JP6869767B2 - 金属めっき液の再生方法、金属めっきに用いる水洗水の再生方法、めっき装置及び金属めっき用再生材 - Google Patents

Description

本発明は、金属めっき液の再生方法、金属めっきに用いる水洗水の再生方法、めっき装置及び金属めっき用再生材に関する。

金属めっきにおいてめっき液、例えば、硫酸銅めっき浴などは、電解や時間の経過により、めっき液中の有機添加剤などの有機成分の分解又は劣化がすすみ、有機不純物がめっき液中に蓄積する傾向にある。この有機不純物が、めっきにより得られるめっき被膜の硬さや延展性等の物性やめっきの析出状態に悪影響を与え、その結果、めっき被膜の破断や異常析出の問題を引き起こしていた。

これらの問題を解決するために、例えば、特許文献１には、不良めっき浴から有機物の全量を芳香族アミンをベースとする樹脂で吸着させて除去し、次いで新鮮な有機添加剤を所定量めっき浴に添加する方法が記載されている。特許文献２には、めっき液に有機溶剤を添加し、めっき液中の有機物を有機溶剤にて抽出除去する方法が記載されている。特許文献１及び２に記載の方法の場合、めっき液を交換するため、生産性の低下、コストの上昇、多量の廃棄物による環境への影響などが懸念されている。

また、めっき液を交換せず、めっき液から劣化、分解した有機不純物を除去して使用を継続する対策も採られてきた。例えば、特許文献３及び４には、めっき浴に酸化剤を添加して有機化合物を分解させることが提案されている。特許文献５には、酸化剤を用いた大掛りな装置での廃めっき液の再生方法が提案されている。特許文献６には、有機添加剤が分解又は変性して生成した分解／変性有機生成物を非電解酸化作用によって酸化分解させる処理を施すことが提案されている。特許文献７には、回転可能なバレル装置及び球状吸着剤を使用した方法が提案されている。特許文献８及び９には、めっき再生装置を用いた方法が提案されている。特許文献３及び４に記載の方法では、酸化剤が完全に無くならない状態でめっき作業に入ってしまう場合や分解途中の成分が残った場合めっきへの影響が懸念される。特許文献５〜９に記載の方法では、めっき液から劣化、分解した有機不純物を除去するために、新たな設備導入が必要となるという問題があった。

その他の対策として、めっき液を交換せず、めっき液から劣化、分解した有機不純物を除去して使用を継続する対策として、活性炭によって有機不純物を吸着除去する活性炭処理法が用いられている。

一方、金属めっきにおいて、めっき前の水洗は、めっき対象品を清浄にするために行われる。また、めっき後の水洗は、付着しためっき液及び有機不純物を取り除いて清浄にするために行われる。洗浄された中間製品は、次工程に送るためにそのたびに乾燥される。通常２〜３槽の水洗槽に順に入れて洗浄される。その際、供給される水量は一般的に５〜１０Ｌ／ｍｉｎであり、第３槽に供給され、第３槽から第２槽、第２槽から第１槽に順に送られ、余剰水は第１槽から排水される。水洗槽にはめっき液の持ち込みや水洗水の原水に含まれる有機不純物が一定量含まれる。この有機不純物が乾燥後に基板表面に変色（腐食、酸化）の形で現れ、次の処理（画像工程の前処理ソフトエッチング等）の反応遅れによる不均一化が起こりフィルムのラミネート処理の密着不良が発生する場合がある。

めっき液の持ち込みによる水洗水中の有機不純物濃度は供給水量を増やすことで低下させられるが、水洗中の有機不純物の排出量を抑える必要がある。

水洗槽の有機不純物濃度は、純水使用や活性炭を通すことにより低下することができるが、設備費用や交換するフィルター費用などに経費が掛かる。

特開昭５２−６２１３６号公報 特開平４−２７２２００号公報 特許第４２２４５５２号 特許第４７５３１９７号 特表２００３−５３５２２３号 特許第４９５７９０６号 特開２００３−２４９３３号 特許第３５６８４６０号 特許第３５６８４６１号

活性炭処理は、生産ラインを休止して行うため、生産装置の稼働率が低くなり、加工単価が上がるという問題がある。また、活性炭は有機不純物に加えて、めっき処理に必要な有機添加剤も同時に吸着するため、活性炭処理後に、めっき液に多量の有機添加剤を追加する必要があるが、有機添加剤は高価なため、コストが高くなるという問題がある。

本発明は、前記問題を解決するため、めっき処理に悪影響を及ぼすことがなく、めっき処理を行いながら、安価かつ簡便にめっき液及び／又は金属めっきに用いる水洗水を再生することができる金属めっき液の再生方法、金属めっきに用いる水洗水の再生方法、めっき装置及び金属めっき用再生材を提供する。

本発明は、一つの実施形態において、金属めっき液をポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物と接触させて金属めっき液から有機不純物を除去することを特徴とする金属めっき液の再生方法に関する。

前記金属めっき液の再生方法において、前記ポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、金属めっき液を収容するめっき槽からオーバーフローした金属めっき液を収容するオーバーフロー槽及びめっき槽から強制的に引き出された金属めっき液を収容する有機不純物除去用容器からなる群から選ばれる少なくとも一つに配置されていてもよい。また、前記オーバーフロー槽及び／又は前記有機不純物除去用容器において、ポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物との接触により有機不純物が除去された金属めっき液をめっき槽に戻すことが好ましい。

本発明は、一つの実施形態において、金属めっきに用いる水洗水をポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物と接触させて金属めっきに用いる水洗水から有機不純物を除去することを特徴とする金属めっきに用いる水洗水の再生方法に関する。

前記金属めっきに用いる水洗水の再生方法において、ポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、水洗水を収容する水洗槽及び／又は水洗水に含まれる異物を除去するために設置された循環経路の少なくとも一部に配置されていてもよい。

本発明は、一つの実施形態において、金属めっきに用いるめっき装置であって、前記めっき装置は、金属めっき液を収容するめっき槽と、めっき液から固形物を除去する異物除去手段と、めっき槽からオーバーフローした金属めっき液を収容するオーバーフロー槽及び／又はめっき槽から強制的に引き出された金属めっき液を収容する有機不純物除去用容器とを備え、前記オーバーフロー槽及び前記有機不純物除去用容器からなる群から選ばれる少なくとも一つには、ポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物が配置されていることを特徴とするめっき装置に関する。

前記めっき装置は、一の実施形態において、前記オーバーフロー槽及び／又は前記有機不純物除去用容器に配置されているポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物との接触により有機不純物が除去された金属めっき液をめっき槽に戻す返送手段を有することが好ましい。

前記金属めっきに用いるめっき装置は、さらに、水洗水を収容する水洗槽と、水洗水に含まれる異物を除去するために設置された循環経路を含んでもよい。

本発明は、一つの実施形態において、金属めっきに用いる金属めっき用再生材であって、前記金属めっき用再生材は、ポリオレフィン繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物で構成されており、金属めっき液及び／又は金属めっきに用いる水洗水を前記ポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物と接触させて有機不純物を除去することにより金属めっき液及び／又は金属めっきに用いる水洗水を再生することを特徴とする金属めっき用再生材に関する。

