JP6875154B2 - セルフクリーニング装置、基板処理装置、および洗浄具のセルフクリーニング方法 - Google Patents
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Description
このセルフクリーニング装置では、液体を洗浄具に向けて噴射しつつ、洗浄具を回転させながらクリーニング部材に押し付けることで、洗浄具に付着した汚れなどを洗い落とすことができる。
以下、第1実施形態に係る基板処理装置1の構成を、図1〜図4を参照しながら説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため縮尺を適宜変更している。
本実施形態では、XYZ直交座標系を設定して各構成の位置関係を説明する。X方向は基板処理装置1の長手方向であり、Z方向は鉛直方向であり、Y方向はX方向およびZ方向の双方向に直交する方向である。
また、基板処理装置1は、洗浄部30に隣接して設けられたセルフクリーニング装置60を備えている。
第5搬送位置TP5は、第1リニアトランスポータ26と、第2リニアトランスポータ27と、の間でウェハの受け渡しが行われる位置である。第6搬送位置TP6は、第3研磨ユニット20Cのトップリング22と、第2リニアトランスポータ27と、の間でウェハの受け渡しが行われる位置である。第7搬送位置TP7は、第4研磨ユニット20Dのトップリング22と、第2リニアトランスポータ27と、の間でウェハの受け渡しが行われる位置である。
第1洗浄ユニット31Aおよび第2洗浄ユニット31Bは、ウェハを洗浄する洗浄具M1,M2をそれぞれ備える。洗浄具M1、M2としては、Y方向に延びる円柱状のロールを用いることができる。洗浄具M1、M2の材質としては、多孔質のPVA製スポンジ、発泡ウレタンなどを用いることができる。
第1搬送ユニット32Aおよび第2搬送ユニット32Bは、上下動可能な搬送ロボットR1,R2をそれぞれ備える。搬送ロボットR1は、仮置き台Q、第1洗浄ユニット31A、および第2洗浄ユニット31Bの間でウェハを搬送する。搬送ロボットR2は、第2洗浄ユニット31B、および乾燥ユニット33の間でウェハを搬送する。
セルフクリーニング装置60は、図3に示すように、ベース61、傾斜台62、クリーニング部材63、薬液管64、水管65、および管支持台66を備えている。なお、セルフクリーニング装置60は全体としてX方向よりもY方向に長い。このため、Y方向がセルフクリーニング装置60における長手方向となる。
クリーニング部材63は、排水溝61aにX方向で隣接しており、排水溝61aよりも上方に配置されている。クリーニング部材63は、Y方向に長く、X方向に短い長方形の板状に形成されている。クリーニング部材63の上面は、洗浄具M1が押し付けられることで、この洗浄具M1を洗浄するクリーニング面63aである。クリーニング面63aは、X方向における排水溝61a側に向かうに従って、漸次下方に向けて延びている。つまり、クリーニング面63aは、排水溝61aに向けて傾いている。
本実施形態では、洗浄具M1を回転させつつクリーニング部材63に押し付け、薬液を洗浄具M1に向けて噴射することで、洗浄具M1に付着した汚れを落とす。このときの洗浄具M1の回転方向は、図4に示す正面視において、CW回転およびCCW回転のいずれであってもよい。また、洗浄具M1の回転数は、ウェハを洗浄する際の回転数と同等であってもよく、これと異なっていてもよい。なお、洗浄具M1の回転は、洗浄具M1をクリーニング部材63に押し付けている間のみ実行してもよく、洗浄部30とセルフクリーニング装置60との間で洗浄具M1を移動させている間も継続して実行してもよい。
洗浄具M1を、クリーニング部材63に押し付けた状態で所定量回転させた後、洗浄具M1を上昇させてクリーニング部材63から退避させ、純水をクリーニング部材63および洗浄具M1に向けて噴射することで、クリーニング部材63および洗浄具M1の汚れを落とす。
以降の説明では、図4に示すように、クリーニング面63aの水平面に対する角度を傾斜角度θ1という。
以上のことから、傾斜角度θ1は、20°以上45°以下の範囲内であることが好ましい。
また、押し付け角度θ4を45°以下とすることで、洗浄具M1を確実にクリーニング面63aに押し付けて、より確実に洗浄具M1を洗浄することができる。
また、前記実施形態では、薬液管64および水管65に形成された噴射孔64a、65aから液体が噴射するが、他の形態の噴射部を採用してもよい。
Claims (9)
- 基板を洗浄する洗浄具を洗浄するクリーニング部材と、
薬液を前記クリーニング部材若しくは前記洗浄具に向けて噴射する複数の第1噴射部と、
純水を前記クリーニング部材若しくは前記洗浄具に向けて噴射する複数の第2噴射部と、を備え、
前記クリーニング部材は、
前記洗浄具が押し付けられることで前記洗浄具を洗浄するクリーニング面を有し、
前記クリーニング面が、水平面に対して傾いており、
前記複数の第1噴射部は、前記クリーニング部材が延びる方向に沿って間隔を空けて配置され、
前記複数の第2噴射部は、前記クリーニング部材が延びる方向に沿って間隔を空けて配置され、
前記複数の第2噴射部は前記複数の第1噴射部よりも上方に位置している、セルフクリーニング装置。 - 前記クリーニング面の水平面に対する傾斜角度が20°以上である、請求項1に記載のセルフクリーニング装置。
- 前記洗浄具が前記クリーニング面に対して押し付けられる際に前記洗浄具が移動する方向と、前記クリーニング面の法線と、が成す角度が45°以下である、請求項1または2に記載のセルフクリーニング装置。
- 前記クリーニング部材を支持するベースをさらに備え、
前記ベースは、前記クリーニング部材が延びる方向に沿って延びる排水溝を有し、
前記クリーニング面は前記排水溝に向けて傾いている、請求項1〜3のいずれか1項に記載のセルフクリーニング装置。 - 基板を研磨する研磨部と、
前記基板を洗浄する洗浄具を有する洗浄部と、
前記洗浄具を洗浄する、請求項1〜4のいずれか1項に記載のセルフクリーニング装置と、
を備えた基板処理装置。 - 前記洗浄具を前記セルフクリーニング装置によって洗浄するタイミングを制御する制御部をさらに備える、請求項5に記載の基板処理装置。
- 基板を洗浄した洗浄具を、クリーニング部材を有するセルフクリーニング装置に移動する工程と、
第1噴射部から前記クリーニング部材若しくは前記洗浄具に向けて薬液を噴射させながら、前記洗浄具を回転させつつ前記クリーニング部材のクリーニング面に押し付ける工程と、
前記洗浄具を上昇させて前記クリーニング部材から退避させた状態で、前記第1噴射部よりも上方に位置する第2噴射部から、前記クリーニング部材若しくは前記洗浄具に向けて純水を噴射する工程と、を有し、
前記クリーニング面が水平面に対して傾いている、洗浄具のセルフクリーニング方法。 - 基板を洗浄するための洗浄具を回転させつつ、水平面に対して傾いたクリーニング面を有するクリーニング部材の前記クリーニング面に前記洗浄具を押し付け、薬液を前記洗浄具に向けて供給する工程と、
前記洗浄具を、前記クリーニング面に押し付けた状態で所定量回転させる工程と、
前記洗浄具を上昇させて前記クリーニング部材から退避させる工程と、
前記薬液の噴射位置よりも上方の位置から、純水を前記クリーニング部材および前記洗浄具に向けて噴射し、前記クリーニング部材および前記洗浄具の汚れを落とす工程と、を有する、洗浄具のセルフクリーニング方法。 - 前記クリーニング部材の材質は、石英またはポリ塩化ビニルである、請求項1〜4のいずれか1項に記載のセルフクリーニング装置。
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