JP6895582B2 - 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム - Google Patents
基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6895582B2 JP6895582B2 JP2020506038A JP2020506038A JP6895582B2 JP 6895582 B2 JP6895582 B2 JP 6895582B2 JP 2020506038 A JP2020506038 A JP 2020506038A JP 2020506038 A JP2020506038 A JP 2020506038A JP 6895582 B2 JP6895582 B2 JP 6895582B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- exhaust pipe
- processing
- gas
- exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 216
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 37
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 171
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 54
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 54
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 32
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 17
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 15
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 15
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 46
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 21
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 16
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 16
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 14
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 14
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 9
- 229920001709 polysilazane Polymers 0.000 description 9
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 8
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 7
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 7
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 7
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 7
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 6
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 5
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LGCMKPRGGJRYGM-UHFFFAOYSA-N Osalmid Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1NC(=O)C1=CC=CC=C1O LGCMKPRGGJRYGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- TUJKJAMUKRIRHC-UHFFFAOYSA-N hydroxyl Chemical compound [OH] TUJKJAMUKRIRHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 238000007634 remodeling Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4412—Details relating to the exhausts, e.g. pumps, filters, scrubbers, particle traps
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/52—Controlling or regulating the coating process
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02164—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon oxide, e.g. SiO2
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02205—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition
- H01L21/02208—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si
- H01L21/02219—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound comprising silicon and nitrogen