前記ポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、ポリオレフィン系繊維を５０質量％以上含むことが好ましい。前記ポリオレフィン系繊維又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物の見かけ比重は、０．０３ｇ／ｃｍ³以上０．３ｇ／ｃｍ³未満であることが好ましい。前記ポリオレフィン系繊維又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、油剤の付着量が０．１質量％以下であることが好ましい。

本発明は、めっき処理に悪影響を及ぼすことがなく、めっき処理を行いながら、安価かつ簡便にめっき液及び／又は金属めっきに用いる水洗水を再生することができる金属めっき液の再生方法、金属めっきに用いる水洗水の再生方法、めっき装置及び金属めっき用再生材を提供する。本発明の金属めっき用再生材又は金属めっき液の再生方法を活性炭処理法と併用することにより、めっき液の活性炭処理や廃棄の頻度を下げることができ、ひいては生産装置の稼働率を向上させ、コストを低減できる。また、活性炭は有機不純物に加えて有機添加剤も吸着するが、本発明の金属めっき用再生材又は金属めっき液の再生方法を併用することによりめっき液の活性炭処理の頻度を少なくし、有機添加剤濃度の急激な変化を防止することができる。

図１は本発明の一実施形態のめっき装置の概略説明図である。 図２は本発明の一実施形態のめっき装置の概略説明図である。 図３はめっき液中の有機不純物濃度の経時変化を示すグラフである。

本発明の発明者らは、金属めっき液や金属めっきに用いる水洗水を再生することについて鋭意検討したところ、金属めっき用再生材としてポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物を用い、金属めっき液や金属めっきに用いる水洗水をポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物と接触させることで金属めっき液及び／又は金属めっきに用いる水洗水を再生し得ることを見出し、本発明に至った。具体的には、ポリオレフィン系繊維が金属めっき液及び／又は金属めっきに用いる水洗水中の有機不純物を吸着しやすい性質を有することを見出し、金属めっき液や金属めっきに用いる水洗水をポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物と接触させて、金属めっき液及び／又は金属めっきに用いる水洗水から有機不純物を除去し、金属めっき液及び／又は金属めっきに用いる水洗水を再生するのに至った。なお、ポリオレフィン系繊維は、有機添加剤に対する吸着性が活性炭処理によるものより程度としては低いが、有機添加剤濃度の急激な変化を起こさない。

本発明において、金属めっきにおける金属としては、銅、ニッケル、金、銀等の金属を含む。

本発明において、金属めっき再生材はポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物で構成される。ポリオレフィン系繊維を構成するポリオレフィンは、特に限定されず、例えば、炭素数２〜２０程度のα−オレフィンの単独重合体、２つ以上の炭素数２〜２０程度のα−オレフィンからなる共重合体、炭素数２〜２０程度のα−オレフィンと酢酸ビニルの共重合体、炭素数２〜２０程度のα−オレフィンと（メタ）アクリル酸の共重合体、炭素数２〜２０程度のα−オレフィンと（メタ）アクリル酸エステルの共重合体などを用いることができる。前記炭素数２〜２０程度のα−オレフィンとしては、例えば、エチレン、プロピレン、１−ブテン、３−メチル−１−ブテン、１−ペンテン、４−メチル−１−ペンテン、１−ヘキセン、１−オクテン、１−デセンなどが挙げられる。中でも、ポリオレフィンは、ポリプロピレンであることが好ましい。ポリプロピレンを用いると、安価に有機不純物除去効果の大きいポリオレフィン系繊維を得ることができる。前記ポリプロピレンは、プロピレンの単独重合体であってもよく、プロピレンと他の炭素数２〜２０程度のα−オレフィンとの共重合体であってもよい。本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、メタクリル酸及びアクリル酸を意味する。

前記ポリオレフィン系繊維は、単一成分の繊維であってもよく、二種以上の成分を含む複合繊維であってもよい。前記ポリオレフィン系繊維は、低融点成分と高融点成分を含み、低融点成分が繊維表面の少なくとも一部を占める複合繊維であってもよい。前記ポリオレフィン系繊維は、芯成分が高融点成分であり、鞘成分が低融点成分である芯鞘型複合繊維であってもよく、芯成分がポリプロピレンであり、鞘成分がポリエチレンである芯鞘型複合繊維であってもよい。前記ポリオレフィン系繊維が芯鞘型複合繊維である場合、芯/鞘複合比（容積比）は、９/１〜４/６であることが好ましく、より好ましくは８/２〜５/５であり、さらに好ましくは７/３〜６/４である。

前記ポリオレフィン系繊維の繊度は、特に限定されないが、例えば、単糸繊度が０．１ｄｔｅｘ以上５０ｄｔｅｘ以下であることが好ましい。０．１ｄｔｅｘ以下の繊維はめっき液の通りが悪くなる恐れがあり、５０ｄｔｅｘ以上であると重量に対する表面積が小さくなり、有機不純物を除去する性能が低下する恐れがある。より好ましくは、０．５ｄｔｅｘ以上２４ｄｔｅｘ以下であり、０．９ｄｔｅｘ以上１０ｄｔｅｘ以下であることがさらに好ましい。

前記ポリオレフィン系繊維の繊維長は、特に限定されないが、例えば、取扱い性の観点から、繊維長が５ｍｍ以上１０２ｍｍ以下であることが好ましい。より好ましくは、繊維長が、３８ｍｍ以上７６ｍｍ以下であり、３８ｍｍ以上６４ｍｍ以下であることがさらに好ましい。

前記ポリオレフィン系繊維としては、公知の製造方法で製造したものを用いてもよく、市販のものを用いてもよい。前記ポリオレフィン系繊維は、洗浄処理されていることが好ましい。洗浄処理により油剤（繊維処理剤とも称される）を落とすことで、ポリオレフィン系繊維の有機不純物の除去性能が高まる。洗浄処理の方法は、特に限定されないが、例えば、陰イオン界面活性剤を用いて行うことができる。具体的には、以下のように行うことができる。まず、ポリオレフィン系繊維を５分間水洗した後、陰イオン界面活性剤（一方社油脂工業製、品名「トライポンＢＸ−１１」）１ｇ／Ｌの溶液中に浸漬し、７０℃で１０分間処理する。その後、７０℃以上の熱水で湯洗、水洗を経て、乾燥するとよい。ポリオレフィン系繊維における油剤の付着量は１．０質量％以下であることが好ましく、０．３質量％以下であることがより好ましく、０．１質量％以下であることがさらに好ましい。本発明において、「繊維における油剤の付着量」は、後述するとおりに測定算出したものである。

前記ポリオレフィン系繊維は、原綿のままで用いてもよく、ポリオレフィン系繊維を５０質量％以上含む繊維構造物（以下において、単に「繊維構造物」とも記す。）として用いてもよい。前記繊維構造物は、ポリオレフィン系繊維１００質量％からなる繊維構造物であってもよく、ポリオレフィン系繊維を５０質量％以上と他の繊維を５０質量％以下含む繊維構造物であってもよい。前記繊維構造物は、好ましくはポリオレフィン系繊維を６０質量％以上、他の繊維を４０質量％以下含み、より好ましくはポリオレフィン系繊維を７０質量％以上、他の繊維を３０質量％以下含む。他の繊維としては、例えば、耐薬品性の観点からアクリル系繊維やポリエステル繊維などを用いることができる。他の繊維は、単独又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

