JP6894149B2 - 位置測定装置 - Google Patents
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- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 148
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 54
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 23
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 description 21
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Optical Transform (AREA)
Description
(数4)U2=Xa+Xp2−D
(数5)U3=Xa+Xp3−2D
(数6)U4=Xa+Xp4−3D
Claims (9)
- 行方向および列方向に2次元配列された複数の画素を備える画像センサと、
行方向に配列された複数の画素によってそれぞれが構成された複数の画素行のうち、いずれかを選択する行選択部と、
前記行選択部によって選択された画素行に属する複数の画素から、画素値を順次読み出す列選択読み出し部と、
スケールに設けられたマーカの検出位置であって、前記画像センサにおける検出位置を、前記列選択読み出し部によって読み出された複数の画素値に基づいて求め、前記検出位置に基づいて、前記画像センサと前記スケールとの位置関係を測定する制御部と、
を備え、
前記画像センサの検出面は、複数の前記マーカに対向し、
前記制御部は、前記検出面に対向する複数の前記マーカのそれぞれについて前記検出位置を求めることで、前記スケールについて複数の仮位置を測定し、
複数の前記仮位置に基づいて、前記画像センサと前記スケールとの位置関係を測定することを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1に記載の位置測定装置において、
前記マーカは、
列方向に延伸する線状をなしており、
前記列選択読み出し部は、
前記行選択部によって選択された複数の画素行のそれぞれから、画素値を順次読み出し、
前記制御部は、
前記列選択読み出し部によって読み出された画素値がピークとなるピーク画素を前記複数の画素行について特定し、前記複数の画素行のそれぞれにおいて特定されたピーク画素に基づいて、前記検出位置を求めることを特徴とする位置測定装置。 - 行方向および列方向に2次元配列された複数の画素を備える画像センサと、
行方向に配列された複数の画素によってそれぞれが構成された複数の画素行のうち、いずれかを選択する行選択部と、
前記行選択部によって選択された画素行に属する複数の画素から、画素値を順次読み出す列選択読み出し部と、
スケールに設けられたマーカの検出位置であって、前記画像センサにおける検出位置を、前記列選択読み出し部によって読み出された複数の画素値に基づいて求め、前記検出位置に基づいて、前記画像センサと前記スケールとの位置関係を測定する制御部と、
を備え、
前記マーカは、
列方向に延伸する線状をなしており、
前記列選択読み出し部は、
前記行選択部によって選択された複数の画素行から、1列ごとに当該複数の画素行に対する合成画素値を画素値として読み出し、当該複数の画素行に対する画素値を1列ごとに順次読み出し、
前記制御部は、
前記列選択読み出し部によって読み出された画素値がピークとなるピーク画素を前記複数の画素行について特定し、前記複数の画素行に対して特定されたピーク画素に基づいて、前記検出位置を求め、
前記制御部は、前記マーカが延伸する範囲に対応して、前記行選択部に複数の画素行を同時に選択させて前記マーカを線として捉え、
前記列選択読み出し部は、前記マーカの複数の位置に合わせて画素列を順次選択し、
前記制御部は、前記マーカを追跡し、前記マーカの追跡結果に応じて、前記画像センサと前記スケールとの位置関係を測定することを特徴とする位置測定装置。 - 行方向および列方向に2次元配列された複数の画素を備える画像センサと、
行方向に配列された複数の画素によってそれぞれが構成された複数の画素行のうち、いずれかを選択する行選択部と、
前記行選択部によって選択された画素行に属する複数の画素から、画素値を順次読み出す列選択読み出し部と、
スケールに設けられたマーカの検出位置であって、前記画像センサにおける検出位置を、前記列選択読み出し部によって読み出された複数の画素値に基づいて求め、前記検出位置に基づいて、前記画像センサと前記スケールとの位置関係を測定する制御部と、
を備え、
前記マーカは、
列方向に延伸する線状をなしており、
前記列選択読み出し部は、
前記行選択部によって選択された複数の画素行から、1列ごとに当該複数の画素行に対する合成画素値を画素値として読み出し、当該複数の画素行に対する画素値を1列ごとに順次読み出し、
前記制御部は、
前記列選択読み出し部によって読み出された画素値がピークとなるピーク画素を前記複数の画素行について特定し、前記複数の画素行に対して特定されたピーク画素に基づいて、前記検出位置を求め、
前記制御部は、前記マーカが列方向に延伸する範囲に対応して、前記行選択部に複数の行を同時に固定的に選択させた上で前記列選択読み出し部を制御して、前記マーカを追跡し、前記マーカの追跡結果に基づいて、前記画像センサと前記スケールとの位置関係を高速に測定することを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の位置測定装置において、
前記行選択部は、
前記複数の画素行のうち、前記スケールに設けられたアブソリュートコードに対応する1行または複数行のアブソリュート画素行を選択し、
前記列選択読み出し部は、
前記アブソリュート画素行に属する複数の画素から、画素値を順次読み出し、
前記制御部は、
