化合物（Ｉ）は、前記の化学式（ＩＶ）においてｎが０である場合のトリアゾールシラン化合物（トリアルコキシ体）である。
同様に、化学式（ＩＶａ）で示されるトリアゾールシラン化合物（以下、トリアゾールシラン化合物（ＩＶａ）ということがある）は、ｎが１である場合のトリアゾールシラン化合物であり、化学式（ＩＶｂ）で示されるトリアゾールシラン化合物（以下、トリアゾールシラン化合物（ＩＶｂ）ということがある）は、ｎが２である場合のトリアゾールシラン化合物であり、化学式（ＩＶｃ）で示されるトリアゾールシラン化合物（以下、トリアゾールシラン化合物（ＩＶｃ）ということがある）は、ｎが３である場合のトリアゾールシラン化合物である。

トリアゾールシラン化合物（ＩＶａ）〜（ＩＶｃ）は、表面処理液中に存在するトリアゾールシラン化合物（Ｉ）が、加水分解されて生成する種であり、これらは、トリアルコキシ体のトリアゾールシラン化合物（Ｉ）と共に、シランカップリング剤の成分として好適なものである。また、トリアゾールシラン化合物（ＩＶａ）〜（ＩＶｃ）は、例えば、表面処理液から揮発分を除去することにより表面処理液から抽出して用いることができる。

本発明の実施においては、表面処理液を調製する際の原料として、トリアゾールシラン化合物（Ｉ）を用いることが好ましい。
このトリアゾールシラン化合物（Ｉ）の例としては、前述のとおりである。

本発明の表面処理液は、トリアゾールシラン化合物（Ｉ）と有機溶剤又はトリアゾールシラン化合物（Ｉ）と可溶化剤と水を混合することにより調製される。可溶化剤としては、酸、アルカリ、有機溶剤が挙げられる。これらの可溶化剤は１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
なお、可溶化剤と水を使用する場合の表面処理液の調製方法については、当該トリアゾールシラン化合物と水を混合した後に可溶化剤を加えてもよいし、当該トリアゾールシラン化合物と、水および可溶化剤の混合液を混合してもよいし、当該トリアゾールシラン化合物と可溶化剤を混合した後に水を加えてもよい。
また、表面処理液の調製に用いられる水としては、イオン交換水や蒸留水等の純水が好ましい。

前記の酸としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸等の鉱酸や、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、２−エチル酪酸、吉草酸、カプロン酸、エナント酸、カプリル酸、ペラルゴン酸、カプリン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、マルガリン酸、オレイン酸、ステアリン酸、グリコール酸、乳酸、グルコン酸、グリセリン酸、マロン酸、コハク酸、レブリン酸、安息香酸、シュウ酸、酒石酸、リンゴ酸、アミノ酸等の有機酸等が挙げられる。これらの酸は、１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用して用いてもよい。

前記のアルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属の水酸化物や、アンモニア、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、プロピルアミン、イソプロピルアミン、ブチルアミン、ペンチルアミン、ヘキシルアミン、へプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、アリルアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノプロパノールアミン、ジプロパノールアミン、トリプロパノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、２−アミノ−１−プロパノール、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン、シクロヘキシルアミン、アニリン、ピロリジン、ピペリジン、ピペラジン、ピリジン等のアミン類等が挙げられる。これらのアルカリは、１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用して用いてもよい。

前記の有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、ブタノール、ｔｅｒｔ−ブチルアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、グリセリン、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフルフリルアルコール、フルフリルアルコール、アセトン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、アセトニトリル、２−ピロリドン、ホルムアミド、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、スルホラン、炭酸ジメチル、エチレンカーボネート、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン等が挙げられる。これらの有機溶剤は、１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用して用いてもよい。

可溶化剤の含有量としては、表面処理液中０．１〜５０重量％であることが好ましい。可溶化剤の含有量が０．１重量％以上であると、表面処理液中でのトリアゾールシラン化合物の溶解性を高める作用が顕著である。また、５０重量％を超えると経済的ではないため、５０重量％を上限とすることが好ましい。可溶化剤の含有量は、表面処理液中、０．５重量％以上であることがより好ましく、１重量％以上が更に好ましく、また、３０重量％以下であることがより好ましく、２０重量％以下が更に好ましい。

＜トリアゾールシラン化合物の加水分解＞
本発明のトリアゾールシラン化合物（Ｉ）は、前述のとおり、水と接触すると加水分解されるが、この加水分解の態様をスキーム（Ｂ）に示す。
このスキーム（Ｂ）においては、前記のトリアゾールシラン化合物（Ｉ）、（ＩＶａ）および（ＩＶｂ）の有するシリル基が加水分解される態様、即ち、トリアルコキシシリル基が、漸次、ジアルコキシヒドロキシシリル基、ジヒドロキシアルコキシシリル基、トリヒドロキシシリル基に変化する様が示される。

一般に、分子中にアルコキシシリル基を有する物質は、シランカップリング剤として作用することが知られている。
例えば、銅と樹脂材料との接着を例に挙げると、本発明の実施において用いるトリアゾールシラン化合物は、分子中にトリアゾール環とアルコキシシリル基（−Ｓｉ−ＯＲ）を有しており、トリアゾール環は、樹脂および銅と相互作用し、化学結合を形成する。
また、アルコキシシリル基は加水分解を受けて、ヒドロキシシリル基（−Ｓｉ−ＯＨ）に変換され、このヒドロキシシリル基は銅の表面に点在する酸化銅と化学結合する。
従って、銅と表面処理液を接触させることにより、該銅の表面にはトリアゾール環やヒドロキシシリル基との結合により、トリアゾールシラン化合物（ＩＶ）に由来する化成皮膜が形成されて、この化成皮膜の表面に樹脂材料からなる樹脂層を形成させた場合には、銅の表面に直に樹脂層を形成させる場合に比べて、銅と樹脂材料との接着性を高めることができる。

本発明の実施においては、表面処理液中におけるトリアゾールシラン化合物（ＩＶ）の濃度が、トリアルコキシ体のトリアゾールシラン化合物（Ｉ）の濃度に換算して、０．００１〜１０重量％であることが好ましく、０．０１〜５重量％であることがより好ましい。
この濃度が０．００１重量％未満である場合には、接着性の向上効果が十分ではなく、この濃度が１０重量％を超える場合には、接着性の向上効果がほぼ頭打ちとなり、トリアゾールシラン化合物の使用量が増えるばかりで経済的ではない。