前記繊維構造物としては、糸、織物、編物、不織布を用いることができる。また、前記繊維構造物としては、糸又は不織布を用いたカートリッジフィルターなどを用いてもよい。

前記ポリオレフィン系繊維と他の繊維を併用する場合は、例えば下記の方法を採用できる。
（１）混紡：混紡は、綿段階において２種以上の繊維を混合する場合である。例えば混打綿、カード、練条、スライバーなどでの混合である。紡績糸、不織布の主に均一混合の場合に使用される。
（２）合糸：合糸は２種以上の糸を撚り合わせる。例えば双糸の場合、ポリオレフィン系繊維糸と他の繊維糸とを撚り合せる。紡績糸同士、紡績糸とフィラメント糸、フィラメント糸同士の撚り合わせに使用される。
（３）混繊：混繊は、フィラメント糸同士の単繊維を混合する。
（４）交織：交織は、織物を構成する糸を複数種類使用して織物にする。例えば、経糸と緯糸を別な種類の糸にするとか、経糸、緯糸をそれぞれ複数種使用することもできる。
（５）交編：交編は編物を製造する際に複数種類の糸を使用する。
（６）不織布製造において、ニードルパンチ又は水流交絡によって、積層した複数種類の繊維層を混合する。

前記繊維構造物が紡績糸の場合は、リング法、オープンエンド法、結束法、交互撚糸法、ラッピング法、渦流法又は無撚法等いずれの方法でも製造できる。この場合の好ましい番手は英式綿番手で５〜１００Ｓの範囲である。単糸使いでも複数本撚り合わせて使用してもよい。前記紡績糸は、ポリオレフィン系繊維を６０質量％以上含むことが好ましく、より好ましくはポリオレフィン系繊維を７０質量％以上含む。ポリオレフィン系繊維１００質量％からなることが特に好ましい。紡績糸において、他の繊維としては、前記のとおり耐薬品性の観点から選択でき、好ましくは４０質量％以下の範囲で含み、より好ましく３０質量％以下の範囲で含んでもよい。紡績糸は、紡毛糸であってもよく、梳毛糸であってもよい。

前記繊維構造物が編物の場合、組織や目付等は特に限定されるものではなく、平編、ゴム編又は両面編等いずれであってもよい。また、前記繊維構造物が織物の場合も、組織や目付等は特に限定されるものではない。

前記ポリオレフィン系繊維又は繊維構造物は、特に限定されないが、例えば、見かけ比重が０．０３ｇ／ｃｍ³以上０．３ｇ／ｃｍ³未満であることが好ましい。０．０３ｇ／ｃｍ³未満の場合は必要量に対して容積が大きくなり経済性が劣る恐れがある。０．３ｇ／ｃｍ³以上であると通液性が悪くなり処理量が不足する恐れがある。より好ましくは０．０４ｇ／ｃｍ³以上０．２ｇ／ｃｍ³以下であり、０．０４ｇ／ｃｍ³以上０．１２ｇ／ｃｍ³以下であることがさらに好ましい。本発明において、見かけ比重は、２０±５℃、相対湿度６０％の条件下、内径１６ｃｍ、高さ１６ｃｍの円筒容器に対象物を入れて質量を測定した後、下記式で算出したものである。
見かけ比重（ｇ／ｃｍ³）＝対象物の質量（ｇ）／円筒容器の体積（ｃｍ³）

前記ポリオレフィン系繊維又は繊維構造物は、均一ではなく見かけ比重が異なる部分を有することが望ましい。例えば見かけ比重が０．０６ｇ／ｃｍ³以上０．６ｇ／ｃｍ³以下の高密度な部分と見かけ比重が０．０５ｇ／ｃｍ³以下の低密度な部分を有することが好ましい。

前記ポリオレフィン系繊維としては、ステープルファイバーを使用することが好ましい。通常、ステープルファイバーには油剤が付与されているが、付与している油剤を上述したとおりに洗浄して、繊維における油剤の付着量を１．０質量％以下に低減させることが好ましく、０．３質量％以下に低減させることがより好ましく、０．１質量％以下に低減させることがさらに好ましい。紡毛糸等の繊維構造物も、油剤の付着量が１．０質量％以下であることが好ましく、０．３質量％以下であることがより好ましく、０．１質量％以下であることがさらに好ましい。理由は不明であるもののめっき液に溶出しない範囲で繊維表面に少量の油剤が存在すると有機不純物吸着性能が良くなる。

本発明において、ポリオレフィン系繊維又は繊維構造物における油剤の付着量は、東海計器（株）製Ｒ−II型迅速残脂抽出装置を用い、迅速抽出法により測定する。まず、対象物が繊維の場合は、繊維４ｇをカード機にかけてウェブとし、得られたウェブの質量を測定し、質量を測定したウェブを試料とする。また、対象物が紡毛糸等の繊維構造物の場合は、繊維構造物４ｇを計り試料とする。試料の質量をＷｆとする。試料を金属製の筒（内径１６ｍｍ、長さ１３０ｍｍ、底部はすり鉢状で最底部には１ｍｍの孔があるもの）に充填した後、上部よりメタノール１０ｍｌを投入する。底部の孔より滴下する、試料に付着していた油剤が溶解したメタノールを、アルミニウム皿（質量：Ｗｔｒａｙ）を加熱しながら受け、メタノールを蒸発させる。アルミニウム皿の質量（Ｗｔｒａｙ）は、乾燥機でアルミニウム皿を充分に乾燥させてから、メタノールを受ける前に測定する。メタノールが完全に蒸発した後、油剤が残留しているアルミニウム皿の質量（Ｗｆａｔ）を測定する。上記の測定の後、繊維又は繊維構造物における油剤の付着量を、次の式から算出する。

油剤の付着量（質量％）＝[（Ｗｆａｔ−Ｗｔｒａｙ）／Ｗｆ]×１００

例えば、硫酸銅めっきで使用される有機添加剤（有機系の添加剤とも称される。）は大きく分けて３種類あり、一般的にＰ成分、Ｓ成分、Ｊ成分と呼ばれている。Ｐ成分としてはＰＥＧ（ポリエチレングリコール、分子量2,000程度）、ＰＥＧＮＰＥ（ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール、重量平均分子量Mw3,300程度）などが用いられる。Ｓ成分としては２−メチルカプトベンゾチアゾールＳプロパンスルホン酸（分子量288）、ＳＰＳ（3,3'-ジチオビス(1-プロパンスルホン酸)2ナトリウム）などが用いられる。Ｊ成分としてはＪＧＢ（ヤーナスグリーンＢ、分子量511）などが用いられる。

その他の金属めっきにおいても有機添加剤が使われ、例えば、ニッケルめっきではサッカリン、ナフタレンスルホン酸ナトリウム、ブチンジオール、プロパルギルアルコール及びクマリンなどが用いられ、ピロリン酸銅めっきではジーメルカプトチアジアゾールモノマー及びダイマーなどが用いられる。また、酸性錫めっきではクレゾールスルホン酸、β―ナフトール、ジヒドロキシジフェニルスルホン、エトキシル化α―ナフトールスルホン酸及びメトキシベンズアルデヒドなどが用いられる。

