JP6887399B2 - Manufacturing method of copper alloy material, electronic parts, electronic equipment and copper alloy material - Google Patents

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Description

本発明は、銅合金材料、電子部品、電子機器及び銅合金材料の製造方法に関する。より具体的には、本発明は、厚みの変動を抑制した銅合金材料、電子部品、電子機器及び銅合金材料の製造方法に関する。 The present invention relates to a copper alloy material, an electronic component, an electronic device, and a method for manufacturing a copper alloy material. More specifically, the present invention relates to a copper alloy material, an electronic component, an electronic device, and a method for manufacturing a copper alloy material in which fluctuation in thickness is suppressed.

コネクタ、スイッチ、リレー、ピン、端子、リードフレーム等の各種電子部品に使用される電子材料用銅合金には、基本特性として高強度及び高導電性(又は熱伝導性)を両立させることが要求される。近年、電子部品の高集積化及び小型化・薄肉化が急速に進み、これに対応して電子機器部品に使用される銅合金に対する要求レベルはますます高度化している。 Copper alloys for electronic materials used in various electronic components such as connectors, switches, relays, pins, terminals, and lead frames are required to have both high strength and high conductivity (or thermal conductivity) as basic characteristics. Will be done. In recent years, the level of integration, miniaturization, and thinning of electronic components has rapidly progressed, and in response to this, the required level for copper alloys used in electronic device components has become more sophisticated.

より具体的には、銅合金は電子部品用にプレス加工されるが、このプレス加工品にも小型化が要求される。また、プレス加工品の材料となる銅合金条についても肉薄化が求められる。特許文献1では、銅合金条について垂下カールを十分に抑制することを開示している。垂下カールが発生すると、電子材料用の端子をプレス加工する際、プレス加工後の形状が安定しない、すなわち寸法精度が低下するという問題が生じるので、極力抑制することが望まれる。
また、垂下カールと同様に、箔又は条の厚みがあらかじめ設計したものに合致していないと、電子材料用の端子をプレス加工する際、プレス加工後の形状が設計したとおりのものにならない、すなわち寸法精度が低下するという問題が生じるので、極力制御することが望まれる。
More specifically, copper alloys are press-processed for electronic parts, and this press-processed product is also required to be miniaturized. In addition, thinning of copper alloy strips, which are materials for pressed products, is also required. Patent Document 1 discloses that the drooping curl is sufficiently suppressed for the copper alloy strip. When drooping curl occurs, when the terminals for electronic materials are pressed, there arises a problem that the shape after the press working is not stable, that is, the dimensional accuracy is lowered. Therefore, it is desired to suppress it as much as possible.
Also, as with the hanging curl, if the thickness of the foil or strip does not match the pre-designed one, when pressing the terminal for electronic material, the shape after press working will not be as designed. That is, since there is a problem that the dimensional accuracy is lowered, it is desired to control as much as possible.

特開2012−211355号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-21355

銅合金材料をいくら肉薄化させても、平坦でなければ、プレス加工品の小型化を十分に実現することができない。この理由は、長さ方向で反った形状を有する材料のプレス加工品においては、反った形状による曲率の分、寸法に上乗せされるため、小型化の妨げになるからである。また、垂下カールと同様に、箔又は条の厚みがあらかじめ設計したものに合致していないと、電子材料用の端子をプレス加工する際、プレス加工後の形状が設計したとおりのものにならない、すなわち寸法精度が低下する。寸法精度が低下すると、形状の設計において寸法の許容範囲を大幅に拡張する必要があり、これは小型化の妨げになることである。 No matter how thin the copper alloy material is, if it is not flat, it will not be possible to sufficiently reduce the size of the pressed product. The reason for this is that in a stamped product of a material having a warped shape in the length direction, the curvature due to the warped shape is added to the dimensions, which hinders miniaturization. Also, as with the hanging curl, if the thickness of the foil or strip does not match the pre-designed one, when pressing the terminal for electronic material, the shape after press working will not be as designed. That is, the dimensional accuracy is lowered. Poor dimensional accuracy requires significant dimensional tolerances in shape design, which hinders miniaturization.

そこで、銅合金材料の製造時又はプレス加工前に、銅合金材料を平坦な形状に矯正する。また、特許文献1に開示されたようにカールの量を抑制することも1つの手段である。さらに、箔又は条の厚みについては、圧延機において自動板厚制御のシステムがあり、プレス加工品の設計において定めた規格の中央値に厚みを制御することができる。しかしながら、平坦な形状に矯正しても、あるいは、カールを抑制したとしても、さらには規格の中央値に厚みを制御したとしても依然としてプレス加工品の形状を一定にするには、改良の余地があった。特に、銅合金材料のうち、コルソン合金の条にそのような傾向が見られた。そこで、本発明は、プレス加工品の形状を一定にしやすい銅合金材料を提供することを目的とする。 Therefore, the copper alloy material is straightened into a flat shape at the time of manufacturing the copper alloy material or before pressing. Further, suppressing the amount of curl as disclosed in Patent Document 1 is also one means. Further, regarding the thickness of the foil or strip, there is an automatic sheet thickness control system in the rolling mill, and the thickness can be controlled to the median value of the standard defined in the design of the stamped product. However, there is still room for improvement in order to keep the shape of the stamped product constant even if it is straightened to a flat shape, curl is suppressed, and even if the thickness is controlled to the median value of the standard. there were. In particular, among the copper alloy materials, such a tendency was observed in the strips of Corson alloy. Therefore, an object of the present invention is to provide a copper alloy material in which the shape of a pressed product can be easily made constant.

