JP6899870B2 - 光ファイバ用母材の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る光ファイバの長手方向に垂直な断面の様子を示す図である。図1に示すように、本実施形態の光ファイバ1は、コア10と、コア10の外周面を囲むクラッド11と、クラッド11の外周面を被覆する被覆層12とを主な構成として備える。光ファイバ1の長手方向と垂直な断面におけるコア10の外形は円形とされ、当該コア10はクラッド11の中心に配置されている。なお、光ファイバ1の長手方向と垂直な断面におけるクラッド11の外形は楕円形や多角形等の非円形とされもよい。図1では、クラッド11の外形が円形とされる光ファイバ1が示されている。
本工程は、図3に示す堆積装置30を用いて出発母材20の外面にガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス体21を形成する工程である。本工程では、まず、上記の出発母材20を準備して旋盤32に当該出発母材20を把持させる。旋盤32は、制御部COからの制御信号により、把持する出発母材20を当該出発母材20の軸中心に所定の速度で回転させる。バーナー支持部34は、制御部COからの制御信号により、出発母材20の長手方向に沿って繰り返し往復移動し、支持する複数のバーナー33を出発母材20の長手方向に沿って繰り返し往復移動させる。また、ガス供給源35は、制御部COからの制御信号により、それぞれのバーナー33に、原料ガス、可燃性ガス、及び助燃性ガスをそれぞれ所定の流量で供給する。つまり、制御部COは、旋盤32、バーナー支持部34、ガス供給源35を制御して、複数のバーナー33を出発母材20の長手方向に沿って繰り返し往復移動させながら、旋盤32によって軸中心に回転する出発母材20の外周面にバーナー33によってガラス微粒子22を吹き付ける。そして、出発母材20の外周面を被覆するようにガラス微粒子22を堆積させる。このガラス微粒子22の堆積により、クラッド11となる多孔質ガラス体21が形成され、当該多孔質ガラス体21は出発母材20の外周面を被覆している。出発母材20は旋盤32に把持されているため、旋盤32は、出発母材20を介して多孔質ガラス体21を支持していると理解できる。
本工程は、堆積工程P1によって形成される多孔質ガラス体21を徐冷する工程であり、図4に示すように、離隔工程P2aとガス流量調節工程P2bとを含む。
本工程は、堆積工程P1後にバーナー33の噴出口33Hから原料ガス、可燃性ガス、及び助燃性ガスを噴出しながら噴出口33Hと多孔質ガラス体21との距離を長くする工程である。具体的には、制御部COは、ガス供給源35にそれぞれのバーナー33への各ガスの供給を堆積工程P1における状態に維持させる。そして、制御部COは、バーナー支持部34を移動させ、それぞれのバーナー33を当該バーナー33のガスの噴出方向と概ね平行で旋盤32に把持される出発母材20から離隔する方向に移動させる。つまり、それぞれのバーナー33を当該バーナー33のガスの噴出方向を維持しつつ出発母材20から離隔する方向に移動する。このとき、制御部COは、堆積工程P1における速度よりも速い速度でバーナー支持部34を移動させ、それぞれのバーナー33を出発母材20から離隔する方向に所定の距離だけ移動させる。このため、それぞれのバーナー33が所定の距離だけ移動した際の噴出口33Hと多孔質ガラス体21との距離は、堆積工程P1終了時における当該距離よりも長くなる。このように、制御部COは、ガス供給源35にそれぞれのバーナー33への各ガスの供給を維持させつつ、バーナー支持部34を旋盤32に対して相対的に移動させて噴出口33Hと多孔質ガラス体21との距離を長くする。従って、堆積工程P1のときと比べて、それぞれのバーナー33によって形成される火炎から多孔質ガラス体21に伝達する単位時間当たりの熱量を低減することができ、多孔質ガラス体21を徐冷することができる。なお、本工程において、制御部COは、旋盤32を制御して出発母材20の回転も堆積工程P1における状態に維持する。また、制御部COは、バーナー支持部34に複数のバーナー33の往復移動も堆積工程P1における状態に維持させる。このように、本工程は、堆積工程P1に連続して行われ、堆積工程P1における速度よりも速い速度で、それぞれのバーナー33を当該バーナー33のガスの噴出方向と概ね平行で出発母材20から離隔する方向に所定の距離だけ移動する。そして、それぞれのバーナー33のガスの出射方向を維持しつつこれらバーナー33を移動してそれぞれのバーナー33の噴出口33Hと多孔質ガラス体21との距離を長くしていると理解できる。