前記Ｐ成分及びＪ成分は凸部の表面に被膜を形成しめっきの抑制剤として働き、Ｓ成分は凹部に入り込み、濃度が凹部以外の部分に比べ高くなり穴埋めを進める促進剤として働く。また、凹部が小さい場合にはＰ成分は分子量が大きいため凹部に入り込めず抑制効果が低くなり、その結果Ｓ成分との相乗効果で他の部分に比べめっき析出が進む。

前記Ｐ成分であるＰＥＧの劣化による低分子化が報告されている（「銅めっき被膜に及ぼすポリエチレングリコールの予備電解時間の影響」、京都市産業技術研究所、研究報告 Ｎｏ．４（２０１４）、５７〜６３頁）。前記Ｓ成分についてもＳＰＳが条件によってはＳ―Ｓ結合が切断される場合があると報告されている（「めっき添加剤の作用機構と表面形状制御」、大阪府立産業技術総合研究所報告 Ｎｏ．５，２０１１，１３〜２１頁）。

有機添加剤は添加剤メーカーがあらかじめ調合した製品を使用する事がほとんどである。

金属めっきにおいて、有機添加剤由来以外の有機不純物としてはプリント配線板からの溶け出しが考えられ、当該溶け出しはパターンめっきのフォトレジストがある。

金属めっき液（以下において、単に「めっき液」とも記す。）をポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物に接触させ、ポリオレフィン系繊維がめっき液中の有機不純物を吸着して除去することで、めっき液の再生を図ることができる。金属めっき液をポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物に接触させる方法は、特に限定されない。例えば、金属めっき液を収容するめっき槽からオーバーフローした金属めっき液を収容するオーバーフロー槽及びめっき槽から強制的に引き出された金属めっき液を収容する有機不純物除去用容器からなる群から選ばれる少なくとも一つにポリオレフィン系繊維又は繊維構造物を配置し、めっき液をポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物に接触させてもよい。ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物と接触させて有機不純物が除去しためっき液は、めっき液中に戻される。

有機不純物除去用容器としては、金属めっきラインに用いることができる容器であれば特に限定されない。例えば、カラム、ハウジングなどを用いることができる。カラムとしては、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）などの材質のものを用いることができる。ハウジングとしては、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）などの材質のものを用いることができる。

金属めっきに用いる水洗水（以下において、単に「水洗水」とも記す。）をポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物に接触させ、ポリオレフィン系繊維が水洗水中の有機不純物を吸着して除去することで、水洗水の再生を図ることができる。水洗水の再生により、水洗水に含まれる有機不純物を低下させてめっき後の基板等の製品における変色（腐食、酸化）などの発生を低減させることができる。水洗水をポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物に接触させる方法は、特に限定されない。例えば、水洗水を収容する水洗槽及び／又は水洗水に含まれる異物を除去するために設置された循環経路の少なくとも一部にポリオレフィン系繊維又は繊維構造物を配置し、水洗水をポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物に接触させてもよい。ポリオレフィン系繊維又は繊維構造物を配置する水洗水に含まれる異物を除去するために設置された循環経路としては、例えば、貯留タンク（循環経路の水洗槽）が挙げられる。貯留タンク中の水洗水は再生された後、水洗水を収容する水洗槽に戻される。

多層基板を製造するためにはＺ軸の接続（導通）が不可欠である。Ｚ軸の接続にはスルービア、ブラインドビア、フィルドビア及びスタックビアなどの接続が用いられる。絶縁物に穴を開けた表面にめっきを行う必要があるが、電気めっきでは絶縁物表面での析出は不可能なので無電解めっきにより薄いめっき層を作り、電気めっきによりめっき厚を厚くする方法が用いられる。

無電解めっきは、通常、クリーナーコンディショナー、水洗、酸洗、水洗、マイクロエッチ、水洗、酸洗、水洗、プレディップ、カタリスト、水洗、アクセラレーター、水洗、無電解めっき、水洗、乾燥の順で行われる。

電気めっきは、通常、脱脂、水洗、酸洗、電気めっき、ドラッグアウト、水洗、防錆、乾燥の順で行われる。

回路パターンを作成するためにめっきの前後どちらかにレジストによるパターン形成の工程が必要である。パターン形成の工程は、通常、感光剤を貼りつけ又は塗工、フォトツールの貼りつけ、露光、現像の順で行われる。めっき後にパターン形成を行うプリントエッチ法では、その後エッチング、エッチングレジストの剥離、水洗、乾燥が行われる。めっき前に、パターン形成を行うメタルレジスト法では、その後、水洗、乾燥、レジスト金属をめっき、水洗、めっきレジスト剥離、エッチング、エッチングレジスト金属の剥離、水洗、乾燥が行われる。

回路パターン形成後にＨＡＳＬ（溶融はんだ浸漬）を行うために実施されるソルダーレジスト（はんだが不要な部分にレジストで表面を覆う）工程は、通常、感光剤を貼りつけ又は塗工、フォトツールの貼りつけ、露光、現像、水洗、エッチング、水洗、エッチングレジストの剥離、水洗、乾燥の順で行われる。

露出した銅の表面を保護するプリフラックス（露出した銅の表面を保護する）工程は、通常、ソフトエッチング、水洗、酸洗、水洗、キレート剤浸漬、水洗、乾燥の順で行われる。

前記ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物は網目状の収納袋に充填されていることが好ましい。収納袋の材質は、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）やポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などを用いることができる。網目の大きさは、めっき液の通過を妨げることなく、繊維の流出しない大きさが好ましい。

金属めっき液と接触させるポリオレフィン系繊維の使用量は、金属めっき液中の有機不純物を除去できればよく、特に限定されない。例えば、金属めっき液を収容するめっき槽からオーバーフローした金属めっき液を収容するオーバーフロー槽及びめっき槽から強制的に引き出された金属めっき液を収容する有機不純物除去用容器からなる群から選ばれる少なくとも一つにポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物を配置する場合、ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物の使用量は、金属めっき液の容量に対して０．０５ｇ／Ｌ〜１．０ｇ／Ｌであることが好ましく、０．１５ｇ／Ｌ〜０．６ｇ／Ｌであることがより好ましい。金属めっき液の容量に対するオレフィン系繊維又は繊維構造物の質量が前記の範囲内であると、めっき液中の有機不純物の除去効果が高いうえ、コストをより低減することができる。

水洗水と接触させるポリオレフィン系繊維の使用量は、水洗水中の有機不純物を除去できればよく、特に限定されない。例えば、ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物の使用量は、水洗水の容量に対して０．０５ｇ／Ｌ〜４．０ｇ／Ｌであることが好ましく、０．２ｇ／Ｌ〜２．０ｇ／Ｌであることがより好ましい。水洗水の容量に対するオレフィン系繊維又は繊維構造物の質量が前記の範囲内であると、水洗水中の有機不純物の除去効果が高いうえ、コストをより低減することができる。

金属めっきに用いるめっき装置において、上述したポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物を用いた金属めっき液の再生方法を用いることで、めっき液を再生することができる。

例えば、金属めっき液を収容するめっき槽と、めっき液から固形物を除去する異物除去手段と、めっき槽からオーバーフローした金属めっき液を収容するオーバーフロー槽及び／又はめっき槽から強制的に引き出された金属めっき液を収容する有機不純物除去用容器を備えるめっき装置において、前記オーバーフロー槽及び前記有機不純物除去用容器からなる群から選ばれる少なくとも一つに、ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物を配置する。前記オーバーフロー槽及び前記有機不純物除去用容器からなる群から選ばれる少なくとも一つにおいて、めっき液がポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物に接触することによりめっき液中の有機不純物が除去される。また、オーバーフロー槽及び／又は有機不純物除去用容器にて有機不純物が除去されためっき液は、めっき液中に戻され、めっき液の再生が図られる。

