JP6869590B2 - 熱電構造体、熱電素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
数式1:zT=(α2σT)/κ1
2 電源装置
3 電子装置
4 電線
20 酸化物基板
30 バッファ層
31 第1バッファ層
32 第2バッファ層
40 薄膜構造物
41 薄膜層
60 基板
101 レーザ装置
102 ターゲット支持台
103 基板支持台
104 レーザプルーム
210 金属薄膜
221,222 電極
100,1000 熱電素子
Claims (22)
- テルルを含むターゲットを構成する材料の少なくとも第1部分及び第2部分が前記ターゲットから分離されるように、前記ターゲットにレーザを照射する段階と、
酸化物基板上に、前記第1部分を蒸着し、酸化テルルを含むバッファ層を形成する段階と、
前記バッファ層上に、前記第2部分を蒸着し、テルルを含む薄膜構造物を形成する段階と、
を含む、熱電構造体の製造方法。 - 前記レーザの照射段階において、
0.5Hz〜4Hzの範囲の周波数のパルスレーザが照射されることを特徴とする、請求項1に記載の熱電構造体の製造方法。 - 前記レーザの照射段階において、
フッ化クリプトン(KrF)エキシマレーザ装置を使用して、レーザを照射することを特徴とする、請求項1に記載の熱電構造体の製造方法。 - 前記レーザの照射段階は、前記レーザを使用して、前記ターゲットに所定のエネルギーを加える工程を含み、
前記所定のエネルギーは、45mJ以下であることを特徴とする、請求項1に記載の熱電構造体の製造方法。 - 前記薄膜構造物を形成する段階において、
2時間以内に、厚みが10nm〜100nmの薄膜構造物が形成されることを特徴とする、請求項1に記載の熱電構造体の製造方法。 - 前記薄膜構造物の厚み方向への熱伝導度が、0.14W/(m・K)〜0.3W/(m・K)であることを特徴とする、請求項1に記載の熱電構造体の製造方法。
- 前記薄膜構造物のωスキャニングによる半値幅が、0.1°以下であることを特徴とする、請求項1に記載の熱電構造体の製造方法。
- 前記ターゲットは、ビスマス(Bi)、アンチモン(Sb)、セレン(Se)のうち少なくとも一つをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の熱電構造体の製造方法。
- 前記薄膜構造物は、複数の薄膜層を含み、
前記複数の薄膜層は、厚み方向に積層されていることを特徴とする、請求項1に記載の熱電構造体の製造方法。 - 前記複数の薄膜層それぞれが、Bi0.5Sb1.5Te3からなることを特徴とする、請求項9に記載の熱電構造体の製造方法。
- 前記バッファ層の厚さは、0.2nm〜2nmの範囲であることを特徴とする、請求項1に記載の熱電構造体の製造方法。
- 前記バッファ層から前記薄膜構造物を分離する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の熱電構造体の製造方法。
- 前記分離された薄膜構造物を、前記酸化物基板と異なる材質を有する別途の基板上に配置する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項12に記載の熱電構造体の製造方法。
- 酸化物基板と、
前記酸化物基板上に配置され、テルルを含む薄膜構造物と、
前記酸化物基板と前記薄膜構造物との間に配置され、酸化テルルを含むバッファ層と、
を含む熱電構造体。 - 前記薄膜構造物の厚みは、10nm〜100nmであることを特徴とする、請求項14に記載の熱電構造体。
- 前記薄膜構造物の厚み方向への熱伝導度は、0.14W/(m・K)〜0.3W/(m・K)であることを特徴とする、請求項14に記載の熱電構造体。
- 前記薄膜構造物のωスキャニングによる半値幅が0.1°以下であることを特徴とする、請求項14に記載の熱電構造体。
- 前記薄膜構造物は、ビスマス(Bi)、アンチモン(Sb)、セレン(Se)のうち少なくとも一つをさらに含むことを特徴とする、請求項14に記載の熱電構造体。
- 前記薄膜構造物は、複数の薄膜層を含み、
前記複数の薄膜層は、厚み方向に積層されていることを特徴とする、請求項14に記載の熱電構造体。 - 前記薄膜層は、Bi0.5Sb1.5Te3からなることを特徴とする、請求項19に記載の熱電構造体。
- 前記バッファ層の厚みは、0.2nm〜2nmであることを特徴とする、請求項14に記載の熱電構造体。
- 基板と、
前記基板上に配置され、テルルを含む薄膜構造物と、
を含む熱電構造体を含み、
前記薄膜構造物の厚み方向への熱伝導度は、0.14W/(m・K)〜0.3W/(m・K)であり、
前記薄膜構造物のωスキャニングによる半値幅が0.1°以下である熱電素子。
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