JP6900809B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、アクチュエータに関する。

特許文献１のアクチュエータは、二軸一体型モータの内軸側の第１ロータにボールねじ機構のナットが組み込まれ、外軸側の第２ロータに回転体が固定された構成である。このアクチュエータは、ボールねじ機構により回転軸の軸方向への直動運動を行い、回転体により回転軸の軸回り方向への回転運動を行う。このため、回転用の電動モータと直動用の電動モータとの２つのモータを用意する必要がなく、これら２つの電動モータを連結する部品も不要であり、アクチュエータを小型とすることができる。

特開２０１３−２３００７６号公報

特許文献１に記載のアクチュエータは、二軸一体型モータの内軸側の第１ロータの内側にナットを組み込む構成であるため、第１ロータの内側の構成が複雑になってしまう。また、これによりアクチュエータが高コスト化してしまう。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、機構の簡略化及び低コスト化が可能なアクチュエータを提供することを目的とする。

本態様のアクチュエータは、ハウジングと、前記ハウジングに対して回転自在な第１ロータと、前記第１ロータの径方向外側に配置され、前記ハウジングに対して回転自在な第２ロータと、前記第１ロータに接続され、前記第１ロータの回転と連動して回転する第１アームと、前記第２ロータに接続され、前記第２ロータの回転と連動して回転する第２アームと、前記第１アームに接続される第１接続部と、前記第２アームに接続される第２接続部と、前記第２ロータの径方向外側に配置され前記第１接続部と前記第２接続部との距離に応じて前記第１アーム及び前記第２アームの回転軸の軸方向に移動する移動部と、を有するリンク機構とを備える。

この構成によれば、第１接続部と第２接続部との距離に応じて移動部が回転軸の軸方向に移動することになる。この構成において、リンク機構が第１アーム及び第２アームを介して第２ロータの径方向外側に配置されるため、第１ロータ及び第２ロータの内側の機構が複雑化することを抑制できる。これにより、機構の簡略化及び低コスト化が可能となる。

望ましい態様として、前記移動部は、前記第１アーム及び前記第２アームの回転により前記第１接続部と前記第２接続部とが前記第１アーム及び前記第２アームの回転方向について互いに離れる方向及び近づく方向に移動する場合には、前記第１アーム及び前記第２アームの回転に連動して前記軸方向に移動する。

この構成によれば、第１アーム及び第２アームが回転すると、回転に連動して第１接続部と第２接続部とが移動する。これにより、第１接続部及び第２接続部が第１アーム及び第２アームの回転方向について互いに離れる方向及び近づく方向に移動させることにより、移動部を回転軸に平行な方向に直動運動させることができる。

望ましい態様として、前記移動部は、前記第１アーム及び前記第２アームの回転により前記第１接続部と前記第２接続部とが同一方向に等速で移動する場合には、前記第１接続部及び前記第２接続部の移動に連動して回転軸の軸回り方向に移動する。

この構成によれば、第１アーム及び第２アームの回転により第１接続部及び第２接続部を同一方向に等速で回転させることにより、回転に連動して移動部を回転軸の軸回り方向に移動させることができる。

望ましい態様として、前記移動部は、前記第１アーム及び前記第２アームの回転により前記第１接続部と前記第２接続部とが異なる速度で移動する場合には、前記第１接続部及び前記第２接続部の移動に連動して前記軸方向及び回転軸の軸回り方向に移動する。

この構成によれば、第１アーム及び第２アームの回転により第１接続部と第２接続部とが異なる速度で移動させることにより、回転に連動して移動部を軸方向及び回転軸の軸回り方向に同時に移動させることができる。

望ましい態様として、前記第１アームは、前記第１ロータから前記第２ロータを跨いで前記第２ロータの径方向外側に向けて延びる第１直線部を有し、前記第２アームは、前記第２ロータの径方向外側に向けて延びる第２直線部を有し、前記リンク機構は、前記第１直線部及び前記第２直線部にそれぞれ接続される。

この構成によれば、第１アームが第２ロータを跨いで第２ロータの外側に向けて延びるため、第２ロータの外側でリンク機構を接続しやすい構成とすることができる。

望ましい態様として、前記第１アームは、前記第２ロータに対して前記回転軸の軸方向に隔離して配置される。

この構成によれば、第１アームが回転する場合に第２ロータと干渉することを抑制できる。

望ましい態様として、前記第１ロータ及び前記第２ロータは、円筒状であり、前記第１アームは、前記第１ロータに接続される接続部分が、前記第１ロータの周方向に沿った円弧状の形状を有し、前記第２アームは、前記第２ロータに接続される接続部分が、前記第２ロータの周方向に沿った円弧状の形状を有する。

この構成によれば、リンク機構を介して第１アーム及び第２アームに対して作用する力が、円弧状の接続部分において第１ロータ及び第２ロータの周方向に分散される。これにより、第１ロータ及び第２ロータに対して局所的に大きな力が掛かることを抑制できる。

望ましい態様として、前記第１ロータ及び前記第２ロータは、前記回転軸の軸方向の一方の端部に、互いに面一状態となる平面部をそれぞれ有し、前記第１アームは、前記第１ロータの前記平面部に接続され、前記第２アームは、前記第２ロータの前記平面部に接続される。

この構成によれば、第１アーム及び第２アームが、それぞれ同一平面状に配置されるため、リンク機構が回転軸の軸回り方向及び軸方向に移動部を移動しやすい構成となる。

望ましい態様として、前記リンク機構は、前記第１接続部と前記第２接続部とが前記第１アーム及び前記第２アームの回転方向について互いに離れる方向及び近づく方向に移動する場合に前記第１接続部及び前記第２接続部の移動に連動して前記軸方向に収縮又は伸長する伸縮機構を有し、前記移動部は、前記伸縮機構の伸縮に連動して前記軸方向に移動する。

この構成によれば、伸縮機構の収縮又は伸長により移動部を直動移動させることができるため、リンク機構の構成を簡略化できる。

望ましい態様として、前記リンク機構は、前記第１アームに接続された第１接続ピンと、前記第２アームに接続された第２接続ピンと、前記第１接続ピンを案内する第１案内部材と、前記第２接続ピンを案内する第２案内部材とを有するベースプレートと、を有し、前記第１案内部材及び前記第２案内部材は、前記ベースプレート上において、前記軸方向の一方から他方に掛けて互いの距離が徐々に大きくなる状態で配置される。