金属めっきに用いるめっき装置において、上述したポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物を用いた水洗水の再生方法を用いることで、水洗水を再生することができる。

例えば、水洗水を収容する水洗槽と、水洗水に含まれる固形異物を除去するために設置された循環経路を備えるめっき装置において、水洗水を収容する水洗槽及び／又は水洗水に含まれる固形異物を除去するために設置された循環経路の少なくとも一部にポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物を配置する。前記水洗水を収容する水洗槽と水洗水に含まれる固形異物を除去するために設置された循環経路の少なくとも一部において、水洗水がポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物に接触することにより水洗水中の有機不純物が除去される。また、水洗水に含まれる固形異物を除去するために設置された循環経路の少なくとも一部、例えば貯留タンクにて有機不純物が除去された水洗水は、水洗水を収容する水洗槽中に戻され、水洗水の再生が図られる。

簡便なめっき装置として、金属めっき液を収容するめっき槽と、めっき槽からオーバーフローした金属めっき液を収容するオーバーフロー槽と、めっき液から固形物を除去する異物除去手段を備えた装置が挙げられる。前記オーバーフロー槽にポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物を配置し、めっき液をポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物に接触させることにより、めっき液中の有機不純物がポリオレフィン系繊維に吸着されて除去される。また、オーバーフロー槽にて有機不純物が除去されためっき液は、異物除去手段にて固形物が除去された後、ポンプなどの返送手段によりめっき液中に戻され、めっき液の再生が図られる。オーバーフロー槽に配置されるポリオレフィン系繊維は、当該繊維の形態のままでもよいし、前述の繊維構造物の形態であってもよい。ハンドリング性及びコストの観点から、繊維構造物としては、紡毛糸を用いることが好ましい。ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物は、網目状の収納袋に充填したうえで配置することが好ましい。収納袋を用いると交換が容易となり、メンテナンスの手間が省力化できるからである。

異物除去手段としては、通常、ろ過機が用いられる。一般的には、カートリッジフィルターを用いた濾過機が用いられている。カートリッジフィルターとしては、例えば、糸巻式、メルトブロー式、メンブラン濾紙などが挙げられる。

前記めっき装置は、金属めっき液を収容するめっき槽と、めっき槽から強制的に引き出された金属めっき液を収容する有機不純物除去用容器と、めっき液から固形物を除去する異物除去手段を備えた装置であってもよい。有機不純物除去用容器は、カラムであってもよく、ハウジングであってもよい。ハウジングは、バックフィルターやカートリッジフィルタータイプのものを使用することができる。ハウジングがバックフィルタータイプの場合、ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物をフィルターに充填する。ハウジングがカートリッジフィルタータイプの場合、カートリッジフィルターの代わりにポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物を充填する。ハウジングは１段であってもよく、２段以上であってもよい。例えば、ハウジングが２段の場合、一方のハウジングには、めっき液中の固形物を除去する異物除去用カートリッジフィルターを配置して異物除去用として用い、他方のハウジングには、めっき液中の有機不純物を除去するポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物を充填して有機不純物除去用として用いることができる。当該装置は、めっき槽から金属めっき液をポンプなどの引出手段で強制的に引き出して、ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物が充填された有機不純物除去用容器中に送りこみ、めっき液とポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物と接触させることにより、めっき液中の有機不純物がポリオレフィン系繊維に吸着されて除去される。この場合、めっき槽と２段以上のポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物が充填されたハウジングを並列に連結することにより、有機不純物除去効率をより向上させることができる。その後、有機不純物が除去されためっき液は、異物除去手段にて固形物が除去された後、ポンプなどの返送手段によりめっき液中に戻され、めっき液の再生が図られる。

前記有機不純物除去用容器は、異物除去手段用のラインに組み込んでもよい。この場合、ポンプや配管を共有することができ経済的である。また、異物除去手段の手前にポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物が配置された有機不純物除去用容器を組み込めば、脱落した繊維を異物除去手段が捕捉するため、めっき液への異物混入も防ぐことができる。

前記めっき装置は、さらに、水洗水を収容する水洗槽と水洗水に含まれる固形異物を除去するために設置された循環経路を備えてもよい。金属めっきにおいて、めっき前の水洗は、めっき対象品を清浄にするために行われる。また、めっき後の水洗は、付着しためっき液を取り除いて清浄にするために行われる。コストと水洗効率の観点から、水洗槽は、２〜３槽であることが好ましい。水洗水に含まれる固形異物を除去するために設置された循環経路は、例えば、貯留タンク（循環回路の水洗槽）、水洗槽から水洗水を貯留タンクへ流出させる流出手段、貯留タンクから水洗槽へ再生された水洗水を返送する返送手段等を含んでもよい。

以下、図面等を用いて本発明を詳細に説明する。しかし、本発明は、下記の図面で示したものに限定されない。

図１は、本発明の一実施形態のめっき装置の概略説明図である。該実施形態のめっき装置１は、めっき槽２、オーバーフロー槽３、異物除去手段６を備える。めっき槽２には、めっき液が収容される。オーバーフロー槽３にはめっき槽からオーバーフローしためっき液が収容される。オーバーフロー槽３には、ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物４が配置されている。ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物４は、網目の収納袋５に充填されている。異物除去手段６は、カートリッジフィルター８を備えている。めっき槽２からオーバーフロー槽３にオーバーフローしためっき液は、オーバーフロー槽３に配置されているポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物４と接触することで、めっき液中の有機不純物がポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物に吸着されて除去される。オーバーフロー槽３における有機不純物が除去されためっき液は、異物除去手段６にて固形物が除去された後、返送手段７によりめっき槽２に戻される。返送手段７としては、ポンプなどが用いられる。ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物で有機不純物が除去されためっき液が異物除去手段６を通過することから、脱落したポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物がめっき槽に流出することが防止される。

図２は、本発明の他の一実施形態のめっき装置の概略説明図である。該実施形態のめっき装置１０は、めっき槽１１、有機不純物除去用容器１２、異物除去手段１５を備える。めっき槽１１には、めっき液が収容される。有機不純物除去用容器１２にはめっき槽から強制的に引き出されためっき液が収容される。有機不純物除去用容器１２には、ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物１３が配置されている。ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物は収納袋に充填されていることが好ましい。有機不純物除去用容器１２として、カラムやハウジングなどを用いる。ハウジングがバックフィルタータイプの場合、ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物がフィルターに充填される。ハウジングがカートリッジフィルタータイプの場合、カートリッジフィルターの代わりにポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物を充填する。異物除去手段１５は、カートリッジフィルター１６を備えている。また、めっき装置１０は、めっき槽からめっき液を強制的に引き出す引出手段１４を備える。引出手段１４としては、ポンプなどが用いられる。めっき槽１１から強制的に引き出されためっき液は、有機不純物除去用容器１２に配置されているポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物１３と接触することで、めっき液中の有機不純物がポリオレフィン系繊維に吸着されて除去される。有機不純物除去用容器１２にて有機不純物が除去されためっき液は、異物除去手段１５にて固形物が除去された後、めっき槽１１に戻される。ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物によって有機不純物が除去されためっき液が異物除去手段１５を通過することから、脱落したポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物がめっき槽に流出することが防止される。引出手段１４は、有機不純物が除去された金属めっき液をめっき槽に戻す返送手段としても機能する。該実施形態では、有機不純物除去用容器であるハウジングが１段であるが、２段以上であってもよい。