前記アブソリュート画素行に属する複数の画素から読み出された複数の画素値が示す前記アブソリュートコードに基づいて、前記マーカに対応するアブソリュート位置を求め、
前記アブソリュート位置および前記検出位置に基づいて、前記画像センサと前記スケールとの位置関係を測定することを特徴とする位置測定装置。 - 請求項5に記載の位置測定装置において、
前記スケールには、行方向に複数の前記マーカが設けられており、
前記制御部は、
前記検出位置の変化に基づいて、複数の前記マーカのうち現時点で前記検出位置が求められている現時点マーカが、複数の前記マーカのうち前記アブソリュート位置が求められた基準マーカから離れて何番目の前記マーカに対応するかを判定し、その判定結果と、前記アブソリュート位置および前記検出位置に基づいて、前記画像センサと前記スケールとの位置関係を測定することを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の位置測定装置において、
前記制御部は、先に検出される前記マーカの位置と、次に検出される前記マーカの位置を、前記画像センサにおける画素間ピッチを測定分解能として測定し、前記マーカの間が画素間ピッチで構成され、インクリメンタルアドレスによって、インクリメンタルの移動量としてディジタル内挿されることを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の位置測定装置において、
前記マーカのアブソリュート位置は、前記マーカの検出位置に対するキャリーアップおよびキャリーダウンによって計数されることを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の位置測定装置において、
前記スケールは、複数の短尺スケールを継ぎ足して構成されていることを特徴とする位置測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019216478A JP6894149B2 (ja) | 2019-11-29 | 2019-11-29 | 位置測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019216478A JP6894149B2 (ja) | 2019-11-29 | 2019-11-29 | 位置測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021085816A JP2021085816A (ja) | 2021-06-03 |
JP6894149B2 true JP6894149B2 (ja) | 2021-06-23 |
Family
ID=76087389
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019216478A Active JP6894149B2 (ja) | 2019-11-29 | 2019-11-29 | 位置測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6894149B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7343227B1 (ja) * | 2022-03-29 | 2023-09-12 | 三男 眞鍋 | 位置測定装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56159797A (en) * | 1980-05-12 | 1981-12-09 | Tokyo Shibaura Electric Co | Data reader for storage effect type sensor |
JPS56159798A (en) * | 1980-05-12 | 1981-12-09 | Tokyo Shibaura Electric Co | Length or angle measuring device |
SE0301164D0 (sv) * | 2003-04-22 | 2003-04-22 | Trimble Ab | Improved high accuracy absolute optical encoder |
JP4425117B2 (ja) * | 2004-11-22 | 2010-03-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | エンコーダ |
JP2007003505A (ja) * | 2005-05-23 | 2007-01-11 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 光学式リニアエンコーダ |
JP4922033B2 (ja) * | 2007-03-26 | 2012-04-25 | タツモ株式会社 | 位置検出装置 |
EP2381222A1 (de) * | 2010-04-22 | 2011-10-26 | Schneeberger Holding AG | Führungssystem mit relativ zueinander bewegbaren Körpern und Vorrichtung zur Bestimmung einer Position mittels optischem Abtasten einer Massskala. |
JP6060502B2 (ja) * | 2012-03-16 | 2017-01-18 | 株式会社ニコン | エンコーダ、駆動装置、及び移動体の移動の検出方法 |
-
2019
- 2019-11-29 JP JP2019216478A patent/JP6894149B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021085816A (ja) | 2021-06-03 |
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