この構成によれば、第１アームと第２アームとが回転する場合に、第１接続ピン及び第２接続ピンとベースプレートとを相対的に軸方向に直動移動させることが可能となる。

本態様によれば、機構の簡略化及び低コスト化が可能なアクチュエータを提供することができる。

図１は、第１実施形態に係るアクチュエータの一例を示す斜視図である。 図２は、アクチュエータの一例を示す平面図である。 図３は、図２におけるＡ−Ａ断面に沿った構成を示す図である。 図４は、図３における要部断面図である。 図５は、図２におけるＢ−Ｂ断面に沿った構成を示す図である。 図６は、図２におけるＣ−Ｃ断面に沿った構成を示す図である。 図７は、リンク機構の動作の一例を示す図である。 図８は、図１に示す状態からエンドエフェクタを上昇させた状態を示す図である。 図９は、図１に示す状態からエンドエフェクタを下降させた状態を示す図である。 図１０は、図１に示す状態からエンドエフェクタを回転させた状態を示す図である。 図１１は、第２実施形態に係るアクチュエータの一例を示す斜視図である。 図１２は、リンク機構の一例を示す図である。 図１３は、図１１に示す状態からエンドエフェクタを上昇させた状態を示す図である。 図１４は、図１１に示す状態からエンドエフェクタを下降させた状態を示す図である。 図１５は、図１１に示す状態からエンドエフェクタを回転させた状態を示す図である。

発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係るアクチュエータ１の一例を示す斜視図である。図２は、アクチュエータ１の一例を示す平面図である。図３は、図２におけるＡ−Ａ断面に沿った構成を示す図である。図４は、図３における要部（二軸一体型モータＭＰ）を示す要部断面図である。

図１に示すように、アクチュエータ１は、例えば、ピックアンドプレース装置として用いられる。アクチュエータ１は、駆動源である二軸一体型モータＭＰと、二軸一体型モータＭＰに接続されるアーム部５０と、アーム部５０に接続されるリンク機構６０と、リンク機構６０に接続されるエンドエフェクタ７０とを備えている。以下、Ｚ軸に平行な方向であって、二軸一体型モータＭＰからアーム部５０に向けた方向を上方とし、アーム部５０から二軸一体型モータＭＰに向けた方向を下方として説明する。

図３に示すように、二軸一体型モータＭＰは、ステータ１０と、第１ロータ２０と、第２ロータ３０と、ハウジング４０とを有する。ステータ１０、第１ロータ２０及び第２ロータ３０は、Ｚ軸に平行な回転軸ＡＸを中心として、互いに同軸に配置されている。ステータ１０は、第１ロータ２０と第２ロータ３０との間に配置されている。例えば、第１ロータ２０は、ステータ１０の径方向内側に配置され、ステータ１０に対して相対回転する。第２ロータ３０は、ステータ１０の径方向外側に配置され、ステータ１０に対して相対回転する。

ステータ１０は、ステータコア１１と、第１励磁コイル１２と、第２励磁コイル１３と、を有する。図４に示すように、ステータ１０は、回転軸ＡＸの周りに筒状に設けられている。ステータコア１１は、筒状のバックヨーク１５と、バックヨーク１５の径方向内側に配置された複数の第１ティース１４と、バックヨーク１５の径方向外側に配置された複数の第２ティース１６と、を有する。

複数の第１ティース１４は、バックヨーク１５の内周に沿って並んでいる。複数の第１ティース１４は、バックヨーク１５と接続されている。第１励磁コイル１２は、第１ティース１４の周りに巻き回されている。第１励磁コイル１２は、第１ドライバ１２１と電気的に接続されている。第１ドライバ１２１は、第１励磁コイル１２に第１駆動電流Ｉ１を供給することにより、第１ロータ２０を駆動する。

第１励磁コイル１２を励磁させて得られる回転磁界は、例えば３相である。第１励磁コイル１２には、駆動信号の各位相が１２０°ずれたＵ相用、Ｖ相用及びＷ相用の励磁コイルが含まれる。

複数の第２ティース１６は、バックヨーク１５の外周に沿って並んでいる。複数の第２ティース１６は、バックヨーク１５と接続されている。第２励磁コイル１３は、第２ティース１６の周りに巻き回されている。第２励磁コイル１３は、第２ドライバ１２２と電気的に接続されている。第２ドライバ１２２は、第２励磁コイル１３に第２駆動電流Ｉ２を供給することにより、第２ロータ３０を駆動する。

第２励磁コイル１３を励磁させて得られる回転磁界は、例えば３相である。第２励磁コイル１３には、駆動信号の各位相が１２０°ずれたＵ相用、Ｖ相用及びＷ相用の励磁コイルが含まれる。

第１ドライバ１２１と第２ドライバ１２２は、コントローラー１２０と電気的に接続されている。コントローラー１２０は、第１ドライバ１２１と第２ドライバ１２２とを独立して制御する。コントローラー１２０は、第１駆動電流Ｉ１の電流量と第２駆動電流Ｉ２の電流量とを独立に制御する。第１駆動電流Ｉ１の電流量によって、第１ロータ２０の回転角が制御される。第２駆動電流Ｉ２の電流量によって、第２ロータ３０の回転角が制御される。コントローラー１２０は、第１ロータ２０の回転角と第２ロータ３０の回転角とを独立に制御する。

複数の第１ティース１４の軸方向長さは、複数の第２ティース１６の軸方向長さより、長い。この構造により、第１駆動電流Ｉ１の電流量と、第２駆動電流Ｉ２の電流量とが同じでも、第１ロータ２０のトルクが、第２ロータ３０のトルクよりも極端に小さくならない。第１駆動電流Ｉ１の電流量と、第２駆動電流Ｉ２の電流量とが同じ場合、第１ロータ２０のトルクが、第２ロータ３０のトルクが小さくなるように、複数の第１ティース１４の軸方向長さを、複数の第２ティース１６の軸方向長さより長くする。これにより、コントローラー１２０は、第１ロータ２０と、第２ロータ３０とを独立して制御しやすくなる。