金属めっき液は、一般に、めっきされるべき金属の金属イオンと、硫酸又はリン酸等の酸と、塩化物イオンとを含む。また、１種以上の有機添加剤を含有する。本発明の再生方法及び装置を用いると、めっき液中の有機添加剤の濃度に大きな変化を起こすことなく、有機添加剤が分解及び劣化して生成された有機不純物を除去することができる。また、めっき液中に持ち込まれた有機不純物、めっき液中に溶出した有機不純物を除去することが出来る。

なお、水洗水及びめっき液中の有機不純物には、原水に含まれる有機不純物と有機添加剤の分解によるものがあり、微生物、細菌、藻類由来の有機不純物が含まれる可能性がある。電気めっき以外にも、無電解めっき、プリフラックス工程やレジスト工程などでの水洗においても生物由来の有機不純物が発生する事が知られており、前記水洗水の再生方法を用いることで、水洗水の再生を図ることが可能である。

以下、実施例を用いて本発明をさらに具体的に説明する。なお、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。

実施例及び比較例では、硫酸銅めっき液の有機不純物の度合いを２００〜５００ｎｍの吸光度の増減で確認し、有機不純物濃度としている。有機不純物の度合いで示す有機不純物濃度と、めっき物性、めっき抗張力及びめっき延性伸びは下記の表１の記載の通りの相関があった。目安としては有機不純物濃度が８０を超えるとめっき物性などに悪影響が出ることが分かった。めっき物性、めっき抗張力及びめっき延性伸びは下記のとおりに測定評価した。同様に、水洗水中の有機不純物の度合いを２００〜５００ｎｍの吸光度の増減で確認し、有機不純物濃度としている。有機不純物の度合いで示す有機不純物濃度と、変色発生頻度は下記の表２の記載の通りの相関があった。目安としては有機不純物濃度が７を超えると変色が発生し悪影響が出ることが分かった。変色は目視で検査した。発生頻度は製造した製品数と変色が発生した製品数から計算した。

（めっき物性）
めっき抗張力とめっき伸びの試験結果より「悪い」「やや悪い」「やや良い」「良い」の４段階にて判断した。

（めっき抗張力）
引張試験後の引張強さを断面積で除してめっき抗張力（Ｎ／ｍｍ²）とした。

（めっき伸び）
めっき膜の長さ方向の引張試験前後の長さから下記式により計算した。
めっき伸び（％）＝（引張試験後の長さ−引張試験前の長さ）／引張試験前の長さ×１００

（実施例１）
図２に示すめっき装置を用い、めっき液の再生を行った。硫酸銅めっき液（銅２０ｇ/Ｌ、硫酸１９０ｇ/Ｌ、有機添加剤は２種類使用し、各々１１ｍＬ/Ｌ、１ｍＬ/Ｌ）にて銅めっきを行い、銅めっきを行った後の有機不純物濃度が６５のめっき液の再生を行った。有機不純物除去用容器１２としてハウジングを用いた。有機不純物除去用ハウジング１２には、ポリプロピレン紡毛糸（ダイワボウプログレス社製の品名「３５００６−Ｓ」、油剤の付着量０．０１質量％以下、使用量０．１６ｇ／Ｌ）を充填した。ポリプロピレン紡毛糸はポリプロピレンモノフィラメントを使用した６０メッシュポリプロピレンメッシュ袋に収納された状態であった。異物除去用手段１５として、カートリッジフィルター１６（ＰＰ紡毛糸巻タイプ、ゼット工業社製、品名「ＺＷ-ＰＰ（洗）」）を備えたハウジングに用いた。ハウジングとしては、日本フィルター社製の品名「ＥＡＧＬＥ」（材質強化ポリプロピレン）を用いた。硫酸銅めっき液を１９，０００Ｌ／時間の流量で、有機不純物除去用ハウジング１２には８時間／日、異物除去用手段１５には２４時間／日通して循環を行った。１週間ごとに硫酸銅めっき液の２００〜５００ｎｍの吸光度の増減を確認し、有機不純物濃度が８０を超えるまで２８週間循環を実施した。この間は活性炭による有機不純物除去の必要はなく、異物除去目的のカートリッジフィルター１６の交換も無かった。有機不純物除去用ハウジングに配置したポリプロピレン紡毛糸にて有機不純物を除去しなかった場合は、途中に活性炭による有機不純物処理が必要であり、活性炭による有機不純物処理した後のめっき液に追加する必要がある有機添加剤量を１００とした場合に比べ、本実施例で有機不純物を除去した後のめっき液は追加した有機添加剤量は１１ｍＬ/Ｌ添加分が０で、１ｍＬ/Ｌ添加分１８であった。

（実施例２）
図２に示すめっき装置を用い、めっき液の再生を行った。硫酸銅めっき液（銅２０ｇ/Ｌ、硫酸１９０ｇ/Ｌ、有機添加剤は２種類使用し、各々１４ｍＬ/Ｌ、１ｍＬ/Ｌ）にて銅めっきを行い、銅めっきを行った後の有機不純物濃度が３０のめっき液の再生を行った。有機不純物除去用ハウジング１２に、ポリプロピレンモノフィラメントを使用した６０メッシュポリプロピレンメッシュ袋にポリプロピレン繊維（使用量０．１４ｇ／Ｌ）を充填した袋を詰めた以外は、実施例１と同様にしてめっき液の循環を行った。ポリプロピレン繊維として、ダイワボウプログレス社製の品名「ＰＮ１．７×４５ｍｍ」のポリプロピレン繊維を洗浄処理して得られた、油剤の付着量が０．０２質量％である洗浄品を用いた。洗浄処理は、繊維を５分間水洗した後、陰イオン界面活性剤（一方社油脂工業製、品名「トライポンＢＸ−１１」）１ｇ／Ｌの溶液中にて、７０℃で１０分間処理し、７０℃以上の熱水で湯洗、水洗を経て、乾燥することで行った。１週間ごとに硫酸銅めっき液の２００〜５００ｎｍの吸光度の増減を確認し、有機不純物濃度が８０を超える２７週目まで循環を実施した。この間は活性炭による有機不純物除去の必要はなく、異物除去目的のカートリッジフィルター１６の交換も無かった。有機不純物除去用ハウジングに配置したポリプロピレン繊維にて有機不純物を除去しなかった場合は、途中に活性炭による有機不純物処理が必要であり、活性炭による有機不純物処理した後のめっき液に追加する必要がある有機添加剤量を１００とした場合に比べ、本実施例で有機不純物を除去した後のめっき液は追加した有機添加剤量は１４ｍＬ/Ｌ添加分が０、１ｍＬ/Ｌ添加分が１８であった。

