JP6887165B2 - 補償コイルを有する磁気抵抗センサ - Google Patents
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 56
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 29
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N alstonine Natural products C1=CC2=C3C=CC=CC3=NC2=C2N1C[C@H]1[C@H](C)OC=C(C(=O)OC)[C@H]1C2 WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N 0.000 claims description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 10
- 230000000415 inactivating effect Effects 0.000 claims description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 4
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
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- G01R33/0011—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables comprising means, e.g. flux concentrators, flux guides, for guiding or concentrating the magnetic flux, e.g. to the magnetic sensor
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/022—Measuring gradient
-
- G—PHYSICS
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/091—Constructional adaptation of the sensor to specific applications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/095—Magnetoresistive devices extraordinary magnetoresistance sensors
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
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- シリコン基板と、該シリコン基板上に配設されたMRセンサ・ユニットのコレクションと、長方形軟強磁性磁束集束器のコレクションと、蛇行補償コイルと、接続回路と、電気接続に使用されるリード・パッドのコレクションとを備えた補償コイルを有する磁気抵抗センサであって、該MRセンサ・ユニットは、プッシュプル・センサ・ブリッジを形成するように相互接続され、MRセンサ・ユニットの該コレクションは、2つの隣接した軟強磁性磁束集束器間の間隙の下方に配設され、該蛇行補償コイルは、該MRセンサ・ユニットの上方および該2つの隣接した軟強磁性磁束集束器間の該間隙の下方に配設され、該蛇行補償コイルは、該MRセンサ・ユニットの上の正の電流ストラップと、該長方形軟強磁性磁束集束器の下の負の電流ストラップとを有し、MRセンサ・ブリッジおよび該蛇行補償コイルは、ボンド・パッドを通じて接続されているとともに、封止構造で覆われている磁気抵抗センサ。
- 前記磁気抵抗センサはセンサ・チップを形成するようにPCB基板上に配置され、該PCB基板はらせん状初期化コイルを備え、該センサ・チップは該らせん状初期化コイルの上部に配設され、該らせん状初期化コイルを通じて流れる前記MRセンサ・ブリッジの電流の方向は、該センサ・チップの感度軸の方向に平行である、請求項1に記載の補償コイルを有する磁気抵抗センサ。
- 前記PCB基板は、プッシュプル・センサ・ブリッジを形成するために前記MRセンサ・ユニットを相互接続するのに使用されるリード・パッドおよび伝導性トレースをさらに備え、これらのリード・パッドは、該PCB基板の底部に配設され、一方、該PCB基板の上部にある前記センサ・チップおよび該リード・パッドは、プラスチックまたは樹脂を使用することによって封止される、請求項2に記載の補償コイルを有する磁気抵抗センサ。
- 前記MRセンサ・ユニットは、プッシュプル・フル・ブリッジ回路を形成するように相互接続されている、請求項1に記載の補償コイルを有する磁気抵抗センサ。
- 前記磁気抵抗センサは、LGA封止構造を有する、請求項1に記載の補償コイルを有する磁気抵抗センサ。
- 特定用途向け集積回路(ASIC)を備え、該ASICは、前記センサ・ブリッジに電気的に接続されている、請求項1または2に記載の補償コイルを有する磁気抵抗センサ。
- リード・フレームが使用され、前記磁気抵抗センサは、前記リード・フレーム上に配設される、請求項1に記載の補償コイルを有する磁気抵抗センサ。
- 前記リード・フレームは、プラスチックに封止される、請求項7に記載の補償コイルを有する磁気抵抗センサ。
- 第1の絶縁層と、第2の絶縁層と、不活性化層とをさらに備え、MRセンサ・ユニットの前記コレクションは該第1の絶縁層で覆われ、前記蛇行補償コイルは該第2の絶縁層で覆われ、該不活性化層はセンサ・チップ全体上に配設される、請求項1に記載の補償コイルを有する磁気抵抗センサ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610397752.5 | 2016-06-07 | ||
CN201610397752.5A CN107479010B (zh) | 2016-06-07 | 2016-06-07 | 一种具有补偿线圈的磁电阻传感器 |
PCT/CN2017/087365 WO2017211279A1 (zh) | 2016-06-07 | 2017-06-07 | 一种具有补偿线圈的磁电阻传感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019518956A JP2019518956A (ja) | 2019-07-04 |
JP6887165B2 true JP6887165B2 (ja) | 2021-06-16 |
Family
ID=60578400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018563802A Active JP6887165B2 (ja) | 2016-06-07 | 2017-06-07 | 補償コイルを有する磁気抵抗センサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10845430B2 (ja) |
EP (1) | EP3467530B1 (ja) |
JP (1) | JP6887165B2 (ja) |
CN (1) | CN107479010B (ja) |
WO (1) | WO2017211279A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107479010B (zh) | 2016-06-07 | 2019-06-04 | 江苏多维科技有限公司 | 一种具有补偿线圈的磁电阻传感器 |
CN107037382B (zh) * | 2017-04-05 | 2023-05-30 | 江苏多维科技有限公司 | 一种预调制磁电阻传感器 |
CN108318838B (zh) * | 2018-03-06 | 2024-06-04 | 美新半导体(无锡)有限公司 | 设置有自检线圈的磁电阻传感器 |