- H01L21/02222—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound comprising silicon and nitrogen the compound being a silazane
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02282—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process liquid deposition, e.g. spin-coating, sol-gel techniques, spray coating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02321—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment introduction of substances into an already existing insulating layer
- H01L21/02323—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment introduction of substances into an already existing insulating layer introduction of oxygen
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67109—Apparatus for thermal treatment mainly by convection
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Description
以下、本発明の一実施形態について、図1〜図4を用いて説明する。
図1に示すように、処理炉202は反応管203を備えている。反応管203は、例えば石英(SiO2)等の耐熱性材料により構成され、上端にガス供給ポート203pを有し、下端に炉口(開口)を有する円筒部材として構成されている。反応管203の筒中空部には、処理室201が形成される。処理室201は、複数枚の基板としてのウエハ200を収容可能に構成されている。
ここで、ウエハ200に対して基板処理工程を実施する前に行われる事前処理工程について、図3を用いて説明する。
続いて、上述の基板処理装置を用い、半導体装置の製造工程の一工程として実施される基板処理工程の一例について、図4を用いて説明する。以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作は、コントローラ121により制御される。
表面にポリシラザン膜が形成された複数枚のウエハ200が、ボート217に装填される。その後、図1に示すように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内へ搬入される。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220を介して反応管203の下端をシールした状態となる。
処理室201内、すなわち、ウエハ200が存在する空間が所定の圧力(第1処理圧力)となるように、APCバルブ244a及び微減圧ポンプ247によって処理室201内が微減圧・大気排気される。この際、バルブ248aを開き且つバルブ248bを閉じた状態で微減圧ポンプ247が駆動され、処理室201内の圧力は圧力センサ245aで測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244aがフィードバック制御される。すなわち、微減圧排気系を用いた処理が行われる。
続いて、バルブ243aを開き、MFC241a、ガス供給管232a、ガス供給ポート203pを介した処理室201内へのH2O2含有ガス(処理ガス)の供給を開始する。処理室201内へ供給された処理ガスは、処理室201内の下方に向かって流れ、排気管231を介して処理室201の外部へ排出される。すなわち、処理ガスを処理室内に供給しながら、バルブ248aを開き且つバルブ248bを閉じた状態で微減圧ポンプ247を駆動させる、微減圧排気系を用いた第1処理を行う。このとき、圧力センサ245aで測定された圧力が、第1圧力領域(600Torr〜大気圧)における所定の第1処理圧力であって、例えば730TorrとなるようにAPCバルブ244aを制御する。このとき、ウエハ200に対して処理ガスが供給される。その結果、ウエハ200の表面で酸化反応が生じ、ウエハ200上のポリシラザン膜は、シリコン酸化膜(SiO膜)へと改質される。
液体原料のH2O2濃度:20〜40%、好ましくは25〜35%、
改質圧力:600Torr以上、好ましくは700Torr〜大気圧(大気圧又は微減圧)、
ウエハ200の温度:70〜110℃、好ましくは70〜80℃、
液体原料の供給流量:1.0〜10sccm、好ましくは1.6〜8sccm、
気化ガスのH2O2濃度:1〜12モル%、
O2ガス(キャリアガス)の流量:0〜20SLM、好ましくは5〜10SLM
ガス供給時間:10〜720分
続いて、第1改質工程が終了したら、バルブ248aを閉じてから、バルブ248bを開くことにより排気系統を微減圧排気系から真空排気系に切り換える。そして、真空ポンプ247によって処理室201内を真空排気し、APCバルブ244bによって処理室201内が所定の圧力(第2処理圧力)となるように圧力調整する。この際、バルブ248bを開き且つバルブ248aを閉じた状態で真空ポンプ247が駆動され、処理室201内の圧力は圧力センサ245bで測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244bがフィードバック制御される。
続いて、上述した第1改質工程と同様に、バルブ243aを開き、処理室201内へのH2O2含有ガス(処理ガス)の供給を開始することにより、ウエハ200に対するH2O2含有ガスの供給を再び行う。すなわち、処理ガスを処理室201内に供給しながら、バルブ248aを閉じ且つバルブ248bを開いた状態で真空ポンプ246を駆動させる真空排気系を用いた第2処理を行う。このとき、圧力センサ245bで測定された圧力が第1処理圧力よりも低い所定の第2処理圧力である600Torr未満の圧力であって、例えば400〜500Torrの圧力となるようにAPCバルブ244bを制御する。本工程においても、第1改質工程と同様に、処理室201内へのO2ガスの供給を行うようにしてもよい。
液体原料のH2O2濃度:20〜40%、好ましくは25〜35%、
