JP6878082B2 - ウェーハの表裏判定装置及びそれを用いた面取り装置 - Google Patents
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- 圧電材料のウェーハの表裏を判定するウェーハの表裏判定装置において、
前記ウェーハを押圧するためのプローブと、
前記ウェーハが前記プローブによって押圧されたとき生じる電圧を検出する電圧検出部と、
前記プローブを前記ウェーハに押圧するプローブ押圧装置と、
前記プローブ押圧装置に対して前記プローブのウェーハへの押圧と開放の機能を制御する制御装置と、
前記電圧検出部が検出した前記プローブによる前記ウェーハへの押圧及び開放に伴う電圧を波形として検出して記録する電圧波形検出部と、
記録された前記波形によって前記ウェーハの表裏を判定する表裏判定部と、
を備え、
前記表裏判定部は、前記電圧検出部で検出された前記電圧のマイナス側のピーク電圧に対するプラス側のピーク電圧の比率であるプラス側のピーク電圧/マイナス側のピーク電圧が2〜3以上となった場合、上面が表と判定することを特徴とするウェーハの表裏判定装置。 - 前記表裏判定部は、前記プラス側のピーク電圧、前記ピーク電圧の比率、前記電圧検出部で検出された電圧の位相をそれぞれ予め定めた基準値と比較することを組み合わせて前記ウェーハの表裏を判定することを特徴とする請求項1に記載のウェーハの表裏判定装置。
- 前記基準値は、前記ウェーハの材質データ、押圧力によって変えることを特徴とする請求項2に記載のウェーハの表裏判定装置。
- 圧電材料によるウェーハ端面を研削する面取り加工する面取り装置において、
前記ウェーハに押圧されるプローブと、
前記ウェーハが前記プローブによって押圧されたとき生じる電圧を検出する電圧検出部と、
前記プローブを前記ウェーハに押圧するプローブ押圧装置と、
前記プローブ押圧装置に対して前記プローブのウェーハへの押圧と開放の機能を制御する制御装置と、
前記電圧検出部が検出した前記プローブによる前記ウェーハへの押圧及び開放に伴う電圧を波形として検出して記録する電圧波形検出部と、
記録された前記波形によって前記ウェーハの表裏を判定する表裏判定部と、
を備え、
前記表裏判定部は、前記電圧検出部で検出された電圧のマイナス側のピーク電圧に対するプラス側のピーク電圧の比率であるプラス側のピーク電圧/マイナス側のピーク電圧が2〜3以上となった場合、上面が表と判定することを特徴とする面取り装置。 - 圧電材料によるウェーハ端面を研削する面取り加工する面取り装置において、
前記ウェーハに押圧されるプローブと、
前記ウェーハが前記プローブによって押圧されたとき生じる電圧を検出する電圧検出部と、
前記プローブを前記ウェーハに押圧するプローブ押圧装置と、
前記プローブ押圧装置に対して前記プローブのウェーハへの押圧と開放の機能を制御する制御装置と、
前記電圧検出部が検出した前記プローブによる前記ウェーハへの押圧及び開放に伴う電圧を波形として検出して記録する電圧波形検出部と、
記録された前記波形によって前記ウェーハの表裏を判定する表裏判定部と、
を備え、
前記制御装置は、面取り加工が開始される前に前記ウェーハがウェーハテーブルに載置された状態で前記プローブを前記ウェーハテーブルの外形より内側の位置を押圧、開放を行い、前記ウェーハの表裏を判定することを特徴とする面取り装置。 - 前記押圧は、前記ウェーハテーブルを上昇させて行うことを特徴とする請求項5に記載の面取り装置。
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