第１ロータ２０は、第１ロータブラケット２１と、永久磁石によって構成された第１ロータコア２２とを有する。図３に示すように、第１ロータブラケット２１は、回転軸ＡＸの周りに円柱状に設けられている。なお、第１ロータブラケット２１は、円筒状であってもよい。第１ロータブラケット２１は、内径側の円筒出力軸とも言える。第１ロータブラケット２１は、上部に平面視円形状のフランジ部２３を有する。フランジ部２３は、後述の第２ロータ３０の第２ロータブラケット３１の内周面との間に隙間を空けた状態で配置される。第１ロータブラケット２１は、上側端部に平面部２１ａが設けられている。本実施形態において、平面部２１ａは、フランジ部２３の上面に相当する。平面部２１ａは、例えば回転軸ＡＸに垂直に配置される。

第１ロータコア２２は、Ｎ極のマグネット部とＳ極のマグネット部とを有する。Ｎ極のマグネット部とＳ極のマグネット部は、回転方向に交互に等間隔で配置されている。第１ロータコア２２は、第１励磁コイル１２が第１ティース１４に励磁した回転磁界に応じて回転する。第１ロータコア２２は、第１ロータブラケット２１に外周面に貼り付けられてもよいし、第１ロータコア２２の内部に埋め込まれてもよい。

第２ロータ３０は、第２ロータブラケット３１と、永久磁石によって構成された第２ロータコア３２とを有する。第２ロータブラケット３１は、第２ロータコア３２の外周側に配置されている。図３に示すように、第２ロータブラケット３１は、回転軸ＡＸの周りに筒状に設けられている。第２ロータブラケット３１は、外径側の円筒出力軸とも言える。第２ロータブラケット３１は、上側端部に平面部３１ａが設けられている。平面部３１ａは、環状に形成され、回転軸ＡＸに垂直に配置される。本実施形態において、第２ロータブラケット３１の平面部３１ａは、上記した第１ロータブラケット２１の平面部２１ａと面一状態で配置される。また、図２等に示すように、第２ロータブラケット３１の内周面は、フランジ部２３の外周面との間に隙間を空けて配置される。

第２ロータコア３２は、Ｎ極のマグネット部とＳ極のマグネット部とを有する。Ｎ極のマグネット部とＳ極のマグネット部は、回転方向に交互に等間隔で配置されている。第２ロータコア３２は、第２励磁コイル１３が第２ティース１６に励磁した回転磁界に応じて回転する。第２ロータコア３２は、第２ロータブラケット３１に内周面に貼り付けられてもよいし、第２ロータブラケット３１の内部に埋め込まれてもよい。

第１ティース１４及び第１励磁コイル１２と、Ｚ方向において重ならない位置に、第１軸受２５が配置されている。第１軸受２５は、バックヨーク１５と、第１ロータブラケット２１との間にあり、第１ロータ２０を回転自在に支持している。第１軸受２５は、軸受２５ａ及び軸受２５ｂを有する複数組み合わせ軸受である。バックヨーク１５内には、径方向内側と、径方向外側とを分ける非磁性のスリットを設けることが望ましい。第１軸受２５は、第１ロータブラケット２１の外周にある突起部で位置決めされ、固定されている。

第２ティース１６及び第２励磁コイル１３と、Ｚ方向において重ならない位置に、第２軸受３５が配置されている。第２軸受３５は、バックヨーク１５と、第２ロータブラケット３１との間にあり、第２ロータ３０を回転自在に支持している。第２軸受３５は、軸受３５ａ及び軸受３５ｂを有する複数組み合わせ軸受である。第２軸受３５は、第２ロータブラケット３１の内周にある突起部で位置決めされ、固定されている。

第１軸受２５とＺ方向において重ならない位置に、第１回転検出部１０１が設けられている。第１回転検出部１０１は、ハウジング４０に対する第１ロータブラケット２１の回転角を検出し、コントローラー１２０（図４参照）に供給する。

第１回転検出部１０１は、例えば、レゾルバである。第１回転検出部１０１は、レゾルバステータ１０１ａと、レゾルバロータ１０１ｂと、を有する。レゾルバロータ１０１ｂは、第１ロータブラケット２１の外周面に固定されている。レゾルバステータ１０１ａは、レゾルバロータ１０１ｂの径方向において対向する位置に配置される。コントローラー１２０は、第１ロータ２０において所望の回転角を得られるように、第１回転検出部１０１の検出結果に基づいて第１駆動電流Ｉ１の電流量を調節する。

第２軸受３５とＺ方向において重ならない位置に、第２回転検出部１０２が設けられている。第２回転検出部１０２は、ハウジング４０に対する第２ロータブラケット３１の回転角を検出し、コントローラー１２０（図３参照）に供給する。

第２回転検出部１０２は、例えば、レゾルバである。第２回転検出部１０２は、レゾルバロータ１０２ａと、レゾルバステータ１０２ｂと、を有する。レゾルバロータ１０２ａは、第２ロータブラケット３１の内周面に固定されている。レゾルバロータ１０２ａは、レゾルバステータ１０２ｂの径方向において対向する位置に配置されている。コントローラー１２０は、第２ロータ３０において所望の回転角を得られるように、第２回転検出部１０２の検出結果に基づいて第２駆動電流Ｉ２の電流量を調節する。

第１回転検出部１０１と、第２回転検出部１０２とは、円環板状のカバー１０３で覆われている。円環板状のカバー１０３は、異物が第１回転検出部１０１と、第２回転検出部１０２との周囲に侵入しないよう、抑制している。