（実施例３）
硫酸銅めっき液（銅２０ｇ/Ｌ、硫酸２００ｇ/Ｌ、有機添加剤は２種類使用し、各々１２ｍＬ/Ｌ、１ｍＬ／Ｌ）にて銅めっきを行い、銅めっきを行った後の有機不純物濃度が３５のめっき液の再生を行った。図２に示す装置において、有機不純物除去用ハウジング１２中にポリプロピレン紡毛糸（ダイワボウプログレス社製の品名「３５００６−Ｓ」、油剤の付着量０．０１質量％以下、使用量０．３５ｇ／Ｌ）を充填した以外は、実施例１と同様にしてめっき液の循環を行った。１週間ごとに硫酸銅めっき液の２００〜５００ｎｍの吸光度の増減を確認し、有機不純物濃度が８０を超えるまで２７週までに循環を実施した。この間は活性炭による有機不純物除去の必要はなく、異物除去目的のカートリッジフィルター交換も無かった。

（比較例1）
比較例１では、図２に示すめっき装置において、ポリプロピレン紡毛糸が配置されている有機不純物除去用容器を省いた。硫酸銅めっき液（銅２０ｇ/Ｌ、硫酸１９０ｇ/Ｌ、有機添加剤は２種類使用し、各々１１ｍＬ/Ｌ、１ｍＬ/Ｌ）にて銅めっきを行った。銅めっきを行った後の硫酸銅めっき液において、有機不純物濃度は６７であった。次に、銅めっきを行った後の硫酸銅めっき液を、カートリッジフィルター（ＰＰ紡毛糸巻タイプ、ゼット工業社製、品名「ＺＷ-ＰＰ（洗）」）を配置したハウジングに、１２０，０００Ｌ／時間の流量で、２４時間／日通して循環を行った。１週間ごとに硫酸銅めっき液の２００〜５００ｎｍの吸光度の増減を確認し、有機不純物濃度が８０を超える１２週目まで循環を実施した。

（比較例２）
比較例２では、図２に示すめっき装置において、ポリプロピレン紡毛糸が配置されている有機不純物除去用容器を省いた。硫酸銅めっき液（銅２０ｇ/Ｌ、硫酸２００ｇ/Ｌ、有機添加剤は２種類使用し、各々１２ｍＬ/Ｌ、１ｍＬ/Ｌ）にて銅めっきを行った。銅めっきを行った後の硫酸銅めっき液において、有機不純物濃度は５９であった。次に、銅めっきを行った後の硫酸銅めっき液を、カートリッジフィルター（ＰＰ紡毛糸巻タイプ、ゼット工業社製、品名「ＺＷ-ＰＰ（洗）」）を配置したハウジングに、４２，０００Ｌ／時間の流量で、２４時間／日通して循環を行った。１週間ごとに硫酸銅めっき液の２００〜５００ｎｍの吸光度の増減を確認し、有機不純物濃度が８０を超える２１週目まで循環を実施した。

（比較例３）
硫酸銅めっき液（銅２０ｇ/Ｌ、硫酸２００ｇ/Ｌ、有機添加剤は２種類使用し、各々１３ｍＬ/Ｌ、１ｍＬ/Ｌ）にて銅めっきを行い、銅めっきを行った後の硫酸銅めっき液において、有機不純物濃度は２３であった。該銅めっきを行った後の硫酸銅めっき液を用いた以外は、比較例１と同様にしてめっき液の再生を行った。１週間ごとに硫酸銅めっき液の２００〜５００ｎｍの吸光度の増減を確認し、有機不純物濃度が８０を超えるまで２５週までに循環を実施した。

（実施例４）
硫酸銅めっき液（銅２０ｇ／Ｌ、硫酸２００ｇ／Ｌ、有機添加剤は２種類使用し、各々１４ｍＬ／Ｌ、１ｍＬ/Ｌ）にて銅めっきを行い、銅めっきを行った後の有機不純物濃度が５８のめっき液の再生を行った。有機不純物除去用ハウジング１２にポリプロピレンモノフィラメントを使用した６０メッシュポリプロピレンメッシュ袋にポリプロピレン繊維（使用量０．１８ｇ／Ｌ）を充填した袋を詰めた以外は、実施例２と同様にしてめっき液の循環を行った。充填した袋は８週間ごとに交換を行った。

（比較例４）
硫酸銅めっき液（銅２０ｇ／Ｌ、硫酸２００ｇ／Ｌ、有機添加剤は２種類使用し、各々１４ｍＬ／Ｌ、１ｍＬ/Ｌ）にて銅めっきを行い、銅めっきを行った後の有機不純物濃度が５８のめっき液の再生を行った。有機不純物除去用ハウジング１２に活性炭（使用量１．８０ｇ／Ｌ）を充填した袋を詰めた以外は、実施例４と同様にしてめっき液の循環を行った。

（実施例５）
実施例４の硫酸銅めっき工程において、めっき前後の水洗水の循環回路にある貯留タンク（循環回路の水洗槽）内に、ポリプロピレンモノフィラメントを使用した６０メッシュポリプロピレンメッシュ袋（２０ｃｍ×３０ｃｍ）にポリプロピレン繊維（使用量０．８５ｇ／Ｌ）を充填した袋を１個入れた。ポリプロピレン繊維として、ダイワボウプログレス社製の品名「ＰＮ１．７×４５ｍｍ」のポリプロピレン繊維を洗浄して得られた、油剤の付着量が０．０２質量％である洗浄品を用いた。給水は１分間に５リットル、循環は１分間に１０リットル行った。めっきラインの水洗槽の水洗水の有機不純物濃度は２であった。

（比較例５）
実施例５の硫酸銅めっき工程において、めっき前後の水洗水の循環ラインにある貯留タンク内（循環ラインの水洗槽）に、ポリプロピレン繊維を使わない以外は実施例５と同様の条件で水洗を行った。

実施例１〜４及び比較例１〜３において、異物除去ハウジングに配置したカートリッジフィルターの素材、素材の使用量（めっき液の容積に対する質量）及び見かけ比重、有機不純物除去用ハウジングに配置したポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物の種類、使用量（めっき液の容積に対する質量）及び見かけ比重、並びに活性炭処理頻度を下記表２に示した。なお、見かけ比重は、上述した通りに測定算出した。

実施例１〜４及び比較例１〜３において、再生を行う前のめっき液の有機不純物濃度の初期値、循環処理１週間あたりの有機不純物濃度の上昇率、及び有機不純物濃度が８０を超えた週を下記表３に示した。また、循環期間中にカートリッジフィルターを交換した回数も下記表３に示した。

上記表３及び表４の実施例１〜４及び比較例１〜３の結果から、ポリプロピレン繊維を用いた実施例では、有機不純物の濃度上昇が抑制されていることが分かった。実施例では、異物除去用フィルターとは別にめっき液をポリプロピレン繊維又は繊維構造物に接触させることで、めっき処理に悪影響を及ぼすことがなく、安価かつ簡便にめっき液から有機不純物を除去することができた。

実施例４及び比較例４において、めっき液中の有機添加剤の消費量を下記のように測定した。また、実施例４及び比較例４において、下記のようにポリプロピレン繊維又は活性炭による添加剤の消費量を下記のように算出した。その結果を下記表５に示した。

（有機添加剤濃度）
CVS分析装置（サイクリックボルタンメトリーストリッピング分析装置）を用い、めっき液中の有機添加剤濃度を測定した。

（ポリプロピレン繊維又は活性炭による添加剤の消費量）
補充した有機添加剤量からめっき処理で消費される有機添加剤の計算量を除してポリプロピレン又は活性炭による有機添加剤の消費量（ｍＬ／Ｌ）とした。

