JP6888132B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
本出願は、2014年1月28日に出願された米国仮特許出願第61/932,538号の利益を主張する通常出願であり、これらの出願の開示内容の全ては、参照により本明細書に組み込まれる。
開示された実施形態の態様は、概して基板の搬送、特に、ロボット搬送装置に関する。
Claims (19)
- 基板搬送装置であって、
フレームと、
前記フレームに、基部部材回転軸を中心に回転可能に取り付けられる基部部材と、
前記基部部材に、それぞれの肩軸を中心に取り付けられる少なくとも1つの関節アームと、を備え、
前記少なくとも1つの関節アームのそれぞれが、
前記それぞれの肩軸を中心に回転可能に取り付けられるアッパーアームと、
前記アッパーアームに、肘軸を中心に回転可能に取り付けられ、前記肘軸の周りで一体として回転するように互いに結合される上部フォアアーム部および下部フォアアーム部を有する非関節フォアアームリンクと、
上部フォアアーム部および下部フォアアーム部のうちの少なくとも1つに、共通手首軸を中心に回転可能に取り付けられる独立型の積層エンドエフェクタと、を備え、
前記非関節フォアアームリンクの前記上部フォアアーム部および下部フォアアーム部は、前記上部フォアアーム部および下部フォアアーム部のうちの少なくとも1つに取り付けられる前記独立型の積層エンドエフェクタ間の間隔が、前記独立型の積層エンドエフェクタに取り付けられる貫通器具の高さから切り離されて、独立して設定されるように構成される、
基板搬送装置。 - 前記少なくとも1つの関節アームが、前記基部部材回転軸に対して、前記基部部材の対向する端部に取り付けられる2つの関節アームを備える、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記少なくとも1つの関節アームのそれぞれの伸長および収縮が、前記少なくとも1つの関節アームの他方に連動するように、前記少なくとも1つの関節アームに接続される駆動部をさらに備える、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記少なくとも1つの関節アームのそれぞれが、前記少なくとも1つの関節アームの他方から独立して伸長および収縮するように、前記少なくとも1つの関節アームに接続される駆動部をさらに備える、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記独立型の積層エンドエフェクタが、前記上部フォアアーム部に回転可能に取り付けられる第1エンドエフェクタ、および前記下部フォアアーム部に回転可能に取り付けられる第2エンドエフェクタを含み、前記第1および第2エンドエフェクタが、前記上部フォアアーム部および下部フォアアーム部の間で対向して配置される、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記第1および第2エンドエフェクタのそれぞれのための電線および空気圧ラインが、前記第1および第2エンドエフェクタの他方に配線される電線および空気圧ラインから独立して、前記非関節フォアアームリンクから前記第1および第2エンドエフェクタのそれぞれの1つに実質的に直接設けられる、請求項5記載の基板搬送装置。
- 少なくとも1つのウェハ中心検出センサが、前記非関節フォアアームリンク上に設けられ、前記少なくとも1つのウェハ中心検出センサが、前記独立型の積層エンドエフェクタの少なくとも1つのエンドエフェクタ上に保持され、前記上部および下部フォアアーム部の間を通過する基板を感知するように配置される、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記独立型の積層エンドエフェクタは、前記独立型の積層エンドエフェクタのそれぞれに保持される基板が、前記上部フォアアーム部および前記下部フォアアーム部の間を回転して通過するように構成される、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記上部フォアアーム部が、前記独立型の積層エンドエフェクタが回転して通過する通過部を形成するように、前記下部フォアアーム部から離間した支持部材を形成する、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記独立型の積層エンドエフェクタが、前記下部フォアアーム部に回転可能に取り付けられる、請求項9記載の基板搬送装置。
- 前記支持部材が、少なくとも1つの貫通器具が前記支持部材の上方または内部を通過することを可能にする、請求項9記載の基板搬送装置。
- 少なくとも1つのセンサが、前記支持部材および前記下部フォアアーム部のうちの1つまたは複数に設けられ、前記少なくとも1つのセンサが、前記独立型の積層エンドエフェクタの少なくとも1つのエンドエフェクタ上に保持され、前記支持部材と前記下部フォアアーム部との間で回転される基板を感知するように配置される、請求項9記載の基板搬送装置。
- 基板処理装置であって、
チャンバを形成するフレームと、
少なくとも部分的に前記チャンバ内に配置される搬送装置と、を備え、
前記搬送装置が、
前記チャンバに接続される駆動部と、
前記駆動部に、肩軸を中心に回転可能に取り付けられるアッパーアームと、
前記アッパーアームに、肘軸を中心に回転可能に取り付けられ、共通関節によって前記アッパーアームに従属する分岐フォアアーム部を含む非関節フォアアームリンクと、
前記非関節フォアアームリンクに回転可能に取り付けられる独立型の積層エンドエフェクタであって、前記非関節フォアアームリンクが、前記独立型の積層エンドエフェクタに共通であり、少なくとも1つのエンドエフェクタが、前記分岐フォアアーム部に手首軸で取り付けられる、独立型の積層エンドエフェクタと、を備え、
前記非関節フォアアームリンクの前記分岐フォアアーム部は、前記分岐フォアアーム部に取り付けられる前記独立型の積層エンドエフェクタ間の間隔が、前記独立型の積層エンドエフェクタに取り付けられる貫通器具の高さから切り離されて、独立して設定されるように構成される、
基板処理装置。 - 前記分岐フォアアーム部が、接続部材によって互いに結合される上部フォアアーム部および下部フォアアーム部を含み、それによって、前記上部フォアアーム部および下部フォアアーム部が、一体型組立ユニットを形成する、請求項13記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも1つのエンドエフェクタが、前記上部フォアアーム部および下部フォアアーム部のうちの少なくとも1つに取り付けられ、前記上部フォアアーム部および下部フォアアーム部の間に配置される、請求項14記載の基板処理装置。
- 前記少なくとも1つのエンドエフェクタが、前記上部フォアアーム部および下部フォアアーム部の間を完全に通過することができる、請求項14記載の基板処理装置。
- 前記独立型の積層エンドエフェクタが、第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタを含み、前記第1および第2エンドエフェクタのそれぞれのための電線および空気圧ラインが、前記第1および第2エンドエフェクタの他方に配線される電線および空気圧ラインから独立して、前記非関節フォアアームリンクから前記第1および第2エンドエフェクタのそれぞれの1つに実質的に直接設けられる、請求項14記載の基板処理装置。
- 少なくとも1つのウェハ中心検出センサが、前記非関節フォアアームリンク上に設けられ、前記少なくとも1つのウェハ中心検出センサが、前記少なくとも1つのエンドエフェクタ上に保持され、前記分岐フォアアーム部の間を通過する基板を感知するように配置される、請求項14記載の基板処理装置。
- 前記独立型の積層エンドエフェクタ間の前記間隔が、貫通器具を収容するように、前記少なくとも1つのエンドエフェクタが取り付けられる前記分岐フォアアーム部の間の間隔から切り離される、請求項13記載の基板処理装置。
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