ハウジング４０は、二軸一体型モータＭＰの底部に配置される。ハウジング４０は、例えばネジ、ボルト等の固定部材４５により、ステータコア１１を固定する。

アーム部５０は、第１ロータ２０に接続される第１アーム５１と、第２ロータ３０に接続される第２アーム５２とを有する。

第１アーム５１は、第１ロータ２０の回転と連動して、回転軸ＡＸの軸回り方向に回転する。第１アーム５１は、接続部５１ａと、直線部（第１直線部）５１ｂとを有する。接続部５１ａは、第１ロータ２０のうち、例えば第１ロータブラケット２１の平面部２１ａ（つまりフランジ部２３の上面）に接続される。例えば、接続部５１ａは、不図示のネジ又はボルト等の固定部材により、平面部２１ａに固定される。接続部５１ａは、平面部２１ａの外周に沿った円弧状の形状を有する。接続部５１ａは、例えば平面部２１ａの円周のうち、半分の領域に配置される。つまり、接続部５１ａは、半円の円弧状に形成される。また、接続部５１ａの外周面は、平面部２１ａの円周上に配置される。直線部５１ｂは、接続部５１ａから第２ロータ２０を跨いで第２ロータ２０の径方向の外側に向けて直線状に延び出される。なお、直線部５１ｂは、後述する第２アーム５２の接続部５２ａが設けられない領域に向けて延びている。また、直線部５１ｂは、第１アーム５１及び第２アーム５２が回転する場合に、第２アーム５２の接続部５２ａの軌道上から外れた領域に向けて延びている。このため、直線部５１ａと第２アーム５２の接続部５２ａとが干渉しない構成となっている。

第２アーム５２は、第２ロータ３０の回転と連動して、回転軸ＡＸの軸回り方向に回転する。第２アーム５２は、接続部５２ａと、直線部（第２直線部）５２ｂとを有する。接続部５２ａは、第２ロータ３０のうち、例えば第２ロータブラケット３１の平面部３１ａに接続される。例えば、接続部５１ａは、不図示のネジ又はボルト等の固定部材により、平面部２１ａに固定される。接続部５２ａは、平面部３１ａに沿った円弧状の形状を有する。接続部５２ａは、例えば平面部３１ａの円周のうち、半分の領域に配置される。つまり、接続部５２ａは、半円の円弧状に形成される。また、接続部５２ａの内周面は、平面部３１ａの内周上に配置される。したがって、接続部５２ａの内周面は、上記の第１アーム５１の接続部５２ａの外周面との間に、隙間を空けて対向して配置される。このため、第１アーム５１及び第２アーム５２が回転する場合に、接続部５１ａと接続部５２ａとが干渉しない構成となっている。また、接続部５２ａは、第１アーム５１の接続部５１ａに対して径方向の外側に設けられるため、接続部５１ａに比べて径が大きく、周方向の長さが長くなっている。直線部５２ｂは、接続部５２ａから第２ロータ２０の径方向の外側に向けて直線状に延び出される。

図５は、図２におけるＢ−Ｂ断面に沿った構成を示す図である。図５に示すように、第１アーム５１の直線部５１ｂは、第２ロータ３０の平面部３１ａに対して回転軸ＡＸの軸方向に隙間Ｒを空けた状態で隔離して配置される。このため、第１アーム５１と第２ロータ３０との間の干渉が抑制される。

図６は、図２におけるＣ−Ｃ断面に沿った構成を示す図である。図６に示すように、第２アーム５２の直線部５２ｂは、第２ロータ３０から径方向の外側に延び出され、平面視において第１ロータ２０側には重ならないため、第２アーム５２と第１ロータ２０との間の干渉が抑制される。

リンク機構６０は、第２ロータ３０の径方向外側に配置される。リンク機構６０は、二軸一体型モータＭＰに対して、着脱可能に設けられる。このように、リンク機構６０は、二軸一体型モータＭＰに外付けが可能である。リンク機構６０は、第１接続ピン（第１接続部）６１と、第２接続ピン（第２接続部）６２と、伸縮機構６３と、移動部６４とを有する。

第１接続ピン６１は、ピボット６１ａを介して第１アーム５１の直線部５１ｂに連結される。第１接続ピン６１は、例えば直線部５１ｂから下方に突出した状態で連結される。第１接続ピン６１は、例えば円柱状に形成される。第１接続ピン６１は、直線部５１ｂに対して、回転軸ＡＸに平行な中心軸の軸回り方向に回転可能に設けられる。

第２接続ピン６２は、ピボット６２ａを介して第２アーム５２の直線部５２ｂに連結される。第２接続ピン６２は、例えば直線部５２ｂから下方に突出した状態で連結される。第２接続ピン６２は、例えば円柱状に形成される。第２接続ピン６２は、直線部５２ｂに対して、回転軸ＡＸに平行な中心軸の軸回り方向に回転可能に設けられる。第２接続ピン６２は、Ｚ方向の寸法が第１接続ピン６１と等しくなっている。

伸縮機構６３は、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２に接続される。第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２が第１アーム５１及び第２アーム５２を介して回転軸ＡＸの軸回り方向に移動することにより、伸縮機構６３は、回転軸ＡＸの軸方向に伸縮する。伸縮機構６３は、直動案内部６３ａと、連結部６３ｂとを有する。直動案内部６３ａは、後述の移動部６４を径方向に軸方向に平行な方向に案内する。連結部６３ｂは、移動部６４に連結される。

移動部６４は、連結部６３ｂにより伸縮機構６３に連結される。移動部６４は、直動案内部６３ａを案内する案内溝６４ａを有する。案内溝６４ａは、回転軸ＡＸの軸方向に平行に形成される。案内溝６４ａは、移動部６４の移動可能な範囲を示している。移動部６４は、下端部にエンドエフェクタ７０が取り付けられる。エンドエフェクタ７０は、例えばリフト状の構成が用いられているが、これに限定されない。例えば、エアチャックや吸着パッド等が用いられてもよい。

図７は、リンク機構６０の動作の一例を示す図である。図８から図１０は、エンドエフェクタ７０を移動させる場合の一例を示す図である。図７では、伸縮機構６３の状態別に示している。図７の左側の状態は、伸縮機構６３が収縮した収縮状態ＳＴＨを示している。また、図７の右側の状態は、伸縮機構６３が伸張した伸長状態ＳＴＬを示している。図７の中央の状態は、伸縮機構６３が収縮状態ＳＴＨと伸長状態ＳＴＬとの中間の状態（中間状態ＳＴＭ）であることを示している。

例えば、図７の収縮状態ＳＴＨの図及び図８に示すように、第１接続ピン６１と第２接続ピン６２とが互いに離れる方向に第１アーム５１と第２アーム５２とを反対方向に回転させる場合、伸縮機構６３は、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２との連結部分を支点として上方に収縮する。つまり、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２は、回転軸ＡＸの軸回り方向に移動するが、Ｚ方向には移動しない。このため、伸縮機構６３は、第１接続ピン６１と第２接続ピン６２との距離ＷＨが大きくなるにつれて、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２側に引っ張られるように上方に収縮する。このとき、収縮状態ＳＴＨでは、直動案内部６３ａが最もＺ方向の上側に配置される。なお、この場合、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２においては、ピボット６１ａ及びピボット６２ａの軸受が回転を吸収するため、リンク機構６０のねじれが抑制される。伸縮機構６３が収縮する場合、当該収縮に連動して、連結部６３ｂが上方に移動する。連結部６３ｂの移動によって移動部６４が上方に移動するため、エンドエフェクタ７０が上方に移動する。このとき、エンドフェクタ７０は、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２からＺ方向について距離ＤＨとなる位置に配置される。

また、例えば、図７の伸長状態ＳＴＬの図及び図９に示すように、第１接続ピン６１と第２接続ピン６２とが互いに近づく方向に第１アーム５１と第２アーム５２とを反対方向に回転させる場合、伸縮機構６３は、第１アーム５１及び第２アーム５２との連結部分を支点として下方に伸張する。この場合も、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２は、回転軸ＡＸの軸回り方向に移動するが、Ｚ方向には移動しない。このため、伸縮機構６３は、第１接続ピン６１と第２接続ピン６２との距離ＷＬが小さくなるにつれて、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２側から押し出されるように下方に伸張する。このとき、伸長状態ＳＴＬでは、直動案内部６３ａが最もＺ方向の下側に配置される。なお、この場合、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２においては、収縮時と同様に、ピボット６１ａ及びピボット６２ａの軸受が回転を吸収するため、リンク機構６０のねじれが抑制される。伸縮機構６３が伸張する場合、当該伸長に連動して、連結部６３ｂが下方に移動する。連結部６３ｂの移動によって移動部６４が下方に移動するため、エンドエフェクタ７０が下方に移動する。このとき、エンドフェクタ７０は、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２からＺ方向について距離ＤＬとなる位置に配置される。

また、図１０に示すように、第１接続ピン６１と第２接続ピン６２との距離を一定に維持するように第１アーム５１と第２アーム５２とを同一方向に回転させる場合、伸縮機構６３は、収縮及び伸長が行われずに同一の形状を保持する。この場合、例えば第１ロータ２０及び第２ロータ３０の回転速度を同期させることにより、第１接続ピン６１と第２接続ピン６２との距離を一定に維持する。また、第１アーム５１及び第２アーム５２が同一方向に回転することにより、リンク機構６０全体が、第１アーム５１及び第２アーム５２の回転に連動して、回転軸ＡＸの軸回り方向に移動する。この移動により、移動部６４が回転軸ＡＸの軸回り方向に移動する。この場合、第１アーム５１及び第２アーム５２の回転速度を調整することにより、移動部６４のθ方向（図３参照）における位置を調整することができる。これにより、エンドエフェクタ７０が回転軸ＡＸの軸回り方向に移動する。

なお、アクチュエータ１においては、例えば第１接続ピン６１と第２接続ピン６２との距離が変化するように第１アーム５１と第２アーム５２とを同一方向又は反対方向に回転させてもよい。この場合、第１接続ピン６１と第２接続ピン６２との距離に応じて伸縮機構６３が伸縮し、かつ、回転軸ＡＸの軸回り方向に移動する。このため、移動部６４及びエンドエフェクタ７０は、上下方向及び回転軸ＡＸの軸回り方向に同時に移動する。なお、第１接続ピン６１と第２接続ピン６２との距離を変化させつつ、リンク機構６０を回転軸ＡＸの軸回り方向に移動させる場合、例えば第１ロータ２０及び第２ロータ３０の回転速度を異なるように設定すればよい。この場合、例えば第１ロータ２０及び第２ロータ３０の一方を回転を停止させたまま、他方を回転させることを含む。このように、第１アーム５１及び第２アーム５２の回転方向、回転速度の設定に応じて、伸縮機構６３の伸縮及び移動部６４のθ方向（図３参照）における位置の調整を柔軟に行うことができる。

以上のように、本実施形態に係るアクチュエータ１は、ハウジング４０と、ハウジング４０に対して回転自在な第１ロータ２０と、第１ロータ２０の径方向外側に配置され、ハウジング４０に対して回転自在な第２ロータ３０と、第１ロータ２０に接続され、第１ロータ２０の回転と連動して回転する第１アーム５１と、第２ロータ３０に接続され、第２ロータ３０の回転と連動して回転する第２アーム５２と、第１アーム５１に接続される第１接続ピン６１と、第２アーム５２に接続される第２接続ピンと、第２ロータ２０の径方向外側に配置され、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２との距離に応じて第１アーム５１及び第２アーム５２の回転軸ＡＸの軸方向に移動する移動部６４とを有するリンク機構６０とを備える。

この構成によれば、第１ロータ２０及び第２ロータ３０が回転すると、第１アーム５１及び第２アーム５２が回転し、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２が第１アーム５１及び第２アーム５２の回転に連動して移動する。この第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２が第１アーム５１及び第２アーム５２の回転方向について互いに離れる方向及び近づく方向に移動する場合には、移動部６４が回転軸ＡＸに平行な方向に直動運動する。この構成において、リンク機構６０が第１アーム５１及び第２アーム５２を介して第２ロータ３０の径方向外側に配置されるため、第１ロータ２０及び第２ロータ３０の内側の機構が複雑化することを抑制できる。これにより、機構の簡略化及び低コスト化が可能となる。

本実施形態に係るアクチュエータ１において、移動部６４は、第１アーム５１及び第２アーム５２の回転により第１接続ピン６１と第２接続ピン６２とが第１アーム５１及び第２アーム５２の回転方向について互いに離れる方向及び近づく方向に移動する場合には、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２の移動に連動して軸方向に移動する。

この構成によれば、第１アーム５１及び第２アーム５２が回転すると、回転に連動して第１接続ピン６１と第２接続ピン６２とが移動する。これにより、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２が第１アーム５１及び第２アーム５２の回転方向について互いに離れる方向及び近づく方向に移動させることにより、移動部６４を回転軸に平行な方向に直動運動させることができる。

