JP6872514B2 - ターゲット材を洗浄するための方法、ターゲット材の製造方法、リサイクル鋳塊の製造方法およびリサイクル鋳塊 - Google Patents

ターゲット材を洗浄するための方法、ターゲット材の製造方法、リサイクル鋳塊の製造方法およびリサイクル鋳塊 Download PDF

Info

Publication number
JP6872514B2
JP6872514B2 JP2018109625A JP2018109625A JP6872514B2 JP 6872514 B2 JP6872514 B2 JP 6872514B2 JP 2018109625 A JP2018109625 A JP 2018109625A JP 2018109625 A JP2018109625 A JP 2018109625A JP 6872514 B2 JP6872514 B2 JP 6872514B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
target material
acid
bonding
support member
target
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018109625A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2018172797A (ja
JP2018172797A5 (enExample
Inventor
宏司 西岡
宏司 西岡
洋行 塚田
洋行 塚田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Chemical Co Ltd filed Critical Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority to JP2018109625A priority Critical patent/JP6872514B2/ja
Publication of JP2018172797A publication Critical patent/JP2018172797A/ja
Publication of JP2018172797A5 publication Critical patent/JP2018172797A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6872514B2 publication Critical patent/JP6872514B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00—Technologies related to metal processing
    • Y02P10/20—Recycling

Landscapes

  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
JP2018109625A 2018-06-07 2018-06-07 ターゲット材を洗浄するための方法、ターゲット材の製造方法、リサイクル鋳塊の製造方法およびリサイクル鋳塊 Active JP6872514B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018109625A JP6872514B2 (ja) 2018-06-07 2018-06-07 ターゲット材を洗浄するための方法、ターゲット材の製造方法、リサイクル鋳塊の製造方法およびリサイクル鋳塊

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018109625A JP6872514B2 (ja) 2018-06-07 2018-06-07 ターゲット材を洗浄するための方法、ターゲット材の製造方法、リサイクル鋳塊の製造方法およびリサイクル鋳塊

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017068480A Division JP6353109B1 (ja) 2017-03-30 2017-03-30 ターゲット材を洗浄するための方法、ターゲット材の製造方法、リサイクル鋳塊の製造方法およびリサイクル鋳塊

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018172797A JP2018172797A (ja) 2018-11-08
JP2018172797A5 JP2018172797A5 (enExample) 2020-03-26
JP6872514B2 true JP6872514B2 (ja) 2021-05-19

Family

ID=64108400

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018109625A Active JP6872514B2 (ja) 2018-06-07 2018-06-07 ターゲット材を洗浄するための方法、ターゲット材の製造方法、リサイクル鋳塊の製造方法およびリサイクル鋳塊

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6872514B2 (enExample)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12054822B2 (en) 2019-03-28 2024-08-06 Jx Advanced Metals Corporation Sputtering target product and method for producing recycled sputtering target product
CN113174487A (zh) * 2021-04-13 2021-07-27 新疆众和股份有限公司 一种液晶面板用铝残靶的回收方法
CN116656980A (zh) * 2023-06-06 2023-08-29 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种铝钪合金靶材的回收利用方法
JP7703293B1 (ja) * 2024-06-19 2025-07-07 Ｋｍアルミニウム株式会社 ターゲット材のリサイクル方法
CN118685626B (zh) * 2024-08-27 2024-12-31 有研亿金新材料有限公司 一种利用电磁感应加热技术高效回收扩散焊接靶材的方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11106904A (ja) * 1997-09-29 1999-04-20 Riyouka Massey Kk スパッタリングターゲットの製造方法
JP4938226B2 (ja) * 2003-06-03 2012-05-23 昭和電工株式会社 電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法、電解コンデンサ電極用アルミニウム材、電解コンデンサ用電極材の製造方法およびアルミニウム電解コンデンサ
JP4286076B2 (ja) * 2003-06-30 2009-06-24 三井金属鉱業株式会社 再生ターゲット材およびターゲット材の再生方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018172797A (ja) 2018-11-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6353109B1 (ja) ターゲット材を洗浄するための方法、ターゲット材の製造方法、リサイクル鋳塊の製造方法およびリサイクル鋳塊
JP6872514B2 (ja) ターゲット材を洗浄するための方法、ターゲット材の製造方法、リサイクル鋳塊の製造方法およびリサイクル鋳塊
JP6716452B2 (ja) 再生スパッタリングターゲットの製造方法および再生スパッタリング
KR102104013B1 (ko) 사용이 끝난 타깃재를 세정하는 방법, 타깃재의 제조 방법, 리사이클 주괴의 제조 방법 및 리사이클 주괴
JP7102237B2 (ja) ターゲット材の洗浄方法、そのための装置、ターゲット材の製造方法およびターゲット材、リサイクル鋳塊の製造方法およびリサイクル鋳塊
KR20190129228A (ko) 스퍼터링 폐타겟으로부터 유가금속 회수방법 및 공정 부산물 재활용 방법
JP2008133538A (ja) ターゲット廃材とインジウムの分離回収方法。
CN102027152A (zh) 水反应性Al复合材料、水反应性Al膜、该Al膜的制造方法、及成膜室用构成部件
JP2018172800A (ja) ターゲット材をリサイクルするための方法、リサイクル鋳塊の製造方法およびリサイクル鋳塊
JP2006257511A (ja) スパッタリングターゲット製造用はんだ合金、およびこれを用いたスパッタリングターゲット
KR101249590B1 (ko) 수 반응성 Ａｌ 복합 재료, 수 반응성 Ａｌ 막, 이 Ａｌ 막의 제조 방법, 및 성막실용 구성 부재
JP5327760B2 (ja) 溶射用水反応性Ａｌ複合材料、水反応性Ａｌ溶射膜、このＡｌ溶射膜の製造方法、及び成膜室用構成部材
JP5481179B2 (ja) Ｃｕ系材料のＳｎめっき層の剥離方法
TW483937B (en) Recycle and reuse method of aluminum alloy sputter target material
JP2007021580A (ja) スパッタリングターゲット製造用はんだ合金およびこれを用いたスパッタリングターゲット
JP6213684B2 (ja) 銅合金ターゲット
CN113316659B (zh) 靶材的清洗方法、靶材的制造方法以及循环铸块的制造方法
JP2021116436A (ja) 銀の回収方法
JP6762867B2 (ja) 貴金属含有異種金属多層膜の除去方法及び貴金属の回収方法
JP7014003B2 (ja) はんだ接合電極およびはんだ接合電極の被膜形成用銅合金ターゲット
JPH07216529A (ja) 蒸着用治具及び蒸着用治具の再生方法
Wang et al. The influence of element-Ni on interfacial reactions between lead-free Sn-Ag-Cu and Cu substrate
JP2006241571A (ja) インジウム含有メタルの製造方法
BE451542A (enExample)
JP2016097406A (ja) Ａｕ−Ａｇ−Ｓｎ系はんだ合金

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200217

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200217

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20201109

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20201201

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210113

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210406

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210419

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6872514

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350