本発明者らが調べたところ、銅合金の厚みは必ずしもプレス加工品の設計において定めた規格の中央値にあれば良いのではなく、長さ方向で厚みが変動しないことが重要であることが判明した。すなわち、厚みが規格の中央値にある材料(例、条、板、箔等)であっても、長さ方向で厚みが変動するものは、プレス加工品の形状は一定しない。また、規格の中央値からずれた厚みの材料(例、条、板、箔等)、さらには中央値からずれるだけでなく規格を少し外れる厚みのものであっても、長さ方向で厚みが変動しないものであれば、厚みに応じて矯正条件を調整することで、プレス加工品の形状は一定する。以上の知見に基づいて、本発明は、以下のように特定される。 As a result of investigation by the present inventors, it is important that the thickness of the copper alloy does not necessarily have to be at the median value of the standard defined in the design of the stamped product, and that the thickness does not fluctuate in the length direction. found. That is, even if the material has a thickness at the median of the standard (eg, strip, plate, foil, etc.), the shape of the pressed product is not constant if the thickness fluctuates in the length direction. In addition, even if the material has a thickness that deviates from the median of the standard (eg, strips, plates, foils, etc.), and even if the thickness deviates from the median but also slightly deviates from the standard, the thickness in the length direction increases. If it does not fluctuate, the shape of the pressed product will be constant by adjusting the straightening conditions according to the thickness. Based on the above findings, the present invention is specified as follows.

(発明1)
Ni及びCoのうち1種以上を合計で0.5〜5.0質量%、
Siを0.1〜1.2質量%含有し、
残部が銅及び不可避的不純物からなる銅合金材料であり、
前記銅合金材料は、条、板又は箔であり、
圧延方向と平行な方向に60mmの間隔で並んで位置する5つの測定点での厚みの変動が0.0μm〜2.0μmである、銅合金材料。
(発明2)
Sn、Zn、Mg、Cr、Mn、Fe、Ti、Zr、P、Ag、Bのうち1種以上を総量で0.005〜3.0質量%更に含有する発明1の銅合金材料。
(発明3)
発明1又は2に記載の銅合金材料を備える電子部品。
(発明4)
発明3の電子部品を備える電子機器。
(発明5)
発明1又は2に記載の銅合金材料の製造方法であって、前記方法は、
溶解鋳造工程と、
熱間圧延工程と、
第一冷間圧延工程と、
第一溶体化処理工程と、
第二冷間圧延工程と、
第二溶体化処理工程と、
第三冷間圧延工程と、
第三溶体化処理工程と、
時効処理工程と、
最終冷間圧延工程と、
を含み、
前記第二冷間圧延工程における加工度が70%以上であり、
前記第三冷間圧延工程における加工度が50%以上70%以下であり、
前記第一溶体化処理工程が結晶粒度を0.090mm以上に調整することを含み、及び、第二溶体化処理工程が結晶粒度を0.020mm〜0.040mmに調整することを含む、
該方法。
(Invention 1)
A total of 0.5 to 5.0% by mass of one or more of Ni and Co,
Contains 0.1 to 1.2% by mass of Si
The balance is a copper alloy material consisting of copper and unavoidable impurities.
The copper alloy material is a strip, plate or foil.
A copper alloy material having a thickness variation of 0.0 μm to 2.0 μm at five measurement points located side by side at intervals of 60 mm in a direction parallel to the rolling direction.
(Invention 2)
The copper alloy material of Invention 1 further containing one or more of Sn, Zn, Mg, Cr, Mn, Fe, Ti, Zr, P, Ag, and B in a total amount of 0.005 to 3.0% by mass.
(Invention 3)
An electronic component comprising the copper alloy material according to Invention 1 or 2.
(Invention 4)
An electronic device including the electronic component of the invention 3.
(Invention 5)
The method for producing a copper alloy material according to Invention 1 or 2, wherein the method is:
Melting casting process and
Hot rolling process and
The first cold rolling process and
The first solution treatment process and
Second cold rolling process and
Second solution treatment process and
Third cold rolling process and
Third solution treatment process and
Aging process and
The final cold rolling process and
Including
The workability in the second cold rolling step is 70% or more, and the degree of processing is 70% or more.
The workability in the third cold rolling step is 50% or more and 70% or less.
The first solution treatment step includes adjusting the crystal grain size to 0.090 mm or more, and the second solution treatment step includes adjusting the crystal grain size to 0.020 mm to 0.040 mm.
The method.

本発明は、一側面において、長手方向に平行な方向における厚みの変動が0.0μm〜2.0μmである。これにより、プレス加工した時に、一定の形状を得ることができる。 In the present invention, on one side surface, the variation in thickness in the direction parallel to the longitudinal direction is 0.0 μm to 2.0 μm. As a result, a constant shape can be obtained when press working.

以下、本発明を実施するための具体的な実施形態について説明する。以下の説明は、本発明の理解を促進するためのものである。即ち、本発明の範囲を限定することを意図するものではない。 Hereinafter, specific embodiments for carrying out the present invention will be described. The following description is for facilitating the understanding of the present invention. That is, it is not intended to limit the scope of the present invention.

1.銅合金材料
一実施形態において、本発明は、銅合金材料を包含する。前記材料の形状は、条、板、又は箔である。
「条」(strip、ribbon)とは、「0.1mm以上の均一な肉厚で、長方形断面をもち、スリットされたコイル形状で供給される圧延製品」をさす。
「板」(sheet、plate)とは、「0.1mm以上の均一な肉厚で、長方形断面をもち、シャー又はのこ(鋸)切断された平板で供給される圧延製品」をさす。
「箔」(foil)とは、「0.1mm未満の均一な肉厚で、長方形断面をもち、スリットされたコイル形状で供給される圧延製品」をさす。
1. 1. Copper Alloy Materials In one embodiment, the present invention includes copper alloy materials. The shape of the material is strip, plate, or foil.
"Stripe" (ribbon) refers to "a rolled product having a uniform wall thickness of 0.1 mm or more, having a rectangular cross section, and being supplied in a slit coil shape".
"Sheet, plate" refers to "a rolled product having a uniform wall thickness of 0.1 mm or more, having a rectangular cross section, and being supplied by a sheared or sawed flat plate".
"Foil" refers to "a rolled product having a uniform wall thickness of less than 0.1 mm, having a rectangular cross section, and being supplied in a slit coil shape".