ところで、表面処理液中に生成したヒドロキシシリル基を有するトリアゾールシラン化合物（ＩＶａ）〜（ＩＶｃ）は、徐々に、互いに反応して脱水縮合し、ヒドロキシシリル基がシロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ）を形成し（スキーム（Ｂ）参照）、水に溶け難いシランオリゴマー（スキーム（Ｂ）中の化学式（ｅ）で示される基を有するトリアゾールシラン化合物）に変換される。なお、化学式（ｅ）で示される基のＸは繰り返し単位の数を表す整数である。

表面処理液中におけるシランオリゴマーの生成量が多くなると、不溶解分が析出して（処理液が白濁し）、処理槽や処理槽に接続された配管、処理液中に浸漬されて処理液の温度や液面を検出するためのセンサー類に付着し、円滑な表面処理が阻害される惧れがある。
これを避けるために、表面処理液の調製には、水に難溶性であるシランオリゴマーの可溶化剤として、有機溶剤を表面処理液中に含有させることが好ましい。また、表面処理液の調製においては、トリアゾールシラン化合物の溶解を促進させる為に、酸やアルカリを含有させることが好ましい。なお、前記の有機溶剤は、トリアゾールシラン化合物の溶解性を高める機能も有しているから、本発明の表面処理液には、可溶化剤として、酸、アルカリ、有機溶剤からなる群から選択される少なくとも１種を含有させることが好ましい。

同様に、表面処理液の安定性や化成皮膜の均一性を向上させるために、塩素イオン、臭素イオン、沃素イオン等のハロゲンイオンや銅イオン、鉄イオン、亜鉛イオンなどの金属イオンを生成する物質を用いることもできる。

また、本発明の効果を損なわない範囲において、公知のカップリング剤を併用してもよい。公知のカップリング剤としては、チオール基（メルカプト基）、ビニル基、エポキシ基、（メタ）アクリル基、アミノ基、クロロプロピル基等を有するシラン系カップリング剤が挙げられる。

このようなシラン系カップリング剤の例としては、例えば、
３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、
３−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン等のメルカプトシラン化合物、
ビニルトリクロルシラン、
ビニルトリメトキシシラン、
ビニルトリエトキシシラン等のビニルシラン化合物、
ｐ−スチリルトリメトキシシラン等のスチリルシラン化合物、
２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、
３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、
３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、
３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシシラン化合物、
３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリロキシシラン化合物、
３−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、
３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、
３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、
３−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン等のメタクリロキシシラン化合物、
Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、
Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、
Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリエトキシシラン、
３−アミノプロピルトリメトキシシラン、
３−アミノプロピルトリエトキシシラン、
３−トリエトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミン、
Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、
Ｎ−（ビニルベンジル）−２−アミノエチル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン化合物、
３−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイドシラン化合物、
３−クロロプロピルトリメトキシシラン等のクロロプロピルシラン化合物、
ビス（トリエトキシシリルプロピル）テトラスルフィド等のスルフィドシラン化合物、および
３−イソシアナトプロピルトリエトキシシラン等のイソシアナトシラン化合物
等を挙げることができる。
その他、アルミニウム系カップリング剤、チタン系カップリング剤、ジルコニウム系カップリング剤等も挙げることができる。

（処理方法）
本発明の表面処理液を基材の表面に接触させる方法としては、特に制限はなく、前述のシランカップリング剤の場合と同様に、スプレー、浸漬や塗布等の手段を採用することができる。
表面処理液と基材を接触させる時間（処理時間）については、１秒〜１０分とすることが好ましく、５秒〜３分とすることがより好ましい。処理時間が１秒未満の場合には基材表面に形成される化成皮膜の膜厚が薄くなり、材質の異なる材料間の接着力が十分に得られず、一方１０分より長くしても、化成皮膜の膜厚に大差はなく、接着性の向上も期待できない。
また、表面処理液を基材表面に接触させる際の処理液の温度については、５〜５０℃とすることが好ましいが、前記の処理時間との関係において、適宜設定すればよい。

本発明の表面処理液と基材を接触させた後は、水洗してから乾燥してもよいし、水洗せずに乾燥させてもよい。
乾燥は、室温〜１５０℃の温度とすることが好ましい。
なお、水洗に用いる水としては、イオン交換水や蒸留水等の純水が好ましいが、水洗の方法や時間には特に制限なく、スプレーや浸漬等の手段による適宜の時間で構わない。

本発明において、乾燥後の化成皮膜に対し、プラズマ、レーザー、イオンビーム、オゾン、加熱、加湿等の処理を行い、化成皮膜の表面を改質させてもよい。あるいは、プラズマ、レーザー、イオンビーム、パーミス・ブラシなどの機械研磨やドリル等加工方法を用いて、金属表面の樹脂・イオン残渣除去を目的とした洗浄を行ってもよい。

本発明の表面処理液を銅または銅合金（以下、両者を指して、単に銅ということがある）の表面に接触させる前に、当該銅の表面に、酸洗処理、アルカリ処理、粗化処理、耐熱処理、防錆処理または化成処理から選択される少なくとも１つの前処理を行ってもよい。

前記の酸洗処理とは、銅の表面に付着した油脂成分を除去する為と、銅の表面の酸化皮膜を除去する為に行うものである。この酸洗処理には、塩酸系溶液、硫酸系溶液、硝酸系溶液、硫酸−過酸化水素系溶液、有機酸系溶液、無機酸−有機溶媒系溶液、有機酸−有機溶媒系溶液等の溶液を用いることができる。

前記のアルカリ処理とは、銅の表面に付着した油脂成分を除去する為や、前工程の残渣（例えば、銅回路形成用ドライフィルムレジストなど）を除去する為に行うものである。このアルカリ処理には、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属の水酸化物や、アンモニア、エタノールアミン、モノプロパノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアミン類、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、酢酸ナトリウム、酢酸カリウム、リン酸ナトリウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸カリウム、リン酸水素二カリウム等を含む水溶液や有機溶媒系溶液等の溶液を用いることができる。

前記の粗化処理とは、アンカー効果による銅と樹脂の接着性を高める為に行うものであり、銅の表面に凹凸形状が付与され、銅と樹脂材料との密着性を高めることができる。この粗化処理においては、マイクロエッチング法、電気めっき法、無電解めっき法、酸化法（ブラックオキサイド、ブラウンオキサイド）、酸化・還元法、ブラシ研磨法、ジェットスクラブ法等の方法を採用することができる。

