JP6886951B2 - 磁気記憶装置 - Google Patents
磁気記憶装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6886951B2 JP6886951B2 JP2018171932A JP2018171932A JP6886951B2 JP 6886951 B2 JP6886951 B2 JP 6886951B2 JP 2018171932 A JP2018171932 A JP 2018171932A JP 2018171932 A JP2018171932 A JP 2018171932A JP 6886951 B2 JP6886951 B2 JP 6886951B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic layer
- layer
- magnetic
- laminated body
- storage device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/161—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect details concerning the memory cell structure, e.g. the layers of the ferromagnetic memory cell
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1675—Writing or programming circuits or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B61/00—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B61/00—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices
- H10B61/20—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices comprising components having three or more electrodes, e.g. transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
- H10N50/85—Magnetic active materials
Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)は、本実施形態に係る磁気記憶装置を示す平面図であり、(b)はその断面図である。
Z方向において、第2磁性層12、第1非磁性層16、第1磁性層11及び第1絶縁層19は、第1導電層21と第3磁性層13との間に設けられている。第2磁性層12、第1非磁性層16及び第1磁性層11は、第1導電層21と第1絶縁層19との間に設けられている。第2磁性層12及び第1非磁性層16は、第1導電層21と第1磁性層11との間に設けられている。第2磁性層12は、第1導電層21と第1非磁性層16との間に設けられている。第2磁性層12は、第1導電層21の第3領域21cに接している。第1非磁性層16は、第2磁性層12と第1磁性層11との間に設けられている。第3磁性層13における絶縁層19の反対側の面は、第3端子T3に接続されている。これにより、積層体SB1は、第1導電層21と第3端子T3との間に接続されている。
第1導電層21は、例えば、タンタル(Ta)又はタングステン(W)等の金属を含む。第1磁性層11及び第2磁性層12は、鉄(Fe)、コバルト(Co)及びニッケル(Ni)からなる群より選択された1種以上の金属を含む。例えば、第1磁性層11及び第2磁性層12のうちの一方は負磁歪の材料からなり、他方は正磁歪の材料からなる。負磁歪の材料は、例えば、fcc構造のコバルトリッチな鉄コバルト合金(CoFe)を含み、正磁歪の材料は、例えば、bcc構造の鉄コバルト合金(FeCo)を含む。
第1積層体SB1において、第1磁性層11及び第2磁性層12は、例えば、磁化自由層であり、記憶層として機能する。第3磁性層13は、例えば、磁化固定層であり、参照層として機能する。これにより、第1積層体SB1は、例えば、磁気抵抗変化素子として機能し、例えば、MTJ(Magnetic Tunnel Junction:強磁性トンネル接合)素子として機能する。第1積層体SB1において、例えばTMR(Tunnel MagnetoResistance Effect)が生じる。この結果、第1積層体SB1は1つのメモリセルとして機能する。
図2(a)〜(d)は、本実施形態に係る磁気記憶装置の動作を示す模式図である。
図3(a)〜(d)は、本実施形態のシミュレーション結果を示す図である。
図3(a)〜(d)に示すシミュレーションにおいては、第1磁性層11及び第2磁性層12のそれぞれについて、X方向の長さを60nm(ナノメートル)とし、Y方向の長さを60nmとし、厚さ、すなわちZ方向の長さを2nmとし、飽和磁化を1100emu/ccとし、誘導磁気異方性を相互に直交する方向に1kOeとし、交換相互作用定数Jexを−0.2erg/cm2として、10ns(ナノ秒)間の磁化方向10Mの分布を演算した。図中の円弧状の領域は磁化方向10Mを示すベクトルの先端を示し、そのうちの黒い円弧状の領域は第1磁性層11の磁化方向10Mを示すベクトルの先端を示し、灰色の円弧状の領域は第2磁性層12の磁化方向10Mを示すベクトルの先端を示す。図3(a)〜(d)に示すように、本シミュレーションによれば、多層記憶層10の磁化方向10Mを4つの方向に振り分けることができた。
図4(a)は、本変形例に係る磁気記憶装置を示す平面図であり、(b)はその断面図である。
図5に示すように、第2積層体SB2においては、第1導電層21側から順に、Z方向に沿って、第2磁性層12、第1絶縁層19、第3磁性層13、第1非磁性層16及び第1磁性層がこの順に積層されている。第3磁性層13においては、第2磁性層12から第1磁性層11に向かう方向に沿って、強磁性体層13d、非磁性層13c、強磁性体層13b及び反強磁性体層13aがこの順に積層されている。
本変形例における上記以外の構成及び動作は、前述の第1の実施形態と同様である。
図6は、本実施形態に係る磁気記憶装置を示す断面図である。