1−1.組成
前記銅合金の組成は、Ni及びCoのうち1種以上を合計で0.5〜5.0質量%、Siを0.1〜1.2質量%含有し、残部が銅及び不可避的不純物からなる。
1-1. Composition The composition of the copper alloy contains 0.5 to 5.0% by mass of one or more of Ni and Co in total and 0.1 to 1.2% by mass of Si, and the balance is copper and unavoidable impurities. Consists of.

1−1−1.Ni及びCo
前記Ni及びCoは、適当な熱処理を施すことにより金属間化合物を形成し、導電率を劣化させずに高強度化が図れる。Ni及びCoのうち1種以上を合計で0.5〜5.0質量%添加することができる。0.5質量%未満だと、所望の強度が得られず、逆に、5.0質量%超だと、高強度化は図れるが導電率が著しく低下し、曲げ加工性も低下する。より好ましくは、Ni及びCoのうち1種以上を合計で1.0〜3.0質量%添加することができる。
1-1-1. Ni and Co
The Ni and Co are subjected to an appropriate heat treatment to form an intermetallic compound, and the strength can be increased without deteriorating the conductivity. One or more of Ni and Co can be added in a total amount of 0.5 to 5.0% by mass. If it is less than 0.5% by mass, the desired strength cannot be obtained, and conversely, if it exceeds 5.0% by mass, the strength can be increased, but the conductivity is remarkably lowered and the bending workability is also lowered. More preferably, one or more of Ni and Co can be added in a total amount of 1.0 to 3.0% by mass.

1−1−2.Si
前記Siは、Ni及びCoと同様に、適当な熱処理を施すことにより金属間化合物を形成し、導電率を劣化させずに高強度化が図れる。Siを0.1〜1.2質量%添加することができる。0.1質量%未満だと、所望の強度が得られず、逆に、1.2質量%超だと、高強度化は図れるが導電率が著しく低下し、曲げ加工性も低下する。より好ましくは、0.2〜0.7質量%添加することができる。
1-1-2. Si
Similar to Ni and Co, the Si forms an intermetallic compound by subjecting it to an appropriate heat treatment, so that the strength can be increased without deteriorating the conductivity. Si can be added in an amount of 0.1 to 1.2% by mass. If it is less than 0.1% by mass, the desired strength cannot be obtained, and conversely, if it exceeds 1.2% by mass, the strength can be increased, but the conductivity is remarkably lowered and the bending workability is also lowered. More preferably, 0.2 to 0.7% by mass can be added.

1−1−3.Sn、Zn、Mg、Cr、Mn、Fe、Ti、Zr、P、Ag、B
上記以外の元素として、Sn、Zn、Mg、Cr、Mn、Fe、Ti、Zr、P、Ag、Bのうち1種以上を、総量で0.005〜3.0質量%更に添加してもよく、又は添加しなくてもよい(例えば、0質量%であってもよい)。これらの元素を添加することで、製造においては熱間加工性、製品においては耐力、引張強さ、ばね限界値及び応力緩和特性等の機械的性質、はんだ特性及びめっき特性等の表面特性のうちいずれか1つ以上が良好になるという効果が得られる。添加し過ぎると導電率が低下するため、より好ましくは、0.005〜1.0質量%添加することができる。
1-1-3. Sn, Zn, Mg, Cr, Mn, Fe, Ti, Zr, P, Ag, B
As elements other than the above, one or more of Sn, Zn, Mg, Cr, Mn, Fe, Ti, Zr, P, Ag, and B may be further added in a total amount of 0.005 to 3.0% by mass. It may or may not be added (for example, it may be 0% by mass). By adding these elements, among the mechanical properties such as hot workability in manufacturing, proof stress, tensile strength, spring limit value and stress relaxation property in products, and surface properties such as soldering properties and plating properties in products. The effect that any one or more becomes good can be obtained. If it is added too much, the conductivity will decrease, so more preferably 0.005 to 1.0% by mass can be added.

1−1−4.残部
一実施形態において、上記以外の残部は、Cuであってもよい。ここで、前記Cu以外に不可避的不純物が含まれてもよい。不可避的不純物とは、例えば、S及びO等が挙げられる。また、不可避的不純物の含有量は特に限定されないが、例えば、合計で100質量ppm以下である。
1-1-4. Remaining part In one embodiment, the remaining part other than the above may be Cu. Here, unavoidable impurities may be contained in addition to the Cu. Examples of unavoidable impurities include S and O. The content of unavoidable impurities is not particularly limited, but is, for example, 100 mass ppm or less in total.

1−2.寸法
一実施形態において、本発明の銅合金材料の幅は、特に限定されないが、10〜50mmであってもよい。10mm未満だと、単位ストロークのプレスで得られる個数が少なくなり生産性が低下する。50mm超だとプレス品の寸法精度が低下する。
1-2. Dimensions In one embodiment, the width of the copper alloy material of the present invention is not particularly limited, but may be 10 to 50 mm. If it is less than 10 mm, the number obtained by pressing a unit stroke is small, and the productivity is lowered. If it exceeds 50 mm, the dimensional accuracy of the pressed product will decrease.

一実施形態において、本発明の銅合金材料の厚さは、特に限定されないが、0.15mm以下であってもよい。この理由として、厚みの変動によるプレス加工の不具合は0.15mm以下で顕在化するためである。より好ましくは、0.1mm以下である。また、下限値については、特に限定されないが、典型的には0.05mm以上であってもよい。 In one embodiment, the thickness of the copper alloy material of the present invention is not particularly limited, but may be 0.15 mm or less. The reason for this is that defects in press working due to fluctuations in thickness become apparent at 0.15 mm or less. More preferably, it is 0.1 mm or less. The lower limit is not particularly limited, but may be typically 0.05 mm or more.

1−3.厚み
一実施形態において、本発明の銅合金材料は、厚みの変動が特定の値以下である。ここでまず、厚みについて説明する。
1-3. Thickness In one embodiment, the copper alloy material of the present invention has a thickness variation of a specific value or less. Here, first, the thickness will be described.