上記表５の結果から分かるように、生産を止めて実施する活性炭による有機不純物除去処理を行った比較例４では、有機添加剤が処理前と処理後で有機添加剤１４ｍＬ/Ｌ添加分では４．０ｍｌ／Ｌ消費され、１ｍＬ/Ｌ添加分では０．７ｍＬ/Ｌ消費された。一方、実施例４では、有機添加剤１４ｍＬ/Ｌ添加分ではほとんど消費されなかった。１ｍＬ/Ｌ添加分では、１週間後に０．１２ｍＬ／Ｌ、２週間後に０．０６ｍＬ／Ｌ有機添加剤が消費されたが、比較例４に比べると格段に少なく、３週目以降は減少が見られなかった。

実施例４において、２０週目まではポリプロピレン繊維による再生は行わず必要に応じて活性炭による有機不純物の除去を行った。２０週目からポリプロピレン繊維による再生を実施した場合のめっき液中の有機不純物濃度の推移を図３に示した。図３から分かるように、ポリプロピレン繊維による再生を実施することにより、有機不純物濃度の上昇を抑える程度に除去できた。

実施例５及び比較例５において、めっき後の水洗水中の有機不純物濃度を上述したとおりに確認し、その結果を下記表６に示した。

上記表６の結果から分かるように、比較例５では変動が大きく有機不純物の濃度が高いのに対し、実施例５では水洗中の有機不純物を除去して有機不純物濃度を下げていた。

１、１０ めっき装置
２、１１ めっき槽
３ オーバーフロー槽
４、１３ ポリオレフィン系繊維及び／又は繊維構造物
５ 収納袋
６、１５ 異物除去手段
７ 返送手段
８、１６ カートリッジフィルター
１２ 有機不純物除去用容器（ハウジング）
１４ 引出手段

Claims (20)

1. 金属めっき液を異物除去手段と接触させて固形物を除去する工程、及び金属めっき液をポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物（但し、繊維状活性炭を主成分とするシート状物を除く。）と接触させて金属めっき液から有機不純物を除去する工程を含み、
   前記繊維構造物は、糸、織物、編物、及び不織布からなる群から選ばれる一種以上であることを特徴とする金属めっき液の再生方法。
2. 前記ポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、金属めっき液を収容するめっき槽からオーバーフローした金属めっき液を収容するオーバーフロー槽、及びめっき槽から強制的に引き出された金属めっき液を収容する有機不純物除去用容器からなる群から選ばれる少なくとも一つに配置されている請求項１に記載の金属めっき液の再生方法。
3. 前記オーバーフロー槽及び／又は前記有機不純物除去用容器において、ポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物との接触により有機不純物が除去された金属めっき液をめっき槽に戻す請求項２に記載の金属めっき液の再生方法。
4. 前記ポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、ポリオレフィン系繊維を５０質量％以上含む請求項１〜３のいずれか１項に記載の金属めっき液の再生方法。
5. 前記ポリオレフィン系繊維又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物の見かけ比重は、０．０３ｇ／ｃｍ³以上０．３ｇ／ｃｍ³未満である請求項１〜４のいずれか１項に記載の金属めっき液の再生方法。
6. 前記ポリオレフィン系繊維又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、油剤の付着量が０．１質量％以下である請求項１〜５のいずれか１項に記載の金属めっき液の再生方法。
7. 金属めっきに用いる水洗水を異物除去手段と接触させて固形物を除去する工程、及び金属めっきに用いる水洗水をポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物（但し、繊維状活性炭を主成分とするシート状物を除く。）と接触させて金属めっきに用いる水洗水から有機不純物を除去する工程を含み、
   前記繊維構造物は、糸、織物、編物、及び不織布からなる群から選ばれる一種以上であることを特徴とする水洗水の再生方法。
8. 前記ポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、水洗水を収容する水洗槽、及び／又は、水洗水に含まれる異物を除去するために設置された循環経路の少なくとも一部に配置されている請求項７に記載の水洗水の再生方法。
9. 前記ポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、ポリオレフィン系繊維を５０質量％以上含む請求項７又は８に記載の水洗水の再生方法。
10. 前記ポリオレフィン系繊維又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物の見かけ比重は、０．０３ｇ／ｃｍ³以上０．３ｇ／ｃｍ³未満である請求項７〜９のいずれか１項に記載の水洗水の再生方法。
11. 前記ポリオレフィン系繊維又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、油剤の付着量が０．１質量％以下である請求項７〜１０のいずれか１項に記載の水洗水の再生方法。
12. 金属めっきに用いるめっき装置であって、
    前記めっき装置は、金属めっき液を収容するめっき槽と、金属めっき液から固形物を除去する異物除去手段と、めっき槽からオーバーフローした金属めっき液を収容するオーバーフロー槽及び／又はめっき槽から強制的に引き出された金属めっき液を収容する有機不純物除去用容器とを備え、
    前記オーバーフロー槽及び前記有機不純物除去用容器からなる群から選ばれる少なくとも一つには、有機不純物を除去するポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物（但し、繊維状活性炭を主成分とするシート状物を除く。）が配置されており、
    前記繊維構造物は、糸、織物、編物、及び不織布からなる群から選ばれる一種以上であることを特徴とするめっき装置。
13. 前記めっき装置は、前記オーバーフロー槽及び／又は前記有機不純物除去用容器に配置されているポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物との接触により有機不純物が除去された金属めっき液をめっき槽に戻す返送手段を有する請求項１２に記載のめっき装置。
14. 前記めっき装置は、さらに、水洗水を収容する水洗槽と、水洗水に含まれる異物を除去するために設置された循環経路を備えている請求項１２又は１３に記載のめっき装置。
15. 前記ポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、ポリオレフィン系繊維を５０質量％以上含む請求項１２〜１４のいずれか１項に記載のめっき装置。
16. 前記ポリオレフィン系繊維又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物の見かけ比重は、０．０３ｇ／ｃｍ³以上０．３ｇ／ｃｍ³未満である請求項１２〜１５のいずれか１項に記載のめっき装置。
17. 金属めっきに用いる金属めっき用再生材であって、
    前記金属めっき用再生材は、ポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物で構成されており、
    金属めっき液及び／又は金属めっきに用いる水洗水を前記ポリオレフィン系繊維及び／又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物（但し、繊維状活性炭を主成分とするシート状物を除く。）と接触させて金属めっき液及び／又は金属めっきに用いる水洗水から有機不純物を除去することで金属めっき液及び／又は金属めっきに用いる水洗水を再生しており、
    前記繊維構造物は、糸、織物、編物、及び不織布からなる群から選ばれる一種以上であることを特徴とする金属めっき用再生材。
18. 前記ポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、ポリオレフィン系繊維を５０質量％以上含む請求項１７に記載の金属めっき用再生材。
19. 前記ポリオレフィン系繊維又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物の見かけ比重は、０．０３ｇ／ｃｍ³以上０．３ｇ／ｃｍ³未満である請求項１７又は１８に記載の金属めっき用再生材。
20. 前記ポリオレフィン系繊維又はポリオレフィン系繊維を含む繊維構造物は、油剤の付着量が０．１質量％以下である請求項１７〜１９のいずれか１項に記載の金属めっき用再生材。

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