改質圧力:600Torr未満、好ましくは400〜500Torr(減圧または真空)、
ウエハ200の温度:70〜110℃、好ましくは70〜80℃、
液体原料の供給流量:1.0〜10sccm、好ましくは1.6〜8sccm、
気化ガスのH2O2濃度:1〜12モル%、
O2ガス(キャリアガス)の流量:0〜20SLM、好ましくは5〜10SLM
ガス供給時間:10〜720分
第2改質工程(S50)が終了したら、ヒータ207を制御し、ウエハ200を、上述の改質温度よりも高い温度であって、かつ、上述のプリベーク温度以下の所定の温度(乾燥温度)に加熱する。乾燥温度は、例えば120〜160℃の範囲内の温度とすることができる。ウエハ200を加熱することにより、処理室201内の温度も上昇する。昇温後、この温度を保持することにより、ウエハ200と処理室201内とを緩やかに乾燥させる。第1乾燥工程の処理圧力は、例えば第1改質工程(S30)の処理圧力と同様とする。すなわち、第2改質工程(S50)の終了後、バルブ248bを閉じて、バルブ248aを開くことにより、排気系統を真空排気系から微減圧排気系へ切り換える。そして、微減圧ポンプ247を駆動させながらAPCバルブ244aにより圧力調整を行い、微減圧排気系を用いて処理室201内及び排気管231内の残留ガスを排気する。第1乾燥処理を行うことで、ポリシラザン膜から離脱した副生成物であるアンモニア(NH3)、塩化アンモニウム(NH4Cl)、C、Hの他、溶媒に起因するアウトガス等の不純物、H2O2に由来する不純物等を、SiO膜やその表面から除去することができる。また、これらの物質のウエハ200への再付着を抑制することもできる。
続いて、ウエハ200が乾燥したら、排気系統を微減圧排気系から真空排気系に切り換えて処理室201内を乾燥させる。すなわち、第1乾燥工程(S60)の終了後、バルブ248aを閉じて、バルブ248bを開くことにより、排気系統を微減圧排気系から真空排気系へ切り換える。そして、真空ポンプ246を駆動させながらAPCバルブ244bにより圧力調整を行い、真空排気系を用いて処理室201内及び排気管231内を更に排気する。第2乾燥処理工程(S70)の処理圧力は、例えば第2改質工程(S50)の処理圧力と同様とするが、処理室201内の乾燥を促進するため、更に低い圧力としてもよい。
第2乾燥工程(S70)が終了した後、排気系統を真空排気系から微減圧排気系に切り換えて、処理室201内へN2ガスを供給する。この際、APCバルブ244bにより処理室201内の圧力を、例えば大気圧となるように調整して、処理室201内を大気圧に復帰させ、処理室201内の熱容量を増加させる。これにより、ウエハ200や処理室201内の部材を均一に加熱することができ、真空排気で除去できなかったパーティクル、不純物、アウトガス等を処理室201内から除去することが可能となる。所定時間経過した後、処理室201内を所定の搬出可能温度に降温させる。
ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降され、反応管203の下端が開口される。そして、処理済のウエハ200が、ボート217に支持された状態で、反応管203の下端から反応管203の外部に搬出される。処理済のウエハ200は、反応管203の外部に搬出された後、ボート217より取り出される。
上述の実施形態では、金属との高い反応性を有する化合物を含む処理ガスとして過酸化水素水の気化ガスを用いる例について説明したが、H2O2以外の金属との高い反応性を有する化合物を含む処理ガスを用いてもよい。
201 処理室
244a、244b APCバルブ
245a、245b 圧力センサ
246 真空ポンプ
247 微減圧ポンプ
Claims (17)
- 基板を収容する処理室と、
金属と反応する化合物を含む処理ガスを前記処理室内に供給するガス供給系と、
前記処理室内の雰囲気を排気するガス排気系と、
前記ガス供給系及び前記ガス排気系を制御するよう構成された制御部と、を備え、
前記ガス排気系は、
前記処理室に連通される共通排気配管と、
一端が第1バルブ及び第1圧力調整弁を介して前記共通排気配管に接続され、前記化合物と反応しない樹脂で構成された第1排気配管と、
一端が第2バルブ及び第2圧力調整弁を介して前記共通排気配管に接続され、前記第2圧力調整弁よりも下流側の区間は、配管内面が前記樹脂で表面処理されていない金属配管で構成された第2排気配管と、
前記第1排気配管に接続され、所定の第1圧力領域の圧力まで前記第1排気配管内を排気するよう構成される第1排気装置と、
前記第2排気配管に接続され、前記第1圧力領域よりも低い第2圧力領域の圧力まで前記第2排気配管内を排気するよう構成される第2排気装置と、
を備え、
前記制御部は、前記処理ガスを前記処理室内に供給しながら、前記第1バルブを開いて前記処理室内の前記処理ガスを含む雰囲気を排気する処理と、前記第2バルブを開いて前記処理室内の前記処理ガスを含む雰囲気を排気する処理と、を行うように前記ガス供給系及び前記ガス排気系を制御するよう構成される基板処理装置。 - 前記共通排気配管は、配管内表面が前記化合物と反応しないよう表面処理された金属配管である請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1排気装置は、前記化合物と反応しない樹脂部品により構成されている請求項1又は2に記載の基板処理装置。
- 前記共通排気配管内の圧力を第1圧力領域の範囲で測定する第1圧力センサと、
前記共通排気配管内の圧力を前記第1圧力領域及び前記第1圧力領域よりも低い第2圧力領域の範囲で測定する第2圧力センサと、を備え、
前記第1圧力調整弁は、前記第1圧力センサで測定された圧力に基づいて開度が制御され、
前記第2圧力調整弁は、前記第2圧力センサで測定された圧力に基づいて開度が制御される
請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 前記第1圧力センサで測定される圧力の範囲は、前記第2圧力センサで測定される圧力の範囲よりも狭い請求項4記載の基板処理装置。
- 前記第1圧力センサは600Torr〜大気圧の範囲の圧力のみを測定するように構成され、前記第2圧力センサは0Torr〜大気圧の範囲の圧力を測定するように構成されている請求項5記載の基板処理装置。
- 前記第2圧力調整弁は、前記第2排気配管上の前記第2排気装置よりも上流側に設けられ、
前記第2排気配管のうち、前記第2圧力調整弁と前記第2排気装置との間は金属配管で構成されている請求項1〜6のいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 前記第2排気配管のうち、前記第2バルブと前記第2圧力調整弁との間は、配管内表面が前記化合物と反応しないよう表面処理された金属配管である請求項7記載の基板処理装置。