第3積層体SB3において、第4磁性層14は磁化自由層であり、記憶層として機能する。そして、制御部70が第1端子T1と第2端子T2との間に電流を流し、第1端子T1と第3端子T3との間に電流を流すと、これらの電流の向き及び大きさに応じて、第3積層体SB3のZ方向における電気抵抗値が変化する。この電気抵抗値は5水準以上、例えば8水準に変化し、制御部70は、この8水準の電気抵抗値を識別することができる。この結果、第3積層体SB3には8値のデータを記憶することができる。
図7(a)及び(b)は、本実施形態に係る磁気記憶装置の動作を示す模式図である。
本実施形態における上記以外の構成及び動作は、前述の第1の実施形態と同様である。
図8は、本変形例に係る磁気記憶装置を示す断面図である。
本変形例における上記以外の構成及び動作は、第2の実施形態と同様である。
図9は、本変形例に係る磁気記憶装置を示す断面図である。
本変形例における上記以外の構成及び動作は、第2の実施形態と同様である。
図10は、本実施形態に係る磁気記憶装置を示す断面図である。
第6積層体SB6において、第5磁性層15は磁化自由層であり、記憶層として機能する。そして、制御部70が第1端子T1と第2端子T2との間に電流を流し、第1端子T1と第3端子T3との間に電流を流すと、これらの電流の向き及び大きさに応じて、第6積層体SB6における第3端子T3と第1端子T1との電気抵抗値が変化する。この電気抵抗値は9水準以上、例えば16水準に変化し、制御部70は、この16水準の電気抵抗値を識別することができる。この結果、第6積層体SB6には16値のデータを記憶することができる。
本実施形態における上記以外の構成及び動作は、前述の第2の実施形態と同様である。
図11は、本変形例に係る磁気記憶装置を示す断面図である。
本変形例における上記以外の構成及び動作は、第3の実施形態と同様である。
図12は、本変形例に係る磁気記憶装置を示す断面図である。
本変形例における上記以外の構成及び動作は、第3の実施形態と同様である。
図13は、本変形例に係る磁気記憶装置を示す断面図である。
本変形例における上記以外の構成及び動作は、第3の実施形態と同様である。
また、第1〜第3の実施形態及びそれらの変形例においては記憶層の磁化方向は膜面内方向に限定されるものではなく、膜面垂直方向の磁化成分を持つように配向していても良い。
図14は、本実施形態に係る磁気記憶装置を示す断面図である。
本実施形態は、2つの積層体を集積させた例である。
本実施形態における上記以外の構成及び動作は、前述の第1の実施形態と同様である。
図15(a)は本実施形態に係る磁気記憶装置を例示する平面図であり、(b)はその断面図である。
本実施形態は、複数個、例えば、8個の積層体を集積させた例である。
本実施形態における上記以外の構成及び動作は、前述の第1の実施形態と同様である。
(構成1)
導電部材と、
積層体と、
制御部と、
を備え、
前記積層体は、
第1磁性層と、
前記導電部材と前記第1磁性層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層及び前記第2磁性層に積層された第3磁性層と、
を含み、
前記制御部は、前記導電部材に電流を流し、前記導電部材と前記積層体との間に電流を流し、前記積層体の電気抵抗値を3水準以上に識別可能な磁気記憶装置。
前記第1磁性層及び前記第2磁性層は、前記導電部材と前記第3磁性層との間に設けられた構成1記載の磁気記憶装置。
前記第3磁性層は、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた構成1記載の磁気記憶装置。
前記積層体は、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層をさらに含む構成1〜3のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
前記非磁性層は、ルテニウム、イリジウム、クロム及びロジウムからなる群より選択された1種以上の金属を含む構成4記載の磁気記憶装置。
前記積層体は、前記第2磁性層と前記第3磁性層との間に設けられた絶縁層をさらに含む構成1〜5のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
前記絶縁層は、マグネシウム酸化物、アルミニウム酸化物及びマグネシウム−アルミニウム酸化物からなる群より選択された1種以上の材料を含む構成6記載の磁気記憶装置。
前記第1磁性層及び前記第2磁性層のうちの一方は負磁歪の材料からなり、他方は正磁歪の材料からなる構成1〜7のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
前記負磁歪の材料は、fcc構造の鉄コバルト合金であり、前記正磁歪の材料は、bcc構造の鉄コバルト合金である構成8記載の磁気記憶装置。
前記積層体は第4磁性層をさらに含み、
前記第4磁性層は、前記第1磁性層、前記第2磁性層及び前記第3磁性層に積層されており、
前記制御部は、前記積層体における前記積層方向に沿った電気抵抗値を5水準以上に識別可能な構成1〜9のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
前記積層体は第5磁性層をさらに含み、
前記第5磁性層は、前記第1磁性層、前記第2磁性層、前記第3磁性層及び前記第4磁性層に積層されており、
前記制御部は、前記積層体における前記積層方向に沿った電気抵抗値を9水準以上に識別可能な構成10記載の磁気記憶装置。
導電部材と、
前記導電部材に接続された積層体と、
を備え、
前記積層体は、
鉄、コバルト及びニッケルからなる群より選択された1種以上の金属を含む第1磁性層と、
前記導電部材と前記第1磁性層との間に設けられ、鉄、コバルト及びニッケルからなる群より選択された1種以上の金属を含む第2磁性層と、
前記第1磁性層及び前記第2磁性層に積層された第3磁性層と、
を含む磁気記憶装置。
前記第3磁性層は、
鉄コバルト合金を主成分とする強磁性体、又は、前記強磁性体に、ボロン、シリコン、アルミニウム、ゲルマニウム、ガリウム及び炭素からなる群より選択された1種以上の成分を含有させた合金からなる第1強磁性体層と、
ルテニウム、イリジウム、クロム及びロジウムからなる群より選択された1種以上の金属を含む非磁性層と、
コバルト鉄合金を含む第2強磁性体層と、
イリジウム、ロジウム、白金及び鉄からなる群より選択された1種以上の金属と、マンガンと、を含む合金からなる反強磁性体層と、
を含む構成12記載の磁気記憶装置。
前記第1磁性層及び前記第2磁性層からなる多層記憶層の磁化方向が3つ以上の方向をとる構成1〜13のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
10M、10aM:磁化方向
11:第1磁性層
11M:磁化方向
12:第2磁性層
12M:磁化方向
13:第3磁性層
13a:反強磁性体層
13b:強磁性体層
13c:非磁性層
13d:強磁性体層