一般に、銅及び銅合金の板、条並びに箔の厚みは、マイクロメータによって、1μm単位で測定される。本発明では、0.1μm単位の精度を有する仕様のマイクロメータを用いる(例えば、株式会社ニコン製、デジマイクロ(DIGIMICRO)、Nikon MH−15M)。
そして、後述するように、厚みは5つの箇所で測定し、その平均値を、銅合金材料の厚みの代表値とした。
Generally, the thickness of copper and copper alloy plates, strips and foils is measured by a micrometer in units of 1 μm. In the present invention, a micrometer having specifications having an accuracy of 0.1 μm unit is used (for example, Nikon Corporation, DIGIMICRO, Nikon MH-15M).
Then, as will be described later, the thickness was measured at five points, and the average value was used as a representative value of the thickness of the copper alloy material.

1−4.厚み変動度
本明細書において、「厚み変動度」とは、以下の手順で測定及び算出して得られる値である。
(1)60mm間隔で圧延方向に離れて、圧延方向と平行方向の一直線上に並ぶ5 つの測定点で厚みを測定し、それにより得られる5つの厚みデータの最大値と最小値との差と定義する。
(2)このような5つの測定点での厚みの測定を少なくとも板、条または箔のコイルにつき一回行い、その少なくとも一回の測定で、5つの測定点の厚み変動が0.0μm〜2.0μmの範囲内であれば、本発明に含まれる。
なお、上記5つの測定点について、製品の幅にスリットされた、板、条または箔の幅方向の中央の位置で測定した。
1-4. Thickness variation In the present specification, the “thickness variation” is a value obtained by measuring and calculating by the following procedure.
(1) The thickness is measured at five measurement points aligned in a straight line in the direction parallel to the rolling direction, separated from each other at intervals of 60 mm, and the difference between the maximum value and the minimum value of the five thickness data obtained thereby. Define.
(2) The thickness at these five measurement points is measured at least once for each coil of the plate, strip or foil, and the thickness variation at the five measurement points is 0.0 μm to 2 at least once. If it is within the range of 0.0 μm, it is included in the present invention.
The above five measurement points were measured at the center position in the width direction of the plate, strip or foil, which was slit in the width of the product.

一実施形態において、本発明の銅合金材料の厚み変動度は、2.0μm以下であってもよい。厚み変動度が2.0μmを超える材料は、銅合金材料のプレス加工において、プレス加工品の形状が一定しにくくなる。より好ましくは1.5μm以下であり、更に好ましくは1.0μm以下である。下限値は、特に限定されないが、典型的には0.0μm以上である。 In one embodiment, the thickness variation of the copper alloy material of the present invention may be 2.0 μm or less. For a material having a thickness variation of more than 2.0 μm, it becomes difficult for the shape of the pressed product to be constant in the press working of the copper alloy material. It is more preferably 1.5 μm or less, and further preferably 1.0 μm or less. The lower limit is not particularly limited, but is typically 0.0 μm or more.

2.製造方法
一実施形態において、本発明は、銅合金材料の製造方法を包含する。前記製造方法は、以下の工程を包含することができる。
(溶解鋳造工程)→(熱間圧延工程)→(第一冷間圧延工程)→(第一溶体化処理工程)→(第二冷間圧延工程)→(第二溶体化処理工程)→(第三冷間圧延工程)→(第三溶体化処理工程)→(時効処理工程)→(最終冷間圧延工程)。
2. Manufacturing Method In one embodiment, the present invention includes a method for manufacturing a copper alloy material. The manufacturing method can include the following steps.
(Melting casting process) → (Hot rolling process) → (First cold rolling process) → (First solution processing process) → (Second cold rolling process) → (Second solution processing process) → ( Third cold rolling process) → (third solution treatment process) → (aging treatment process) → (final cold rolling process).

上記各工程の間、前、及び/又は後には、別の工程を挿入してもよい。例えば、最終冷間圧延工程後に歪取焼鈍工程を導入してもよい。また、上述した工程完了後は、適切なサイズの幅に加工し(例えば、600〜650mm)、その後スリッタにして所定の幅に加工してもよい。そして、コイル状に巻き取り、製品として出荷することができる。 Another step may be inserted before and / or after each of the above steps. For example, a strain removing annealing step may be introduced after the final cold rolling step. Further, after the above-mentioned process is completed, the width may be processed to an appropriate size (for example, 600 to 650 mm), and then a slitter may be used to process the width to a predetermined width. Then, it can be wound into a coil and shipped as a product.

2−1.溶解鋳造
溶解鋳造工程では、上述した本発明の銅合金材料の組成と同じ組成を持つインゴットを使用して、溶解鋳造を行うことができる。インゴットの厚みついては、銅合金材料の厚みの1500倍以上であることが好ましい。1500倍以上であるにより、インゴットのマクロ組織における結晶方位および偏析が、その後の加工における金属組織の態様に影響するのを抑制することが容易になる。インゴットの厚みの上限値については、特に限定されないが、典型的には、銅合金材料の厚みの5000倍以下であってもよい。
2-1. Melt casting In the melt casting step, melt casting can be performed using an ingot having the same composition as the copper alloy material of the present invention described above. The thickness of the ingot is preferably 1500 times or more the thickness of the copper alloy material. When it is 1500 times or more, it becomes easy to suppress that the crystal orientation and segregation in the macrostructure of the ingot affect the aspect of the metal structure in the subsequent processing. The upper limit of the thickness of the ingot is not particularly limited, but typically, it may be 5000 times or less the thickness of the copper alloy material.

溶解鋳造後は、熱間圧延を行い、次に素条に対して冷間圧延(第一冷間圧延工程)を行い、その後、第一溶体化処理を行うことができる。 After the melt casting, hot rolling can be performed, then cold rolling (first cold rolling step) is performed on the raw material, and then the first solution treatment can be performed.

