JP6889007B2 - 有機el表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、図3から図8を参照して、第1の実施形態に係る表示パネル1の製造方法について説明する。図3は、第1及び第2の実施形態に係るガラス基板600上へ第1の有機基板100を設ける工程を示す図である。有機基板は、乾燥後に膜厚が均一となるよう、塗膜装置を用いて形成される。塗膜装置は、画素部領域R2から端子部領域R1へ向けての移動速度を一定に保ちつつ、有機基板の材料となる液体を一定量ずつ吐出するよう設定される。本工程でも同様にして、第1の有機基板100は、膜厚が均一となるようにガラス基板600上へ設けられる。
次に、図3、図4及び図9から図11を参照して、第2の実施形態に係る表示パネル1の製造方法について説明する。第2の実施形態においても、図3及び4で示すように、ガラス基板600上へ第1の有機基板100及びバリア層200が設けられている。そのため、ガラス基板600上へ第1の有機基板100を設ける工程及び第1の有機基板100上へバリア膜を設ける工程についての説明は、第1の実施形態と同様となるため、ここでは省略する。
Claims (3)
- ガラス基板上に、可撓性を有する第1の有機基板を設ける工程と、
前記第1の有機基板上にバリア層を設ける工程と、
前記バリア層上に均一な膜厚となるよう有機基板を製膜し、前記有機基板に対して、端子部領域の膜厚が画素部領域の膜厚よりも薄くなるよう、又は、前記端子部領域の少なくとも一部を覆わないよう、削る加工を施し、前記有機基板を洗浄して、可撓性を有する第2の有機基板を設ける工程と、
前記第2の有機基板を設けた後に、前記端子部領域上へ画素制御端子部を、前記画素部領域上へ画素生成部をそれぞれ設ける工程と、
少なくとも前記端子部領域上へ薄膜トランジスタを有する回路部をさらに設ける工程と、を含み、
前記回路部は、前記第2の有機基板上に直接形成されている、
ことを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - ガラス基板上に、可撓性を有する第1の有機基板を設ける工程と、
前記第1の有機基板上にバリア層を設ける工程と、
前記バリア層上に、端子部領域の膜厚が画素部領域の膜厚よりも薄くなるよう、又は、前記端子部領域の少なくとも一部を覆わないよう、有機基板の材料を吐出する装置の吐出量、若しくは移動速度を変えて、可撓性を有する第2の有機基板を設ける工程と、
前記第2の有機基板を設けた後に、前記端子部領域上へ画素制御端子部を、前記画素部領域上へ画素生成部をそれぞれ設ける工程と、
少なくとも前記端子部領域上へ薄膜トランジスタを有する回路部をさらに設ける工程と、を含み、
前記回路部は、前記第2の有機基板上に直接形成されている、
ことを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - 前記第2の有機基板の膜厚が、前記第1の有機基板の膜厚以下となる、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の有機EL表示装置の製造方法。
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