13M:磁化方向
14:第4磁性層
14M:磁化方向
15:第5磁性層
16:第1非磁性層
17:第2非磁性層
18:第3非磁性層
19:第1絶縁層
21:第1導電層
21a:第1領域
21b:第2領域
21c:第3領域
22:第2導電層
22f:第4領域
22g:第5領域
22h:第7領域
22i:第7領域
22j:第8領域
23:第3導電層
25:中間配線
70:制御部
110、111、120、121、122、130、131、132、133、140、150:磁気記憶装置
SB1:第1積層体
SB2:第2積層体
SB3:第3積層体
SB4:第4積層体
SB5:第5積層体
SB6:第6積層体
SB7:第7積層体
SB8:第8積層体
SB9:第9積層体
SB11:第11積層体
SB12:第12積層体
T1:第1端子
T2:第2端子
T3:第3端子
TC3:第3セルトランジスタ
TC4:第4セルトランジスタ
TL3:第3導電層トランジスタ
TL4:第4導電層トランジスタ
Tg5:第5ゲート
Tg6:第6ゲート
Tg7:第7ゲート
Tg8:第8ゲート
Tm9:第9端部
Tm10:第10端部
Tm11:第11端部
Tm12:第12端部
Tm13:第13端部
Tm14:第14端部
Tm15:第15端部
Tm16:第16端部
Claims (5)
- 第1領域、第2領域及び第3領域を含む導電部材であって、前記第3領域は、前記第1領域と前記第2領域との間にある、前記導電部材と、
積層体と、
制御部と、
を備え、
前記積層体は、
第1磁性層と、
前記第3領域と前記第1磁性層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層及び前記第2磁性層に積層された第3磁性層と、
を含み、
前記積層体の電気抵抗値を変化させる動作において、前記制御部は、前記導電部材に電流を流し、前記導電部材と前記積層体との間に電流を流し、
前記積層体の電気抵抗値を変化させる前記動作において、前記積層体に流れる前記電流は、前記導電部材を流れ、
前記積層体に流れる前記電流が前記第3領域から前記第1磁性層への向きであるときの前記電気抵抗は、前記積層体に流れる前記電流が前記第1磁性層から前記第3領域への向きであるときの前記電気抵抗とは異なり、
前記導電部材に流れる前記電流が前記第1領域から前記第2領域への向きであるときの前記電気抵抗は、前記導電部材に流れる前記電流が前記第2領域から前記第1領域への向きであるときの前記電気抵抗とは異なり、
前記積層体の電気抵抗値は3水準以上に識別可能である、磁気記憶装置。 - 前記第1磁性層及び前記第2磁性層は、前記第3領域と前記第3磁性層との間に設けられた請求項1記載の磁気記憶装置。
- 前記第3磁性層は、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた請求項1記載の磁気記憶装置。
- 前記積層体は、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層をさらに含む請求項1〜3のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
- 前記積層体は、前記第2磁性層と前記第3磁性層との間に設けられた絶縁層をさらに含む請求項1〜4のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018171932A JP6886951B2 (ja) | 2018-09-13 | 2018-09-13 | 磁気記憶装置 |
US16/351,745 US10902900B2 (en) | 2018-09-13 | 2019-03-13 | Magnetic memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018171932A JP6886951B2 (ja) | 2018-09-13 | 2018-09-13 | 磁気記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020043314A JP2020043314A (ja) | 2020-03-19 |
JP6886951B2 true JP6886951B2 (ja) | 2021-06-16 |
Family
ID=69774278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018171932A Active JP6886951B2 (ja) | 2018-09-13 | 2018-09-13 | 磁気記憶装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10902900B2 (ja) |
JP (1) | JP6886951B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11552242B2 (en) * | 2021-04-08 | 2023-01-10 | Regents Of The University Of Minnesota | Weyl semimetal material for magnetic tunnel junction |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6275363B1 (en) * | 1999-07-23 | 2001-08-14 | International Business Machines Corporation | Read head with dual tunnel junction sensor |
JP3618654B2 (ja) * | 2000-09-11 | 2005-02-09 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
US6624986B2 (en) * | 2001-03-08 | 2003-09-23 | International Business Machines Corporation | Free layer structure for a spin valve sensor with a specular reflecting layer composed of ferromagnetic oxide |
JP4444241B2 (ja) * | 2005-10-19 | 2010-03-31 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ランダムアクセスメモリ、電子カード及び電子装置 |
