JP6860709B2 - インプリント装置、物品製造方法および位置合わせ方法 - Google Patents
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- 基板の上のインプリント材に型を接触させ該インプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
複数のアライメントスコープと、
前記複数のアライメントスコープからの出力に基づいて前記基板のショット領域と前記型との重ね合わせを制御する制御部と、を備え、
前記複数のアライメントスコープのそれぞれは、前記ショット領域の複数の第1マークから選択される第1マークと前記型の複数の第2マークから選択される第2マークとの相対位置を示す情報を出力し、
前記制御部は、前記複数のアライメントスコープからそれぞれ出力される複数の情報を相互に比較し、情報間の乖離量が基準値を超える場合には、当該基準値を超える情報を異常な情報と特定し、前記複数の情報のうち前記異常な情報を除く情報に基づいて、前記ショット領域と前記型との重ね合わせを制御し、
前記重ね合わせの制御において、前記制御部は、前記複数のアライメントスコープから選択されるアライメントスコープに、前記異常な情報に係る第1マークおよび第2マークの対とは異なる対を構成する第1マークおよび第2マークを観察させ、これにより得られる情報を、前記異常な情報の代わりに利用する、
ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記制御部は、前記複数の情報を相互に比較する際に、各アライメントスコープから出力される情報を処理して得られる信号のコントラスト、歪および強度の少なくとも1つの指標を用いて、前記異常な情報を特定する、
ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記複数のアライメントスコープのうち前記異常な情報を除く情報を出力したアライメントスコープに、既に観察した第1マークおよび第2マークの再観察を行わせ、前記異常な情報を除く情報の他、前記再観察によって得られる情報に基づいて、前記ショット領域と前記型との重ね合わせを制御する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記異常な情報が発生した場合に、前記異常な情報を除く情報の他、前記基板とは異なる基板について前記複数のアライメントスコープを使って過去に得られた情報に基づいて、前記ショット領域と前記型との重ね合わせを制御する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記過去に得られた情報は、前記基板とは異なる基板の複数のショット領域のうち前記ショット領域と設計上の位置が同一の位置に配置されたショット領域について前記複数のアライメントスコープを使って過去に得られた情報である、
ことを特徴とする請求項4に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記異常な情報が発生した場合に、前記異常な情報を除く情報の他、前記基板の他のショット領域について前記複数のアライメントスコープを用いて過去に得られた情報に基づいて、前記ショット領域と前記型との重ね合わせを制御する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記パターンが形成された前記基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。 - 基板の上のインプリント材に型を接触させ該インプリント材のパターンを形成するインプリント装置における前記基板と前記型との位置合わせ方法であって、
複数のアライメントスコープのそれぞれが、前記基板のショット領域の複数の第1マークから選択される第1マークと前記型の複数の第2マークから選択される第2マークとの相対位置を示す情報を出力し、
前記複数のアライメントスコープからそれぞれ出力される複数の情報を相互に比較し、
情報間の乖離量が基準値を超える場合には、当該基準値を超える情報を異常な情報と特定し、前記複数の情報のうち前記異常な情報を除いた情報に基づいて、前記ショット領域と前記型との位置合わせを行い、
前記位置合わせにおいて、前記複数のアライメントスコープから選択されるアライメントスコープに、前記異常な情報に係る第1マークおよび第2マークの対とは異なる対を構成する第1マークおよび第2マークを観察させ、これにより得られる情報を、前記異常な情報の代わりに利用する、
ことを特徴とする位置合わせ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2020006165A JP6860709B2 (ja) | 2020-01-17 | 2020-01-17 | インプリント装置、物品製造方法および位置合わせ方法 |
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JP2015233756A Division JP6671160B2 (ja) | 2015-11-30 | 2015-11-30 | インプリント装置、物品製造方法および位置合わせ方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2020074439A JP2020074439A (ja) | 2020-05-14 |
JP2020074439A5 JP2020074439A5 (ja) | 2020-07-02 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6860709B2 (ja) |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006165516A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-22 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理板の付着物検出方法,熱処理装置,プログラム及びプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
US20070231421A1 (en) * | 2006-04-03 | 2007-10-04 | Molecular Imprints, Inc. | Enhanced Multi Channel Alignment |
JP2006350707A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Hitachi Ltd | 検出手段の故障診断装置 |
JP4736707B2 (ja) * | 2005-10-18 | 2011-07-27 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイス製造方法、並びに観察装置 |
JP2011086037A (ja) * | 2009-10-14 | 2011-04-28 | Nagoya Univ | データのフィルタリング方法及びその装置並びに異常出力源特定方法及びその装置 |
JP5800456B2 (ja) * | 2009-12-16 | 2015-10-28 | キヤノン株式会社 | 検出器、インプリント装置及び物品の製造方法 |
JP2012084732A (ja) * | 2010-10-13 | 2012-04-26 | Canon Inc | インプリント方法及び装置 |
JP6039222B2 (ja) * | 2011-05-10 | 2016-12-07 | キヤノン株式会社 | 検出装置、検出方法、インプリント装置及びデバイス製造方法 |
JP6012209B2 (ja) * | 2012-03-15 | 2016-10-25 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
JP6360287B2 (ja) * | 2013-08-13 | 2018-07-18 | キヤノン株式会社 | リソグラフィ装置、位置合わせ方法、および物品の製造方法 |
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---|---|
JP2020074439A (ja) | 2020-05-14 |
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A521 | Written amendment |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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A521 | Written amendment |
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A521 | Written amendment |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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