マイクロエッチング法においては、例えば、有機酸−第二銅イオン系、硫酸−過酸化水素系、過硫酸塩系、塩化銅系や塩化鉄系の各エッチング剤を使用することができる。電気めっき法においては、銅の表面に微細な銅粒子を析出させることにより、銅の表面に凹凸を形成させる。

前記の耐熱処理においては、銅の表面に、ニッケル、ニッケル−リン、亜鉛、亜鉛−ニッケル、銅−亜鉛、銅−ニッケル、銅−ニッケル−コバルトまたはニッケル−コバルトから選択される少なくとも１種の皮膜が形成される。この皮膜の形成は公知の電気めっきによる方法を採用して行うことができるが、電気めっきに限定されるものではなく、蒸着その他の手段を使用しても何ら差し支えない。

前記の防錆処理とは、銅の表面が酸化腐食することを防止する為に行うものであり、銅の表面に、亜鉛または亜鉛合金組成のめっき皮膜や、電解クロメートのめっき皮膜を形成させる方法を採用することができる。また、ベンゾトリアゾール系防錆剤など有機化合物系の防錆剤を含む処理液を銅の表面に接触させてもよい。

前記の化成処理においては、錫の不動態皮膜を形成する方法や、酸化銅の不動態皮膜を形成する方法を採用することができる。

本発明の表面処理液を銅の表面に接触させる前に、銅イオンを含む水溶液を前記銅の表面に接触させてもよい。この銅イオンを含む水溶液は、銅の表面に形成される化成皮膜の厚みを均一にさせる機能を有する。
銅イオンを含む水溶液の銅イオン源としては、水に溶解する銅塩であれば特に限定されず、硫酸銅、硝酸銅、塩化銅、ギ酸銅、酢酸銅などの銅塩が挙げられる。銅塩を水に可溶化するために、アンモニアや塩酸などを添加してもよい。

本発明の表面処理液を銅の表面に接触させた後に、酸性水溶液またはアルカリ性水溶液を前記銅の表面に接触させてもよい。この酸性水溶液またはアルカリ性水溶液も、前記の銅イオンを含む水溶液と同様に、銅の表面に形成される化成皮膜の厚みを均一にさせる機能を有する。
酸性水溶液およびアルカリ性水溶液は、特に限定されないが、酸性水溶液としては、硫酸、硝酸、塩酸等の鉱酸を含む水溶液や、ギ酸、酢酸、乳酸、グリコール酸、アミノ酸などの有機酸を含む水溶液等が挙げられる。アルカリ性水溶液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属の水酸化物や、アンモニア、エタノールアミン、モノプロパノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアミン類、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、酢酸ナトリウム、酢酸カリウム、リン酸ナトリウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸カリウム、リン酸水素二カリウム等を含む水溶液が挙げられる。

本発明の表面処理液を銅の表面に接触させる前に、公知のカップリング剤を含む水溶液を前記銅の表面に接触させてもよい。

本発明の表面処理液を銅の表面に接触させた後に、公知のカップリング剤を含む水溶液を前記銅の表面に接触させてもよい。

本発明の表面処理液を銅の表面に接触させた後に、例えばベンゾトリアゾール系の防錆剤などの公知の有機化合物系防錆剤を含む処理液を接触させてもよい。

本発明の表面処理液は、前記の金属、無機材料および樹脂材料からなる群から選択される少なくとも１つの基材の表面を処理するために用いることができる。本発明の表面処理液を用いて基材の表面を処理することで、基材表面に化成皮膜を形成し、他の材料との接着性を高めることができる。

本発明において、前記の金属、無機材料、樹脂材料からなる群から選択される２つの材料を本発明の表面処理液を用いて接着させることができる。本発明の表面処理液により形成される化成皮膜の層を介して２つの材料を接着することで、互いの親和性を向上させることができるため、材質の異なる材料同士であってもより強固に接着することができる。

（接着方法）
接着方法としては、公知の方法により行うことができる。金属、無機材料または樹脂材料からなる基材の表面に本発明の表面処理液を接触させて化成皮膜を形成し、形成した化成皮膜の一部または全体に他の基材を塗布、圧着、混合等の手段や、接着剤、接着シート（フィルム）の利用あるいはこれらの手段を組み合わせて接着する方法が挙げられる。
また、金属、無機材料、樹脂材料から選択される２つの基材の表面に、本発明の表面処理液を接触させて、２つの基材の表面にそれぞれ化成皮膜を形成し、２つの基材を塗布、圧着、混合等の手段や、接着剤、接着シート（フィルム）の利用あるいはこれらの手段を組み合わせて接着する方法が挙げられる。

本発明の表面処理液を用いることにより、前記のように２つの材料、特に材質の異なる２つの材料を接着させることができるので、各種電気・電子部品や半導体ウェハ、プリント配線板等の電子デバイスに好適に利用することができる。

なお、本発明において、金属、特に銅または銅合金から形成される基材に対して、本発明の表面処理液は好適に用いることができる。例えば、銅回路（銅配線層）と、半硬化または硬化したプリプレグやソルダーレジスト、半硬化または硬化したドライフィルムレジスト（絶縁樹脂層）との間の接着性（密着性）を高めることを目的とする銅または銅合金の表面処理に好適であり、銅配線層に接して絶縁樹脂層を有するプリント配線板において、銅配線層と絶縁樹脂層との間の接着性を高めることができる。

半導体ウェハにおける利用例では、半導体ウェハ上に形成された半導体回路と保護膜、例えばバッファーコートやバンプ保護膜などの絶縁性保護膜との間の接着性（密着性）を高めることを目的とする半導体回路の表面処理に好適である。
また、半導体ウェハ上に再配線層を形成するパッケージ基板（ＷＬ−ＣＳＰ）において、銅回路再配線層と絶縁材料との接着性（密着性）を高めることを目的とする銅回路再配線層の表面処理に好適である。
前記の保護膜や絶縁材料としては、例えば、ポリイミド樹脂やポリベンゾオキサゾール樹脂、シリコーン樹脂などが上げられる。