本実施形態に係るアクチュエータ１において、移動部６４は、第１アーム５１及び第２アーム５２の回転により第１接続ピン６１と第２接続ピン６２とが同一方向に等速で移動する場合には、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２の移動に連動して回転軸ＡＸの軸回り方向に移動する。

この構成によれば、第１アーム５１及び第２アーム５２の回転により第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２を同一方向に等速で回転させることにより、回転に連動して移動部６４を回転軸ＡＸの軸回り方向に移動させることができる。

本実施形態に係るアクチュエータ１において、移動部６４は、第１アーム５１及び第２アーム５２の回転により第１接続ピン６１と第２接続ピン６２とが異なる速度で移動する場合には、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２の移動に連動して軸方向及び回転軸ＡＸの軸回り方向に移動する。

この構成によれば、第１アーム５１及び第２アーム５２の回転により第１接続ピン６１と第２接続ピン６２とが異なる速度で移動させることにより、回転に連動して移動部６４を軸方向及び回転軸ＡＸの軸回り方向に同時に移動させることができる。

本実施形態に係るアクチュエータ１において、第１アーム５１は、第１ロータ２０から第２ロータ３０を跨いで第２ロータ３０の径方向外側に向けて延びる直線部５１ｂを有し、第２アーム５２は、第２ロータ３０の径方向外側に向けて延びる直線部５２ｂを有し、リンク機構６０は、第１アーム５１及び第２アーム５２のそれぞれの直線部５１ｂ、５２ｂに接続される。

この構成によれば、第１アーム５１が第２ロータ３０を跨いで第２ロータ３０の外側に向けて延びるため、第２ロータ３０の外側でリンク機構６０を接続しやすい構成とすることができる。

本実施形態に係るアクチュエータ１において、第１アーム５１は、第２ロータ３０に対して回転軸ＡＸの軸方向に隔離して配置される。

この構成によれば、第１アーム５１が回転する場合に第２ロータ３０と干渉することを抑制できる。

本実施形態に係るアクチュエータ１において、第１ロータ２０及び第２ロータ３０は、円筒状又は円柱状であり、第１アーム５１は、第１ロータ２０に接続される接続部５１ａが、第１ロータ２０の周方向に沿った円弧状の形状を有し、第２アーム５２は、第２ロータ３０に接続される接続部５２ａが、第２ロータ３０の周方向に沿った円弧状の形状を有する。

この構成によれば、リンク機構６０を介して第１アーム５１及び第２アーム５２に対して作用する力が、円弧状の接続部５２ｂ、５２ｂにおいて第１ロータ２０及び第２ロータ３０の周方向に分散される。これにより、第１ロータ２０及び第２ロータ３０に対して局所的に大きな力が掛かることを抑制できる。

本実施形態に係るアクチュエータ１において、第１ロータ２０及び第２ロータ３０は、回転軸ＡＸの軸方向の一方の端部に、互いに面一状態となる平面部２１ａ、３１ａをそれぞれ有し、第１アーム５１は、第１ロータ２０の平面部２１ａに接続され、第２アーム５２は、第２ロータ３０の平面部３１ａに接続される。

この構成によれば、第１アーム５１及び第２アーム５２が、それぞれ同一平面状に配置されるため、リンク機構６０が回転軸ＡＸの軸回り方向及び軸方向に移動部６４を移動しやすい構成となる。

本実施形態に係るアクチュエータ１において、リンク機構６０は、第１接続ピン６１と第２接続ピン６２とが第１アーム５１及び第２アーム５２の回転方向について互いに離れる方向及び近づく方向に移動する場合に第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２の移動に連動して軸方向に収縮又は伸長する伸縮機構６３を有し、移動部６４は、伸縮機構６３の収縮又は伸長に連動して軸方向に移動する。

この構成によれば、伸縮機構の収縮又は伸長により移動部６４を直動移動させることができるため、リンク機構６０の構成を簡略化できる。

［第２実施形態］
図１１は、第２実施形態に係るアクチュエータ２の一例を示す斜視図である。図１１に示すように、アクチュエータ２は、駆動源である二軸一体型モータＭＰと、二軸一体型モータＭＰに接続されるアーム部５０と、アーム部５０に接続されるリンク機構１６０と、リンク機構１６０に接続されるエンドエフェクタ７０とを備えている。第２実施形態では、リンク機構１６０の構成が第１実施形態と異なっている。以下、第１実施形態との相違点であるリンク機構１６０の構成を中心に説明する。なお、他の構成については、第１実施形態と同様である。第１実施形態と共通する構成については、同一の符号を付し、説明を省略又は簡略化する。

リンク機構１６０は、第１接続ピン１６１と、第２接続ピン１６２と、第１ベアリング１６３と、第２ベアリング１６４と、ベースプレート１６５と、第１案内部材１６６と、第２案内部材１６７とを有する。

第１接続ピン１６１は、ピボット１６１ａを介して第１アーム５１の直線部５１ｂに連結される。第１接続ピン１６１は、例えば直線部５１ｂから下方に突出した状態で連結される。第１接続ピン１６１は、例えば円柱状に形成される。第１接続ピン１６１は、直線部５１ｂに対して、回転軸ＡＸに平行な中心軸の軸回り方向に回転可能に設けられる。

第２接続ピン１６２は、ピボット１６２ａを介して第２アーム５２の直線部５２ｂに連結される。第２接続ピン１６２は、例えば直線部５２ｂから下方に突出した状態で連結される。第１連結部１６２は、例えば円柱状に形成される。第１接続ピン１６１は、直線部５２ｂに対して、回転軸ＡＸに平行な中心軸の軸回り方向に回転可能に設けられる。

第１ベアリング１６３は、第１接続ピン１６１の下部に取り付けられている。第１ベアリング１６３は、第１接続ピン１６１と連動して移動し、後述の第１案内部材１６６に沿って滑らかに移動可能である。第２ベアリング１６４は、第２接続ピン１６２の下部に取り付けられている。第２ベアリング１６４は、第２接続ピン１６２と連動して移動し、後述の第２案内部材１６７に沿って滑らかに移動可能である。