本工程は、それぞれのバーナー33に供給する可燃性ガスの流量を減少する工程である。離隔工程P2a後に、制御部COは、ガス供給源35にそれぞれのバーナー33に供給する可燃性ガスの流量を堆積工程P1における流量よりも減少させる。このため、堆積工程P1及び離隔工程P2aのときと比べて、それぞれのバーナー33によって形成される火炎が短くなる。従って、可燃性ガスの流量を減少しない場合と比べて、それぞれのバーナー33によって形成される火炎から多孔質ガラス体21に伝達する単位時間当たりの熱量を低減することができる。
次に、ガス供給源35からそれぞれのバーナー33への各ガスの供給を停止する。本実施形態では、制御部COは、ガス供給源35に原料ガス、助燃性ガス、可燃性ガスの順で、これらガスのそれぞれのバーナー33への供給を停止させる。なお、上記のように、ガス供給源35がそれぞれのバーナー33に助燃性ガスを供給しない場合、制御部COは、ガス供給源35に原料ガス、可燃性ガスの順で、それぞれのバーナー33へのこれらガスの供給を停止させる。つまり、本実施形態では、それぞれのバーナー33への原料ガスの供給を停止した後にそれぞれのバーナー33への可燃性ガスの供給を停止する。そして、制御部COは、旋盤32に出発母材20の回転を停止させ、バーナー支持部34に複数のバーナー33の往復移動を停止させる。
まず、必要に応じて多孔質ガラス体21が形成された出発母材20に脱水を行う。当該脱水は、ヒータが設けられ、アルゴン(Ar)、ヘリウム(He)等のガスが充填された炉内で所定時間エージングされることにより行われる。
図5は、本工程の様子を示す図である。
次に、本発明の第2実施形態について図6を参照して詳細に説明する。なお、第1実施形態と同一又は同等の構成要素については、同一の参照符号を付して特に説明する場合を除き重複する説明は省略する。
図3に示す堆積装置30と同様の堆積装置を用いて図4に示す製造方法の一部によって、出発母材20の外周面に多孔質ガラス体21を形成した。具体的には、堆積工程P1として、まず、コア10となるコアガラス体10Pからなる円柱状の出発母材20を準備した。この出発母材20を軸中心に所定の速度で回転させ、それぞれのバーナー33に原料ガス、可燃性ガス、及び助燃性ガスを供給した。そして、それぞれのバーナー33を出発母材20の長手方向に沿って繰り返し往復移動させながら、出発母材20の外周面にガラス微粒子22を堆積して、所定の重量の多孔質ガラス体21を形成した。このとき、それぞれのバーナー33を当該バーナー33のガスの噴出方向を維持しつつ出発母材20から離隔する方向に徐々に移動して、それぞれのバーナー33の噴出口33Hと多孔質ガラス体21との距離を概ね一定に維持した。本実施例では、原料ガスはオクタメチルシクロテトラシロキサンとし、可燃性ガスは水素とし、助燃性ガスは酸素とした。また、それぞれのバーナー33に供給する原料ガスの流量は1.5SLMとし、可燃性ガスの流量は44SLMとし、助燃性ガスの流量は20SLMとした。また、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの当該多孔質ガラス体21の表面の最高温度は850℃であった。次に、徐冷工程P2における離隔工程P2aとして、それぞれのバーナー33への原料ガス、可燃性ガス、及び助燃性ガスの供給を維持するとともに、それぞれのバーナー33を当該バーナー33のガスの出射方向を維持しつつ出発母材20から離隔する方向に所定の距離だけ移動した。そして、噴出口33Hと多孔質ガラス体21との距離を、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの距離よりも長くし、ガス流量調節工程P2bは行わなかった。なお、それぞれのバーナー33を所定の距離だけ移動したとき、それぞれのバーナー33によって形成される火炎は多孔質ガラス体21に当たっていた。次に、ガス供給停止工程P3として、原料ガス、可燃性ガス、助燃性ガスの順でこれらガスのバーナー33への供給を停止した。これらガスの供給を停止したときの多孔質ガラス体21の表面の最高温度は780℃であった。その後、多孔質ガラス体21を大気中に放置して自然空冷した。冷却された多孔質ガラス体21を目視で観察した。多孔質ガラス体21に割れは生じていなかった。