前記のプリント配線板は、本発明の表面処理液と銅配線の表面を接触させて、その後水洗・乾燥した後、銅配線表面に絶縁樹脂層を形成させることにより作製することができる。この接触の方法については、前述のとおりであり、表面処理液中への銅配線の浸漬または該処理液による銅配線へのスプレー等が簡便かつ確実であり好ましい。
また、前記の水洗の方法についても特に制限はないが、洗浄水中への銅配線の浸漬または洗浄水による銅配線表面へのスプレーが簡便かつ確実であり好ましい。
前記の絶縁樹脂層の形成には、公知の方法、例えば半硬化の樹脂材料を貼り付ける方法や溶剤を含む液状の樹脂材料を塗布する手段等を採用することができる。次いで、上下の配線を導通させる為に、ビアホールを形成する。このプロセスを繰り返すことにより、多層プリント配線板を作製できる。

前記のプリント配線板の回路形成方法において、本発明の表面処理液を使用するセミアディティブ工法の例を以下に示す。
（ａ）絶縁性基板またはスルーホール貫通孔及びビア孔を有する絶縁性基板の第１面及び第１面とは反対側の第２面並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁に第１導電層を有する絶縁性基板を準備する工程、
（ｂ）第１面および第２面に光架橋性樹脂層及びマスク層を形成して、第１面および第２面並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁の第１導電層を光架橋性樹脂層及びマスク層で覆う工程、
（ｃ）第１面及び第２面並びにスルーホール貫通孔及びビア孔周辺の光架橋性樹脂層をパターン露光する工程、
（ｄ）第１面及び第２面並びにスルーホール貫通孔及びビア孔周辺のマスク層を除去する工程、
（ｅ）光架橋性樹脂層除去液を使用して、第１面及び第２面、並びにスルーホール貫通孔及びビア孔周辺の未硬化光架橋性樹脂層を現像除去し、第１面上の第１導電層及び第２面上の第１導電層並びにスルーホール貫通孔及びビア孔周辺の第１導電層を露出する工程、
（ｆ）第１面上及び第２面上並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁に露出している第１導電層上に電解めっき処理により第２導電層を形成する工程、
（ｇ）第１面上及び第２面上並びにスルーホール貫通孔及びビア孔周辺の硬化光架橋性樹脂層を除去して、第１面上及び第２面上並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁の第１及び第２導電層を露出する工程、
（ｈ）露出する第１導電層をフラッシュエッチングして除去する工程、
（ｉ）第１面上及び第２面上並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁の第１及び第２導電層に無電解めっき及び電解めっき処理により第３導電層を形成する工程、
（ｊ）第１面上及び第２面上並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁の第１、第２及び第３導電層上に絶縁樹脂層を積層する工程、を少なくとも１つ以上含む回路基板の製造方法において、第１面上及び第２面上並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁の第１、第２及び第３導電層、絶縁樹脂基板、エッチングレジスト層やめっきレジスト層に使用する光架橋性樹脂層、絶縁樹脂積層の内の少なくとも１つ以上の金属層もしくはレジスト層に本発明の表面処理液を接触させ、プリント配線板を製造する。

さらに、前記のプリント配線板の回路形成方法において、本発明の表面処理液を使用するサブトラクティブ工法の例を以下に示す。
（ａ）絶縁性基板またはスルーホール貫通孔及びビア孔を有する絶縁性基板の第１面及び第１面とは反対側の第２面並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁に第１導電層を有する絶縁性基板を準備する工程、
（ｂ）第１面および第２面に光架橋性樹脂層及びマスク層を形成して、第１面および第２面並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁の第１導電層を光架橋性樹脂層及びマスク層で覆う工程、
（ｃ）第１面及び第２面並びにスルーホール貫通孔及びビア孔周辺の光架橋性樹脂層をパターン露光する工程、
（ｄ）第１面及び第２面並びにスルーホール貫通孔及びビア孔周辺のマスク層を除去する工程、
（ｅ）光架橋性樹脂層除去液を使用して、第１面及び第２面、並びにスルーホール貫通孔及びビア孔周辺の未硬化光架橋性樹脂層を現像除去し、第１面上の第１導電層及び第２面上の第１導電層並びにスルーホール貫通孔及びビア孔周辺の第１導電層を露出する工程、
（ｆ）第１面上及び第２面上並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁に露出している第１導電層をエッチングして除去する工程、
（ｇ）第１面上及び第２面上並びにスルーホール貫通孔及びビア孔周辺の硬化光架橋性樹脂層を除去して、第１面上及び第２面上並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁の第１及び第２導電層を露出する工程、
（ｈ）第１面上及び第２面上並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁の第１及び第２導電層に無電解めっき及び電解めっき処理により第３導電層を形成する工程、
（ｉ）第１面上及び第２面上並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁の第１、第２及び第３導電層上に絶縁樹脂層を積層する工程、を少なくとも１つ以上含む回路基板の製造方法において、第１面上及び第２面上並びにスルーホール貫通孔及びビア孔内壁の第１、第２及び第３導電層、絶縁樹脂基板、エッチングレジスト層やめっきレジスト層に使用する光架橋性樹脂層、絶縁樹脂積層の内の少なくとも１つ以上の金属層もしくはレジスト層に本発明の表面処理液を接触させ、プリント配線板を製造する。

前記の銅配線や導電層については、無電解めっき法、電解めっき法、蒸着法、スパッタ法、ダマシン法等どのような方法で作製されたものでもよく、インナービアホール、スルーホール、接続端子等を含んだものでもよい。

また、本発明に係る「銅」とは、プリント配線板、リードフレーム等の電子デバイス、装飾品、建材等に用いられる箔（電解銅箔、圧延銅箔、樹脂付銅箔、キャリア付銅箔、無電解銅箔、スパッタ銅箔、薄銅箔）、めっき膜（無電解銅めっき膜、電解銅めっき膜）、蒸着法、スパッタ法、ダマシン法等により形成された薄膜や、粒、針、繊維、線、棒、管、板等の用途・形態において用いられるものである。なお、近年の高周波の電気信号が流れる銅配線の場合には、銅の表面は平均粗さが０．１μｍ以下の平滑面であることが好ましい。銅の表面に、前処理として、ニッケル、亜鉛、クロム、錫等のめっきを施してもよい。

また、本発明の表面処理液で処理されるキャリア付銅箔とは、セミアディティブ法、サブトラクティブ法、パートリーアディティブ法又はモディファイドセミアディティブ法の何れかの方法によって回路を形成する工程を含むプリント配線板に使用される極薄電解銅箔であり、銅箔キャリアと、銅箔キャリア上に積層された剥離層と、剥離層の上に積層された極薄銅層とを備えたものである。銅の表面に、酸洗処理、粗化処理、耐熱処理、防錆処理または化成処理からなる群から選択される少なくとも１つの前処理を施しても良い。