2−2.第二冷間圧延工程
第一溶体化処理後は、第二冷間圧延工程を行うことができる。当該第二冷間圧延工程は、中間溶体化処理(第二溶体化処理工程)前に行うこと好ましい(即ち、中間溶体化処理前冷間圧延)。第二冷間圧延工程では、加工度が70%以上であることが好ましく、80%以上であることが更に好ましい。70%以上であることにより、合金元素の偏析層を薄くし合金元素が拡散するのに要する距離を小さくするとともに、合金元素の均質化に有効な加工歪を多く導入することができる。上限値については、特に規定されないが典型的には、95%以下である。
2-2. Second cold rolling step After the first solution treatment, a second cold rolling step can be performed. The second cold rolling step is preferably performed before the intermediate solution treatment (second solution treatment step) (that is, cold rolling before the intermediate solution treatment). In the second cold rolling step, the degree of processing is preferably 70% or more, and more preferably 80% or more. When it is 70% or more, the segregated layer of the alloying element can be thinned to reduce the distance required for the alloying element to diffuse, and a large amount of processing strain effective for homogenizing the alloying element can be introduced. The upper limit is not particularly specified, but is typically 95% or less.

なお、本明細書において、加工度とは、以下の式により算出される値を指す。
圧延加工度(%)=100×(冷間圧延前の板厚−冷間圧延後の板厚)/冷間圧延前の板厚
In this specification, the degree of processing refers to a value calculated by the following formula.
Rolling degree (%) = 100 x (plate thickness before cold rolling-plate thickness after cold rolling) / plate thickness before cold rolling

2−3.第三冷間圧延工程
第三溶体化処理(最終溶体化処理)の前に、冷間圧延を行うことができる(最終溶体化処理前冷間圧延)。ここでも、第二冷間圧延工程と同様、加工度を高くすることで、合金元素の偏析層を薄くし合金元素が拡散するのに要する距離を小さくするとともに、合金元素の均質化に有効な加工歪を多く導入することができる。ただし、第二冷間圧延工程と異なる点として、加工度が高すぎると、最終溶体化処理で2次再結晶を伴う粗大な再結晶粒組織が生成しやすくなる。2次再結晶を伴う粗大な再結晶粒組織の影響と、インゴットのマクロ組織における結晶方位および偏析の影響との相乗効果によって、金属組織は長さ方向で変動する可能性がある。
2-3. Third cold rolling step Cold rolling can be performed before the third solution treatment (final solution treatment) (cold rolling before final solution treatment). Here, as in the second cold rolling process, by increasing the degree of processing, the segregated layer of the alloying element is thinned, the distance required for the alloying element to diffuse is reduced, and it is effective for homogenizing the alloying element. A lot of processing strain can be introduced. However, unlike the second cold rolling step, if the degree of processing is too high, a coarse recrystallized grain structure accompanied by secondary recrystallization is likely to be generated in the final solution treatment. Due to the synergistic effect of the effect of coarse recrystallized grain structure with secondary recrystallization and the effect of crystal orientation and segregation on the macrostructure of the ingot, the metallographic structure may fluctuate in the length direction.

以上の観点から、第三冷間圧延工程の加工度は、50%以上であることが好ましく、70%以下であることが更に好ましい。 From the above viewpoint, the workability of the third cold rolling step is preferably 50% or more, and more preferably 70% or less.

2−4.最終冷間圧延工程
第三溶体化処理(最終溶体化処理)のあとに、冷間圧延を行うことができる(最終冷間圧延工程)。ここでは、主として、各種電子部品に使用される電子材料用銅合金の基本特性である強度が調整される。
2-4. Final cold rolling step Cold rolling can be performed after the third solution treatment (final solution treatment) (final cold rolling step). Here, the strength, which is a basic characteristic of copper alloys for electronic materials used in various electronic components, is mainly adjusted.

2−5.溶体化処理
上記製造方法では、少なくとも3つの溶体化処理を行うことを特徴としている。特に重要となるのが、第一溶体化処理工程(素条溶体化処理工程)及び中間溶体化処理(第二溶体化処理工程)である。これらの処理工程では、高温で長時間の処理、すなわち結晶粒度が大きくなる条件で行うことが好ましい。これにより、インゴットのマクロ組織における結晶方位および偏析が、その後の加工における金属組織の態様に影響するのを抑制することができる。
2-5. Solution treatment The above-mentioned production method is characterized in that at least three solution treatments are performed. Of particular importance are the first solution treatment step (straight solution treatment step) and the intermediate solution treatment (second solution treatment step). In these treatment steps, it is preferable to carry out the treatment at a high temperature for a long time, that is, under the condition that the crystal grain size becomes large. This makes it possible to prevent the crystal orientation and segregation of the ingot in the macrostructure from affecting the aspect of the metal structure in subsequent processing.

しかし、その一方で、結晶粒度が大きくなると、2次再結晶を伴う粗大な再結晶粒組織が生成しやすくなる。2次再結晶を伴う粗大な再結晶粒組織の影響と、インゴットのマクロ組織における結晶方位および偏析の影響との相乗効果によって、金属組織は変動し厚みが変動しやすくなる。 However, on the other hand, when the crystal grain size is increased, a coarse recrystallized grain structure accompanied by secondary recrystallization is likely to be generated. Due to the synergistic effect of the effect of coarse recrystallized grain structure accompanied by secondary recrystallization and the effect of crystal orientation and segregation in the macrostructure of the ingot, the metal structure fluctuates and the thickness tends to fluctuate.