- 前記ガス供給系を制御して、処理ガスを前記処理室内に供給しながら、前記第1バルブを開き且つ前記第2バルブを閉じた状態で前記第1排気装置を駆動させる第1処理と、前記第1バルブを閉じ且つ前記第2バルブを開いた状態で前記第2排気装置を駆動させる第2処理と、を行うように各構成を制御する制御部を備える請求項4〜6のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記第1処理では、前記第1圧力センサで測定された圧力が所定の第1処理圧力となるように前記第1圧力調整弁を制御し、前記第2処理では、前記第2圧力センサで測定された圧力が前記第1処理圧力よりも低い所定の第2処理圧力となるように前記第2圧力調整弁を制御する請求項9記載の基板処理装置。
- 前記第1処理圧力は600Torr〜大気圧の範囲の所定の圧力である請求項10記載の基板処理装置。
- 前記処理ガスは前記化合物として過酸化水素を含むガスである請求項1〜11のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記処理ガスを前記処理室内に供給しながら、前記第2バルブを開くように前記ガス供給系及び前記ガス排気系を制御するよう構成される請求項1〜12のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 基板を処理室内に載置する工程と、
金属と反応する化合物を含む処理ガスを前記処理室内に供給しつつ、前記処理室に連通される共通排気配管と、一端が第1バルブ及び第1圧力調整弁を介して前記共通排気配管に接続され、前記化合物と反応しない樹脂で構成された第1排気配管と、前記第1排気配管に接続され、所定の第1圧力領域の圧力まで前記第1排気配管内を排気するよう構成される第1排気装置により、前記処理室内の前記処理ガスを含む雰囲気を排気する工程と、
前記共通排気配管と、一端が第2バルブ及び第2圧力調整弁を介して前記共通排気配管に接続され、前記第2圧力調整弁よりも下流側の区間は、配管内面が前記樹脂で表面処理されていない金属配管で構成された第2排気配管と、前記第2排気配管に接続された第2排気装置により、前記処理室内の前記処理ガスを含む雰囲気を排気する工程と、
を備える半導体装置の製造方法。 - 前記共通排気配管と前記第2排気配管と前記第2排気装置により前記処理室内の前記処理ガスを含む雰囲気を排気する工程は、前記処理ガスを前記処理室内に供給しながら実行される、請求項14記載の半導体装置の製造方法。
- 基板を基板処理装置の処理室内に載置する手順と、
金属と反応する化合物を含む処理ガスを前記処理室内に供給しつつ、前記処理室に連通される共通排気配管と、一端が第1バルブ及び第1圧力調整弁を介して前記共通排気配管に接続され、前記化合物と反応しない樹脂で構成された第1排気配管と、前記第1排気配管に接続され、所定の第1圧力領域の圧力まで前記第1排気配管内を排気するよう構成される第1排気装置により、前記処理室内の前記処理ガスを含む雰囲気を排気する手順と、
前記共通排気配管と、一端が第2バルブ及び第2圧力調整弁を介して前記共通排気配管に接続され、前記第2圧力調整弁よりも下流側の区間は、配管内面が前記樹脂で表面処理されていない金属配管で構成された第2排気配管と、前記第2排気配管に接続された第2排気装置により、前記処理室内の前記処理ガスを含む雰囲気を排気する手順と、
をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。 - 前記共通排気配管と前記第2排気配管と前記第2排気装置により前記処理室内の前記処理ガスを含む雰囲気を排気する手順は、前記処理ガスを前記処理室内に供給しながら実行される、請求項16記載のプログラム。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/010051 WO2019176031A1 (ja) | 2018-03-14 | 2018-03-14 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019176031A1 JPWO2019176031A1 (ja) | 2020-12-17 |
JP6895582B2 true JP6895582B2 (ja) | 2021-06-30 |
Family
ID=67907587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020506038A Active JP6895582B2 (ja) | 2018-03-14 | 2018-03-14 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11499224B2 (ja) |
JP (1) | JP6895582B2 (ja) |
KR (1) | KR102421513B1 (ja) |
CN (1) | CN111868893A (ja) |
SG (1) | SG11202007004QA (ja) |
WO (1) | WO2019176031A1 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0831814A (ja) * | 1994-07-14 | 1996-02-02 | Hitachi Ltd | Si酸化膜の形成方法および半導体装置 |
JP3935924B2 (ja) * | 2000-06-30 | 2007-06-27 | シーケーディ株式会社 | プロセスチャンバ内真空圧力制御システム |
JP3872952B2 (ja) * | 2000-10-27 | 2007-01-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置及び熱処理方法 |
KR100781414B1 (ko) * | 2000-10-27 | 2007-12-03 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 열처리장치 |
JP2002353210A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-06 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置および熱処理方法 |