離隔工程P2aとしてそれぞれのバーナー33を移動するときに、ガス流量調節工程P2bとしてそれぞれのバーナー33に供給する可燃性ガスの流量を36SLMに減少した以外は、実施例1と同様にして、多孔質ガラス体21を形成した。本実施例では、第1実施例と同様に、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの当該多孔質ガラス体21の表面の最高温度は850℃であった。また、離隔工程P2aとしてそれぞれのバーナー33を所定の距離だけ移動したとき、それぞれのバーナー33によって形成される火炎は多孔質ガラス体21に当たっていた。次に、実施例1と同様に、それぞれのバーナー33への各ガスの供給を停止し、多孔質ガラス体21を自然空冷した。ガスの供給を停止したときの多孔質ガラス体21の表面の最高温度は760℃であった。
ガス流量調節工程P2bとしてそれぞれのバーナー33に供給する可燃性ガスの流量を34SLMに減少した以外は、実施例2と同様にして、多孔質ガラス体21を形成した。本実施例では、第1実施例と同様に、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの当該多孔質ガラス体21の表面の最高温度は850℃であった。また、離隔工程P2aとしてそれぞれのバーナー33を所定の距離だけ移動したとき、それぞれのバーナー33によって形成される火炎は多孔質ガラス体21に当たっていた。次に、実施例2と同様に、それぞれのバーナー33への各ガスの供給を停止し、多孔質ガラス体21を自然空冷した。ガスの供給を停止したときの多孔質ガラス体21の表面の最高温度は740℃であった。
離隔工程P2aとしてそれぞれのバーナー33を移動するときに、ガス流量調節工程P2bとしてそれぞれのバーナー33に供給する可燃性ガスの流量を26SLMに減少するとともに助燃性ガスの流量を12SLMに減少した以外は、実施例1と同様にして、多孔質ガラス体21を形成した。本実施例では、第1実施例と同様に、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの当該多孔質ガラス体21の表面の最高温度は850℃であった。また、離隔工程P2aとしてそれぞれのバーナー33を所定の距離だけ移動したとき、それぞれのバーナー33によって形成される火炎は多孔質ガラス体21に当たっていなかった。次に、実施例1と同様に、それぞれのバーナー33への各ガスの供給を停止し、多孔質ガラス体21を自然空冷した。ガスの供給を停止したときの多孔質ガラス体21の表面の最高温度は680℃であった。
ガス流量調節工程P2bとしてそれぞれのバーナー33に供給する可燃性ガスの流量を19SLMに減少するとともに助燃性ガスの流量を12SLMに減少した以外は、実施例4と同様にして、多孔質ガラス体21を形成した。本実施例では、第1実施例と同様に、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの当該多孔質ガラス体21の表面の最高温度は850℃であった。また、離隔工程P2aとしてそれぞれのバーナー33を所定の距離だけ移動したとき、それぞれのバーナー33によって形成される火炎は多孔質ガラス体21に当たっていなかった。次に、実施例4と同様に、それぞれのバーナー33への各ガスの供給を停止し、多孔質ガラス体21を自然空冷した。ガスの供給を停止したときの多孔質ガラス体21の表面の最高温度は630℃であった。
図6に示す堆積装置30と同様の堆積装置を用いて図4に示す製造方法の一部によって、出発母材20の外周面に多孔質ガラス体21を形成した。具体的には、堆積工程P1として、実施例1の出発母材20と同様の出発母材20を準備し、この出発母材20を軸中心に所定の速度で回転させ、それぞれのバーナー33に原料ガス、可燃性ガス、及び助燃性ガスを供給した。そして、実施例1と同様に、それぞれのバーナー33を出発母材20の長手方向に沿って繰り返し往復移動させながら、出発母材20の外周面にガラス微粒子22を堆積して、所定の重量の多孔質ガラス体21を形成した。このとき、実施例1と同様に、それぞれのバーナー33を当該バーナー33のガスの噴出方向を維持しつつ出発母材20から離隔する方向に徐々に移動して、それぞれのバーナー33の噴出口33Hと多孔質ガラス体21との距離を概ね一定に維持した。また、実施例1と同様に、原料ガスはオクタメチルシクロテトラシロキサンとし、可燃性ガスは水素とし、助燃性ガスは酸素とし、それぞれのバーナー33に供給する原料ガスの流量は1.5SLMとし、可燃性ガスの流量は44SLMとし、助燃性ガスの流量は20SLMとした。また、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの当該多孔質ガラス体21の表面の最高温度は850℃であった。次に、徐冷工程P2における離隔工程P2aとして、それぞれのバーナー33への原料ガス、可燃性ガス、及び助燃性ガスの供給を維持するとともに、図7に示すようにそれぞれのバーナー33の噴出口33Hが出発母材20から離れるようにそれぞれのバーナー33のガスの噴出方向を変更した。