（絶縁性組成物）
本発明のシランカップリング剤を、樹脂材料または無機材料に含有させることにより絶縁性組成物とすることができる。
また、トリアゾールシラン化合物（ＩＶ）を有機溶剤等に溶解して、樹脂材料または無機材料と混合することにより絶縁性組成物を得ることもできる。

絶縁性組成物中のトリアゾールシラン化合物（ＩＶ）の含有量は、０．００１〜１０重量％であることが好ましく、０．０１〜５重量％であることがより好ましい。トリアゾールシラン化合物（ＩＶ）の含有量が絶縁性組成物中０．００１重量％未満である場合には、接着性の向上効果が十分ではなく、この濃度が１０重量％を超える場合には、接着性の向上効果がほぼ頭打ちとなり、トリアゾールシラン化合物（ＩＶ）の使用量が増えるばかりで経済的ではない。
前記絶縁性組成物は公知の方法により作製することができる。例えば、トリアゾールシラン化合物（ＩＶ）を有機溶剤に溶解させ、固形または液状の樹脂材料に混合することにより、絶縁性組成物を作製することができる。また、トリアゾールシラン化合物（ＩＶ）を液状の樹脂材料に直接添加して混合して、絶縁性組成物を作製してもよい。

本発明の絶縁性組成物は、高い接着強度を有する絶縁材料を与えるので、各種電気・電子部品等や、プリント配線板等の電子デバイスに好適に用いることができる。

ところで、日本国特開２００９−１９２６６号公報には、金属表面にシランカップリング剤を含む液を塗布する工程と、前記液を塗布した金属表面を、２５〜１５０℃の温度で且つ５分以内で乾燥を行う工程と、乾燥させた金属表面を水洗する工程を含むことを特徴とするシランカップリング剤皮膜の形成方法に関する発明が記載されている。
また、前記金属表面には、予め表面処理として、浸漬めっき液により錫等の接着性金属層を形成してよいとされている。
本発明の表面処理液は、前記のシランカップリング剤を含む液として用いることができるものである。なお、この特許公報に記載された事項は、引用により本明細書の一部を成すものとする。

以下、本発明を実施例（合成試験、評価試験）によって具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
なお、合成試験に使用した原料のトリアゾール化合物およびハロゲン化アルキルシラン化合物は、以下のとおりである。
［トリアゾール化合物］
・３，５−ジアミノ−１，２，４−トリアゾール：東京化成工業社製
・３，５−ジメチル−１，２，４−トリアゾール：同上
・３−フェニル−１，２，４−トリアゾール：「Ｊ．Ｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．，４４巻，４１６０頁（１９７９年）」に記載された方法に準拠して合成した。
・３−アミノ−５−メチルチオ−１，２，４−トリアゾール：東京化成工業社製
・５−メチル−３−オクチル−１，２，４−トリアゾール：米国特許第５，０９８，９２０号明細書に記載された方法に準拠して合成した。
・３−アミノ−１，２，４−トリアゾール：東京化成工業社製
［ハロゲン化アルキルシラン化合物］
・３−クロロプロピルトリメトキシシラン：信越化学工業社製
・３−クロロプロピルトリエトキシシラン：東京化成工業社製
・６−ブロモヘキシルトリエトキシシラン：「Ｔｅｔｒａｈｅｄｒｏｎ，６３巻，５０７６頁（２００７年）」に記載された方法に準拠して合成した。

比較例１（評価試験）で使用したトリアゾールシラン化合物は、以下のとおりである。
［トリアゾールシラン化合物］
・１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾール：特許文献２に記載された方法に準拠して合成した。

シランカップリング剤の評価試験として採用した、銅と樹脂の接着性の試験方法を以下に示す。
［接着性試験］
（１）試験片
電解銅箔（厚み：３５μｍ）を試験片として使用した。
（２）試験片の処理
以下の工程ａ〜ｂに従って行った。
ａ．酸清浄／１分間（室温）、水洗、乾燥／１分間（１００℃）
ｂ．実施例および比較例の表面処理液に浸漬／１分間（室温）、水洗、乾燥／１分間（１００℃）
（３）試験片と樹脂の接着
処理した試験片のＳ面（光沢面）に、ガラス布エポキシ樹脂含浸プリプレグ（ＦＲ−４グレード）を積層プレスし、試験片と樹脂を接着した。
（４）接着性の評価
「ＪＩＳ Ｃ６４８１（１９９６）」に従って、幅１０ｍｍの試験片を作成し、プレッシャークッカー処理（１２１℃／湿度１００％／１００時間）した後、銅箔の引き剥がし強さ（ｋＮ／ｍ）を測定した。

［実施例１］
＜３，５−ジアミノ−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾールの合成＞
３，５−ジアミノ−１，２，４−トリアゾール１５．０ｇ（０．１５１ｍｏｌ）および脱水Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド１００ｍＬからなる懸濁液へ、室温にて２８％ナトリウムメトキシドメタノール溶液２９．２ｇ（０．１５１ｍｏｌ）を加えて均一溶液として３０分間攪拌した後、３−クロロプロピルトリメトキシシラン３０．１ｇ（０．１５１ｍｏｌ）を加え、７７〜８０℃にて４時間攪拌した。
懸濁状の反応液を３℃まで冷却した後、不溶物を濾去し、濾液の溶媒を減圧留去して、褐色粘稠物３５．７ｇ（０．１３７ｍｏｌ、収率９０．５％）を得た。

得られた粘稠物の^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータは、以下のとおりであった。
¹H-NMR (DMSO-d₆) δ:0.51(t, 2H), 1.62(m, 2H), 3.46(s, 9H), 3.58(t, 2H), 4.69(s, 2H), 5.11(s, 2H).
この^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータより、得られた粘稠物は、化学式（Ｖ）で示される標題のトリアゾールシラン化合物であるものと同定した。

［実施例２］
＜３，５−ジアミノ−１−［３−（トリエトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾールの合成＞
３，５−ジアミノ−１，２，４−トリアゾール１５．６ｇ（０．１５７ｍｏｌ）および脱水Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド１００ｍＬからなる懸濁液へ、室温にて２０％ナトリウムエトキシドエタノール溶液５３．５ｇ（０．１５７ｍｏｌ）を加え、５５〜６０℃に加温して２０分間攪拌した後、３−クロロプロピルトリエトキシシラン３７．９ｇ（０．１５７ｍｏｌ）を加え、８７〜９０℃にて６時間攪拌した。
懸濁状の反応液を３℃まで冷却した後、不溶物を濾去し、濾液の溶媒を減圧留去して、褐色粘稠物４２．３ｇ（０．１３９ｍｏｌ、収率８８．８％）を得た。