JP4242733B2 (ja) * | 2003-08-15 | 2009-03-25 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法 |
KR101615584B1 (ko) * | 2011-11-21 | 2016-04-26 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 반도체 장치의 제조 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체 |
KR20150119293A (ko) | 2013-03-26 | 2015-10-23 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리 장치 및 기록 매체 |
KR102243359B1 (ko) * | 2016-08-10 | 2021-04-22 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기판 처리 장치, 금속 부재 및 반도체 장치의 제조 방법 |
-
2018
- 2018-03-14 SG SG11202007004QA patent/SG11202007004QA/en unknown
- 2018-03-14 JP JP2020506038A patent/JP6895582B2/ja active Active
- 2018-03-14 KR KR1020207020856A patent/KR102421513B1/ko active IP Right Grant
- 2018-03-14 WO PCT/JP2018/010051 patent/WO2019176031A1/ja active Application Filing
- 2018-03-14 CN CN201880091179.2A patent/CN111868893A/zh active Pending
-
2020
- 2020-07-20 US US16/933,009 patent/US11499224B2/en active Active
-
2022
- 2022-10-12 US US17/964,651 patent/US20230041284A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102421513B1 (ko) | 2022-07-15 |
KR20200095565A (ko) | 2020-08-10 |
SG11202007004QA (en) | 2020-08-28 |
JPWO2019176031A1 (ja) | 2020-12-17 |
US20200347498A1 (en) | 2020-11-05 |
CN111868893A (zh) | 2020-10-30 |
US20230041284A1 (en) | 2023-02-09 |
US11499224B2 (en) | 2022-11-15 |
WO2019176031A1 (ja) | 2019-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6417052B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | |
JP6457104B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | |
US9793112B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device and non-transitory computer-readable recording medium | |
JPWO2014021220A1 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | |
KR101718419B1 (ko) | 기판 처리 방법, 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체 | |
US11035037B2 (en) | Substrate processing apparatus and metal member | |
JP6895582B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | |
JP6836655B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | |
US20210202232A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus and non-transitory computer-readable recording medium | |
US10985017B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device and non-transitory computer-readable recording medium | |
US11168396B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device and recording medium | |
KR20220113268A (ko) | 성막 방법 | |
WO2018020590A1 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200625 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200625 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20201102 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210426 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210518 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210607 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6895582 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |