JP6879885B2 - Conductive paste for forming external electrodes of laminated chip parts and laminated chip parts - Google Patents

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本発明は、積層チップ部品の外部電極の形成に用いられる導電性ペーストと、当該導電性ペーストを用いて形成される外部電極およびパラジウムを含有する内部電極を備える積層チップ部品とに関する。 The present invention relates to a conductive paste used for forming an external electrode of a laminated chip component, and a laminated chip component including an external electrode formed by using the conductive paste and an internal electrode containing palladium.

積層チップコンデンサ、積層チップバリスタ、積層チップサーミスタ、積層圧電素子等のような積層チップ部品においては、内部電極用の材料としてパラジウム(Pd)を用い、外部電極用の材料として銀(Ag)を用いる構成のものが知られている。 In laminated chip components such as laminated chip capacitors, laminated chip varistores, laminated chip thermistors, and laminated piezoelectric elements, palladium (Pd) is used as the material for internal electrodes, and silver (Ag) is used as the material for external electrodes. The configuration is known.

このような積層チップ部品の一般的な製造方法では、例えば、複数のセラミック層と複数の内部電極となる層とを交互に積層してセラミック製の積層体(セラミック積層体またはセラミック素体)を形成する。この積層体の端部側面には、内部電極の端縁(端面)が露出しているので、この端部側面に導電性ペーストを塗布して焼成することにより、外部電極を形成する。ここで、導電性ペーストの焼成時には、カーケンダール効果(Kirkendall's effect/Kirkendall Effect)により、内部電極が外部電極(導電性ペースト)に対して突出するように成長することが知られている。 In a general method for manufacturing such a laminated chip component, for example, a plurality of ceramic layers and a plurality of layers serving as internal electrodes are alternately laminated to form a ceramic laminate (ceramic laminate or ceramic element). Form. Since the edge (end face) of the internal electrode is exposed on the end side surface of the laminate, the outer electrode is formed by applying a conductive paste to the end side surface and firing. Here, it is known that when the conductive paste is fired, the internal electrode grows so as to protrude with respect to the external electrode (conductive paste) due to the Kirkendall effect / Kirkendall Effect.

このようにカーケンダール効果により内部電極に「突出し」が生じると、内部電極と外部電極との接触面すなわち内部電極と外部電極との接合部には、カーケンダールボイド(Kirkendall Void)と呼ばれる空洞または空隙が生じることがある。これは、内部電極の突出し部分が成長するにともなって、接合部(言い換えれば内部電極と外部電極との界面)において外部電極の一部を突き上げるためであると考えられている。 When the internal electrode is "protruded" due to the Kirkendall effect in this way, the contact surface between the internal electrode and the external electrode, that is, the joint between the internal electrode and the external electrode, has a cavity called Kirkendall Void or a cavity. Voids may occur. It is considered that this is because a part of the external electrode is pushed up at the joint portion (in other words, the interface between the internal electrode and the external electrode) as the protruding portion of the internal electrode grows.

従来、積層チップ部品の製造分野においては、内部電極および外部電極の接触を形成する場合に、カーケンダール効果の影響を軽減するための技術として、例えば、特許文献1〜5に開示される手法が提案されている。 Conventionally, in the field of manufacturing laminated chip parts, as a technique for reducing the influence of the Kirkendar effect when forming contact between an internal electrode and an external electrode, for example, a method disclosed in Patent Documents 1 to 5 has been proposed. Has been done.

特許文献1では、セラミック積層体において内部電極(Pdを含む)の端縁が露出する面上に、5〜60容量%の金属を含有するガラスペーストを焼き付けてガラス層を形成する手法が開示されている。この手法では、カーケンダール効果により内部電極の端縁からガラス層を貫通してガラス層の表面まで届くように、ガラスペースト中の金属を移動させて延長部を形成している。 Patent Document 1 discloses a method of forming a glass layer by baking a glass paste containing 5 to 60% by volume of metal on a surface in which the edge of an internal electrode (including Pd) is exposed in a ceramic laminate. ing. In this method, the metal in the glass paste is moved to form an extension portion so as to penetrate the glass layer from the edge of the internal electrode and reach the surface of the glass layer by the Kirkendal effect.

また、特許文献2では、セラミックス素体の表面にガラスペーストを塗布および焼成することでガラス層により被覆するとともに、内部電極(Agおよび/またはPdを含む)が露出する端部側面(端面)に下地電極(外部電極)を形成する手法が開示されている。この手法では、形成されるガラス層には、内部電極の露出部位に自己整合的に開口が設けられる。この開口部位では、下地電極(外部電極)から内部電極に金属が供給されることで、カーケンダール効果(特許文献2では「カーケンドール効果」)により、内部電極の端部が下地電極(外部電極)に向かって突き出して太くなっている。 Further, in Patent Document 2, the surface of the ceramic element is coated with a glass layer by applying and firing a glass paste, and on the side surface (end surface) of the end where the internal electrodes (including Ag and / or Pd) are exposed. A method for forming a base electrode (external electrode) is disclosed. In this method, the glass layer formed is provided with an opening in the exposed portion of the internal electrode in a self-aligned manner. At this opening, metal is supplied from the base electrode (external electrode) to the internal electrode, and the Kirkendall effect (“Kirkendall effect” in Patent Document 2) causes the end of the internal electrode to be the base electrode (external electrode). It sticks out toward and becomes thicker.

また、特許文献3では、内部電極(少なくともPdを含む)が露出するセラミック素体の端部側面(端面)に外部電極を形成するための導電性ペーストとして、金属成分としてAgおよびPdを含み、ガラス成分として結晶化ガラスを含み、金属成分の割合と結晶化ガラスおよび空隙の割合を所定範囲に設定したものを用いる手法が開示されている。この手法では、導電性ペーストに結晶化ガラスを用いることでAgの拡散を抑制し、金属成分の割合と結晶化ガラスおよび空隙の割合を設定することで、導電性ペーストのAgが内部電極に拡散することを抑制している。 Further, in Patent Document 3, Ag and Pd are contained as metal components as a conductive paste for forming an external electrode on the end side surface (end face) of the ceramic element body on which the internal electrode (including at least Pd) is exposed. A method is disclosed in which crystallized glass is included as a glass component, and the ratio of the metal component and the ratio of the crystallized glass and the voids are set within a predetermined range. In this method, the diffusion of Ag is suppressed by using crystallized glass for the conductive paste, and the Ag of the conductive paste is diffused to the internal electrodes by setting the ratio of the metal component and the ratio of the crystallized glass and the voids. It suppresses doing.

また、特許文献4では、内部電極(少なくともPdを含む)が露出するセラミック素体の端部側面(端面)に外部電極を形成するための導電性ペーストとして、金属成分として少なくともAgを含み、かつ、ガラス成分として結晶化ガラスを含むものを用いるとともに、この導電性ペーストの焼付温度を、結晶化ガラスの軟化点およびAgの融点を基準として設定する手法が開示されている。この手法では、導電性ペーストに結晶化ガラスを用いるとともに、焼付温度を所定範囲内にすることで、導電性ペーストのAgが内部電極に拡散することを抑制している。 Further, in Patent Document 4, as a conductive paste for forming an external electrode on the end side surface (end face) of the ceramic element body on which the internal electrode (including at least Pd) is exposed, at least Ag is contained as a metal component and the glass component is contained. A method of setting the baking temperature of this conductive paste based on the softening point of the crystallized glass and the melting point of Ag is disclosed while using a glass component containing crystallized glass. In this method, crystallized glass is used as the conductive paste, and the baking temperature is kept within a predetermined range to prevent the Ag of the conductive paste from diffusing into the internal electrodes.

また、特許文献5では、内部電極(少なくともPdを含む)が露出するセラミック素体の端部側面(端面)に外部電極を形成するための導電性ペーストとして、金属成分としてCuおよびAgを含み、ガラス成分として1種類以上の結晶化ガラスを含み、この結晶化ガラスとして、軟化点が焼付温度よりも高いものを50%以上含有するものを用いる手法が開示されている。この手法では、導電性ペーストに、軟化点が焼付温度よりも高い結晶化ガラスを主成分として用いることで、導電性ペーストのAgが内部電極に拡散することを抑制している。 Further, in Patent Document 5, Cu and Ag are contained as metal components as a conductive paste for forming an external electrode on the end side surface (end face) of the ceramic element body on which the internal electrode (including at least Pd) is exposed. A method is disclosed in which one or more types of crystallized glass are contained as a glass component, and as the crystallized glass, a glass having a softening point higher than the baking temperature of 50% or more is used. In this method, by using crystallized glass whose softening point is higher than the baking temperature as the main component of the conductive paste, the Ag of the conductive paste is suppressed from diffusing into the internal electrodes.

特開平10−294239号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-294239 特開2010−080703号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-08703 特開2012−079862号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-079862 特開2012−079862号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-079862 特開2012−079862号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-079862

しかしながら、特許文献1〜5に開示の手法は、いずれも基本的にカーケンダール効果を抑制するものではない。 However, none of the methods disclosed in Patent Documents 1 to 5 basically suppress the Kirkendal effect.

まず、特許文献1および2に開示の手法は、ガラス層を形成することでカーケンダール効果による内部電極の突出しを制御している。すなわち、これらの手法は、ガラス層を形成することによりカーケンダール効果を利用して、内部電極および外部電極の電気的接続を形成しているため、カーケンダール効果を抑制するものではない。また、これらの手法は、特別なガラスペーストを用いてガラス層を形成する工程が必須になるため、製造コストを抑制できず製造工程も増加する。 First, the method disclosed in Patent Documents 1 and 2 controls the protrusion of the internal electrode due to the Kirkendar effect by forming a glass layer. That is, these methods do not suppress the Kirkendal effect because they form an electrical connection between the internal electrode and the external electrode by utilizing the Kirkendal effect by forming a glass layer. Further, since these methods require a step of forming a glass layer using a special glass paste, the manufacturing cost cannot be suppressed and the manufacturing process also increases.

また、特許文献3〜5に開示の手法では、導電性ペーストに結晶化ガラスを用いることで、焼付け温度(焼成温度)が当該結晶化ガラスの軟化点を超えても、当該結晶化ガラスが導電性ペースト中において固体で存在することを利用して、金属の拡散を物理的に抑制している。すなわち、これらの手法は、固体の結晶化ガラスにより金属同士の接触を阻害することで、内部電極の突出しを物理的に抑制しているため、カーケンダール効果を抑制するものではない。また、特許文献3に開示の手法では、内部電極だけでなく外部電極にも高価なPdを用いるため、製造コストが増大する。 Further, in the method disclosed in Patent Documents 3 to 5, by using the crystallized glass as the conductive paste, the crystallized glass is conductive even if the baking temperature (baking temperature) exceeds the softening point of the crystallized glass. Utilizing its presence as a solid in the sex paste, it physically suppresses the diffusion of metals. That is, these methods do not suppress the Kirkendal effect because the protrusion of the internal electrodes is physically suppressed by inhibiting the contact between the metals by the solid crystallized glass. Further, in the method disclosed in Patent Document 3, since expensive Pd is used not only for the internal electrode but also for the external electrode, the manufacturing cost increases.

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであって、積層チップ部品の外部電極を形成する際に、カーケンダール効果を抑制して内部電極と良好な電気的接続を実現する導電性ペーストを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve such a problem, and when forming an external electrode of a laminated chip component, a conductivity that suppresses the Kirkendar effect and realizes a good electrical connection with the internal electrode. The purpose is to provide a paste.

本開示に係る外部電極形成用の導電性ペーストは、前記の課題を解決するために、セラミック製の本体内に設けられ、当該本体の側面の少なくとも一部にその端面が露出する内部電極に対して、電気的に接続する外部電極を形成するために用いられ、(A)金属粉末としての(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末と、(B)ガラスフリットと、(C)有機ビヒクルとを含有し、前記(A−1)銀粉末と前記(A−2)金属シリコン粉末との含有量の重量比が、99:1〜85:15の範囲内であり、前記(A)金属粉末の総量と(B)ガラスフリットとの含有量の容量比が、75:25〜95:5の範囲内であり、前記(B)ガラスフリットは、その軟化点が450℃〜700℃の範囲内である構成である。 The conductive paste for forming an external electrode according to the present disclosure is provided in a main body made of ceramic in order to solve the above-mentioned problems, and the end face thereof is exposed on at least a part of the side surface of the main body. (A-1) silver powder and (A-2) metallic silicon powder as metal powder, (B) glass frit, and (B) glass frit, which are used to form an external electrode to be electrically connected. C) It contains an organic vehicle, and the weight ratio of the content of the (A-1) silver powder and the (A-2) metallic silicon powder is in the range of 99: 1 to 85:15. The volume ratio of the total amount of the metal powder (A) to the content of the glass frit (B) is in the range of 75:25 to 95: 5, and the softening point of the (B) glass frit is 450 ° C. to The configuration is within the range of 700 ° C.

前記構成によれば、導電性ペーストには、(A)金属粉末として、(A−1)銀粉末だけでなく(A−2)金属シリコン粉末が含有されており、これら(A)金属粉末の含有量の重量比が所定範囲内に設定されるとともに、(A)金属粉末および(B)ガラスフリットの含有量の容量費が所定範囲内に設定されている。また、(B)ガラスフリットとして、その軟化点が焼成温度よりも50℃程度低いものを用いている。 According to the above configuration, the conductive paste contains not only (A-1) silver powder but also (A-2) metallic silicon powder as (A) metal powder, and these (A) metal powders. The weight ratio of the contents is set within a predetermined range, and the capacity cost of the contents of (A) metal powder and (B) glass frit is set within a predetermined range. Further, as the (B) glass frit, a glass frit whose softening point is lower than the firing temperature by about 50 ° C. is used.

これにより、導電性ペーストを焼成して外部電極を形成する際に、カーケンダール効果を有効に抑制することができるので、外部電極および内部電極との接触面(接合部)に突出しが生じることを抑制することができるとともに、接合部に空隙が生じることも抑制することができる。さらに、外部電極そのものの品質を良好なものとすることができる。その結果、カーケンダール効果を抑制して内部電極と良好な電気的接続を実現する外部電極を得ることができる。 As a result, when the conductive paste is fired to form an external electrode, the Kirkendal effect can be effectively suppressed, so that the contact surface (joint portion) with the external electrode and the internal electrode is prevented from protruding. At the same time, it is possible to suppress the formation of voids in the joint portion. Further, the quality of the external electrode itself can be improved. As a result, it is possible to obtain an external electrode that suppresses the Kirkendar effect and realizes a good electrical connection with the internal electrode.

前記構成の導電性ペーストにおいては、(B)ガラスフリットは、その比重が2.5g/cm3 〜6.2g/cm3 の範囲内であればよい。 In the conductive paste of the structure, (B) glass frit, its specific gravity may be within the range of 2.5g / cm 3 ~6.2g / cm 3 .

また、本開示に係る積層チップ部品は、パラジウムを含有する内部電極と、前記構成の導電性ペーストにより形成された外部電極と、を備える構成であればよい。 Further, the laminated chip component according to the present disclosure may have a configuration including an internal electrode containing palladium and an external electrode formed of the conductive paste having the above configuration.

前記構成の積層チップ部品としては、積層セラミックコンデンサ、積層チップバリスタ、積層チップサーミスタ、または積層圧電素子を挙げることができる。 Examples of the laminated chip component having the above configuration include a laminated ceramic capacitor, a laminated chip varistor, a laminated chip thermistor, and a laminated piezoelectric element.

本発明では、以上の構成により、積層チップ部品の外部電極を形成する際に、カーケンダール効果を抑制して内部電極と良好な電気的接続を実現する導電性ペーストを提供することができる、という効果を奏する。 According to the present invention, it is possible to provide a conductive paste that suppresses the Kirkendal effect and realizes a good electrical connection with the internal electrode when forming the external electrode of the laminated chip component by the above configuration. Play.

本開示に係る積層チップ部品の代表例である積層セラミック素子の構成の一例を示す模式的断面図である。It is a schematic cross-sectional view which shows an example of the structure of the laminated ceramic element which is a typical example of the laminated chip component which concerns on this disclosure. (A)は、従来の積層チップ部品(従来の積層セラミック素子)の構成の一例を示す模式的断面図であり、(B)は、(A)に示す積層チップ部品の側面部位の一例を示す模式的部分断面図であり、(C)は、本開示に係る積層チップ部品における側面部位の一例を示す模式的部分断面図である。(A) is a schematic cross-sectional view showing an example of the structure of a conventional laminated chip component (conventional laminated ceramic element), and (B) shows an example of a side surface portion of the laminated chip component shown in (A). It is a schematic partial cross-sectional view, and (C) is a schematic partial cross-sectional view which shows an example of the side surface part in the laminated chip part which concerns on this disclosure.

本開示に係る導電性ペーストは、複数のセラミック層と複数の内部電極とを交互に積層して形成されるセラミック積層体の側面に設けられ、当該側面に露出する内部電極の端面に電気的に接続する外部電極、すなわち積層チップ部品の外部電極を形成するために用いられる。この導電性ペーストは、(A)金属粉末(または(A)無機粉末)としての(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末と、(B)ガラスフリットと、(C)有機ビヒクルとを含有する。(A−1)銀粉末と(A−2)金属シリコン粉末との含有量の重量比は、99:1〜85:15の範囲内であり、(A)金属粉末の総量と(B)ガラスフリットとの含有量の容量比が、75:25〜95:5の範囲内であり、好ましくは、(B)ガラスフリットは、その軟化点が450℃〜700℃の範囲内である。以下、本発明の代表的な実施の形態を説明する。 The conductive paste according to the present disclosure is provided on the side surface of a ceramic laminate formed by alternately laminating a plurality of ceramic layers and a plurality of internal electrodes, and is electrically applied to the end surface of the internal electrode exposed on the side surface. It is used to form an external electrode to be connected, that is, an external electrode of a laminated chip component. This conductive paste contains (A-1) silver powder and (A-2) metallic silicon powder as (A) metal powder (or (A) inorganic powder), (B) glass frit, and (C) organic. Contains vehicle. The weight ratio of the contents of (A-1) silver powder and (A-2) metal silicon powder is in the range of 99: 1 to 85:15, and (A) the total amount of metal powder and (B) glass. The volume ratio of the content with the frit is in the range of 75:25 to 95: 5, and preferably (B) the glass frit has a softening point in the range of 450 ° C. to 700 ° C. Hereinafter, typical embodiments of the present invention will be described.

[(A−1)銀粉末]
本開示に係る導電性ペーストに用いられる(A−1)銀粉末の具体的な構成は特に限定されず、公知の導電性ペーストに用いられる一般的な銀粉末(または銀粒子等)を好適に用いることができる。本開示に係る導電性ペーストは、前記の通り、積層チップ部品の外部電極の形成に用いられるが、積層チップ部品の具体的な構成あるいは外部電極の具体的な構成等に応じて、好適な構成の銀粉末を適宜選択することができる。
[(A-1) Silver powder]
The specific composition of the (A-1) silver powder used in the conductive paste according to the present disclosure is not particularly limited, and a general silver powder (or silver particles or the like) used in a known conductive paste is preferably used. Can be used. As described above, the conductive paste according to the present disclosure is used for forming an external electrode of a laminated chip component, but a suitable configuration is suitable depending on the specific configuration of the laminated chip component, the specific configuration of the external electrode, and the like. Silver powder can be appropriately selected.

(A−1)銀粉末の代表的な構成としては、例えば、平均粒径が0.3μm〜20μmの範囲内、好ましくは0.5μm〜10μmの範囲内のものを用いることができる。(A−1)銀粉末の平均粒径が0.3μm未満であれば、導電性ペーストの組成にもよるが、ペースト化したときの粘度が高くなる傾向にあり、チクソ性も高くなる傾向にある。導電性ペーストの粘度およびチクソ性の少なくとも一方が相対的に高くなると、導電性ペーストの使用時のハンドリング性に影響を及ぼすおそれがある。 As a typical composition of the (A-1) silver powder, for example, one having an average particle size in the range of 0.3 μm to 20 μm, preferably in the range of 0.5 μm to 10 μm can be used. (A-1) If the average particle size of the silver powder is less than 0.3 μm, the viscosity of the paste tends to be high and the thixo property tends to be high, although it depends on the composition of the conductive paste. is there. If at least one of the viscosity and the thixophilicity of the conductive paste becomes relatively high, the handleability of the conductive paste during use may be affected.

また、(A−1)銀粉末の平均粒径が20μmを超えると、導電性ペーストの組成、積層チップ部品の具体的な構成、積層チップ部品の製造条件等にもよるが、外部電極を形成するための焼成時に(A−1)銀粉末の焼結不足が生じる可能性がある。焼結不足が生じると、得られる外部電極の密度が低くなるのみならず電極表面が粗くなってボイドの発生が多くなる。これにより、外部電極にメッキを施した場合に不具合が生じるおそれがある。 Further, when the average particle size of the (A-1) silver powder exceeds 20 μm, an external electrode is formed, although it depends on the composition of the conductive paste, the specific composition of the laminated chip parts, the manufacturing conditions of the laminated chip parts, and the like. There is a possibility that the (A-1) silver powder may be insufficiently sintered during firing. When sintering is insufficient, not only the density of the obtained external electrode becomes low, but also the electrode surface becomes rough and voids are generated more often. As a result, a problem may occur when the external electrode is plated.

なお、(A−1)銀粉末の平均粒径が0.5μm〜10μmの範囲内であれば、諸条件にもよるが、導電性ペーストのハンドリング性をより良好なものにできるとともに、焼成時に良好な焼結を実現して好適な外部電極を形成できる傾向にある。また、(A−1)銀粉末の平均粒径の測定方法は特に限定されないが、本開示においては、マイクロトラック粒度分布測定装置(日機装株式会社製マイクロトラック粒度分布測定装置、商品名:9320−HRA X−100)を用いて、平均粒径D50を測定して評価している。 If the average particle size of the (A-1) silver powder is within the range of 0.5 μm to 10 μm, the handleability of the conductive paste can be improved and the handling property of the conductive paste can be improved at the time of firing, although it depends on various conditions. There is a tendency to achieve good sintering and form a suitable external electrode. The method for measuring the average particle size of (A-1) silver powder is not particularly limited, but in the present disclosure, a microtrack particle size distribution measuring device (Microtrack particle size distribution measuring device manufactured by Nikkiso Co., Ltd., trade name: 9320-). The average particle size D50 is measured and evaluated using HRA X-100).

(A−1)銀粉末においては、前記の平均粒径に加えてBET比表面積が所定範囲内であることが好ましい。具体的には、例えば、(A−1)銀粉末のBET比表面積は、0.1〜2m2 /gの範囲内であればよいが、0.3〜1m2 /gの範囲内であればより好ましい。(A−1)銀粉末のBET比表面積が0.1m2 /gより小さければ、諸条件にもよるが、(A−1)銀粉末の接触面積が小さくなるため、(A−1)銀粉末同士もしくは内部電極との接触確率が低下することから、電極同士の接合が悪化し、電気特性に影響を及ぼす可能性がある。 In the silver powder (A-1), it is preferable that the BET specific surface area is within a predetermined range in addition to the above average particle size. Specifically, for example, BET specific surface area of (A-1) Silver powder may be within the range of 0.1~2m 2 / g, there within the 0.3~1m 2 / g More preferable. If the BET specific surface area of the (A-1) silver powder is smaller than 0.1 m 2 / g, the contact area of the (A-1) silver powder becomes smaller, although it depends on various conditions, so that the (A-1) silver Since the contact probability between the powders or the internal electrodes decreases, the bonding between the electrodes deteriorates, which may affect the electrical characteristics.

一方、(A−1)銀粉末のBET比表面積が2m2 /gを超えれば、(A−1)銀粉末同士の接触面積は大きくなるが、ペースト粘度が高くなる傾向にあり、ハンドリング性に影響を及ぼすおそれがある。なお、BET比表面積の測定方法は特に限定されないが、本開示においては、モノソーブ(カウンタクローム(Quanta Chrome)社製)を用いて窒素吸着によるBET1点法で測定して評価している。 On the other hand, if the BET specific surface area of the (A-1) silver powder exceeds 2 m 2 / g, the contact area between the (A-1) silver powders increases, but the paste viscosity tends to increase, resulting in handleability. May affect. The method for measuring the BET specific surface area is not particularly limited, but in the present disclosure, it is measured and evaluated by the BET one-point method by nitrogen adsorption using a monosorb (manufactured by Quanta Chrome).

[(A−2)金属シリコン粉末]
本開示に係る導電性ペーストに用いられる(A−2)金属シリコン粉末の具体的な構成は特に限定されないが、その純度は90%以上であることが好ましい。また、(A−2)金属シリコン粉末の平均粒径も特に限定されないが、(A−1)銀粉末と同様に、0.3μm〜20μmの範囲内であればよく、好ましくは0.5μm〜10μmの範囲内のものを用いることができる。
[(A-2) Metallic Silicon Powder]
The specific composition of the metallic silicon powder (A-2) used in the conductive paste according to the present disclosure is not particularly limited, but its purity is preferably 90% or more. The average particle size of the (A-2) metallic silicon powder is not particularly limited, but may be in the range of 0.3 μm to 20 μm, preferably 0.5 μm to the same as the (A-1) silver powder. Those within the range of 10 μm can be used.

(A−2)金属シリコン粉末の平均粒径が0.3μm未満であれば、(A−1)銀粉末の場合と同様に、導電性ペーストの組成にもよるが、ペースト化したときの粘度が高くなる傾向にあり、チクソ性も高くなる傾向にある。導電性ペーストの粘度およびチクソ性の少なくとも一方が相対的に高くなると、導電性ペーストの使用時のハンドリング性に影響を及ぼすおそれがある。 If the average particle size of the (A-2) metallic silicon powder is less than 0.3 μm, the viscosity when formed into a paste will depend on the composition of the conductive paste, as in the case of the (A-1) silver powder. Tends to be high, and the viscosity tends to be high. If at least one of the viscosity and the thixophilicity of the conductive paste becomes relatively high, the handleability of the conductive paste during use may be affected.

一方、(A−2)金属シリコン粉末の平均粒径が20μmを超えると、(A−1)銀粉末の平均粒径、導電性ペーストの組成、積層チップ部品の製造条件等にもよるが、外部電極を形成するための焼成時に(A−1)銀粉末と(A−2)金属シリコン粉末との合金化が進まない可能性がある。合金化が進まない場合、導電性ペーストの焼成時にカーケンダール効果を有効に抑制することができず、内部電極の外部電極への突出しが生じたり、外部電極と内部電極との接合部における空隙が生じたりする可能性がある。 On the other hand, when the average particle size of the (A-2) metallic silicon powder exceeds 20 μm, the average particle size of the (A-1) silver powder, the composition of the conductive paste, the manufacturing conditions of the laminated chip parts, etc. There is a possibility that the alloying of the (A-1) silver powder and the (A-2) metallic silicon powder does not proceed during firing for forming the external electrode. If the alloying does not proceed, the Kirkendal effect cannot be effectively suppressed when the conductive paste is fired, the internal electrode protrudes to the external electrode, and a gap is generated at the joint between the external electrode and the internal electrode. There is a possibility that it will happen.

(A−2)金属シリコン粉末は、銀(Ag)およびパラジウム(Pd)の相互の拡散が開始する温度以下で銀と合金化する。これにより、パラジウム(Pd)と銀(Ag)との相互拡散が開始する温度以下で金属シリコン(Si)と銀(Ag)とが合金化するため、銀の拡散を有効に阻害し、カーケンダール効果を良好に抑制することができる。また、パラジウム(Pd)のような高価な金属ではなく安価な金属シリコン(Ag)を用いているので、導電性ペーストのコスト増大も有効に抑制することができる。 (A-2) The metallic silicon powder alloys with silver below the temperature at which mutual diffusion of silver (Ag) and palladium (Pd) begins. As a result, metallic silicon (Si) and silver (Ag) are alloyed at a temperature below the temperature at which mutual diffusion between palladium (Pd) and silver (Ag) starts, so that the diffusion of silver is effectively inhibited and the Kirkendar effect is obtained. Can be satisfactorily suppressed. Further, since inexpensive metallic silicon (Ag) is used instead of expensive metal such as palladium (Pd), it is possible to effectively suppress an increase in the cost of the conductive paste.

[(B)ガラスフリット]
本開示に係る導電性ペーストに用いられる(B)ガラスフリットの具体的な構成は特に限定されず、焼成型の導電性ペーストの分野で公知のガラスフリットを好適に用いることができる。本開示に係る導電性ペーストは、前記の通り、積層チップ部品の外部電極の形成に用いられるが、積層チップ部品の具体的な構成あるいは外部電極の具体的な構成等に応じて、好適な構成のガラスフリットを適宜選択することができる。
[(B) Glass frit]
The specific configuration of the (B) glass frit used in the conductive paste according to the present disclosure is not particularly limited, and a glass frit known in the field of the baking type conductive paste can be preferably used. As described above, the conductive paste according to the present disclosure is used for forming an external electrode of a laminated chip component, but a suitable configuration is used depending on the specific configuration of the laminated chip component, the specific configuration of the external electrode, and the like. Glass frit can be appropriately selected.

(B)ガラスフリットの代表的な構成としては、例えば、軟化点が450℃〜700℃の範囲内のものが挙げられる。本開示においては、外部電極を形成するための導電性ペーストの焼成温度(ピーク温度)としては、好ましくは500℃〜750℃の範囲内が挙げられるが、本開示においては(B)ガラスフリットは、この焼成温度よりも50℃程度低い温度で軟化するものであることが好ましい。 As a typical configuration of the (B) glass frit, for example, a glass frit having a softening point in the range of 450 ° C. to 700 ° C. can be mentioned. In the present disclosure, the firing temperature (peak temperature) of the conductive paste for forming the external electrode is preferably in the range of 500 ° C. to 750 ° C., but in the present disclosure, the (B) glass frit is , It is preferable that the material is softened at a temperature lower than this firing temperature by about 50 ° C.

(B)ガラスフリットの軟化点が700℃を超えると、(B)ガラスフリットの軟化点が高温過ぎるため、(A)金属粉末((A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末)の焼結が先に進んだ後から(B)ガラスフリットが軟化することになる。これにより(B)ガラスフリットが導体内(外部電極内)に滞留し、積層チップ部品と外部電極との界面に移行しない。そのため、積層チップ部品の端部側面と外部電極との間で良好な密着性を実現できないおそれがあり、また、外部電極の表面にはガラスの滲み出しが生じたりメッキの付着不良が生じたりするおそれがある(後述の比較例6)。 When the softening point of (B) glass frit exceeds 700 ° C., the softening point of (B) glass frit becomes too high, so that (A) metal powder ((A-1) silver powder and (A-2) metal silicon powder) ) Will be softened after the sintering of (B) has proceeded. As a result, (B) the glass frit stays in the conductor (inside the external electrode) and does not move to the interface between the laminated chip component and the external electrode. Therefore, good adhesion may not be achieved between the end side surface of the laminated chip component and the external electrode, and glass may seep out or poor plating may adhere to the surface of the external electrode. There is a risk (Comparative Example 6 described later).

(B)ガラスフリットの軟化点が450℃未満であると、(B)ガラスフリットがすぐに軟化して低粘度で流動する可能性がある。これにより、(A)金属粉末((A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末)の焼結する前に低粘度の(B)ガラスフリットの流動が生じることになり、(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末の合金化を妨げるおそれがある。その結果、カーケンダール効果を有効に抑制できない可能性がある(後述する比較例5)。 If the softening point of the (B) glass frit is less than 450 ° C., the (B) glass frit may immediately soften and flow with low viscosity. As a result, the low-viscosity (B) glass frit flows before sintering the (A) metal powder ((A-1) silver powder and (A-2) metallic silicon powder), and (A). -1) It may interfere with the alloying of silver powder and (A-2) metallic silicon powder. As a result, the Kirkendar effect may not be effectively suppressed (Comparative Example 5 described later).

また、一般的に、低軟化点のガラスフリットは耐酸性が低いことが知られている。それゆえ、低軟化点のガラスフリットを含有する外部電極においては、外部電極にメッキする際に、酸性のメッキ液にガラスフリットが浸食され、積層チップ部品の端部側面と外部電極との間で良好な密着性を実現できない場合がある。その結果、積層チップ部品の端部側面と外部電極との間で良好な密着性を実現できなかったり、外部電極の表面にはガラスの滲み出しまたはメッキの付着不良が生じたりするおそれがある(後述の比較例6)。 Further, it is generally known that glass frit having a low softening point has low acid resistance. Therefore, in the external electrode containing the glass frit at the low softening point, when the external electrode is plated, the glass frit is eroded by the acidic plating solution, and the glass frit is eroded between the end side surface of the laminated chip component and the external electrode. Good adhesion may not be achieved. As a result, good adhesion may not be achieved between the end side surface of the laminated chip component and the external electrode, or glass may seep out or plating may be poorly adhered to the surface of the external electrode ( Comparative example 6) described later.

(B)ガラスフリットにおいては、軟化点以外の特性は特に限定されないが、その比重が所定範囲内にあるものを用いてもよい。具体的には、例えば、(B)ガラスフリットの比重は2.5g/cm3 〜6.2g/cm3 の範囲内であればよい。比重がこの範囲内であれば、積層チップ部品の端部側面と外部電極との間でより良好な密着性を実現することができる。なお、他の特性、例えば、(B)ガラスフリットの粉体形状は特に限定されず、球状粉末であってもよいし、各粒子の形状が揃っていない不定形状の粉末であってもよい。また、(B)ガラスフリットの平均粒径も特に限定されず、導電性ペーストの分野で公知の範囲の平均粒径であればよい。 (B) The glass frit is not particularly limited in properties other than the softening point, but a glass frit having a specific gravity within a predetermined range may be used. Specifically, for example, the specific gravity of the (B) glass frit may be in a range of 2.5g / cm 3 ~6.2g / cm 3 . When the specific gravity is within this range, better adhesion can be realized between the end side surface of the laminated chip component and the external electrode. The powder shape of other characteristics, for example, (B) glass frit, is not particularly limited, and may be a spherical powder or an irregularly shaped powder in which the shapes of the particles are not uniform. Further, the average particle size of (B) glass frit is not particularly limited, and may be any average particle size in the range known in the field of conductive paste.

(B)ガラスフリットの具体的な種類は特に限定されないが、例えば、BiO3−B23−SiO2系ガラス、ZnO−B23−SiO2系ガラス、R2O−B23−SiO2(ただしRはアルカリ金属)等のホウケイ酸ガラス;Bi23−B23−SiC2系ガラス等のホウ素−炭化ケイ素系ガラス;等からなるものを好ましく用いることができる。これら(B)ガラスフリットは、1種類のみが用いられてもよいし、2種類以上が適宜組み合わせられて用いられてもよい。 (B) The specific type of the glass frit is not particularly limited, but for example, BiO 3- B 2 O 3- SiO 2 glass, ZnO-B 2 O 3- SiO 2 glass, R 2 O-B 2 O. Borosilicate glass such as 3- SiO 2 (where R is an alkali metal); boron-silicon carbide glass such as Bi 2 O 3- B 2 O 3- SiC 2 glass; etc. can be preferably used. .. Only one type of these (B) glass frit may be used, or two or more types may be appropriately combined and used.

[(C)有機ビヒクル]
本発明に係る抵抗体ペースト組成物では、(A−1)銀粉末、(A−2)金属シリコン粉末、および(B)ガラスフリットに加えて、(C)有機ビヒクルが配合されている。
[(C) Organic vehicle]
In the resistor paste composition according to the present invention, (C) an organic vehicle is blended in addition to (A-1) silver powder, (A-2) metallic silicon powder, and (B) glass frit.

(C)有機ビヒクルに用いられる有機バインダは、導電性ペーストの分野で公知の樹脂を好適に用いることができる。具体的な有機バインダとしては、例えば、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、硝酸セルロース等のセルロース誘導体;アクリル樹脂、メタクリル樹脂、アクリル酸エステル重合体、メタクリル酸エステル重合体等のアクリル系樹脂;ポリビニルブチラール樹脂等のビニルアセタール系樹脂;等が挙げられるが、特に限定されない。これら有機バインダは1種類のみを用いてもよいし、2種類以上を適宜組み合わせてもよい。 (C) As the organic binder used in the organic vehicle, a resin known in the field of conductive paste can be preferably used. Specific organic binders include, for example, cellulose derivatives such as methyl cellulose, ethyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, and cellulose nitrate; acrylic resins such as acrylic resin, methacrylic resin, acrylic acid ester polymer, and methacrylic acid ester polymer; polyvinyl butyral resin. Vinyl acetal resins such as, etc .; but are not particularly limited. Only one type of these organic binders may be used, or two or more types may be appropriately combined.

また、(C)有機ビヒクルに用いられる溶剤は、本開示に係る導電性ペーストの各種物性を妨げない範囲で、例えば、粘度または流動性等の物性を調整するために用いることができる。溶剤の具体的な種類は特に限定されないが、例えば、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;テルピネオール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のアルコールもしくはグリコールエーテル類とその酢酸エステル類;酢酸ブチル、酢酸アミル、γ-ブチロラクトン等のエステル系溶剤、キシレン、ラウリルベンゼン等の芳香族系溶剤;これら溶剤は1種類のみを用いてもよいし、2種類以上を適宜組み合わせて用いてもよい。 Further, the solvent used in (C) the organic vehicle can be used for adjusting physical properties such as viscosity or fluidity within a range that does not interfere with various physical properties of the conductive paste according to the present disclosure. The specific type of the solvent is not particularly limited, but for example, ketones such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; alcohols or glycol ethers such as terpineol, diethylene glycol monoethyl ether and diethylene glycol monobutyl ether and their acetate esters; acetic acid. Ester-based solvents such as butyl, amyl acetate, and γ-butyrolactone, aromatic solvents such as xylene and laurylbenzene; these solvents may be used alone or in combination of two or more.

(C)有機ビヒクルは、前述した有機バインダに前述した溶剤を混合したものであればよい。また、有機バインダと溶剤との混合比率も特に限定されない。 (C) The organic vehicle may be a mixture of the above-mentioned organic binder and the above-mentioned solvent. Further, the mixing ratio of the organic binder and the solvent is not particularly limited.

[導電性ペースト]
本開示に係る導電性ペーストの製造方法は特に限定されず、導電性ペーストの分野で公知の方法を好適に用いることができる。代表的な一例としては、前述した各成分を所定の配合割合で配合し、公知の混練装置を用いてペースト化する方法が挙げられる。混練装置としては、例えば、公知の3本ロールミル等を挙げることができるが特に限定されない。また、混練の前に各成分を予備混合してもよい。予備混合装置としては、例えば、公知の遊星式攪拌機を挙げることができるが、特に限定されない。
[Conductive paste]
The method for producing the conductive paste according to the present disclosure is not particularly limited, and a method known in the field of conductive paste can be preferably used. As a typical example, there is a method in which each of the above-mentioned components is blended in a predetermined blending ratio and made into a paste using a known kneading device. Examples of the kneading device include known three-roll mills and the like, but the kneading device is not particularly limited. Moreover, each component may be premixed before kneading. Examples of the premixer include known planetary stirrers, but are not particularly limited.

また、本開示に係る導電性ペーストにおいては、前述した(A)金属粉末((A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末)、(B)ガラスフリット、並びに(C)有機ビヒクルの各成分を含んでいればよいが、さらに、導電性ペーストの分野において公知である(D)その他の成分を含んでいてもよい。具体的な(D)その他の成分としては、例えば、分散剤、安定剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、消泡剤、粘度調整剤等を挙げることができる。 Further, in the conductive paste according to the present disclosure, the above-mentioned (A) metal powder ((A-1) silver powder and (A-2) metal silicon powder), (B) glass frit, and (C) organic vehicle It suffices to contain each component of (D) and other components known in the field of conductive paste. Specific examples of the other component (D) include a dispersant, a stabilizer, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an antifoaming agent, and a viscosity modifier.

(A)金属粉末である(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末、(B)ガラスフリット、および(C)有機ビヒクル、必要に応じて(D)その他の成分の配合量、すなわち、本開示に係る導電性ペーストにおける(A)〜(D)成分の含有量(含有率)は特に限定されないが、(A)金属粉末の含有量については、(A−1)銀粉末と(A−2)金属シリコン粉末との含有量の重量比が、(A−1):(A−2)=99:1〜85:15の範囲内であればよい。なお、説明の便宜上、(A−1)銀粉末と(A−2)金属シリコン粉末との含有量の重量比を「含有量条件1」とする。 Amount of (A) silver powder and (A-2) metallic silicon powder, (B) glass frit, and (C) organic vehicle, and (D) other components as required, which are metal powders. That is, the content (content rate) of the components (A) to (D) in the conductive paste according to the present disclosure is not particularly limited, but the content of the (A) metal powder is (A-1) silver powder. The weight ratio of the content of and (A-2) to the metallic silicon powder may be in the range of (A-1) :( A-2) = 99: 1 to 85:15. For convenience of explanation, the weight ratio of the contents of (A-1) silver powder and (A-2) metallic silicon powder is defined as "content condition 1".

含有量条件1が前記の範囲から外れると、後述する実施例に示すように、得られる外部電極の積層チップ部品に対する密着性が低下するおそれがある。また、(A)金属粉末のうち(A−1)銀粉末の含有量が多すぎると、カーケンダール効果が有効に抑制されず、内部電極の突出しまたは接合部の空隙が発生するおそれがある。また、(A)金属粉末のうち(A−2)金属シリコン粉末の含有量が多すぎると、外部電極の表面にガラスの滲み出しまたはメッキの付着不良が発生するおそれがある。 If the content condition 1 deviates from the above range, the adhesion of the obtained external electrode to the laminated chip component may decrease, as shown in Examples described later. Further, if the content of the (A-1) silver powder in the (A) metal powder is too large, the Kirkendal effect is not effectively suppressed, and there is a possibility that the internal electrodes may protrude or voids may occur at the joint. Further, if the content of the (A-2) metallic silicon powder in the (A) metal powder is too large, there is a possibility that glass seepage or poor adhesion of plating may occur on the surface of the external electrode.

また、本開示に係る導電性ペーストにおいては、前記の含有量条件1に加えて、(A)金属粉末の総量すなわち(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末の合計量と(B)ガラスフリットとの含有量の容量比が、(A):(B)=75:25〜95:5の範囲内である条件を満たしている。説明の便宜上、(A)金属粉末の総量と(B)ガラスフリットとの含有量の容量比を「含有量条件2」とする。 Further, in the conductive paste according to the present disclosure, in addition to the above-mentioned content condition 1, the total amount of (A) metal powder, that is, the total amount of (A-1) silver powder and (A-2) metal silicon powder (B) The condition that the volume ratio of the content with the glass frit is in the range of (A) :( B) = 75:25 to 95: 5 is satisfied. For convenience of explanation, the volume ratio of the content of (A) the total amount of the metal powder and (B) the glass frit is defined as "content condition 2".

ここで、含有量条件2における容量比について説明すると、各粉末の配合重量をその比重で除算することにより各粉末の容量(便宜上、配合容量とする)を算出し、各粉末の配合容量の比率を、含有量条件2の容量比としている。具体的には、(A−1)銀粉末であれば、銀の比重(文献値)は10.5g/cm3 であるので、本開示に係る導電性ペーストに配合(含有)される(A−1)銀粉末の重量を例えばWA-1 gとすれば、当該(A−1)銀粉末の配合容量VA-1 は、VA-1 [cm3 ]=WA-1 [g]÷10.5[g/cm3 ]として算出される。 Here, to explain the volume ratio under the content condition 2, the volume of each powder (referred to as the compounding volume for convenience) is calculated by dividing the compounding weight of each powder by the specific gravity, and the ratio of the compounding volume of each powder. Is the volume ratio of the content condition 2. Specifically, in the case of (A-1) silver powder, since the specific gravity (literature value) of silver is 10.5 g / cm 3, it is blended (contained) in the conductive paste according to the present disclosure (A-1). -1) if the weight of the silver powder for example, W a-1 g, blending volume V a-1 of the (a-1) silver powder, V a-1 [cm 3 ] = W a-1 [g ] ÷ 10.5 [g / cm 3 ].

同様に、(A−2)金属シリコン粉末であれば、金属シリコンの比重(文献値)は2.33g/cm3 であるので、本開示に係る導電性ペーストに配合(含有)される(A−2)金属シリコン粉末の重量を例えばWA-2 gとすれば、(A−2)金属シリコン粉末の配合容量VA-2 は、VA-2 [cm3 ]=WA-2 [g]÷2.33[g/cm3 ]として算出される。なお、銀および金属シリコンの比重は、「化学大辞典」(共立出版株式会社、昭和59年第28刷)に記載される文献値である。 Similarly, in the case of (A-2) metallic silicon powder, since the specific gravity (literature value) of metallic silicon is 2.33 g / cm 3, it is blended (contained) in the conductive paste according to the present disclosure (A). -2) Assuming that the weight of the metallic silicon powder is, for example, WA -2 g, (A-2) the compounding capacity of the metallic silicon powder V A-2 is V A-2 [cm 3 ] = WA -2 [ It is calculated as g] ÷ 2.33 [g / cm 3]. The specific densities of silver and metallic silicon are literature values described in "Chemical Encyclopedia" (Kyoritsu Shuppan Co., Ltd., 28th edition, 1984).

(B)ガラスフリットについては、当該(B)ガラスフリットとして用いられるガラスの種類に応じて比重が異なるので、まず、(B)ガラスフリットの真比重を測定する。本実施の形態では、真比重は、約5gのガラスフリットを軟化点以上で溶融し、得られたガラス塊からアルキメデス法にて測定する。測定されたガラスフリットの真比重を例えばSB g/cm3 とし、本開示に係る導電性ペーストに配合(含有)される(B)ガラスフリットの重量を例えばWB gとすれば、(B)ガラスフリットの金属シリコン粉末の配合容量VB は、VB [cm3 ]=WB [g]÷SB [g/mm3 ]として算出される。 Since the specific gravity of (B) glass frit differs depending on the type of glass used as (B) glass frit, first, the true specific gravity of (B) glass frit is measured. In the present embodiment, the true specific gravity is measured by the Archimedes method from the obtained glass gob by melting about 5 g of glass frit at the softening point or higher. If the true specific gravity of the measured glass frit is, for example, S B g / cm 3, and the weight of the (B) glass frit blended (contained) in the conductive paste according to the present disclosure is, for example, W B g, (B). ) blending capacity V B metal silicon powder of the glass frit is calculated as V B [cm 3] = W B [g] ÷ S B [g / mm 3].

したがって、前述した例では、(A)金属粉末の総量((A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末の合計量)と(B)ガラスフリットとの含有量の容量比は、(A):(B)=VA-1 +VA-2 :VB となる。 Therefore, in the above-mentioned example, the volume ratio of the content of (A) total amount of metal powder ((A-1) total amount of silver powder and (A-2) metal silicon powder) and (B) glass frit is (A): (B) = V A-1 + V A-2 : V B.

含有量条件2が前記の範囲から外れると、後述する実施例に示すように、カーケンダール効果を抑制することは可能であっても、外部電極の品質が低下する傾向にある。(A)金属粉末の総量(体積)が多すぎると、外部電極の表面にガラスの滲み出しまたはメッキの付着不良が発生するおそれがある。また、(B)ガラスフリットの含有量(体積)が多すぎると、外部電極の積層チップ部品に対する密着性が低下するおそれがある。 When the content condition 2 deviates from the above range, the quality of the external electrode tends to deteriorate even if the Kirkendal effect can be suppressed, as shown in Examples described later. (A) If the total amount (volume) of the metal powder is too large, there is a risk that glass oozes out or plating adhesion is poor on the surface of the external electrode. Further, if (B) the content (volume) of the glass frit is too large, the adhesion of the external electrode to the laminated chip component may decrease.

なお、(C)有機ビヒクルの配合量は特に限定されない。一般的には、例えば、導電性ペースト全体に対して0.05〜30重量%の範囲内を挙げることができる。この範囲内であれば、得られる導電性ペーストのハンドリング性を良好なものとすることができる。導電性ペーストを構成する(A)金属粉末および/または(B)ガラスフリットの具体的な種類、あるいは、(C)有機ビヒクルそのものの種類等に応じて、前記の範囲から外れた配合量で(C)有機ビヒクルを配合することができる。また、(D)その他の成分の配合量は特に限定されず、導電性ペーストおよび外部電極の物性および機能、(A)〜(C)の各成分による作用効果を妨げない範囲で配合すればよい。 The blending amount of (C) organic vehicle is not particularly limited. Generally, for example, the range of 0.05 to 30% by weight with respect to the entire conductive paste can be mentioned. Within this range, the handleability of the obtained conductive paste can be improved. Depending on the specific type of (A) metal powder and / or (B) glass frit constituting the conductive paste, or (C) the type of the organic vehicle itself, the blending amount is out of the above range ( C) Organic vehicles can be blended. Further, the blending amount of (D) and other components is not particularly limited, and may be blended within a range that does not interfere with the physical characteristics and functions of the conductive paste and the external electrode, and the action and effect of each component (A) to (C). ..

[積層チップ部品]
本開示に係る積層チップ部品(あるいは積層電子部品)は、前述した本開示に係る導電性ペーストを用いて形成される外部電極と、この外部電極に電気的に接続され、パラジウム(Pd)を含有する内部電極と、この内部電極が設けられるセラミック製の本体と、を備えるものであればよい。
[Laminated chip parts]
The laminated chip component (or laminated electronic component) according to the present disclosure contains an external electrode formed by using the above-mentioned conductive paste according to the present disclosure, and is electrically connected to the external electrode and contains palladium (Pd). It suffices to include an internal electrode to be provided and a ceramic main body provided with the internal electrode.

セラミック製の本体および内部電極の具体的な構成は特に限定されない。セラミック製の本体は、積層チップ部品の分野で公知のセラミック材料で構成された公知の形状または構造を有していればよい。また、内部電極は、セラミック製の本体内に設けられ、パラジウムを含有しており、その端面がセラミック材料の側面の少なくとも一部に露出していればよい。それゆえ、内部電極が本体の側面に露出している状態は特に限定されない。 The specific configuration of the ceramic body and internal electrodes is not particularly limited. The ceramic body may have a known shape or structure made of a ceramic material known in the field of laminated chip parts. Further, the internal electrode may be provided in a ceramic main body, contain palladium, and its end face may be exposed to at least a part of the side surface of the ceramic material. Therefore, the state in which the internal electrodes are exposed on the side surface of the main body is not particularly limited.

本開示に係る導電性ペーストは、このような構成のセラミック製の本体の側面に外部電極を形成する用途に好適に用いることができる。前記の通り、一般的に銀を含有する導電性ペーストで外部電極を形成した場合には、導電性ペーストの焼成時に、銀とパラジウムとの相互拡散に起因して、前記の通り外部電極の表面に「突出し」と呼ばれる現象が生じる(カーケンダール効果)とともに、外部電極内が空疎化する。これに対して、本開示に係る導電性ペーストは、前記の通りカーケンダール効果を有効に抑制することができるので、外部電極において突出しおよび/または空疎化の発生を有効に抑制することができる。 The conductive paste according to the present disclosure can be suitably used for forming an external electrode on the side surface of a ceramic body having such a structure. As described above, when the external electrode is generally formed of a conductive paste containing silver, the surface of the external electrode is formed as described above due to the mutual diffusion of silver and palladium during firing of the conductive paste. A phenomenon called "protrusion" occurs (Kerkendal effect), and the inside of the external electrode becomes empty. On the other hand, since the conductive paste according to the present disclosure can effectively suppress the Kirkendal effect as described above, it is possible to effectively suppress the occurrence of protrusion and / or depopulation at the external electrode.

代表的な積層チップ部品としては、例えば、図1に模式的に示すような構成の積層セラミック素子10を挙げることができる。この積層セラミック素子10は、セラミック素体11(セラミック積層体)および外部電極12を備えている。セラミック素体11は、複数のセラミック層21と複数の内部電極22とを有しており、これらセラミック層21と内部電極22とが交互に積層された積層構造を有している。セラミック層21は公知のセラミックで構成され、内部電極22はパラジウムを含有する。 As a typical laminated chip component, for example, a laminated ceramic element 10 having a configuration schematically shown in FIG. 1 can be mentioned. The laminated ceramic element 10 includes a ceramic element 11 (ceramic laminated body) and an external electrode 12. The ceramic body 11 has a plurality of ceramic layers 21 and a plurality of internal electrodes 22, and has a laminated structure in which the ceramic layers 21 and the internal electrodes 22 are alternately laminated. The ceramic layer 21 is made of a known ceramic, and the internal electrode 22 contains palladium.

セラミック素体11の両側面には、内部電極22の端面が露出している。また、外部電極12は、このセラミック素体11の両側面と、それぞれの側面面近傍の表面の一部を覆うように設けられている。外部電極12は、銀を含有しており、内部電極22と電気的に接続されている。また、図1に示す構成では、外部電極12の表面には、公知の金属(例えばニッケル(Ni)、スズ(Sn)等)のメッキ層23が形成されている。このメッキ層23は外部電極12の端子として機能する。 The end faces of the internal electrodes 22 are exposed on both side surfaces of the ceramic body 11. Further, the external electrodes 12 are provided so as to cover both side surfaces of the ceramic body 11 and a part of the surface in the vicinity of the respective side surface surfaces. The external electrode 12 contains silver and is electrically connected to the internal electrode 22. Further, in the configuration shown in FIG. 1, a plating layer 23 of a known metal (for example, nickel (Ni), tin (Sn), etc.) is formed on the surface of the external electrode 12. The plating layer 23 functions as a terminal of the external electrode 12.

このような積層セラミック素子10の製造方法は特に限定されない。一般的には、複数層のセラミックグリーンシートの間に内部電極22となる導電性ペースト層を介在するように積層し、得られる積層体を加熱圧着する等してから所定形状に加工して焼成することにより、セラミック素体11を製造することができる。このセラミック素体11の両側面に本開示に係る導電性ペーストを塗布して焼成することにより外部電極12を形成し、その後にメッキ層23を形成すればよい。なお、メッキ層23の形成方法は特に限定されず公知の方法を用いることができる。例えば後述する実施例ではバレルメッキ法を用いてメッキ層23を形成している。 The method for manufacturing such a laminated ceramic element 10 is not particularly limited. Generally, a conductive paste layer serving as an internal electrode 22 is laminated between a plurality of ceramic green sheets, and the obtained laminate is heat-bonded and then processed into a predetermined shape and fired. By doing so, the ceramic element 11 can be manufactured. The external electrode 12 may be formed by applying the conductive paste according to the present disclosure to both side surfaces of the ceramic element 11 and firing it, and then the plating layer 23 may be formed. The method for forming the plating layer 23 is not particularly limited, and a known method can be used. For example, in the examples described later, the plating layer 23 is formed by using the barrel plating method.

本開示に係る積層チップ部品が配線基板に実装されたり他の電気素子に電気的に接続されたりする場合には、外部電極の表面に形成されたメッキすなわち外部電極端子と、配線基板または電気素子の電極端子とをはんだ等により電気的に接合する。したがって、外部電極においては、内部電極に対する内部的な電気的接続だけでなく、配線基板または他の電気素子等との外部的な電気的接続も良好なものとなっている必要がある。 When the laminated chip component according to the present disclosure is mounted on a wiring board or electrically connected to another electric element, the plating formed on the surface of the external electrode, that is, the external electrode terminal, and the wiring board or the electric element Electrically join the electrode terminals of the above with solder or the like. Therefore, in the external electrode, it is necessary that not only the internal electrical connection to the internal electrode but also the external electrical connection with the wiring board or other electric elements is good.

外部電極においては、カーケンダール効果による内部電極の突出しまたは接合部の空隙が、内部的な接続に影響を及ぼす。一方、外部電極そのものの空疎化、ガラス成分((B)ガラスフリットに由来)の滲み出し、あるいは、外部電極表面へのメッキ(端子)の付着不良が、外部的な接続に影響を及ぼす。本開示に係る導電性ペーストは、カーケンダール効果を抑制できるとともに、外部電極の空疎化を抑制し、ガラス成分の滲み出しまたはメッキの付着不良を有効に抑制することができる。その結果、外部電極を従来よりも一層良好なものとすることができるので、当該外部電極を備える積層チップ部品も良好なものとすることができる。 In the external electrode, the protrusion of the internal electrode or the void in the joint due to the Kirkendal effect affects the internal connection. On the other hand, depopulation of the external electrode itself, exudation of the glass component (derived from (B) glass frit), or poor adhesion of the plating (terminal) to the surface of the external electrode affects the external connection. The conductive paste according to the present disclosure can suppress the Kirkendal effect, suppress the depopulation of the external electrode, and effectively suppress the exudation of the glass component or the poor adhesion of the plating. As a result, the external electrode can be made even better than the conventional one, so that the laminated chip component provided with the external electrode can also be made good.

この点について具体的に説明する。例えば、図2(A)に模式的に示すように、従来の積層セラミック素子100は、図1に示す本開示に係る積層セラミック素子10と基本的に同様の構成である(ただし、図2(A)に示す構成では、メッキ層23は形成されていない)。この従来の積層セラミック素子100は、前述した構成のセラミック素体11の側面に従来の導電性ペーストを塗布して焼成し、従来の外部電極112を形成する。図2(A)において破線で囲んだ領域S0は、従来の積層セラミック素子100において、セラミック素体11の側面に従来の外部電極112が形成された部位である。 This point will be specifically described. For example, as schematically shown in FIG. 2 (A), the conventional laminated ceramic element 100 has basically the same configuration as the laminated ceramic element 10 according to the present disclosure shown in FIG. 1 (however, FIG. 2 (however, FIG. 2 (A)). In the configuration shown in A), the plating layer 23 is not formed). In this conventional laminated ceramic element 100, a conventional conductive paste is applied to a side surface of a ceramic body 11 having the above-described configuration and fired to form a conventional external electrode 112. The region S0 surrounded by a broken line in FIG. 2A is a portion of the conventional laminated ceramic element 100 in which the conventional external electrode 112 is formed on the side surface of the ceramic element 11.

図2(B)は、図2(A)における領域S0の模式的部分断面図である。図2(B)に示すように、セラミック素体11の側面には、内部電極22の端縁が露出しているが、従来の導電性ペーストで従来の外部電極112を形成すると、従来の導電性ペーストの焼成時には、カーケンダール効果により、内部電極22から外部電極112に突出するように成長し、突出し22aが形成される。 FIG. 2B is a schematic partial cross-sectional view of region S0 in FIG. 2A. As shown in FIG. 2B, the edge of the internal electrode 22 is exposed on the side surface of the ceramic element 11, but when the conventional external electrode 112 is formed with the conventional conductive paste, the conventional conductivity is formed. When the sex paste is fired, it grows so as to project from the internal electrode 22 to the external electrode 112 due to the Kirkendal effect, and the projecting 22a is formed.

従来の導電性ペーストの焼成に伴い、突出し22aが外部電極112に向かって成長すると、内部電極22と外部電極112との接触面(または界面、あるいは内部電極22と外部電極112との接合部)において、外部電極112の一部が突き上げられる。その結果、例えば、図2(B)に模式的に示すように、突出し22aの周囲に空洞d0(または空隙)が生じてしまう。このような空洞d0が生じれば、外部電極112が空疎化することになる。 When the protrusion 22a grows toward the external electrode 112 with the firing of the conventional conductive paste, the contact surface between the internal electrode 22 and the external electrode 112 (or the interface, or the joint between the internal electrode 22 and the external electrode 112). In, a part of the external electrode 112 is pushed up. As a result, for example, as schematically shown in FIG. 2B, a cavity d0 (or a void) is formed around the protrusion 22a. If such a cavity d0 occurs, the external electrode 112 will be emptied.

これに対して、本開示に係る積層セラミック素子10では、図2(C)に模式的に示すように、内部電極22の端縁22bには突出し22aが生じることが実質的に回避または抑制される。そのため、外部電極12に空洞d0等が生じることが有効に抑制される。これは、前述したように、外部電極12に用いられる本開示に係る導電性ペーストが、(A−1)銀粉末と(A−2)金属シリコン粉末との含有量の重量比が、(A−1):(A−2)=99:1〜85:15の範囲内であるという含有量条件1と、(A)金属粉末の総量((A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末の合計量)と(B)ガラスフリットとの含有量の容量比が、(A):(B)=75:25〜95:5の範囲内であるという含有量条件2とを満たしているためである。また、本開示に係る導電性ペーストにおいては、(B)ガラスフリットの比重が2.5g/cm3 〜6.2g/cm3 の範囲内であれば、カーケンダール効果をより一層有効に抑制することも可能になる。 On the other hand, in the laminated ceramic element 10 according to the present disclosure, as schematically shown in FIG. 2C, it is substantially avoided or suppressed that a protrusion 22a is generated at the edge 22b of the internal electrode 22. To. Therefore, the formation of the cavity d0 or the like in the external electrode 12 is effectively suppressed. This is because, as described above, the conductive paste according to the present disclosure used for the external electrode 12 has a weight ratio of the content of (A-1) silver powder and (A-2) metallic silicon powder, which is (A). -1): Content condition 1 that (A-2) = 99: 1 to 85:15, and (A) total amount of metal powder ((A-1) silver powder and (A-2)) The content condition 2 that the volume ratio of the content (total amount of metallic silicon powder) and (B) glass frit is in the range of (A) :( B) = 75: 25 to 95: 5 is satisfied. Because it is. In the conductive paste according to the present disclosure, (B) as long as it is within the range the specific gravity of the glass frit is 2.5g / cm 3 ~6.2g / cm 3 , to be more effectively suppressed Kakendaru effect Will also be possible.

本開示に係る積層チップ部品の具体的な種類等については特に限定されない。代表的な積層チップ部品としては、積層セラミックコンデンサ、積層チップバリスタ、積層チップサーミスタ、または積層圧電素子等を挙げることができる。また、内部電極は、セラミック積層体等のようなセラミック製の本体内に少なくとも1つ設けられればよい。また、内部電極の端面は、セラミック製の本体の側面の少なくとも一部において露出していればよく、外部電極は、この露出した内部電極の端面に電気的に接続できればよい。 The specific types and the like of the laminated chip parts according to the present disclosure are not particularly limited. Typical laminated chip components include a laminated ceramic capacitor, a laminated chip varistor, a laminated chip thermistor, a laminated piezoelectric element, and the like. Further, at least one internal electrode may be provided in a ceramic main body such as a ceramic laminate. Further, the end face of the internal electrode may be exposed at least a part of the side surface of the ceramic main body, and the external electrode may be electrically connected to the end face of the exposed internal electrode.

このように、本開示に係る導電性ペーストには、(A)金属粉末として、(A−1)銀粉末だけでなく(A−2)金属シリコン粉末が含有されており、これら(A)金属粉末の含有量の重量比が所定範囲内に設定されるとともに、(A)金属粉末および(B)ガラスフリットの含有量の容量費が所定範囲内に設定されている。また、(B)ガラスフリットとして、その軟化点が焼成温度よりも50℃程度低いものを用いている。 As described above, the conductive paste according to the present disclosure contains not only (A-1) silver powder but also (A-2) metallic silicon powder as (A) metal powder, and these (A) metals. The weight ratio of the powder content is set within a predetermined range, and the capacity cost of the contents of (A) metal powder and (B) glass frit is set within a predetermined range. Further, as the (B) glass frit, a glass frit whose softening point is lower than the firing temperature by about 50 ° C. is used.

これにより、導電性ペーストを焼成して外部電極を形成する際に、カーケンダール効果を有効に抑制することができるので、外部電極および内部電極との接触面(接合部)に突出しが生じることを抑制することができるとともに、接合部に空隙が生じることも抑制することができる。さらに、外部電極そのものの品質を良好なものとすることができる。その結果、カーケンダール効果を抑制して内部電極と良好な電気的接続を実現する外部電極を得ることができる。 As a result, when the conductive paste is fired to form an external electrode, the Kirkendal effect can be effectively suppressed, so that the contact surface (joint portion) with the external electrode and the internal electrode is prevented from protruding. At the same time, it is possible to suppress the formation of voids in the joint portion. Further, the quality of the external electrode itself can be improved. As a result, it is possible to obtain an external electrode that suppresses the Kirkendar effect and realizes a good electrical connection with the internal electrode.

本発明について、実施例および比較例に基づいてより具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。当業者は本発明の範囲を逸脱することなく、種々の変更、修正、および改変を行うことができる。なお、以下の実施例における各種合成反応や物性等の測定・評価は次に示すようにして行った。 The present invention will be described in more detail based on Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto. Those skilled in the art can make various modifications, modifications, and modifications without departing from the scope of the present invention. The measurements and evaluations of various synthetic reactions and physical properties in the following examples were carried out as follows.

(評価方法)
[外部電極と内部電極との接合部における空隙評価]
実施例または比較例で得られた外部電極付積層チップ部品を包埋用樹脂(ビューラー(BUEHLER)社製、製品名:EPOXI CURE(登録商標)で包埋し、グラインダーポリッシャーにて削り出すことにより研磨した。この研磨により得られた断面の形状を、走査型電子顕微鏡(SEM,日本電子株式会社製、製品名:JSM−6510A)にて観察した。外部電極と内部電極との接合部に空隙があれば「×」、空隙がなければ「○」として評価した。
(Evaluation method)
[Evaluation of voids at the joint between the external electrode and the internal electrode]
By embedding the laminated chip parts with external electrodes obtained in Examples or Comparative Examples with an embedding resin (manufactured by BUEHLER, product name: EPOXI CURE (registered trademark)) and grinding with a grinder polisher. Polished. The shape of the cross section obtained by this polishing was observed with a scanning electron microscope (SEM, manufactured by Nippon Denshi Co., Ltd., product name: JSM-6510A). If there was, it was evaluated as "x", and if there was no void, it was evaluated as "○".

[内部電極の外部電極への突出し評価]
実施例または比較例で得られた外部電極付積層チップ部品を、前記空隙評価と同様に包埋用樹脂で包埋して研磨し、この研磨により得られた断面の形状を、前記空隙評価と同様にSEMにて観察した。外部電極と内部電極との接合部に、内部電極の突出しがあれば「×」、突出しがなければ「○」として評価した。
[Evaluation of protrusion of internal electrode to external electrode]
The laminated chip parts with external electrodes obtained in Examples or Comparative Examples are embedded and polished with an embedding resin in the same manner as in the void evaluation, and the cross-sectional shape obtained by this polishing is referred to as the void evaluation. Similarly, it was observed by SEM. If there was a protrusion of the internal electrode at the joint between the external electrode and the internal electrode, it was evaluated as “x”, and if there was no protrusion, it was evaluated as “◯”.

[ガラスの滲み出しまたはメッキの付着不良]
実施例または比較例で得られた外部電極付積層チップ部品の表面をSEMで観察した。ガラスの滲み出しまたはメッキの付着不良があれば「×」、なければ「○」として評価した。
[Glass exudation or poor plating adhesion]
The surface of the laminated chip component with an external electrode obtained in Examples or Comparative Examples was observed by SEM. If there was glass bleeding or poor plating adhesion, it was evaluated as "x", otherwise it was evaluated as "○".

[外部電極の素子への密着性]
実施例または比較例で得られた外部電極付積層チップ部品をJIS C5101にしたがって、銅張りプリント基板上に半田付け実装し、引張り圧縮試験機(株式会社今田製作所製、製品名:SH−14ND−20RE)にて側面より5N加圧した。端子電極の剥離または剥離の徴候がなければ「○」、剥離、破壊等の不具合が発生すれば「×」として評価した。
[Adhesion of external electrodes to elements]
Laminated chip parts with external electrodes obtained in Examples or Comparative Examples are soldered and mounted on a copper-clad printed circuit board according to JIS C5101, and a tensile compression tester (manufactured by Imada Seisakusho Co., Ltd., product name: SH-14ND-). 20RE) was applied by pressurizing 5N from the side surface. If there was no sign of peeling or peeling of the terminal electrode, it was evaluated as "○", and if a problem such as peeling or breakage occurred, it was evaluated as "x".

((A)金属粉末、(B)ガラスフリット、および(C)有機ビヒクル)
実施例または比較例では、(A)金属粉末である(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末としては、次の表1に示す符号A11〜A12およびA21〜A23を用いた。また、(B)ガラスフリットとしては、次の表2に示す符号B1〜B6に示すものを用いた。また、(C)有機ビヒクルとしては、実施例および比較例のいずれも、エチルセルロース樹脂(ダウケミカル社製、製品名:エトセルSTD100)をテルピネオール/ジエチレングリコールモノブチルエーテル/ジエチレングリコールモノブチルエーテル=5/3/2の混合溶媒に溶解したものを用いた。なお、エチルセルロース樹脂と上記の混合溶媒との混合比は92:8とした。
((A) metal powder, (B) glass frit, and (C) organic vehicle)
In Examples or Comparative Examples, the symbols A11 to A12 and A21 to A23 shown in Table 1 below were used as the (A-1) silver powder and the (A-2) metallic silicon powder, which are the metal powders. .. Further, as the (B) glass frit, those shown by reference numerals B1 to B6 shown in Table 2 below were used. Further, as the (C) organic vehicle, in both Examples and Comparative Examples, ethyl cellulose resin (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd., product name: Etocell STD100) was used as terpineol / diethylene glycol monobutyl ether / diethylene glycol monobutyl ether = 5/3/2. The one dissolved in the mixed solvent was used. The mixing ratio of the ethyl cellulose resin and the above-mentioned mixed solvent was 92: 8.

Figure 0006879885
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(実施例1)
外部電極が形成される前の積層セラミックコンデンサ(MLCC,Multi-Layer Ceramic Capacitor)素子として、1608サイズ(1.6mm×0.8mm)、静電容量1nF、内部電極がPd製の素子を用いた。
(Example 1)
As a multilayer ceramic capacitor (MLCC, Multi-Layer Ceramic Capacitor) element before the external electrode was formed, an element having a size of 1608 (1.6 mm × 0.8 mm), a capacitance of 1 nF, and an internal electrode made of Pd was used. ..

(A)金属粉末である(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末、(B)ガラスフリット、並びに(C)有機ビヒクルを表3に示す組成(表1および表2参照)で配合し、遊星式攪拌機で予備混合した後、3本ロールミルで混練かつ分散させて、実施例1に係る導電性ペーストを調製(製造)した。 The composition of (A) silver powder and (A-2) metallic silicon powder, (B) glass frit, and (C) organic vehicle, which are metal powders, shown in Table 3 (see Tables 1 and 2). After premixing with a planetary stirrer, kneading and dispersing with a three-roll mill to prepare (manufacture) the conductive paste according to Example 1.

ここで、本実施例1では、表3に示すように(A−1)銀粉末の配合量は70.2重量部であり、(A−2)金属シリコン粉末の配合量は0.709重量部である。また、(B)ガラスフリットとしては、表2に示すガラスフリットB2を9.09重量部の配合量で用いている。前記の通り、銀の比重(文献値)が10.5g/cm3 であり、金属シリコンの比重(文献値)が2.33g/cm3 であり、ガラスフリットB2の比重(真比重、測定値)は5.2g/cm3 (表2参照)である。 Here, in the first embodiment, as shown in Table 3, the blending amount of the (A-1) silver powder is 70.2 parts by weight, and the blending amount of the (A-2) metallic silicon powder is 0.709 weight. It is a department. As the (B) glass frit, the glass frit B2 shown in Table 2 is used in an amount of 9.09 parts by weight. As described above, the specific density of silver (literature value) is 10.5 g / cm 3 , the specific gravity of metallic silicon (literature value) is 2.33 g / cm 3 , and the specific gravity of glass frit B2 (true specific density, measured value). ) Is 5.2 g / cm 3 (see Table 2).

それゆえ、本実施例1に係る導電性ペーストの容量比(A):(B)は、(70.2÷10.5)+(0.709÷2.33):(9.09÷5.2)=6.99:1.75=80.0:20.0(表3参照)となる。なお、実施例2〜11および比較例1〜6における容量比(A):(B)の算出の詳細については省略する。 Therefore, the volume ratio (A): (B) of the conductive paste according to the first embodiment is (70.2 ÷ 10.5) + (0.709 ÷ 2.33) :( 9.09 ÷ 5). .2) = 6.99: 1.75 = 80.0: 20.0 (see Table 3). The details of the calculation of the capacity ratio (A): (B) in Examples 2 to 11 and Comparative Examples 1 to 6 will be omitted.

得られた導電性ペーストを、ディップコーターにより前記MLCC素子の両端部側面(Pd製の内部電極の端面が露出している面)にディップコートし、150℃10分間乾燥した後に、Box炉にて加熱焼成した。加熱焼成条件は、昇温:20℃/分、ピーク温度:700℃(表3参照)、降温:自然冷却とした。これにより、MLCC素子の両端部側面に外部電極を形成した。 The obtained conductive paste is dip-coated on the side surfaces of both ends of the MLCC element (the surface where the end faces of the internal electrodes made of Pd are exposed) by a dip coater, dried at 150 ° C. for 10 minutes, and then in a Box furnace. It was fired by heating. The heating and firing conditions were as follows: temperature rise: 20 ° C./min, peak temperature: 700 ° C. (see Table 3), and temperature reduction: natural cooling. As a result, external electrodes were formed on the side surfaces of both ends of the MLCC element.

このようにして得られた外部電極付MLCC素子に対して、バレルメッキ試験機(株式会社山本鍍金試験機製、商品名:ミニバレル1−B型)を用いて電界ニッケルメッキを施すことにより、外部電極に対してメッキ層を形成した。なお、メッキ層を形成する条件は、高pH、Watt浴中において、陽極としてニッケル陽極板(住友金属鉱山株式会社製)を用いるとともに陰極としてクロムメッキした2mmφボールを用い、陰極表面積当たり3A/dm2 の電流を30分間流す条件とした。これにより、実施例1に係る外部電極付積層チップ部品を得た。 The MLCC element with an external electrode thus obtained is subjected to electric field nickel plating using a barrel plating tester (manufactured by Yamamoto Plating Tester Co., Ltd., trade name: mini barrel 1-B type) to obtain an external electrode. A plating layer was formed on the surface. The conditions for forming the plating layer are a nickel anode plate (manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd.) as an anode and a chrome-plated 2 mmφ ball as a cathode in a high pH, Watt bath, and 3 A / dm per cathode surface area. The condition was that the current of 2 was passed for 30 minutes. As a result, a laminated chip component with an external electrode according to Example 1 was obtained.

得られた外部電極付積層チップ部品について、前述した通り、外部電極と内部電極との接合部における空隙、内部電極の外部電極への突出し、ガラスの滲み出しまたはメッキの付着不良、並びに、外部電極の素子への密着性について評価した。その結果を表3に示す。 Regarding the obtained laminated chip component with an external electrode, as described above, the gap at the joint between the external electrode and the internal electrode, the protrusion of the internal electrode to the external electrode, the exudation of glass or the poor adhesion of plating, and the external electrode The adhesion to the element was evaluated. The results are shown in Table 3.

(実施例2〜4)
表3に示すように、(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末の含有量の重量比を変化させるとともに、(A)金属粉末および(B)ガラスフリットの容量比を80:20とするように調整した以外は、実施例1と同様にして実施例2〜4に係る導電性ペーストを調製するとともに、実施例2〜4に係る外部電極付積層チップ部品を得た。
(Examples 2 to 4)
As shown in Table 3, the weight ratio of the contents of (A-1) silver powder and (A-2) metal silicon powder is changed, and the volume ratio of (A) metal powder and (B) glass frit is 80. The conductive pastes according to Examples 2 to 4 were prepared in the same manner as in Example 1 except that the ratio was adjusted to: 20, and laminated chip parts with external electrodes according to Examples 2 to 4 were obtained.

得られた外部電極付積層チップ部品について、前述した通り、外部電極と内部電極との接合部における空隙、内部電極の外部電極への突出し、ガラスの滲み出しまたはメッキの付着不良、並びに、外部電極の素子への密着性について評価した。その結果を表3に示す。 Regarding the obtained laminated chip component with an external electrode, as described above, the gap at the joint between the external electrode and the internal electrode, the protrusion of the internal electrode to the external electrode, the exudation of glass or the poor adhesion of plating, and the external electrode The adhesion to the element was evaluated. The results are shown in Table 3.

(実施例5〜8)
表3または表4に示すように、(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末の種類を変更して(表1参照)含有量の重量比を変化させるとともに、(B)ガラスフリットの種類を変更して(表2参照)(A)金属粉末および(B)ガラスフリットの容量比を変化させた以外は、実施例1と同様にして実施例5〜8に係る導電性ペーストを調製するとともに、実施例5〜8に係る外部電極付積層チップ部品を得た。
(Examples 5 to 8)
As shown in Table 3 or Table 4, the types of (A-1) silver powder and (A-2) metallic silicon powder are changed (see Table 1) to change the weight ratio of the contents, and (B). Conductivity according to Examples 5 to 8 in the same manner as in Example 1 except that the type of glass frit was changed (see Table 2) and the volume ratios of (A) metal powder and (B) glass frit were changed. Along with preparing the paste, laminated chip parts with external electrodes according to Examples 5 to 8 were obtained.

得られた外部電極付積層チップ部品について、前述した通り、外部電極と内部電極との接合部における空隙、内部電極の外部電極への突出し、ガラスの滲み出しまたはメッキの付着不良、並びに、外部電極の素子への密着性について評価した。その結果を表3または表4に示す。 Regarding the obtained laminated chip component with an external electrode, as described above, the gap at the joint between the external electrode and the internal electrode, the protrusion of the internal electrode to the external electrode, the exudation of glass or the poor adhesion of plating, and the external electrode The adhesion to the element was evaluated. The results are shown in Table 3 or Table 4.

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(実施例9〜11)
表4に示すように、(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末の種類を変更して(表1参照)含有量の重量比を90:10に調整するとともに、さらに、(B)ガラスフリットの種類を変更して(表2参照)(A)金属粉末および(B)ガラスフリットの容量比を変化させた以外は、実施例1と同様にして実施例9〜11に係る導電性ペーストを調製するとともに、実施例9〜11に係る外部電極付積層チップ部品を得た。
(Examples 9 to 11)
As shown in Table 4, the types of (A-1) silver powder and (A-2) metallic silicon powder were changed (see Table 1) to adjust the weight ratio of the contents to 90:10, and further. In Examples 9 to 11 in the same manner as in Example 1 except that (B) the type of the glass frit was changed (see Table 2), (A) the metal powder and (B) the volume ratio of the glass frit were changed. The conductive paste was prepared, and the laminated chip parts with external electrodes according to Examples 9 to 11 were obtained.

得られた外部電極付積層チップ部品について、前述した通り、外部電極と内部電極との接合部における空隙、内部電極の外部電極への突出し、ガラスの滲み出しまたはメッキの付着不良、並びに、外部電極の素子への密着性について評価した。その結果を表4に示す。 Regarding the obtained laminated chip component with an external electrode, as described above, the gap at the joint between the external electrode and the internal electrode, the protrusion of the internal electrode to the external electrode, the exudation of glass or the poor adhesion of plating, and the external electrode The adhesion to the element was evaluated. The results are shown in Table 4.

Figure 0006879885
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(比較例1〜6)
表5に示すように、(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末の含有量の重量比を99:1〜85:15の範囲外に調整するか(比較例1、比較例2)、(A)金属粉末および(B)ガラスフリットの容量比を75:25〜95:5の範囲外に調整するか(比較例3、比較例4)、あるいは、(B)ガラスフリットとして、軟化点が450℃〜700℃の範囲外のものを用いた(比較例5、比較例6)以外は、実施例1と同様にして比較例1〜6に係る導電性ペーストを調製するとともに、比較例1〜6に係る外部電極付積層チップ部品を得た。
(Comparative Examples 1 to 6)
As shown in Table 5, whether the weight ratio of the contents of (A-1) silver powder and (A-2) metallic silicon powder is adjusted to be outside the range of 99: 1 to 85:15 (Comparative Example 1, Comparison). Example 2), the volume ratio of (A) metal powder and (B) glass frit is adjusted outside the range of 75:25 to 95: 5 (Comparative Example 3, Comparative Example 4), or (B) glass frit. The conductive pastes according to Comparative Examples 1 to 6 were prepared in the same manner as in Example 1 except that those having a softening point outside the range of 450 ° C. to 700 ° C. were used (Comparative Example 5 and Comparative Example 6). At the same time, laminated chip parts with external electrodes according to Comparative Examples 1 to 6 were obtained.

得られた外部電極付積層チップ部品について、前述した通り、外部電極と内部電極との接合部における空隙、内部電極の外部電極への突出し、ガラスの滲み出しまたはメッキの付着不良、並びに、外部電極の素子への密着性について評価した。その結果を表5に示す。 Regarding the obtained laminated chip component with an external electrode, as described above, the gap at the joint between the external electrode and the internal electrode, the protrusion of the internal electrode to the external electrode, the exudation of glass or the poor adhesion of plating, and the external electrode The adhesion to the element was evaluated. The results are shown in Table 5.

Figure 0006879885
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(実施例および比較例の対比)
実施例1〜11の結果から明らかなように、本開示に係る導電性ペーストは、(A)金属粉末である(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末と、(B)ガラスフリットと、(C)有機ビヒクルとを含有し、特に(A)金属粉末および(B)ガラスフリットにおいて前述した含有量条件1および含有量条件2を満たしていれば、カーケンダール効果を有効に抑制して良好な外部電極を形成することができる。
(Comparison between Examples and Comparative Examples)
As is clear from the results of Examples 1 to 11, the conductive paste according to the present disclosure is (A) a metal powder (A-1) silver powder and (A-2) a metal silicon powder, and (B). If the glass frit and (C) organic vehicle are contained, and in particular, (A) metal powder and (B) glass frit satisfy the above-mentioned content condition 1 and content condition 2, the Kirkendar effect is effectively suppressed. It is possible to form a good external electrode.

一方、比較例1〜6の結果から明らかなように、導電性ペーストにおいては含有量条件1または含有量条件2を満たさない場合には、カーケンダール効果を有効に抑制できないか、外部電極の品質が低下する。また、含有量条件1および含有量条件2を満たしていても、(B)ガラスフリットの軟化点が所定の範囲から外れれば、カーケンダール効果を有効に抑制できない、外部電極の素子との密着性が不十分である、または外部電極表面へのガラスの滲み出しによるメッキの濡れが悪化する等の不具合が発生した。 On the other hand, as is clear from the results of Comparative Examples 1 to 6, when the content condition 1 or the content condition 2 is not satisfied in the conductive paste, the Kirkendar effect cannot be effectively suppressed or the quality of the external electrode is poor. descend. Further, even if the content condition 1 and the content condition 2 are satisfied, if the softening point of the glass frit (B) is out of the predetermined range, the Kirkendar effect cannot be effectively suppressed, and the adhesion of the external electrode to the element is improved. Problems such as inadequacy or worsening of the wetting of the plating due to the exudation of glass to the surface of the external electrode occurred.

なお、本発明は前記実施の形態の記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示した範囲内で種々の変更が可能であり、異なる実施の形態や複数の変形例にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施の形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。 The present invention is not limited to the description of the above-described embodiment, and various modifications can be made within the scope of the claims, and the present invention is disclosed in different embodiments and a plurality of modifications. Embodiments obtained by appropriately combining the above technical means are also included in the technical scope of the present invention.

本発明は、外部電極を備える積層チップ部品の分野に広く好適に用いることができる。 The present invention can be widely and suitably used in the field of laminated chip parts including external electrodes.

Claims (4)

セラミック製の本体内に設けられ、当該本体の側面の少なくとも一部にその端面が露出する内部電極に対して、電気的に接続する外部電極を形成するために用いられ、
(A)金属粉末としての(A−1)銀粉末および(A−2)金属シリコン粉末と、(B)ガラスフリットと、(C)有機ビヒクルとを含有し、
前記(A−1)銀粉末と前記(A−2)金属シリコン粉末との含有量の重量比が、99:1〜85:15の範囲内であり、
前記(A)金属粉末の総量と(B)ガラスフリットとの含有量の容量比が、75:25〜95:5の範囲内であり、
前記(B)ガラスフリットは、その軟化点が450℃〜700℃の範囲内であることを特徴とする、
外部電極形成用の導電性ペースト。
It is provided inside a ceramic body and is used to form an external electrode that electrically connects to an internal electrode whose end face is exposed on at least a portion of the side surface of the body.
It contains (A) silver powder and (A-2) metallic silicon powder as metal powder, (B) glass frit, and (C) organic vehicle.
The weight ratio of the contents of the (A-1) silver powder and the (A-2) metallic silicon powder is in the range of 99: 1 to 85:15.
The volume ratio of the total amount of the (A) metal powder to the content of the (B) glass frit is in the range of 75:25 to 95: 5.
The glass frit (B) is characterized in that its softening point is in the range of 450 ° C. to 700 ° C.
Conductive paste for forming external electrodes.
前記(B)ガラスフリットは、その比重が2.5g/cm3 〜6.2g/cm3 の範囲内であることを特徴とする、
請求項1に記載の導電性ペースト。
(B) the glass frit is characterized in that its specific gravity is in the range of 2.5g / cm 3 ~6.2g / cm 3 ,
The conductive paste according to claim 1.
パラジウムを含有する内部電極と、
請求項1または2に記載の導電性ペーストにより形成された外部電極と、を備えることを特徴とする、
積層チップ部品。
With an internal electrode containing palladium,
An external electrode formed of the conductive paste according to claim 1 or 2 is provided.
Laminated chip parts.
積層セラミックコンデンサ、積層チップバリスタ、積層チップサーミスタ、または積層圧電素子であることを特徴とする、
請求項3に記載の積層チップ部品。

It is a multilayer ceramic capacitor, a multilayer chip varistor, a multilayer chip thermistor, or a multilayer piezoelectric element.
The laminated chip component according to claim 3.

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