そして、噴出口33Hと多孔質ガラス体21との距離を、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの距離よりも長くし、ガス流量調節工程P2bは行わなかった。なお、それぞれのバーナー33のガスの噴出方向を変更したとき、それぞれのバーナー33によって形成される火炎は多孔質ガラス体21に当たっていなかった。次に、ガス供給停止工程P3として、原料ガス、可燃性ガス、助燃性ガスの順でこれらガスのバーナー33への供給を停止した。これらガスの供給を停止したときの多孔質ガラス体21の表面の最高温度は670℃であった。その後、多孔質ガラス体21を大気中に放置して自然空冷した。
離隔工程P2aとしてそれぞれのバーナー33のガスの噴出方向を変更するときに、ガス流量調節工程P2bとしてそれぞれのバーナー33に供給する可燃性ガスの流量を36SLMに減少した以外は、実施例6と同様にして、多孔質ガラス体21を形成した。本実施例では、第6実施例と同様に、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの当該多孔質ガラス体21の表面の最高温度は850℃であった。また、離隔工程P2aとしてそれぞれのバーナー33のガスの噴出方向を変更したとき、それぞれのバーナー33によって形成される火炎は多孔質ガラス体21に当たっていなかった。次に、実施例6と同様に、それぞれのバーナー33への各ガスの供給を停止し、多孔質ガラス体21を自然空冷した。ガスの供給を停止したときの多孔質ガラス体21の表面の最高温度は660℃であった。
ガス流量調節工程P2bとしてそれぞれのバーナー33に供給する可燃性ガスの流量を34SLMに減少した以外は、実施例7と同様にして、多孔質ガラス体21を形成した。本実施例では、第6実施例と同様に、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの当該多孔質ガラス体21の表面の最高温度は850℃であった。また、離隔工程P2aとしてそれぞれのバーナー33のガスの噴出方向を変更したとき、それぞれのバーナー33によって形成される火炎は多孔質ガラス体21に当たっていなかった。次に、実施例7と同様に、それぞれのバーナー33への各ガスの供給を停止し、多孔質ガラス体21を自然空冷した。ガスの供給を停止したときの多孔質ガラス体21の表面の最高温度は660℃であった。
離隔工程P2aとしてそれぞれのバーナー33のガスの噴出方向を変更するときに、ガス流量調節工程P2bとしてそれぞれのバーナー33に供給する可燃性ガスの流量を26SLMに減少するとともに助燃性ガスの流量を12SLMに減少した以外は、実施例6と同様にして、多孔質ガラス体21を形成した。本実施例では、第6実施例と同様に、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの当該多孔質ガラス体21の表面の最高温度は850℃であった。また、離隔工程P2aとしてそれぞれのバーナー33のガスの噴出方向を変更したとき、それぞれのバーナー33によって形成される火炎は多孔質ガラス体21に当たっていなかった。次に、実施例6と同様に、それぞれのバーナー33への各ガスの供給を停止し、多孔質ガラス体21を自然空冷した。ガスの供給を停止したときの多孔質ガラス体21の表面の最高温度は610℃であった。
ガス流量調節工程P2bとしてそれぞれのバーナー33に供給する可燃性ガスの流量を19SLMに減少するとともに助燃性ガスの流量を12SLMに減少した以外は、実施例9と同様にして、多孔質ガラス体21を形成した。本実施例では、第6実施例と同様に、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの当該多孔質ガラス体21の表面の最高温度は850℃であった。また、離隔工程P2aとしてそれぞれのバーナー33のガスの噴出方向を変更したとき、それぞれのバーナー33によって形成される火炎は多孔質ガラス体21に当たっていなかった。次に、実施例9と同様に、それぞれのバーナー33への各ガスの供給を停止し、多孔質ガラス体21を自然空冷した。ガスの供給を停止したときの多孔質ガラス体21の表面の最高温度は605℃であった。