得られた粘稠物の^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータは、以下のとおりであった。
¹H-NMR (DMSO-d₆) δ:0.49(t, 2H), 1.14(t, 9H), 1.62(m, 2H), 3.56(t, 2H), 3.73(q, 6H), 4.67(s, 2H), 5.11(s, 2H).
この^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータより、得られた粘稠物は、化学式（ＶＩ）で示される標題のトリアゾールシラン化合物であるものと同定した。

［実施例３］
＜３，５−ジメチル−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾールの合成＞
３，５−ジメチル−１，２，４−トリアゾール１０．５ｇ（０．１０８ｍｏｌ）および脱水Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド６０ｍＬからなる溶液へ、室温にて２８％ナトリウムメトキシドメタノール溶液２０．７ｇ（０．１０７ｍｏｌ）を加え、２０分間攪拌した後、３−クロロプロピルトリメトキシシラン２１．６ｇ（０．１０９ｍｏｌ）を加え、９０〜９３℃にて４時間攪拌した。
懸濁状の反応液を２℃まで冷却した後、不溶物を濾去し、続いて、濾液の溶媒を減圧留去し、生じた少量の不溶物を濾去して、微褐色液体２４．６ｇ（０．０９５ｍｏｌ、収率８７．８％）を得た。

得られた液体の^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータは、以下のとおりであった。
¹H-NMR (DMSO-d₆) δ:0.54(t, 2H), 1.76(m, 2H), 2.15(s, 3H), 2.31(s, 3H), 3.47(s, 9H), 3.94(t, 2H).
この^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータより、得られた液体は、化学式（ＶＩＩ）で示される標題のトリアゾールシラン化合物であるものと同定した。

［実施例４］
＜３−フェニル−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾールの合成＞
３−フェニル−１，２，４−トリアゾール１７．４ｇ（０．１２０ｍｏｌ）および脱水Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド９０ｍＬからなる溶液へ、室温にて２８％ナトリウムメトキシドメタノール溶液２３．３ｇ（０．１２１ｍｏｌ）を加え、２０分間攪拌した後、３−クロロプロピルトリメトキシシラン２３．８ｇ（０．１２０ｍｏｌ）を加え、８８〜９０℃にて４時間攪拌した。
懸濁状の反応液を２℃まで冷却した後、不溶物を濾去し、続いて、濾液の溶媒を減圧留去し、生じた少量の不溶物を濾去して、微桃色液体３４．２ｇ（０．１１１ｍｏｌ、収率９２．７％）を得た。

得られた液体の^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータは、以下のとおりであった。
¹H-NMR (DMSO-d₆) δ:0.58(t, 2H), 1.90(m, 2H), 3.48(s, 9H), 4.20(t, 2H), 7.41-7.48(m, 2H), 8.01-8.05(m, 3H), 8.67(s, 1H).
この^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータより、得られた液体は、化学式（ＶＩＩＩ）で示される標題のトリアゾールシラン化合物であるものと同定した。

［実施例５］
＜５−アミノ−３−メチルチオ−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾールの合成＞
３−アミノ−５−メチルチオ−１，２，４−トリアゾール１０．０ｇ（０．０７６８ｍｏｌ）および脱水Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド６０ｍＬからなる溶液へ、室温にて２８％ナトリウムメトキシドメタノール溶液１４．８ｇ（０．０７６７ｍｏｌ）を加え、２０分間攪拌した後、３−クロロプロピルトリメトキシシラン１５．４ｇ（０．０７７５ｍｏｌ）を加え、８８〜９０℃にて４時間攪拌した。
懸濁状の反応液を２℃まで冷却した後、不溶物を濾去し、続いて、濾液の溶媒を減圧留去し、少量の不溶物を濾去して、赤褐色液体２１．５ｇ（０．０７３５ｍｏｌ、収率９５．７％）を得た。

得られた液体の^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータは、以下のとおりであった。
¹H-NMR (DMSO-d₆) δ:0.54(t, 2H), 1.70(m, 2H), 2.38(s, 3H), 3.47(s, 9H), 3.75(t, 2H).
この^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータより、得られた液体は、化学式（ＩＸ）で示される標題のトリアゾールシラン化合物であるものと同定した。

［実施例６］
＜５−メチル−３−オクチル−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾールの合成＞
５−メチル−３−オクチル−１，２，４−トリアゾール９．０ｇ（０．０４６１ｍｏｌ）および脱水Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド５０ｍＬからなる溶液へ、室温にて２８％ナトリウムメトキシドメタノール溶液９．００ｇ（０．０４６６ｍｏｌ）を加え、２０分間攪拌した後、３−クロロプロピルトリメトキシシラン９．２６ｇ（０．０４６６ｍｏｌ）を加え、９０〜９２℃にて４時間攪拌した。
懸濁状の反応液を２℃まで冷却した後、不溶物を濾去し、続いて、濾液の溶媒を減圧留去し、少量の不溶物を濾去して、淡褐色液体１４．３ｇ（０．０４００ｍｏｌ、収率８６．８％）を得た。

得られた液体の^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータは、以下のとおりであった。
¹H-NMR (DMSO-d₆) δ:0.52(m, 2H), 0.85(br s, 3H), 1.1-1.3(br s, 10H), 1.58(br s, 2H), 1.75(m, 2H), 2.16(s, 3H), 2.62(t, 2H), 3.46(s, 9H), 3.94(t, 2H).
この^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータより、得られた液体は、化学式（Ｘ）で示される標題のトリアゾールシラン化合物であるものと同定した。

［実施例７］
＜３−アミノ−１−［６−（トリエトキシシリル）ヘキシル］−１，２，４−トリアゾールの合成＞
３−アミノ−１，２，４−トリアゾール５．５０ｇ（０．０６５４ｍｏｌ）および脱水Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド５０ｍＬからなる溶液へ、室温にて２０％ナトリウムエトキシドエタノール溶液２２．３ｇ（０．０６５５ｍｏｌ）を加え、５１〜５２℃に加温して２０分間攪拌した後、６−ブロモヘキシルトリエトキシシラン２１．３ｇ（０．０６５１ｍｏｌ）を５分間かけて滴下し、７８〜８０℃にて３時間攪拌した。
懸濁状の反応液を２℃まで冷却した後、不溶物を濾去し、濾液を減圧下に２８ｇまで濃縮した。これにジエチルエーテル５０ｍＬを加えた後、不溶物を濾去し、続いて、濾液の溶媒を減圧留去して、淡褐色液体１９．８ｇ（０．０６００ｍｏｌ、収率９１．６％）を得た。

得られた液体の^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータは、以下のとおりであった。
¹H-NMR (CDCl₃) δ:0.61(t, 2H), 1.22(t, 9H), 1.2-1.4(m, 6H), 1.62(m, 2H), 3.42(t, 2H), 3.48(q, 6H), 7.64(s, 1H).
この^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータより、得られた液体は、化学式（ＸＩ）で示される標題のトリアゾールシラン化合物であるものと同定した。

［実施例８］
＜３−アミノ−１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾールの合成＞
３−アミノ−１，２，４−トリアゾール２０．４ｇ（０．２４３ｍｏｌ）および脱水Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド１００ｍＬからなる溶液へ、室温にて２８％ナトリウムメトキシドメタノール溶液４６．７ｇ（０．２４２ｍｏｌ）を加えて３０分間攪拌した後、３−クロロプロピルトリメトキシシラン４８．３ｇ（０．２４３ｍｏｌ）を加え、８６〜９０℃にて８時間攪拌した。
懸濁状の反応液を３℃まで冷却した後、不溶物を濾去し、濾液の溶媒を減圧留去して、黄褐色液体５７．６ｇ（０．２３４ｍｏｌ、収率９６．４％）を得た。

得られた液体の^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータは、以下のとおりであった。
¹H-NMR (DMSO-d₆) δ:0.51(t, 2H), 1.73(m, 2H), 3.46(s, 9H), 3.86(t, 2H), 5.21(s, 2H), 7.91(s, 1H).
この^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルデータより、得られた液体は、化学式（ＸＩＩ）で示される標題のトリアゾールシラン化合物であるものと同定した。

＜銅の表面処理液の調製および接着性試験＞
［実施例９］
シランカップリング剤成分として、実施例１において合成したトリアゾールシラン化合物を使用して銅の表面処理液を調製した。
即ち、当該トリアゾールシラン化合物１０ｇにエチレングリコールモノブチルエーテル２００ｇを加え、続いて水７９０ｇを加えて、室温にて２時間攪拌し、銅の表面処理液（以下、処理液Ａと云う）を調製した。
この処理液Ａについて、当該トリアゾールシラン化合物のトリメトキシシリル基が、トリヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認し、接着性試験を行った。
得られた試験結果は、表１に示したとおりであった。

［実施例１０〜１６］
実施例９と同様にして、実施例１において合成したトリアゾールシラン化合物の代わりに、実施例２〜８において合成したトリアゾールシラン化合物を使用して、銅の表面処理液（以下、各々処理液Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈと云う）を調製した。
これらの処理液中のトリアゾールシラン化合物のトリメトキシシリル基またはトリエトキシシリル基が、トリヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認し、接着性試験を行った。
得られた試験結果は、表１に示したとおりであった。

［比較例１］
実施例９と同様にして、実施例１において合成したトリアゾールシラン化合物の代わりに、１−［３−（トリメトキシシリル）プロピル］−１，２，４−トリアゾールを使用して、銅の表面処理液（以下、処理液Ｉと云う）を調製した。
この処理液Ｉについて、当該トリアゾールシラン化合物のトリメトキシシリル基が、トリヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認し、接着性試験を行った。
得られた試験結果は、表１に示したとおりであった。

［比較例２］
シランカップリング剤成分を使用しない以外は、前記の処理液Ａと同様の組成を有する銅の表面処理液（以下、処理液Ｊと云う）を調製し、接着性試験を行った。
得られた試験結果は、表１に示したとおりであった。

表１に示した試験結果によると、１，２，４−トリアゾール環の３位および／または５位に置換基を有する、本発明のトリアゾールシラン化合物をシランカップリング剤成分として使用した銅の表面処理液は、銅と樹脂の接着力を高める優れた効果を発揮しているものと認められる。
特に、アミノ基またはフェニル基を有するトリアゾールシラン化合物の場合に、銅と樹脂の接着力を高める効果が顕著であり、中でも、２つのアミノ基を有するトリアゾールシラン化合物の場合には、前記の接着力が飛躍的に高められている。

本発明を特定の態様を参照して詳細に説明したが、本発明の精神と範囲を離れることなく様々な変更および修正が可能であることは、当業者にとって明らかである。なお、本出願は、２０１７年４月７日付けで出願された日本特許出願（特願２０１７−０７７０１９）に基づいており、その全体が引用により援用される。また、ここに引用されるすべての参照は全体として取り込まれる。

本発明のトリアゾールシラン化合物は、トリアゾール化合物の特徴である金属を防錆する機能と、エポキシ樹脂やウレタン樹脂を硬化させる機能を付加したシランカップリング剤とすることができるので、種類の異なる素材が数多く組み合わされて製造されるプリント配線板の如き複合材料への利用が期待される。
また、本発明によれば、金属、無機材料および樹脂材料の接着性（密着性）を十分に確保できるので、基材の表面を粗化することなく、平滑な状態に保持することができる。従って、本発明は、多層プリント配線板の小型化、薄型化、高周波化、高密度化等の実現に大いに貢献し得るものであるから、産業上の利用可能性は多大である。

Claims (34)

1. 化学式（Ｉ）で示されるトリアゾールシラン化合物。
   

   

   
   （式中、Ｘ^１およびＸ^２は、同一または異なって、水素原子、炭素数１〜１２の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、フェニル基、ベンジル基、アミノ基または炭素数１〜６のアルキルチオ基を表す。ｍは１〜１２の整数を表す。Ｒはメチル基またはエチル基を表す。但し、Ｘ^１とＸ^２が同時に水素原子である場合を除く。）
2. 化学式（ＩＩ）で示されるトリアゾール化合物と、化学式（ＩＩＩ）で示されるハロゲン化アルキルシラン化合物を反応させることを特徴とする請求項１記載のトリアゾールシラン化合物の合成方法。
   

   

   
   （式中、Ｘ¹およびＸ²は前記と同様である。）
   

   