以上の理由から、第一溶体化処理工程(素条溶体化処理工程)においては、結晶粒度が0.090mm以上、及び中間溶体化処理(第二溶体化処理工程)においては、結晶粒度が0.040mm以下になるようにすることが好ましい。更に好ましくは、第一溶体化処理工程においては、結晶粒度が0.100mm以上である。中間溶体化処理(第二溶体化処理工程)における結晶粒度の下限値については特に限定されないが、たとえば0.020mm以上であってもよい。第一溶体化処理工程における結晶粒度の上限値については特に限定されないが、例えば0.150mm以下であってもよい。こうした結晶粒度を達成するため、溶体化処理において、温度を700〜950℃、時間を1〜600秒の条件で、合金成分ごと及び板厚ごとに温度及び時間を調整することにより行うことができる。ここで、結晶粒度は、高温であるほど大きな値になり、また、長時間であるほど大きな値になるため、温度及び時間を適切なものに調整することにより、所望の結晶粒度を得ることができる。 For the above reasons, the crystal particle size is 0.090 mm or more in the first solution treatment step (straight solution treatment step), and the crystal particle size is 0 in the intermediate solution treatment (second solution treatment step). It is preferable that the thickness is 040 mm or less. More preferably, in the first solution treatment step, the crystal grain size is 0.100 mm or more. The lower limit of the crystal particle size in the intermediate solution treatment (second solution treatment step) is not particularly limited, but may be, for example, 0.020 mm or more. The upper limit of the crystal particle size in the first solution treatment step is not particularly limited, but may be, for example, 0.150 mm or less. In order to achieve such a crystal grain size, the solution treatment can be carried out by adjusting the temperature and time for each alloy component and each plate thickness under the conditions of a temperature of 700 to 950 ° C. and a time of 1 to 600 seconds. .. Here, the higher the temperature, the larger the crystal grain size, and the longer the crystal grain size, the larger the value. Therefore, it is possible to obtain a desired crystal grain size by adjusting the temperature and time appropriately. it can.

結晶粒度の測定は、JISH0501(1986年)に基づき行う。ここで、結晶粒度を測定する面は、圧延面に対し平行な面とする。結晶粒度の測定方法は「切断法」とし、結晶粒度を測定する面を切断する線分の方向は圧延方向に対し直角の方向とする。 The crystal grain size is measured based on JIS H0501 (1986). Here, the surface for measuring the crystal grain size is a surface parallel to the rolled surface. The method for measuring the crystal grain size is the "cutting method", and the direction of the line segment for cutting the surface for measuring the crystal grain size is the direction perpendicular to the rolling direction.

なお、最終溶体化処理においては、得られる金属組織は、電子電気部品用の銅合金条などに求められる種々の特性に影響することが知られている。厚み変動のみを考慮した場合は、結晶粒度が0.020mm以上0.040mm以下になるようにすることが好ましいが、厚み変動以外の事項について良好な特性を具備させるため、結晶粒度を0.020mm以下としてもよい。こうした結晶粒度を達成するため、溶体化処理において、温度を700〜950℃、時間を1〜600秒の条件で行うことができる。 In the final solution treatment, it is known that the obtained metallographic structure affects various properties required for copper alloy strips for electronic and electrical parts. When only the thickness variation is considered, it is preferable that the crystal grain size is 0.020 mm or more and 0.040 mm or less, but the crystal grain size is 0.020 mm in order to have good characteristics for matters other than the thickness variation. It may be as follows. In order to achieve such a crystal particle size, the solution treatment can be carried out under the conditions of a temperature of 700 to 950 ° C. and a time of 1 to 600 seconds.

2−6.歪取焼鈍
最終冷間圧延後に、歪取焼鈍を行っても良い。歪取焼鈍には、残留応力の低減、熱伸縮特性の向上、ばね性(ばね限界値等)の向上、引張試験における伸び率の向上、曲げ性の向上、低温焼鈍効果、及び、平坦度の向上等の効果がある。一般的な条件は、温度が350〜650℃で、時間が1〜600秒である。この範囲において、所望する上記の事項ごとに適切な温度及び時間を設定することができる。
2-6. Strain Annealing After the final cold rolling, strain annealing may be performed. Strain relief annealing includes reduction of residual stress, improvement of thermal expansion and contraction characteristics, improvement of spring property (spring limit value, etc.), improvement of elongation rate in tensile test, improvement of bendability, low temperature annealing effect, and flatness. There are effects such as improvement. General conditions are a temperature of 350-650 ° C. and a time of 1-600 seconds. Within this range, an appropriate temperature and time can be set for each of the above-mentioned desired items.

3.加工
銅合金材料は、プレス加工を行うことができる。また、プレス加工の前後で、メッキ等(例えば、Niなど)の処理を行ってもよい。プレス加工等を経た銅合金加工品は、電子部品を組み立てる際の材料として使用することができる。さらに、当該電子部品を用いて、電子機器を組み立てることができる。
3. 3. The processed copper alloy material can be pressed. Further, before and after the press working, a treatment such as plating (for example, Ni) may be performed. The processed copper alloy product that has undergone press working or the like can be used as a material for assembling electronic parts. Further, the electronic component can be used to assemble an electronic device.

(厚み変動度の評価方法)
上述の方法で、厚み変動度を測定した。
(Evaluation method of thickness variation)
The thickness variation was measured by the method described above.

(プレス性の評価方法)
JISZ2248(2006年)「金属材料曲げ試験方法」に規定される「Vブロック法」に準拠し、曲げ角度を90°とする曲げ試験(90°曲げ試験)を行った。試験片は、圧延方向と平行方向を長辺とする、幅が10mm、長さが100mmの長方形の形状とした。
試験では、まず、規定試験力を決める予備試験を行った。予備試験では、試験片をVブロック上に載せ、その中央部に押し金具を当て、試験力を加えて曲げる加工を行った。曲げる加工を行ったあと、試験片の曲げ角度を測定した。
また、予備試験では、試験力を試験片ごとに変えて曲げる加工を行った。試験力が大きい場合、試験片の曲げ角度は90°であった。試験力が小さい場合、試験片の曲げ角度は90°を下回った。曲げる加工をしたあとの試験片の曲げ角度が88.5°〜89.5°を示す試験力を規定試験力とした。
つぎに、50個の試験片につき、試験力を加え曲げる加工を行った。ここでの試験力は、上記の予備試験で求めた規定試験力とし、50個の試験片につき同一の試験力にて曲げる加工を行った。
曲げる加工を行ったあと、50個の試験片につき曲げ角度を測定し、曲げ角度の平均値と標準偏差を計算した。
標準偏差が平均値の1%以下である場合はプレス性が良好(表中に○を表示)であると判定し、標準偏差が平均値の1%超である場合はプレス性が不良(表中に×を表示)であると判定した。
(Evaluation method of pressability)
A bending test (90 ° bending test) was performed with a bending angle of 90 ° in accordance with the "V block method" specified in JISZ2248 (2006) "Metallic material bending test method". The test piece had a rectangular shape with a width of 10 mm and a length of 100 mm, whose long side was parallel to the rolling direction.
In the test, a preliminary test was first conducted to determine the prescribed test force. In the preliminary test, the test piece was placed on the V block, a push metal fitting was applied to the central portion thereof, and a test force was applied to bend the test piece. After bending, the bending angle of the test piece was measured.
In the preliminary test, the test force was changed for each test piece to perform bending. When the test force was large, the bending angle of the test piece was 90 °. When the test force was small, the bending angle of the test piece was less than 90 °. The test force at which the bending angle of the test piece after the bending process was 88.5 ° to 89.5 ° was defined as the specified test force.
Next, 50 test pieces were bent by applying a test force. The test force here was the specified test force obtained in the above preliminary test, and 50 test pieces were bent with the same test force.
After bending, the bending angles were measured for 50 test pieces, and the average value and standard deviation of the bending angles were calculated.
If the standard deviation is 1% or less of the average value, it is judged that the pressability is good (○ is displayed in the table), and if the standard deviation is more than 1% of the average value, the pressability is poor (table). X is displayed inside).