US7368301B2 (en) * | 2006-01-27 | 2008-05-06 | Magic Technologies, Inc. | Magnetic random access memory with selective toggle memory cells |
US7280389B2 (en) * | 2006-02-08 | 2007-10-09 | Magic Technologies, Inc. | Synthetic anti-ferromagnetic structure with non-magnetic spacer for MRAM applications |
US8014109B2 (en) * | 2007-10-04 | 2011-09-06 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Current-perpendicular-to-the-plane (CPP) magnetoresistive sensor with antiparallel-pinned layer containing silicon |
JP2011123944A (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | Tmrリード・ヘッドの製造方法及びtmr積層体 |
JP6200471B2 (ja) | 2015-09-14 | 2017-09-20 | 株式会社東芝 | 磁気メモリ |
US11430942B2 (en) * | 2018-06-28 | 2022-08-30 | Intel Corporation | Multilayer free magnetic layer structure for spin-based magnetic memory |
-
2018
- 2018-09-13 JP JP2018171932A patent/JP6886951B2/ja active Active
-
2019
- 2019-03-13 US US16/351,745 patent/US10902900B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20200090718A1 (en) | 2020-03-19 |
US10902900B2 (en) | 2021-01-26 |
JP2020043314A (ja) | 2020-03-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10553788B2 (en) | Perpendicularly magnetized spin-orbit magnetic device | |
JP6733822B2 (ja) | スピン流磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ | |
CN109427965B (zh) | 自旋流磁化旋转元件、自旋轨道转矩型磁阻效应元件 | |
JP6642773B2 (ja) | スピン流磁化反転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子、及びスピン流磁化反転素子の製造方法 | |
JP6815297B2 (ja) | 磁気メモリ | |
CN111052398B (zh) | 自旋轨道转矩型磁化反转元件和磁存储器 | |
US10784441B2 (en) | Perpendicularly magnetized spin-orbit magnetic device | |
JP6620913B1 (ja) | リザボア素子及びニューロモルフィック素子 | |
JP6499798B1 (ja) | 磁気記録アレイ | |
JP6462960B1 (ja) | データの書き込み方法及び磁気メモリ | |
JP2019047120A (ja) | スピン流磁化反転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子、磁気メモリ及び高周波磁気素子 | |
JP2020021857A (ja) | 磁壁移動型磁気記録素子及び磁気記録アレイ | |
US20220005866A1 (en) | Integrated device and neuromorphic device | |
US10374151B2 (en) | Spin current magnetoresistance effect element and magnetic memory | |
JP6226779B2 (ja) | 磁気メモリ、磁気メモリ装置、及び磁気メモリの動作方法 | |
JP2019041098A (ja) | スピン流磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ | |
JP6886951B2 (ja) | 磁気記憶装置 | |
JP2007273952A (ja) | ナノ磁気メモリ素子とその製造方法 | |
JP7095490B2 (ja) | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ | |
JP6485588B1 (ja) | データの書き込み方法 | |
US11637236B2 (en) | Spin-orbit torque magnetoresistance effect element and magnetic memory | |
US10311932B2 (en) | Magnetic memory device | |
WO2023026481A1 (ja) | 磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ | |
JP2022049499A (ja) | 磁気記憶装置 | |
US20180083185A1 (en) | Magnetic memory device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200313 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210301 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210416 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210517 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6886951 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |