JP6847671B2 - セラミックス部材 - Google Patents
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Description
凹部が形成された基材と、
前記凹部の底に配置された電極と、
前記凹部の底に前記電極が配置された状態で、前記凹部に挿入されて前記凹部を閉塞する閉塞部と、
前記凹部と前記閉塞部とを接合する接合部と、
を備えるセラミックス部材であって、
前記凹部には、前記電極の周囲に位置させて前記凹部の深さ方向において前記閉塞部の周縁と少なくとも一部が重なる段部が設けられており、
前記閉塞部の前記電極と対向する対向面は、前記電極の外面と接触していることを特徴とする。
凹部が形成された基材と、
前記凹部の底に配置された電極と、
前記凹部の底に前記電極が配置された状態で、前記凹部に挿入されて前記凹部を閉塞する閉塞部と、
前記凹部と前記閉塞部とを接合する接合部と、
を備えるセラミックス部材であって、
前記凹部には、前記電極の周囲に位置させて前記凹部の深さ方向において前記閉塞部の周縁と少なくとも一部が重なる段部が設けられており、
前記閉塞部の対向面に陥没した陥没部が設けられ、
前記電極の外面は、段部の係止面よりも上方であって、前記陥没部内に位置していることを特徴とする。
また、本発明においては、閉塞部の電極との対向面と電極との間に隙間が形成されていることが好ましい。かかる構成によれば、閉塞部の過度な押し込みによる凹部の底を形成する基材の部分の損傷を確実に防止することができる。なお、隙間は凹部と閉塞部とを接合する接合部で満たされていてもよい。
図1から図3を参照して、本発明のセラミックス部材の第1実施形態を説明する。第1実施形態のセラミックス部材は、シリコンウェハなど半導性基板を静電吸着する静電チャック1として用いられている。図1を参照して、静電チャック1は、円盤状電気絶縁性セラミック焼結体からなる基材2と、半月形状の一対の電極3,3(半月状双極電極)と、を備える。電極3は、印刷により設置してもよく、又はモリブデン箔(例えば、厚さ0.3mm)等の導電性の箔や導電性の薄板を設置してもよい。基材2は、純度99.5%の酸化アルミニウム(Al2O3)焼結体で構成されている。
図5は、参考例のセラミックス部材を適用した静電チャック1を示している。参考例の静電チャック1は、閉塞部6の電極3と対向する対向面6bと電極3の外面3aの間に隙間Aが形成されている。隙間Aには接着剤が入り込んで固化し接合部7(固体の接着剤)が形成される。段部5は例えば幅2.5mm、凹部4の底4aから高さ1mmに設定されている。他の構成は、第1実施形態と同一に構成されている。
図6は、本発明のセラミックス部材の第2実施形態を示している。第2実施形態の静電チャック1では、閉塞部6の対向面6bに図6の上方に向かって陥没する陥没部6cが設けられている。また、電極3の外面3aは、段部5の係止面5aよりも上方に位置している。また、参考例と同様に、閉塞部6の電極3との対向面6b、換言すれば、陥没部6cの底と、電極3の外面3aとの間に接合部7(固体の接着剤)で満たされた隙間Aが形成されている。
2 基材
2a 表面
2b 裏面
3 電極
3a 外面
4 凹部
4a 底
4b 周面
5 段部
5a 係止面
6 閉塞部
6a 端子用孔
6b 対向面
6c 陥没部
6d 外周面
7 接合部
8 第1曲面
9 第2曲面
10 端子
11 第1平面
12 第2平面
A 隙間
Claims (4)
- 凹部が形成された基材と、
前記凹部の底に配置された電極と、
前記凹部の底に前記電極が配置された状態で、前記凹部に挿入されて前記凹部を閉塞する閉塞部と、
前記凹部と前記閉塞部とを接合する接合部と、
を備えるセラミックス部材であって、
前記凹部には、前記電極の周囲に位置させて前記凹部の深さ方向において前記閉塞部の周縁と少なくとも一部が重なる段部が設けられており、
前記閉塞部の前記電極と対向する対向面は、前記電極の外面と接触していることを特徴とするセラミックス部材。 - 請求項1に記載のセラミックス部材であって、
前記凹部の周面と前記段部の前記凹部の開口側の面とは、曲面又は前記凹部の周面及び前記段部の前記凹部の開口側の面との間で鈍角をなす平面で接続されていることを特徴とするセラミックス部材。 - 請求項1又は請求項2に記載のセラミックス部材であって、
前記閉塞部の前記電極側の端部の外周縁は曲面又は前記外周縁に隣接する閉塞部の面との間で鈍角をなす平面であることを特徴とするセラミックス部材。 - 凹部が形成された基材と、
前記凹部の底に配置された電極と、
前記凹部の底に前記電極が配置された状態で、前記凹部に挿入されて前記凹部を閉塞する閉塞部と、
前記凹部と前記閉塞部とを接合する接合部と、
を備えるセラミックス部材であって、
前記凹部には、前記電極の周囲に位置させて前記凹部の深さ方向において前記閉塞部の周縁と少なくとも一部が重なる段部が設けられており、
前記閉塞部の対向面に陥没した陥没部が設けられ、
前記電極の外面は、段部の係止面よりも上方であって、前記陥没部内に位置していることを特徴とするセラミックス部材。
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