離隔工程P2aを行わなかった以外は、第1実施形態と同様にして、出発母材20の外周面にガラス微粒子22を堆積して、所定の重量の多孔質ガラス体21を形成した。次に、実施例1と同様に、それぞれのバーナー33への各ガスの供給を停止し、多孔質ガラス体21を自然空冷した。本比較例では、第1実施例と同様に、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの当該多孔質ガラス体21の表面の最高温度は850℃であった。また、ガスの供給を停止したときの多孔質ガラス体21の表面の最高温度は880℃であった。また、本比較例では、ガスの供給を停止するまでそれぞれのバーナー33によって形成される火炎は多孔質ガラス体21に当たっていた。
離隔工程P2aを行わなかった以外は、第2実施形態と同様にして、出発母材20の外周面にガラス微粒子22を堆積して、所定の重量の多孔質ガラス体21を形成した。次に、実施例2と同様に、それぞれのバーナー33への各ガスの供給を停止し、多孔質ガラス体21を自然空冷した。本比較例では、第6実施例と同様に、多孔質ガラス体21が所定の重量となったときの当該多孔質ガラス体21の表面の最高温度は850℃であった。また、ガスの供給を停止したときの多孔質ガラス体21の表面の最高温度は860℃であった。また、本比較例では、ガスの供給を停止するまでそれぞれのバーナー33によって形成される火炎は多孔質ガラス体21に当たっていた。
1P・・・光ファイバ用母材
10・・・コア
10P・・・コアガラス体
11・・・クラッド
11P・・・クラッドガラス体
12・・・被覆層
20・・・出発母材
21・・・多孔質ガラス体
22・・・ガラス微粒子
30・・・堆積装置(光ファイバ用母材の製造装置)
31・・・ケース
32・・・旋盤
33・・・バーナー
34・・・バーナー支持部
35・・・ガス供給源
P1・・・堆積工程
P2・・・徐冷工程
P2a・・・離隔工程
P2b・・・ガス流量調節工程
P3・・・ガス供給停止工程
P4・・・焼結工程
P5・・・線引工程
Claims (10)
- 可燃性ガスと原料ガスとを含むガスをバーナーの噴出口から噴出してガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス体を形成する堆積工程と、
前記堆積工程後に前記ガスを前記噴出口から噴出しながら前記噴出口と前記多孔質ガラス体との距離を長くする離隔工程を含む徐冷工程と、
を備える
ことを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。 - 前記離隔工程において、前記バーナーの前記ガスの噴出方向を維持する
ことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 前記離隔工程において、前記バーナーの前記ガスの噴出方向を変化する
ことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 前記徐冷工程は、前記バーナーに供給する前記可燃性ガスの流量を減少させるガス流量調節工程を更に含む
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 前記バーナーの前記噴出口から噴出する前記ガスは、助燃性ガスを更に含み、
前記ガス流量調節工程において、前記バーナーに供給する前記可燃性ガスの流量または前記可燃性ガス及び前記助燃性ガスの流量を減少する
ことを特徴とする請求項4に記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 前記離隔工程の後に前記ガス流量調節工程を行う
ことを特徴とする請求項4または5に記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 前記離隔工程の前に前記ガス流量調節工程を行う
ことを特徴とする請求項4または5に記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 前記離隔工程中に前記ガス流量調節工程を行う
ことを特徴とする請求項4または5に記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 前記徐冷工程の後に前記原料ガス、前記可燃性ガスの順で前記バーナーへの供給を停止するガス供給停止工程を更に備える
ことを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 前記バーナーの前記噴出口から噴出する前記ガスは、助燃性ガスを更に含み、
前記ガス供給停止工程において、前記原料ガス、前記助燃性ガス、前記可燃性ガスの順で前記バーナーへの供給を停止する
ことを特徴とする請求項9に記載の光ファイバ用母材の製造方法。
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