CN108535667B (zh) * | 2018-03-26 | 2019-10-18 | 中国科学院电子学研究所 | 基于双补偿线圈的航空磁场补偿多线圈系统 |
JP7069960B2 (ja) | 2018-03-29 | 2022-05-18 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
CN111586960B (zh) | 2019-02-15 | 2021-09-14 | 华为技术有限公司 | 一种抗干扰电路板及终端 |
CN109932670B (zh) * | 2019-03-27 | 2021-06-29 | 三峡大学 | 基于上电置位的闭环tmr磁场测量装置 |
JP7375419B2 (ja) * | 2019-09-26 | 2023-11-08 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
CN110780243A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-02-11 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 | 用于水下导航的高灵敏度微型磁传感单元、含有该传感单元的传感器及传感单元的制备方法 |
JP7354836B2 (ja) * | 2019-12-25 | 2023-10-03 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
CN111198342B (zh) * | 2020-01-10 | 2021-07-06 | 江苏多维科技有限公司 | 一种谐波增宽线性范围的磁电阻传感器 |
JP2021117004A (ja) * | 2020-01-22 | 2021-08-10 | 株式会社東芝 | チップパッケージ |
JP7393319B2 (ja) * | 2020-12-03 | 2023-12-06 | 株式会社東芝 | 磁気センサ及び検査装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005064357A2 (en) * | 2003-12-23 | 2005-07-14 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Flux guides for magnetic field sensors and memories |
WO2009151024A1 (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-17 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ及び磁気センサモジュール |
EP2333573B1 (en) * | 2009-11-30 | 2012-10-24 | STMicroelectronics Srl | Integrated magnetic sensor for detecting horizontal magnetic fields and manufacturing process thereof |
IT1403433B1 (it) * | 2010-12-27 | 2013-10-17 | St Microelectronics Srl | Sensore magnetoresistivo con capacita' parassita ridotta, e metodo |
CN202230192U (zh) * | 2011-03-03 | 2012-05-23 | 江苏多维科技有限公司 | 推挽桥式磁电阻传感器 |
DE102011107703B4 (de) * | 2011-07-13 | 2015-11-26 | Micronas Gmbh | Integrierter Stromsensor |
CN103091649A (zh) * | 2011-10-28 | 2013-05-08 | 爱盛科技股份有限公司 | 磁感测装置 |
CN102540113B (zh) * | 2011-11-11 | 2014-07-02 | 江苏多维科技有限公司 | 磁场传感器 |
CN105143902B (zh) * | 2013-03-18 | 2018-01-23 | 日立金属株式会社 | 磁传感器 |
CN103630855B (zh) | 2013-12-24 | 2016-04-13 | 江苏多维科技有限公司 | 一种高灵敏度推挽桥式磁传感器 |
CN103913709B (zh) | 2014-03-28 | 2017-05-17 | 江苏多维科技有限公司 | 一种单芯片三轴磁场传感器及其制备方法 |
CN103995240B (zh) | 2014-05-30 | 2017-11-10 | 江苏多维科技有限公司 | 一种磁电阻z轴梯度传感器芯片 |
JP2016075620A (ja) * | 2014-10-08 | 2016-05-12 | ヤマハ株式会社 | 物理量センサ |
CN105093139B (zh) * | 2015-06-09 | 2017-11-24 | 江苏多维科技有限公司 | 一种推挽式x轴磁电阻传感器 |
CN205581283U (zh) | 2016-04-11 | 2016-09-14 | 江苏多维科技有限公司 | 一种具有初始化线圈封装的磁电阻传感器 |
CN107479010B (zh) | 2016-06-07 | 2019-06-04 | 江苏多维科技有限公司 | 一种具有补偿线圈的磁电阻传感器 |
CN205720615U (zh) * | 2016-06-07 | 2016-11-23 | 江苏多维科技有限公司 | 一种具有补偿线圈的磁电阻传感器 |
CN108072850B (zh) * | 2016-11-09 | 2020-06-12 | 爱盛科技股份有限公司 | 磁场感测装置 |
-
2016
- 2016-06-07 CN CN201610397752.5A patent/CN107479010B/zh active Active
-
2017
- 2017-06-07 WO PCT/CN2017/087365 patent/WO2017211279A1/zh unknown
- 2017-06-07 JP JP2018563802A patent/JP6887165B2/ja active Active
- 2017-06-07 EP EP17809718.4A patent/EP3467530B1/en active Active
- 2017-06-07 US US16/307,524 patent/US10845430B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3467530A1 (en) | 2019-04-10 |
US10845430B2 (en) | 2020-11-24 |
EP3467530B1 (en) | 2022-08-03 |
CN107479010B (zh) | 2019-06-04 |
CN107479010A (zh) | 2017-12-15 |
WO2017211279A1 (zh) | 2017-12-14 |
US20190346514A1 (en) | 2019-11-14 |
EP3467530A4 (en) | 2019-12-25 |
JP2019518956A (ja) | 2019-07-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190207 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200318 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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