ベースプレート１６５は、例えば台形状の形状を有する板状部材である。ベースプレート１６５は、第１案内部材１６６及び第２案内部材１６７を有する。

第１案内部材１６６は、第１ベアリング１６３を介して第１接続ピン１６１を案内する。第１案内部材１６６としては、例えば第１ベアリング１６３が移動可能な直線状のレール等が用いられる。第１案内部材１６６は、回転軸ＡＸに対して傾いて配置される。したがって、第１案内部材１６６は、第１ベアリング１６３を回転軸ＡＸに対して傾いた方向に移動させる。

第２案内部材１６７は、第２ベアリング１６４を介して第２接続ピン１６２を案内する。第２案内部材１６７としては、例えば第２ベアリング１６４が移動可能な直線状のレール等が用いられる。第２案内部材１６７は、回転軸ＡＸに対して第１案内部材１６６とは反対側に傾いて配置される。したがって、第２案内部材１６７は、第２ベアリング１６４を回転軸ＡＸに対して第１案内部材１６６とは反対側に傾いた方向に移動させる。

第１案内部材１６６と第２案内部材１６７とは、ベースプレート１６５上において、軸方向の一方から他方に掛けて互いの距離が徐々に大きくなる状態で配置される。本実施形態では、ベースプレート１６５の上部から下部に掛けて、第１案内部材１６６と第２案内部材１６７との距離が徐々に大きくなる状態で配置される。つまり、第１案内部材１６６と第２案内部材１６７とは、互いに直線状に形成され、ベースプレート１６５の上部から下部に掛けて、間隔が広がる状態で配置される。

図１２は、リンク機構１６０の動作の一例を示す図である。図１３から図１５は、エンドエフェクタ７０を移動させる場合の一例を示す図である。図１２では、ベースプレート１６５の位置毎に示している。図１２の左側の状態は、ベースプレート１６５が上昇位置に配置された上昇状態ＳＴＨを示している。また、図１２の右側の状態は、ベースプレート１６５が下降位置に配置された下降状態ＳＴＬを示している。また、図１２の中央の状態は、ベースプレート１６５が上昇状態ＳＴＨと下降状態ＳＴＬとの中間の状態（中間状態ＳＴＭ）であることを示している。

例えば、図１２の上昇状態ＳＴＨの図及び図１３に示すように、直線部５１ｂと直線部５２ｂとが互いに離れる方向に第１アーム５１と第２アーム５２とを反対方向に回転させる場合、ベースプレート１６５は、第１アーム５１及び第２アーム５２に対して上方に移動する。つまり、第１接続ピン１６１及び第２接続ピン１６２は、回転軸ＡＸの軸回り方向に移動するが、Ｚ方向には移動しない。このため、ベースプレート１６５は、第１接続ピン１６１と第２接続ピン１６２との距離ＷＨ２が大きくなるにつれて、第１接続ピン１６１及び第２接続ピン１６２側に引っ張られるように上方に移動する。なお、この場合、第１接続ピン１６１及び第２接続ピン１６２においては、ピボット１６１ａ及びピボット１６２ａの軸受が回転を吸収するため、リンク機構１６０のねじれが抑制される。ベースプレート１６５の上昇により、ベースプレート１６５の上昇に連動してエンドエフェクタ７０が上昇する。このとき、エンドフェクタ７０は、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２からＺ方向について距離ＤＨ２となる位置に配置される。

また、例えば、図１２の伸長状態ＳＴＬの図及び図１４に示すように、直線部５１ｂと直線部５２ｂとが互いに近づく方向に第１アーム５１と第２アーム５２とを反対方向に回転させる場合、ベースプレート１６５は、第１アーム５１及び第２アーム５２に対して下方に移動する。この場合も、第１接続ピン１６１及び第２接続ピン１６２は、回転軸ＡＸの軸回り方向に移動するが、Ｚ方向には移動しない。このため、ベースプレート１６５は、第１接続ピン１６１と第２接続ピン１６２との距離ＷＬ２が小さくなるにつれて、第１接続ピン１６１及び第２接続ピン１６２側から押し出されるように下方に移動する。なお、この場合、第１接続ピン１６１及び第２接続ピン１６２においては、上昇時と同様に、ピボット１６１ａ及びピボット１６２ａの軸受が回転を吸収するため、リンク機構１６０のねじれが抑制される。伸縮機構６３が伸張する場合、当該伸長に連動して、連結部６３ｂが下方に移動する。ベースプレート１６５の下降により、ベースプレート１６５の下降に連動してエンドエフェクタ７０が下降する。このとき、エンドフェクタ７０は、第１接続ピン６１及び第２接続ピン６２からＺ方向について距離ＤＬ２となる位置に配置される。

また、図１５に示すように、直線部５１ｂと直線部５２ｂとの相対位置又は相対距離を一定に維持するように第１アーム５１と第２アーム５２とを同一方向に回転させる場合、ベースプレート１６５は、上昇及び下降が行われず位置を保持する。この場合、例えば第１ロータ２０及び第２ロータ３０の回転速度を同期させることにより、直線部５１ｂと直線部５２ｂとの相対位置又は相対距離を一定に維持する。また、第１アーム５１及び第２アーム５２が同一方向に回転することにより、リンク機構１６０全体が、第１アーム５１及び第２アーム５２の回転に連動して、回転軸ＡＸの軸回り方向に移動する。この移動により、ベースプレート１６５が回転軸ＡＸの軸回り方向に移動するため、エンドエフェクタ７０が回転軸ＡＸの軸回り方向に移動する。

以上のように、本実施形態に係るアクチュエータ２において、リンク機構１６０は、第１アーム５１に接続された第１接続ピン１６１と、第２アーム５２に接続された第２接続ピン１６２と、第１接続ピン１６１を案内する第１案内部材１６６と、第２接続ピン１６２を案内する第２案内部材１６７とを有するベースプレート１６５と、を有し、第１案内部材１６６及び第２案内部材１６７は、ベースプレート１６５上において、軸方向の上方から下方にかけて互いの距離が徐々に大きくなる状態で配置される。

この構成によれば、第１アーム５１と第２アーム５２とが回転する場合に、第１接続ピン１６１及び第２接続ピン１６２とベースプレート１６５とを相対的に軸方向に直動移動させることが可能となる。

以上、本発明の好適な実施形態を説明したが、本発明は上記の実施形態に記載されたものに限定されない。例えば、上記の実施形態では、第１ロータ２０及び第２ロータ３０の回転子として、ＰＭ（Ｐｅｒｍａｎｅｎｔ Ｍａｇｎｅｔ）型の回転子が用いられたが、第１ロータ２０及び第２ロータ３０の回転子として、ＶＲ（Ｖａｒｉａｂｌｅ Ｒｅｌｕｃｔａｎｃｅ）型の回転子が用いられてもよい。

また、例えば上記第２実施形態では、第１案内部材１６６及び第２案内部材１６７が、ベースプレート１６５上において、軸方向の一方から他方にかけて互いの距離が徐々に大きくなる状態で配置される場合を例に挙げて説明したが、これに限定されず、例えば軸方向の下方から上方にかけて互いの距離が徐々に大きくなる状態で配置される構成であってもよい。

Ｉ１ 第１駆動電流
Ｉ２ 第２駆動電流
Ｒ 隙間
ＡＸ 回転軸
ＭＰ，ＭＲ 二軸一体型モータ
ＳＴＨ 収縮状態，上昇状態
ＳＴＬ 伸長状態，下降状態
１，２ アクチュエータ
１０ ステータ
１１ ステータコア
１２ 第１励磁コイル
１３ 第２励磁コイル
１４ 第１ティース
１５ バックヨーク
１６ 第２ティース
２０ 第１ロータ
２０，３０ 第２ロータ
２１ 第１ロータブラケット
２１ａ，３１ａ 平面部
２２ 第１ロータコア
２３ フランジ部
２５ 第１軸受
２５ａ，２５ｂ，３５ａ，３５ｂ 軸受
３１ 第２ロータブラケット
３２ 第２ロータコア
３５ 第２軸受
４０ ハウジング
４５ 固定部材
５０ アーム部
５１ 第１アーム
５１ａ，５２ａ，５２ｂ 接続部
５１ｂ，５２ｂ 出し端部
５２ 第２アーム
６０，１６０ リンク機構
６１，１６１ 第１接続ピン
６１ａ，６２ａ，１６１ａ，１６２ａ ピボット
６２，１６２ 第２接続ピン
６３ 伸縮機構
６３ａ 直動案内部
６３ｂ 連結部
６４ 移動部
６４ａ 案内溝
７０ エンドエフェクタ
１０１ａ，１０２ｂ レゾルバステータ
１０１ｂ，１０２ａ レゾルバロータ
１０３ カバー
１２０ コントローラー
１２１ 第１ドライバ
１２２ 第２ドライバ
１６２ 第１連結部
１６３ 第１ベアリング
１６４ 第２ベアリング
１６５ ベースプレート
１６６ 第１案内部材
１６７ 第２案内部材

Claims (10)

1. ハウジングと、
   前記ハウジングに対して回転自在な第１ロータと、
   前記第１ロータの径方向外側に配置され、前記ハウジングに対して回転自在な第２ロータと、
   前記第１ロータに接続され、前記第１ロータの回転と連動して回転する第１アームと、
   前記第２ロータに接続され、前記第２ロータの回転と連動して回転する第２アームと、
   前記第１アームに接続される第１接続部と、前記第２アームに接続される第２接続部と、前記第２ロータの径方向外側に配置され前記第１接続部と前記第２接続部との距離に応じて前記第１アーム及び前記第２アームの回転軸の軸方向に移動する移動部と、を有するリンク機構と
   を備えるアクチュエータ。
2. 前記移動部は、前記第１アーム及び前記第２アームの回転により前記第１接続部と前記第２接続部とが前記第１アーム及び前記第２アームの回転方向について互いに離れる方向及び近づく方向に移動する場合には、前記第１アーム及び前記第２アームの回転に連動して前記軸方向に移動する
   請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記移動部は、前記第１アーム及び前記第２アームの回転により前記第１接続部と前記第２接続部とが同一方向に等速で移動する場合には、前記第１接続部及び前記第２接続部の移動に連動して回転軸の軸回り方向に移動する
   請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記移動部は、前記第１アーム及び前記第２アームの回転により前記第１接続部と前記第２接続部とが異なる速度で移動する場合には、前記第１接続部及び前記第２接続部の移動に連動して前記軸方向及び回転軸の軸回り方向に移動する
   請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
5. 前記第１アームは、前記第１ロータから前記第２ロータを跨いで前記第２ロータの径方向外側に向けて延びる第１直線部を有し、
   前記第２アームは、前記第２ロータの径方向外側に向けて延びる第２直線部を有し、
   前記リンク機構は、前記第１直線部及び前記第２直線部にそれぞれ接続される
   請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
6. 前記第１アームは、前記第２ロータに対して前記回転軸の軸方向に隔離して配置される
   請求項５に記載のアクチュエータ。
7. 前記第１アームは、前記第１ロータに接続される接続部分が、前記第１ロータの周方向に沿った円弧状の形状を有し、
   前記第２アームは、前記第２ロータに接続される接続部分が、前記第２ロータの周方向に沿った円弧状の形状を有する
   請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
8. 前記第１ロータ及び前記第２ロータは、前記回転軸の軸方向の一方の端部に、互いに面一状態となる平面部をそれぞれ有し、
   前記第１アームは、前記第１ロータの前記平面部に接続され、
   前記第２アームは、前記第２ロータの前記平面部に接続される
   請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
9. 前記リンク機構は、前記第１接続部と前記第２接続部とが前記第１アーム及び前記第２アームの回転方向について互いに離れる方向及び近づく方向に移動する場合に前記第１接続部及び前記第２接続部の移動に連動して前記軸方向に収縮又は伸長する伸縮機構を有し、
   前記移動部は、前記伸縮機構の伸縮に連動して前記軸方向に移動する
   請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
10. 前記リンク機構は、
    前記第１アームに接続された第１接続ピンと、
    前記第２アームに接続された第２接続ピンと、
    前記第１接続ピンを案内する第１案内部材と、前記第２接続ピンを案内する第２案内部材とを有するベースプレートと、
    を有し、
    前記第１案内部材及び前記第２案内部材は、前記ベースプレート上において、前記軸方向の一方から他方に掛けて互いの距離が徐々に大きくなる状態で配置される
    請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のアクチュエータ。

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