(実施例1〜24、比較例1〜7)
表1に示す組成のインゴットを準備した。このインゴットに対して、溶解鋳造、熱間圧延、第一冷間圧延(素条冷間圧延)、第一溶体化処理(素条溶体化処理)、第二冷間圧延(中間溶体化処理前冷間圧延)、第二溶体化処理工程(中間溶体化処理)、第三冷間圧延(最終溶体化処理前冷間圧延)、第三溶体化処理工程(最終溶体化処理)、時効処理、最終冷間圧延を順次行った。ここで、第一溶体化処理(素条溶体化処理)は、700〜950℃の温度、1〜600秒の範囲において、合金成分ごと及び板厚ごとに温度及び時間を調整し、結晶粒度が0.120mmとなる溶体化処理材を得てその後の処理及び加工を行った。ただし、比較例6については、結晶粒度が0.060mmになるように、温度及び時間を調整した。そして、板厚が0.08mm(平均値)、幅が630mmの最終冷間圧延材を得た。ただし、実施例23では、板厚を0.12mm(平均値)、実施例24では板厚を0.15mm(平均値)とした。その後、スリッタにて幅を30mmにスリットした。得られた条について、60mm間隔で圧延方向に離れて並ぶ5つの測定点で厚みを測定し、それにより得られる5つの厚みデータの最大値と最小値との差を算出して、これを銅合金の厚み変動度とした。
(Examples 1 to 24, Comparative Examples 1 to 7)
An ingot having the composition shown in Table 1 was prepared. For this ingot, melt casting, hot rolling, first cold rolling (raw cold rolling), first solution treatment (raw solution treatment), second cold rolling (before intermediate solution treatment). Cold rolling), second solution treatment step (intermediate solution treatment), third cold rolling (cold rolling before final solution treatment), third solution treatment step (final solution treatment), aging treatment, The final cold rolling was carried out in sequence. Here, in the first solution treatment (strand solution treatment), the temperature and time are adjusted for each alloy component and each plate thickness in the range of 700 to 950 ° C. and 1 to 600 seconds, and the crystal grain size is adjusted. A solution-treated material having a thickness of 0.120 mm was obtained and subsequently treated and processed. However, for Comparative Example 6, the temperature and time were adjusted so that the crystal grain size was 0.060 mm. Then, a final cold-rolled material having a plate thickness of 0.08 mm (average value) and a width of 630 mm was obtained. However, in Example 23, the plate thickness was 0.12 mm (average value), and in Example 24, the plate thickness was 0.15 mm (average value). Then, the width was slit to 30 mm with a slitter. The thickness of the obtained strips is measured at five measuring points arranged at intervals of 60 mm in the rolling direction, the difference between the maximum value and the minimum value of the five thickness data obtained by the measurement is calculated, and this is used as copper. The degree of variation in the thickness of the alloy was used.

得られた銅合金条に対して、上述の方法で厚み変動度と、プレス加工性を評価した。結果を表1に示す。 The thickness variation and press workability of the obtained copper alloy strip were evaluated by the above-mentioned method. The results are shown in Table 1.

Figure 0006887399
Figure 0006887399

実施例1〜24いずれにおいても、厚み変動度が十分に抑制されていた。また、プレス性についても良好であった。 In all of Examples 1 to 24, the degree of thickness variation was sufficiently suppressed. The pressability was also good.

一方、比較例1は、インゴット厚み/製品厚みの比が低い値であったため、厚み変動度が好ましい範囲を超え、プレス性が不良であった。 On the other hand, in Comparative Example 1, since the ratio of ingot thickness / product thickness was low, the thickness variation exceeded the preferable range and the pressability was poor.

比較例2は、第二冷間圧延(中間溶体化処理前冷間圧延)の圧延加工度が低かったため、厚み変動度が好ましい範囲を超え、プレス性が不良であった。 In Comparative Example 2, since the degree of rolling process of the second cold rolling (cold rolling before intermediate solution treatment) was low, the degree of thickness variation exceeded the preferable range and the pressability was poor.

比較例3は、第三冷間圧延工程(最終溶体化処理前冷間圧延)の圧延加工度が高かったため、厚み変動度が好ましい範囲を超え、プレス性が不良であった。 In Comparative Example 3, since the degree of rolling in the third cold rolling step (cold rolling before the final solution treatment) was high, the degree of thickness variation exceeded the preferable range and the pressability was poor.

比較例4は、第三冷間圧延工程(最終溶体化処理前冷間圧延)の圧延加工度が低かったため、厚み変動度が好ましい範囲を超え、プレス性が不良であった。 In Comparative Example 4, since the degree of rolling in the third cold rolling step (cold rolling before the final solution treatment) was low, the degree of thickness variation exceeded the preferable range and the pressability was poor.