   
   （式中、Ｒおよびｍは前記と同様である。Ｈａｌは塩素原子、臭素原子または沃素原子を表す。）
3. 下記化学式（ＩＶ）で示されるトリアゾールシラン化合物を成分とすることを特徴とするシランカップリング剤。
   

   

   
   （式中、Ｘ^１およびＸ^２は、同一または異なって、水素原子、炭素数１〜１２の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、フェニル基、ベンジル基、アミノ基または炭素数１〜６のアルキルチオ基を表す。ｍは１〜１２の整数を表す。ｎは０または１〜３の整数を表す。Ｒはメチル基またはエチル基を表す。但し、Ｘ^１とＸ^２が同時に水素原子である場合を除く。）
4. 下記化学式（ＩＶ）で示されるトリアゾールシラン化合物を含有する表面処理液。
   

   

   
   （式中、Ｘ^１およびＸ^２は、同一または異なって、水素原子、炭素数１〜１２の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、フェニル基、ベンジル基、アミノ基または炭素数１〜６のアルキルチオ基を表す。ｍは１〜１２の整数を表す。ｎは０または１〜３の整数を表す。Ｒはメチル基またはエチル基を表す。但し、Ｘ^１とＸ^２が同時に水素原子である場合を除く。）
5. 金属、無機材料および樹脂材料からなる群から選択される少なくとも１つの表面を処理するために用いる請求項４に記載の表面処理液。
6. 金属、無機材料および樹脂材料からなる群から選択される２つの材料を接着するために用いる請求項４に記載の表面処理液。
7. 前記金属が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、錫、鉄、銀、金およびこれらの合金からなる群から選択される少なくとも１つである請求項５または請求項６に記載の表面処理液。
8. 前記金属が銅または銅合金である請求項５または請求項６に記載の表面処理液。
9. 前記無機材料が、シリコン、セラミックおよびガラスからなる群から選択される少なくとも１つである請求項５または請求項６に記載の表面処理液。
10. 前記セラミックが、アルミナ、炭化ケイ素、窒化アルミ、窒化ケイ素およびチタン酸バリウムからなる群から選択される少なくとも１つである請求項９に記載の表面処理液。
11. 前記樹脂材料が、アクリレート樹脂、エポキシ樹脂、オレフィン樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、シリコーン樹脂およびポリイミド樹脂からなる群から選択される少なくとも１つである請求項５または請求項６に記載の表面処理液。
12. 請求項４に記載の表面処理液を金属の表面に接触させる金属の表面処理方法。
13. 前記金属が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、錫、鉄、銀、金およびこれらの合金からなる群から選択される少なくとも１つである請求項１２に記載の金属の表面処理方法。
14. 前記金属が、銅または銅合金である請求項１２に記載の金属の表面処理方法。
15. 前記表面処理液を銅または銅合金の表面に接触させる前に、銅イオンを含む水溶液を前記銅または銅合金の表面に接触させる請求項１４に記載の金属の表面処理方法。
16. 前記表面処理液を銅または銅合金の表面に接触させた後に、酸性水溶液またはアルカリ性水溶液を前記銅または銅合金の表面に接触させる請求項１４または請求項１５に記載の金属の表面処理方法。
17. 請求項４に記載の表面処理液を無機材料の表面に接触させる無機材料の表面処理方法。
18. 前記無機材料が、シリコン、セラミックおよびガラスからなる群から選択される少なくとも１つである請求項１７に記載の無機材料の表面処理方法。
19. 前記セラミックが、アルミナ、炭化ケイ素、窒化アルミ、窒化ケイ素およびチタン酸バリウムからなる群から選択される少なくとも１つである請求項１８に記載の無機材料の表面処理方法。
20. 請求項４に記載の表面処理液を樹脂材料の表面に接触させる樹脂材料の表面処理方法。
21. 前記樹脂材料が、アクリレート樹脂、エポキシ樹脂、オレフィン樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、シリコーン樹脂およびポリイミド樹脂からなる群から選択される少なくとも１つである請求項２０に記載の樹脂材料の表面処理方法。
22. 金属と樹脂材料の接着方法であって、
    請求項４に記載の表面処理液を、金属および樹脂材料の少なくとも一方に接触させて当該少なくとも一方に化成皮膜を形成し、前記金属と前記樹脂材料とを前記化成皮膜を介して互いに接着する金属と樹脂材料の接着方法。
23. 無機材料と樹脂材料の接着方法であって、
    請求項４に記載の表面処理液を、無機材料および樹脂材料の少なくとも一方に接触させて当該少なくとも一方に化成皮膜を形成し、前記無機材料と前記樹脂材料とを前記化成皮膜を介して互いに接着する無機材料と樹脂材料の接着方法。
24. 金属と無機材料の接着方法であって、
    請求項４に記載の表面処理液を、金属および無機材料の少なくとも一方に接触させて当該少なくとも一方に化成皮膜を形成し、前記金属と前記無機材料とを前記化成皮膜を介して互いに接着する金属と無機材料の接着方法。
25. 金属、無機材料および樹脂材料からなる群から選択される２つの材料を、請求項４に記載の表面処理液により形成された化成皮膜を介して接着したプリント配線板。
26. 金属、無機材料および樹脂材料からなる群から選択される２つの材料を、請求項４に記載の表面処理液により形成された化成皮膜を介して接着した半導体ウェハ。
27. 金属、無機材料および樹脂材料からなる群から選択される２つの材料を、請求項４に記載の表面処理液により形成された化成皮膜を介して接着した電子デバイス。
28. 請求項３に記載のシランカップリング剤と樹脂材料または無機材料とを含有する絶縁性組成物。
29. 前記樹脂材料が、アクリレート樹脂、エポキシ樹脂、オレフィン樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、シリコーン樹脂およびポリイミド樹脂からなる群から選択される少なくとも１つである請求項２８に記載の絶縁性組成物。
30. 前記無機材料が、シリコン、セラミックおよびガラスからなる群から選択される少なくとも１つである請求項２８に記載の絶縁性組成物。
31. 請求項２８〜請求項３０のいずれか一項に記載の絶縁性組成物を含有する絶縁材料。
32. 請求項２８〜請求項３０のいずれか一項に記載の絶縁性組成物から得られる絶縁層を有するプリント配線板。
33. 請求項２８〜請求項３０のいずれか一項に記載の絶縁性組成物から得られる絶縁層を有する半導体ウェハ。
34. 請求項２８〜請求項３０のいずれか一項に記載の絶縁性組成物から得られる絶縁層を有する電子デバイス。