比較例5は、インゴット厚み/製品厚みの比、第二冷間圧延(中間溶体化処理前冷間圧延)の圧延加工度、および、第三冷間圧延(最終溶体化処理前冷間圧延)の圧延加工度のいずれもが好ましい範囲を外れたため、厚み変動度が好ましい範囲を超え、プレス性が不良であった。 Comparative Example 5 shows the ratio of ingot thickness / product thickness, the degree of rolling process of the second cold rolling (cold rolling before intermediate solution treatment), and the third cold rolling (cold rolling before final solution treatment). Since all of the rolling workability of the above was out of the preferable range, the thickness variation exceeded the preferable range and the pressability was poor.

比較例6は、素条溶体化処理(素条溶体化処理工程)結晶粒度が小さくなってしまったため、厚み変動度が好ましい範囲を超え、プレス性が不良であった。 In Comparative Example 6, since the crystal grain size of the raw material solution treatment (raw material solution treatment step) became small, the thickness variation exceeded the preferable range and the pressability was poor.

比較例7は、中間溶体化処理(第二溶体化処理工程)における結晶粒度が大きくなってしまったため、厚み変動度が好ましい範囲を超え、プレス性が不良であった。 In Comparative Example 7, since the crystal grain size in the intermediate solution treatment (second solution treatment step) became large, the thickness variation exceeded the preferable range and the pressability was poor.

本明細書において、「又は」や「若しくは」という記載は、選択肢のいずれか1つのみを満たす場合や、全ての選択肢を満たす場合を含む。例えば、「A又はB」「A若しくはB」という記載の場合、Aを満たしBを満たさない場合と、Bを満たしAを満たさない場合と、Aを満たし且つBを満たす場合のいずれも包含することを意図する。 In the present specification, the description of "or" or "or" includes the case where only one of the options is satisfied or the case where all the options are satisfied. For example, the description of "A or B" and "A or B" includes both the case where A is satisfied and B is not satisfied, the case where B is satisfied and A is not satisfied, and the case where A is satisfied and B is satisfied. Intended to be.

以上、本発明の具体的な実施形態について説明してきた。上記実施形態は、本発明の具体例に過ぎず、本発明は上記実施形態に限定されない。例えば、上述の実施形態の1つに開示された技術的特徴は、他の実施形態に提供することができる。また、特定の方法については、一部の工程を他の工程の順序と入れ替えることも可能であり、特定の2つの工程の間に更なる工程を追加してもよい。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって規定される。 The specific embodiments of the present invention have been described above. The above-described embodiment is merely a specific example of the present invention, and the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the technical features disclosed in one of the above embodiments can be provided to other embodiments. Further, for a specific method, it is possible to replace some steps with the order of other steps, and an additional step may be added between the two specific steps. The scope of the present invention is defined by the claims.

Claims (6)

Ni及びCoのうち1種以上を合計で0.5〜5.0質量%、
Siを0.1〜1.2質量%含有し、
残部が銅及び不可避的不純物からなる銅合金材料であり、
前記銅合金材料は、条、板又は箔であり、
厚さが0.05mm以上であり、
圧延方向と平行な方向に60mmの間隔で並んで位置する5つの測定点での厚みの変動が0.0μm〜2.0μmである、銅合金材料。
A total of 0.5 to 5.0% by mass of one or more of Ni and Co,
Contains 0.1 to 1.2% by mass of Si
The balance is a copper alloy material consisting of copper and unavoidable impurities.
The copper alloy material is a strip, plate or foil.
The thickness is 0.05 mm or more,
A copper alloy material having a thickness variation of 0.0 μm to 2.0 μm at five measurement points located side by side at intervals of 60 mm in a direction parallel to the rolling direction.
Sn、Zn、Mg、Cr、Mn、Fe、Zr、P、Ag、Bのうち1種以上を総量で0.005〜3.0質量%更に含有する請求項1の銅合金材料。 Sn, Zn, Mg, Cr, Mn, Fe, Z r, P, Ag, copper alloy material according to claim 1, 0.005 to 3.0 mass% further containing one or more in a total amount of B. Sn、Zn、Mg、Cr、Mn、Fe、Ti、Zr、P、Ag、Bのうち1種以上を総量で0.005〜1.0質量%更に含有する請求項1の銅合金材料。The copper alloy material according to claim 1, further containing one or more of Sn, Zn, Mg, Cr, Mn, Fe, Ti, Zr, P, Ag, and B in a total amount of 0.005 to 1.0% by mass. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の銅合金材料を備える電子部品。 An electronic component comprising the copper alloy material according to any one of claims 1 to 3. 請求項の電子部品を備える電子機器。 An electronic device including the electronic component of claim 4. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の銅合金材料の製造方法であって、前記方法は、
溶解鋳造工程と、
熱間圧延工程と、
第一冷間圧延工程と、
第一溶体化処理工程と、
第二冷間圧延工程と、
第二溶体化処理工程と、
第三冷間圧延工程と、
第三溶体化処理工程と、
時効処理工程と、
最終冷間圧延工程と、
を含み、
前記第二冷間圧延工程における加工度が70%以上であり、
前記第三冷間圧延工程における加工度が50%以上70%以下であり、
前記第一溶体化処理工程が結晶粒度を0.090mm以上に調整することを含み、及び、第二溶体化処理工程が、結晶粒度を0.020mm〜0.040mmに調整することを含む、
該方法。
The method for producing a copper alloy material according to any one of claims 1 to 3, wherein the method is:
Melting casting process and
Hot rolling process and
The first cold rolling process and
The first solution treatment process and
Second cold rolling process and
Second solution treatment process and
Third cold rolling process and
Third solution treatment process and
Aging process and
The final cold rolling process and
Including
The workability in the second cold rolling step is 70% or more, and
The workability in the third cold rolling step is 50% or more and 70% or less.
The first solution treatment step comprises adjusting the crystal grain size to 0.090 mm or more, and the second solution treatment step includes adjusting the crystal grain size to 0.020 mm to 0.040 mm.
The method.
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